JP7334064B2 - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
2:基台
10:ウエーハ
12:フレーム
14:粘着テープ
20:紫外線照射手段
24:UV管
26:板部材
30:温度測定手段
40:カセット
50:搬出入手段
60:仮置きテーブル
70:搬送手段
72:レール
73:保持手段
731:ケース
732:軸部
733:板状部材
734:吸着パッド
75:係合部
80:IDマーク読取手段
82:バーコードリーダー
100:制御手段
120:フローチャート
Claims (7)
- 被加工物を収容する開口を備えたフレームに被加工物を収容し、紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着テープを貼着した一体ユニットに紫外線を照射する紫外線照射装置であって、
一体ユニットの粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
該紫外線照射手段によって紫外線が照射された該粘着テープの温度を測定する温度測定手段と、
該温度測定手段によって測定された粘着テープの温度が所定値に達しているか否かを判定して一体ユニットの紫外線照射の履歴を記憶する制御手段と、
から少なくとも構成され、
該制御手段は、一体ユニットの温度が第一の所定値に達していないと判定した場合に、紫外線照射手段の交換を指示する紫外線照射装置。 - 被加工物を収容する開口を備えたフレームに被加工物を収容し、紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着テープを貼着した一体ユニットに紫外線を照射する紫外線照射装置であって、
一体ユニットの粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
該紫外線照射手段によって紫外線が照射された該粘着テープの温度を測定する温度測定手段と、
該温度測定手段によって測定された粘着テープの温度が所定値に達しているか否かを判定して一体ユニットの紫外線照射の履歴を記憶する制御手段と、
から少なくとも構成され、
該制御手段は、一体ユニットの温度が第二の所定値に達していないと判定した場合に、紫外線の照射が不十分である旨を表示する紫外線照射装置。 - 該制御手段は、一体ユニットの温度が第二の所定値に達していないと判定した場合に、紫外線の照射が不十分である旨を表示する請求項1に記載の紫外線照射装置。
- 該紫外線照射の履歴は、被加工物に紫外線が照射された後の工程で利用される請求項1乃至3のいずれかに記載の紫外線照射装置。
- 該被加工物は、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハである請求項1乃至4のいずれかに記載の紫外線照射装置。
- 該ウエーハは、個々のデバイスチップに分割されている請求項5に記載の紫外線照射装置。
- 該フレーム又は該粘着テープにはIDマークが付されており、該制御手段には、該IDマークに対応して該紫外線照射の履歴が記憶される請求項1乃至6のいずれかに記載の紫外線照射装置。
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