JP3762083B2 - 電子部品打抜検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、キャリアテープで供給される半導体部品等の電子部品を打抜き、成形し、検査し、トレイに収納する電子部品打抜検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、キャリアテープで供給される半導体部品は、キャリアテープから半導体部品を金型で打抜き、成形し、専用のトレイに挿入し、別途そのトレイから半導体部品を取り出して専用の検査装置で半導体部品の全長やリードの曲がり・平坦度、半導体部品本体の反りを測定して良否を判断していた。
【0003】
一方、トレイに半導体部品を挿入するときには次のようにしていた。すなわち、半導体部品等が詰められているトレイの段と、空になったトレイが積みかさなっている段が水平位置に配置されており、半導体部品が満杯になった(もしくは空になった)トレイから、バキュームチャックで、既に満杯になった(もしくは空になった)トレイが積みかさなっている段に搬送していた。また、トレイに半導体部品を詰めるにはXY座標系を有する直交ロボットなどを用いていた。
【0004】
また、半導体部品等が詰められているトレイの段と、空になったトレイが積みかさなっている段が垂直位置に配置されており、ICが満杯になった(もしくは空になった)トレイを、空気圧シリンダなどを用いて既に満杯になった(もしくは空になった)トレイ側に移動させていた。また、トレイに半導体部品を詰めるにはXY座標系を有する直交ロボットなどを用いていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一旦トレイに収容した部品を再度取り出して検査を行うと、取り出す際に半導体部品のリードが曲る虞があった。
一方、空トレイと満杯トレイを水平配置した場合、専用のバキュームチャック等を必要とし、またトレイ交換時間が長くなる。そして、水平配置するために装置の床面積が広くなる。これに対し、空トレイと満杯トレイを垂直位置に配置することで、トレイ交換時間を短縮し、装置の床面積を縮小することができるが、トレイに製品を詰めるにはXY座標系を有する直交ロボットなどを必要とする。また、空トレイと満杯トレイの間にXY座標系を有する直交ロボットが移動できる空間を必要とする。
【0006】
そこで本発明は、作業時間の短縮、トレイから再度取り出し・挿入を行うことによるリード曲がりの発生、後エ程に流される不良品を低減することによって、生産性を向上させることができる電子部品打抜検査装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項1に記載された発明は、テープに保持された電子部品を打抜、検査し、トレイに収納する電子部品打抜検査装置において、リールに捲回された前記テープを供給する部品供給部と、この部品供給部により供給された前記テープから前記電子部品を打抜いて成形する打抜・成形部と、この打抜・成形部により打抜き成形された前記電子部品を検査する検査部と、この検査部による結果に基づいて良品トレイと不良品トレイとに選別して収容する部品収容部とを備え、前記部品供給部は、リールに捲回された前記テープを供給するとともに、前記テープの残量によって前記リールの回転トルクを自動的に調整するを備えるようにした。
【0010】
請求項2に記載された発明は、テープに保持された電子部品を打抜、検査し、トレイに収納する電子部品打抜検査装置において、リールに捲回された前記テープを供給する部品供給部と、この部品供給部により供給された前記テープから前記電子部品を打抜いて成形する打抜・成形部と、この打抜・成形部により打抜き成形された前記電子部品を検査する検査部と、この検査部による結果に基づいて良品トレイと不良品トレイとに選別して収容する部品収容部とを備え、前記検査部は、前記電子部品の外形を認識する外形認識光学部と、この外形認識光学部において認識された前記電子部品の外形に基づいて前記電子部品を検査する形状認識光学部とを備えている。
【0011】
請求項3に記載された発明は、テープに保持された電子部品を打抜、検査し、トレイに収納する電子部品打抜検査装置において、リールに捲回された前記テープを供給する部品供給部と、この部品供給部により供給された前記テープから前記電子部品を打抜いて成形する打抜・成形部と、この打抜・成形部により打抜き成形された前記電子部品を検査する検査部と、この検査部による結果に基づいて良品トレイと不良品トレイとに選別して収容する部品収容部とを備え、前記部品収容部は、前記検査部により検査された前記電子部品を所定の第1方向に沿って搬送する移載機構部と、前記第1方向に交差する所定の第2方向に沿ってトレイを位置決めするトレイステージ機構部と、空のトレイを積層して保持する空トレイ保持部と、この空トレイ保持部に対して前記トレイの積層方向に沿って離間して位置し、前記電子部品のうち良品が収容されたトレイを積層して保持する良品トレイ保持部と、その一端が前記空トレイ保持部と前記良品トレイ保持部との間に位置し、他端が前記移載機構部に対応する位置に配置されたガイド部と、このガイド部に沿って良品用のトレイと不良品用のトレイを位置決めするトレイ移動機構とを備えている。
請求項4に記載された発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載された発明において、前記打抜・成形部は、前記テープから前記電子部品を打抜く金型と、この金型に前記テープを所定の張力で供給するテープ送り機構とを備えている。
【0012】
上記手段を講じた結果、次のような作用が生じる。すなわち、請求項1に記載された発明では、部品供給部により供給されたテープから打抜・成形部において電子部品を打抜き成形し、この電子部品を検査部で検査し、この結果に基づいて良品トレイと不良品トレイとに選別して収容するようにしたので、打抜・成形、検査、収容を同一の装置で連続的に行うことができる。このため、電子部品の搬送に伴うリードの曲り等を防止することができる。この際、部品供給部は、テープの残量によってリールの回転トルクを自動的に調整するので、テープを一定のテンションを保つことができ、打抜精度を高めることができる。
【0015】
請求項2に記載された発明では、打抜・成形、検査、収容を同一の装置で連続的に行うことができる。このため、電子部品の搬送に伴うリードの曲り等を防止することができる。この際、検査部は、電子部品の外形を認識する外形認識光学部と、この外形認識光学部において認識された電子部品の外形に基づいて電子部品を検査する形状認識光学部とを備えているので、電子部品の姿勢にかかわらず高精度の測定を行うことができる。
【0016】
請求項3に記載された発明では、打抜・成形、検査、収容を同一の装置で連続的に行うことができる。このため、電子部品の搬送に伴うリードの曲り等を防止することができる。この際、空トレイ及び良品トレイとを積層して保持しているので、設置床面積を最小限とすることができる。また、空トレイ保持部と良品トレイ保持部との間にトレイステージを出し入れし、移載機構部側においてトレイ内に電子部品を収容するようにしているので、空トレイ保持部と良品トレイ保持部との間を狭くすることができ、トレイ交換時間を短縮することができる。
請求項4に記載された発明では、請求項1乃至3に記載された発明において、打抜・成形部は、金型にテープを所定の張力で供給するようにしているので、テープを一定のテンションを保つことができ、打抜精度を高めることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施の形態に係る半導体打抜検査装置10を示す斜視図であり、図2〜図11は半導体打抜検査装置の各部分を示す図である。また、図12及び図13は第1トレイ交換機構100の動作を説明する図である。なお、図1中矢印XYZは互いに直交する三方向を示しており、特に矢印XYは水平方向、矢印Zは鉛直方向を示している。
【0018】
半導体打抜検査装置10は、リールRに捲回されたTABテープTに保持されたBGA(ボールグリッドアレイ)やTCP(テープキャリアパッケージ)等の半導体部品Wを打抜き、成形した後、部品形状を測定して良品と不良品とに選別してトレイQ,Q′に収納する装置である。
【0019】
半導体打抜検査装置10は、TABテープTに保持された半導体部品Wを供給する部品供給部20と、この部品供給部20により供給されたTABテープTを後述する打抜成形部40に送るテープ送り機構30と、TABテープTから半導体部品Wを打抜き、成形する打抜成形部40と、この打抜成形部で打抜かれ成形された半導体部品Wを後述する部品収容部80に向けて移載する移載機構50と、この移載機構50により移載されている半導体部品Wの外形を光学的に認識する外形認識光学部60と、この外形認識光学部60によって得られた半導体部品Wの状態に基づいて半導体部品Wのリードの曲り等の検査を行う形状認識光学部70と、半導体部品Wを良品・不良品とに選別してトレイQに収容する部品収容部80と、これら各機構を連携制御する制御部200とを備えている。なお、図1中11は架台を示している。
【0020】
部品供給部20は、図2に示すようにTAB(Tape AutomatedBonding)テープTとこのTABテープTを保護するためのスペーサテープSとが重ねられて捲回されたリールRを取り付ける取付軸21と、TABテープTを案内するガイド22と、半導体部品Wが打抜かれた後のテープ打抜カスを回収するテープ打抜カス回収箱23と、スペーサテープSを巻き取るリールR′を取り付ける巻取軸24と、取付軸21及び巻取軸24を駆動するトルクモータ25と、取付軸21近傍に設けられリールRに捲回されたTABテープTの量から部品残量を検出する部品残量検出センサ26と、巻取軸24近傍に設けられリールR′に捲回されたスペーサテープSの量からスペーサ巻取量を検出するスペーサ巻取量検出センサ27とを備えている。
【0021】
トルクモータ25はTABテープTのたるみを取る方向に取付軸21を回転駆動するとともに、スペーサテープSを巻き取る方向に巻取軸24を回転駆動する。
【0022】
リールRは複数種類のTABテープTの幅(本装置では、例えば35mm、48mm、70mm幅のTABテープに対応している)に対応可能なものを用いており、リールRの幅によってはスペーサ28を用いる。
【0023】
図3に示すようにテープ送り機構30は、上述したガイド22の上方に配置された第1搬送機構31と、この第1搬送機構31に対して後述する打抜・成形部40を挟んで配置された第2搬送機構32と、この第2搬送機構に隣接配置されたカッタ機構33とを備えている。
【0024】
第1搬送機構31は、支持部材31aと、この支持部材31aに支持された第1のスプロケットホイール31bと、この第1のスプロケットホイール31bに取り付けられたクラッチブレーキ31cとを備えている。支持部材31aには揺動部材31dが揺動自在に取り付けられており、この揺動部材31dの先端側には搬送ローラ31eが取り付けられている。さらに揺動部材31dは偏心ピン31fにて位置決めされており、偏心ピン31fは搬送高さ切替レバー31gによって位置決めされている。すなわち、搬送高さ切替レバー31gを切り替えることによって搬送ローラ31eの高さ位置を定めることができる。
【0025】
第1のスプロケットホイール31bには各幅のTABテープTのパーホレーション穴に合う歯部が設けられている。
第2搬送機構32は、支持部材32aと、この支持部材32aに支持された第2のスプロケットホイール32bと、この第2のスプロケットホイール32bに取り付けられたステッピングモータ32cとを備えている。支持部材32aには揺動部材32dが揺動自在に取り付けられており、この揺動部材32dの先端側には搬送ローラ32eが取り付けられている。さらに揺動部材32dは偏心ピン32fにて位置決めされており、偏心ピン32fは搬送高さ切替レバー32gによって位置決めされている。すなわち、搬送高さ切替レバー32gを切り替えることによって搬送ローラ32eの高さ位置を定めることができる。
【0026】
第2のスプロケットホイール32bには各幅のTABテープTのパーホレーション穴に合う歯部が設けられている。
搬送ローラ31e及び搬送ローラ32eには、TABテープTに取り付けられている半導体部品Tとの干渉を防止するためにTABテープの幅35mm、48mm、70mmに応じた段状の逃げ溝が設けてられている。
【0027】
カッタ機構33は、支持部材33aと、TABテープTを短冊状に切断するカッタ33bと、テンションリール33cと、トルクモータ33dとを備えている。
【0028】
テンションリール33cは、バネとゴムローラから構成され、ゴムローラに取り付けられたレバーを倒すことにより、その間にTABテープTを挟み込むように構成されている。
【0029】
打抜・成形部40は図4の(a),(b)に示すように、架台11上に配置されたテーブル41を備えている。テーブル41上には下金型42が配置されており、その上方には上金型43が配置されている。上金型43は、打抜・成型用アクチュエータ44により上下方向に往復動する。また、テーブル41上には下金型42を図4の(a)中矢印Y方向に沿って往復動させる移動機構45が設けられている。
【0030】
また、図4の(a)中43aは搬送ローラ31e,32eを押し下げるテープテンション解除レバー、43bはテープテンション解除レバー43aにより搬送ローラ31e,32eを押し下げるタイミングを切り替える解除タイミング切替機構を示している。
【0031】
また、図4の(a)中43cは、装置の長期稼働停止など打抜・成型用アクチュエータ33の供給エアを遮断するときに使用し、上金型43が下降することを防止する上型保持機構を示している。
【0032】
図4の(b)は、センサ部46を示している。センサ部46は、センサ用アクチュエータ47を備えており、このセンサ用アクチュエータ47によってIC有無検出センサ48及びテープずれ検出センサ49を図4の(b)中矢印X方向に沿って往復動させる。テープずれ検出センサ49はTABテープTのパーホレーション穴を検出して、そのずれが許容値内か否か制御部200で判断する。また、IC有無検出センサ48では、製品の有無を検知する。
【0033】
図5は移載機構50を示している。移載機構50は、打抜・成形部40で打抜・成形された半導体部品Wをピックアップし、外形認識光学部60の上を一定速度で移動し、形状認識光学部70で停止し、測定終了後その結果をふまえて、トレイステージ80上のトレイに半導体部品Wを移載するユニットである。
【0034】
移載機構50は、図5中矢印X方向に沿って延設されたガイド51と、このガイド51に沿って後述する上下用アクチュエータ53を往復動させる左右移動用アクチュエータ52と、この左右移動用アクチュエータ52に支持され後述する半導体吸着ノズル54を上下動させる上下用アクチュエータ53と、この上下用アクチュエータ53によって上下動される半導体吸着ノズル54と、半導体吸着ノズル54を上方に逃がすことで過大な力が半導体部品Wにかからないようにする衝撃吸収機構55と、保持部56と、半導体吸着ノズル54に吸着力を発生させる吸着用真空発生器57と、回転用アクチュエータ58とを備えている。なお、図5中54aは拡散板、54bは半導体吸着ノズル交換ネジを示している。
【0035】
図6は外形認識光学部60を示している。外形認識光学部60は、移載機構50で上方を移動する半導体部品Wの外形を、ラインセンサカメラによってその映像を取り込み半導体部品Wの外形を検査するユニットである。
【0036】
外形認識光学部60は、ラインセンサカメラ61と、上下調整機構62と、上下回転を調整できるブラケット63と、このブラケット63に支持されたファイバ照明64とを備えている。
【0037】
図7は形状認識光学部70を示している。形状認識光学部70は、外形認識光学部60の測定結果から、移載機構50で上方に停止した半導体部品Wの形状をXYテーブルに取り付けたレーザセンサで測定するユニットである。
【0038】
形状認識光学部70は、Y軸駆動用アクチュエータ71と、X軸駆動用アクチュエータ72と、XYテーブル73と、このXYテーブル73上に設けられた上下調整機構74と、この上下調整機構74により上下動されるレーザセンサ75とを備えている。
【0039】
部品収容部80は、トレイステージ90と、第1トレイ交換機構100、第2トレイ交換機構110とから構成されている。
図8はトレイステージ90を示している。トレイステージ90は、第1トレイ交換機構100、もしくは、第2トレイ交換機構110と連動して、良品用のトレイQを自動的に交換し、移載機構50のX軸と本ユニットのY軸を移動させることにより、半導体部品Wをトレイに挿入し、外形認識光学部60と形状認識光学部70の測定結果から不良品を挿入するトレイを保持できるユニットである。
【0040】
トレイステージ90は、良品用のトレイQ及び不良品用のトレイQ′を保持するステージ91と、このステージ91を図8中矢印Y方向に往復動させて位置決めする位置決め機構92と、良品用のトレイQを脱着自在に保持する保持機構93を備えている。また、ステージ91には、良品用のトレイQを保持する保持部91aと、不良品用のトレイQ′を保持する保持部91bと、トレイQの有無を検知するセンサ91cと、後述するようにトレイQの位置を規制するストッパ91dと、トレイQに係合する爪91eとを備えている。
【0041】
図9は第1トレイ交換機構100を示している。第1トレイ交換機構100は、トレイステージ90と連動することで、トレイ交換を行い、所定の数の半導体部品Wを挿入したトレイを段積みのまま収納するユニットである。
【0042】
第1トレイ交換機構100は、空のトレイQを段積みのまま収納する第1トレイ収納部101と、この第1トレイ収納部101に収納されている空のトレイQを上下動させるトレイ上下用アクチュエータ102と、半導体部品Wが挿入されたトレイQを段積みのまま収納する第2トレイ収納部103と、トレイ収納機構104と、第1トレイ収納部上下用アクチュエータ102と、第2トレイ収納部上下用アクチュエータ106とを備えている。トレイ収納機構104は、トレイQの側面に係合するトレイ収納爪104aと、このトレイ収納爪104aを駆動するトレイ収納爪駆動機構104bとを備えている。
【0043】
第1収納部用ストッパ及び第2収納部用ストッパは、装置エア遮断時など第2トレイ収納部103が落下するのを防止する。
また、図10の(a)中109aはトレイQをX方向に沿って押圧するX方向位置決めシリンダ、109bはトレイQをY方向に沿って押圧するY方向位置決めシリンダを示している。
【0044】
図11の(a)は第2トレイ交換機構110を示している。第2トレイ交換機構110で使用するトレイUは、対象トレイ変更治具をテーブルに取り付けることにより、トレイ交換を自動的に行う。
【0045】
第2トレイ交換機構110で使用するトレイQは、手前に不良品トレイ、奥に良品トレイを配置する。良品用トレイ位置決めアクチュエータ(Y軸)92は共通で使用する。
【0046】
第2トレイ交換機構110は、トレイ収納マガジン115に収められたトレイUを順次引き出し、トレイステージ91にセットし、所定の数の半導体部品Wを挿入したトレイをトレイ収納マガジン115の元の位置に収納するユニットである。
【0047】
架台11上に取り付けられたトレイ上下用アクチュエータ111と、このトレイ上下用アクチュエータ111に取り付けられ図11の(a)中矢印X方向に作動するトレイ引出・収納用アクチュエータ112と、このトレイ引出・収納用アクチュエータ112によって往復動するトレイ引出ピン113と、このトレイ引出ピン113に近接配置されトレイの有無を検出するトレイ有無検出用センサ114とを備えている。
【0048】
また、トレイ引出ピン113は図11の(b)に示すようにトレイ収納マガジン115に収納されたトレイUの孔部Uaに係合する。
このように構成された半導体打抜検査装置10では、次のようにしてリールRに捲回されたTABテープTから半導体部品Wを打抜き、検査し、トレイに収容する。最初に、リールRを部品供給部20の取付軸21に、空のリールR′を巻取軸24に取り付ける。なお、このとき、リールRの幅に応じてスペーサ28を取り付ける。
【0049】
そして、リールRからTABテープTを巻き出し、ガイド22を通して後述するようにテープ送り機構30にセッ卜する。一方、スペーサテープSをリールR′に取り付ける。
【0050】
取付軸21はトルクモータ25によってTABテープTのたるみを取る方向に回転させられる。すなわち、リールRに捲回されたTABテープTの残量によって、TABテープTのテンションが変化する。このため、テンションを一定にするため、部品残量検出センサ26でテープ残量を検出し、図示しないトルク調整コントローラで自動的にトルクモータ25への出力を調整する。
【0051】
一方、巻取軸24はトルクモータ25によってスペーサテープSを巻き取る方向に回転させられる。すなわち、スペーサ巻取量検出センサ27でテープ量を検出し、スペーサテープSが弛んでいるときに回転させ、スペーサテープSの弛みがなくなると回転を停止させるように図示しない制御部で制御し、リールR′のトルク変動が発生しないようにする。
【0052】
テープ打抜カス回収箱23は、後述するように打抜・成形部40で打ち抜かれ、切断されたTABテープTを収納する。なお、満杯になった時点で制御部200に信号を出力し、交換される。
【0053】
上述したように一定のテンションで送られたTABテープTは、テープ送り機構30においてそのパーフォレーション穴により第1のスプロケットホイール31bの歯部に噛み合わされる。
【0054】
そして、TABテープTを搬送ローラ31eの上を通して、同じように、第2のスプロケットホイール32bの歯部にTABテープTを噛み合わせ、さらにテンションリール33cに挟み込む。そして、トルクモータ33dを駆動することで、TABテープTと第1のスプロケットホイール31b及び第2のスプロケットホイール32bとのガタを一定方向に吸収する。これにより、位置決めを精度良く行うことができる。
【0055】
次に、ステッピングモータ32cを駆動し、TABテープTを任意の量で送る。そして、TABテープTが送られると、クラッチブレーキ31cで第1のスプロケットホイール31bの回転位置は固定される。また、第2のスプロケットホイール32bはステッピングモータ32cでその回転位置が固定される。
【0056】
一方、センサ用アクチュエータ47で、IC有無検出センサ48、テープずれ検出センサ49をTABテープTの位置に移動する。そして、テープずれ検出センサ49でTABテープTのパーホレーション穴を検出して、そのずれが許容値内か否かを制御部200で判断する。
【0057】
同時に、IC有無検出センサ48で、半導体部品Wの有無を検知する。半導体部品Wが検出されれば、センサ用アクチュエータ47で打抜待避位置に移動する。また、半導体部品Wが検出されなければ、テープ送り機構30で任意の量TABテープTを送り、半導体部品Wが検出されるまで同様の作動を繰り返す。
【0058】
半導体部品Wが検出されると、打抜・成型用アクチュエータ44で上金型43を下降させる。位置決めを行う上金型43の位置決めピン(不図示)がTABテープTのパーホレーション穴に挿入されるタイミングと同時にテープテンション解除レバー43aが、搬送ローラ31e,32eを押し下げることで、TABテープTに弛みを生じさせ、TABテープTのテンションを解放する。なお、予め解除タイミング切替機構43bで、TABテープTのテープ幅に応じてテープテンション解除レバー43aを切り換えておく。
【0059】
TABテープTは上金型43に設けられた位置決めピンで、位置決めが行われる。なお、打抜精度は位置決めピンで保証される。そして、上金型43及び下金型42で半導体部品Wが打抜・成形される。
【0060】
この後、打抜・成型用アクチュエータ44で上金型43で上昇させ、同時にテープテンション解除レバー43aが離れ、TABテープTに再度テンションがかかり搬送高さに戻る。
【0061】
このとき、下金型42からTABテープTの抜きカスが離れる。半導体部品Tが打抜かれた後のTABテープTはカッタ33bで適当な長さの短冊に切断し、テープ打抜カス回収箱27に収納する。
【0062】
下型移動用アクチュエータ44で下金型42を移載機構45が半導体部品Wをピックアップする位置まで移動させる。半導体部品Wのピックアップ終了後、移動機構45で下金型42を上金型43の下方まで戻す。
【0063】
テープ送り機構30では、同様の動作を繰り返して、TABテープTを任意の送り量で送り、打抜・成形部40で半導体部品Wを打抜き・成形動作を繰り返す。なお、TABテープTの送り動作とIC有無検出は、下金型42の移動とは独立に行われ、半導体部品Wがある場合に打抜き動作を繰り返す。
【0064】
移載機構50では、半導体吸着ノズル51を下金型42の上方に移動する。半導体吸着ノズル54を上下用アクチュエータ53で下降させる。このとき、衝撃吸収機構55で半導体吸着ノズル54が上方に逃げ、過大な力が半導体部品Wにかからない。吸着用真空発生器57で半導体部品Wを吸着し、下金型42の吸着を解除する。そして、上下用アクチュエータ53で半導体部品Wを上昇させる。
【0065】
次に半導体部品Wの外形の検査を行う。なお、予めブラケット63を調整することでファイバ照明64が半導体吸着ノズル54の拡散板54aに照射され、映像がムラ無く取り込まれるようにする。また、上下調整機構62でラインセンサカメラ61の焦点が半導体部品Wの搬送高さになるように調整する。
【0066】
左右移動用アクチュエータ52で外形認識光学部60の上方を一定速度で移動させる。上方を移動する半導体部品Wの移動量によって、ラインセンサカメラ61の画像を取り込む。このとき、その移動量とラインセンサカメラ61の画像取り込みの同期を取り、半導体部品W全体の映像を得る。
【0067】
移動量を検出する機構が左右移動用アクチュエータ52と制御部200にあり、その結果から外形認識光学部60のラインセンサカメラの画像を取り込み、半導体部品Wの全体像を作成する。なお、軸移動の速度が、ラインセンサカメラ61の受光素子の取り込み時間のバラツキが、所定の画像精度内におさまるようにする。
【0068】
得られた半導体部品Wの画像に基づいて制御部200で半導体部品Wの外形・中心・回転量・欠陥を判断し、形状認識光学部70での停止位置、トレイQに挿入するときの半導体部品Wの良否を判断する。なお、測定結果はモニタ上に表示し、また制御部200に記憶することで、装置付属のフロッピーディスク等の媒体に書き込む。
【0069】
次に半導体部品Wの形状を測定する。なお、予め上下調整機構74でレーザセンサ75の焦点を半導体部品Wの搬送高さに調整する。
上述した外形認識光学部60における半導体部品Wの測定結果に基づいて形状認識光学部70の上方で停止する。なお、形状認識に使用しているレーザセンサ75の繰り返し精度に影響を及ぼさない停止精度を確保している。
【0070】
半導体部品Wのリードや、パッケージの反りをXYテーブル73をY軸駆動用アクチュエータ71、X軸駆動用アクチュエータ72で移動させてレーザセンサ75により測定する。なお、このときのXYテーブル73の移動量は制御部200で検出し、レーザセンサ74のデータをサンプリングするタイミングと同期させる。このように半導体部品Wの移動軸と別にXYテーブル73を用い、X軸方向の慣性とY軸方向の慣性がほぼ同じXYテーブル73を使用することで、高速・高精度に測定を行うことができる。
【0071】
このようにレーザセンサ74による測定結果から、制御部200で半導体部品Wのリードの高さ方向のバラツキ、曲がり、パッケージの反りなどを測定し、トレイQに挿入するときの半導体部品Wの良否を判断する。なお、この測定結果をモニタ上に表示し、制御部200に記憶することで、装置付属のフロッピーディスク等の記憶媒体に書き込む。
【0072】
外形認識光学部60と形状認識光学部70の測定結果に基づいて制御部200において半導体部品Wの良否を判定する。そして、良品の場合にはトレイステージ80上の良品用のトレイQ、不良品の場合には不良品用のトレイQの所定の位置に位置決めする。
【0073】
所定の位置に位置決めされた時点で、上下用アクチュエータ53で半導体部品Wを所定の位置まで下降させる。半導体部品Wを吸着している吸着用真空発生器57の真空を停止し、半導体吸着ノズル54からの半導体部品Wの離れを良くするために、エアを吹き出す。
【0074】
このようにして半導体部品Wを良品用のトレイQ或いは不良品用のトレイQに挿入した後、エア吹き出しを停止し、上下用アクチュエータ53で上方に移動し、上述したように下金型42上の半導体部品Wを吸着するように移動する。
【0075】
良品用のトレイQに半導体部品Wが所定の数挿入されると、後述するようにして第1トレイ交換機構100により自動的にトレイQが交換される。また、不良品用のトレイQに半導体部品Wが所定の数挿入されると、表示器(不図示)に表示される。なお、作業者は空の不良品用トレイQを板バネ(不図示)でXY方向から固定してセットする。
【0076】
ここで、第1トレイ交換機構100における良品用のトレイQの交換動作について説明する。なお、予め空のトレイQを第1トレイ収納部101に複数個セットする。
【0077】
図12の(a)に示すようにステージ91が第1トレイ収納部101と第2トレイ収納部103との間に移動し、トレイ上下用アクチュエータ102により空のトレイQを上昇させる。センサ91cで、所定の位置まで空のトレイQが上昇したことを確認し、トレイ上下用アクチュエータ102を停止する。そして、図12の(b)に示すように保持機構93によりトレイQを保持する。
【0078】
次に図12の(c)に示すようにステージ91横のX方向位置決めシリンダ109aで、ストッパ91dに付き当てて、X軸方向の位置決めを行う。さらに図12の(d)に示すようにX軸方向の位置決めを行ったまま、ステージ91のY軸方向位置決めシリンダ109bによって、爪91eがトレイQに係合し、トレイQのXY方向の位置を確実に行う。
【0079】
図12の(e)に示すようにステージ91を移動させるために、トレイ上下用アクチュエータ102を所定の高さだけ下降する。次に図12の(f)に示すようにステージ91は移載機構50側に移動し、半導体部品Wの収納が行われる。
【0080】
図13の(a)に示すように所定の数の半導体部品WがトレイQに詰められると、第1トレイ収納部101と第2トレイ収納部103との間にステージ91が移動する。図13の(b)に示すようにトレイ上下用アクチュエータ102が上昇し、第1トレイ収納部101内の一番上のトレイQがステージ91上のトレイQに接触する。
【0081】
図13の(c)に示すようにトレイ収納機構104が下降する。第2トレイ収納部103内の一番下のトレイQが、ステージ91上のトレイQの上に載る。図13の(d)に示すようにトレイ収納爪104aをトレイ収納爪駆動機構104bで開く。
【0082】
図13の(e)に示すようにステージ91の保持機構93を解放するとともに、爪91eのトレイQとの係合が解除されるようにステージ91を移動する。
図13の(f)に示すようにトレイ上下用アクチュエータ102により空のトレイQをトレイQ1枚分の高さだけ上昇させる。これによりトレイ収納爪104aが半導体部品Wが収容されたトレイQの位置に位置決めされる。
【0083】
図13の(g)に示すようにトレイ収納爪104aをトレイ収納爪駆動機構104bを駆動して閉じ、新たに半導体部品Wが収納されたトレイQを把持する。図13の(h)に示すように第2トレイ収納部上下用アクチュエータ106によってトレイ収納爪104aを上昇させることにより、新たに半導体部品Wが収納されたトレイQは第2トレイ収納部103内に収納される。
【0084】
図13の(i)に示すように空のトレイQを上昇させる。
このようにしてトレイQを交換していき、半導体部品Wが挿入されたトレイQを第2トレイ収納部103に段積みしていくとともに、第1トレイ収納部101内の空のトレイQをステージ91に取り付ける。
【0085】
第1トレイ収納部101内に空のトレイQが無くなったとき、第2トレイ収納部103内にトレイQが満杯になったとき及び任意の信号を受けたときには、トレイ収納爪104aで製品トレイを保持したまま、第1収納部上下用アクチュエータ105と第2収納部上下用アクチュエータ106で第2トレイ収納部103をメンテナンス位置まで上昇させる。
【0086】
なお、通常のトレイ交換は第2収納部上下用アクチュエータ106のみ動作させ短いストロークで行っている。
第1収納部用ストッパ107及び第2収納部用ストッパ108は、装置エア遮断時など第2トレイ収納部103が落下するのを防止する。
【0087】
一方、半導体部品Wについて熱処理を行う場合にはアルミトレイに収納する必要がある。この場合には、第2トレイ交換機構110を用いる。第2トレイ交換機構110で使用するトレイUは、対象トレイ変更治具(不図示)をテーブルに取り付けることにより、トレイ交換を自動的に行う。
【0088】
ここで、第2トレイ交換機構110におけるトレイの交換動作について説明する。すなわち、トレイ上下用アクチュエータ111で所定の位置に移動する。トレイ引出・収納用アクチュエータ112でトレイ引出ピン113をトレイUとトレイUとの間に挿入する。トレイ上下用アクチュエータ111でトレイ引出ピン113に挿入する。トレイ有無検出用センサ114でトレイUの有無を検知し、トレイUが無い場合は動作を繰り返す。トレイ引出・収納用アクチュエータ112でトレイUを引き出す。
【0089】
トレイ上下用アクチュエータ111でトレイステージ90にセットする高さまで下降させる。トレイ上下用アクチュエータ111でトレイステージ90にセットする。
【0090】
良品用トレイ位置決めアクチュエータ116でトレイUを固定し、トレイステージ90のY軸方向のクランパでトレイUを把持する。
良品用トレイ位置決めアクチュエータ116を解放し、トレイ上下用アクチュエータ111で下降することで、トレイ引出ピン113をトレイUからはずす。
【0091】
トレイ引出・収納用アクチュエータ112でトレイ引出ピン113を戻して、ステージ91から回避させる。
所定の数の半導体部品Wを挿入したトレイUを、同じように取り出し、そのトレイUが挿入されていたトレイ収納マガジン115の所定の位置に戻す。
【0092】
動作を繰り返して、トレイ収納マガジン115に挿入されているトレイUに半導体部品Wを挿入していく。
上述したように本実施の形態に係る半導体打抜成形装置10では、打抜・成形、検査、収容を同一の装置で連続的に行うことができる。このため、電子部品の搬送に伴うリードの曲り等を防止することができる。
【0093】
また、部品供給部20は、TABテープTの残量によってリールRの回転トルクを自動的に調整するので、TABテープTを一定のテンションを保つことができ、打抜精度を高めることができる。
【0094】
さらに、打抜・成形部40は、上金型43及び下金型42にTABテープTを所定の張力で供給するようにしているので、TABテープTを一定のテンションを保つことができ、打抜精度を高めることができる。
【0095】
一方、半導体部品Wの外形を認識する外形認識光学部60と、この外形認識光学部60において認識された半導体部品Wの外形に基づいて半導体部品Wを検査する形状認識光学部70とを備えているので、半導体部品Wの姿勢にかかわらず高精度の測定を行うことができる。
【0096】
一方、第1トレイ交換機構100では、空トレイQ及び良品トレイQとを積層して保持しているので、設置床面積を最小限とすることができる。また、第1トレイ収納部101と第2トレイ収納部103との間にステージ91を出し入れし、移載機構部50側においてトレイQ内に半導体部品Wを収容するようにしているので、第1トレイ収納部101と第2トレイ収納部103との間を狭くすることができ、トレイ交換時間を短縮することができる。
なお、本発明は実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【0097】
【発明の効果】
請求項1に記載された発明によれば、打抜・成形、検査、収容を同一の装置で連続的に行うことができる。このため、電子部品の搬送に伴うリードの曲り等を防止することができる。この際、テープを一定のテンションを保つことができ、打抜精度を高めることができる。
【0099】
請求項2に記載された発明によれば、打抜・成形、検査、収容を同一の装置で連続的に行うことができる。このため、電子部品の搬送に伴うリードの曲り等を防止することができる。この際、電子部品の姿勢にかかわらず高精度の測定を行うことができる。
請求項3に記載された発明によれば、打抜・成形、検査、収容を同一の装置で連続的に行うことができる。このため、電子部品の搬送に伴うリードの曲り等を防止することができる。この際、部品収容部の設置床面積を最小限とすることができるとともに、トレイ交換時間を短縮することができる。
請求項4に記載された発明によれば、テープを一定のテンションを保つことができ、打抜精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る半導体打抜検査装置を示す斜視図。
【図2】同半導体打抜装置に組込まれた部品供給部を示す斜視図。
【図3】同半導体打抜装置に組込まれたテープ送り機構を示す斜視図。
【図4】同半導体打抜装置に組込まれた打抜成形部を示す斜視図。
【図5】同半導体打抜装置に組込まれた移載機構を示す斜視図。
【図6】同半導体打抜装置に組込まれた外径認識光学部を示す斜視図。
【図7】同半導体打抜装置に組込まれた形状認識光学部を示す斜視図。
【図8】同半導体打抜装置に組込まれたトレイステージを示す斜視図。
【図9】同半導体打抜装置に組込まれた第1トレイ交換機構を示す斜視図。
【図10】同第1トレイ交換機構の要部を示す斜視図。
【図11】同半導体打抜装置に組込まれた第2トレイ交換機構を示す斜視図。
【図12】第1トレイ交換機構におけるトレイ交換動作を示す図。
【図13】第1トレイ交換機構におけるトレイ交換動作を示す図。
【符号の説明】
10…半導体打抜検査装置
11…架台
20…部品供給部
30…テープ送り機構
40…打抜成形部
50…移載機構
60…外形認識光学部
70…形状認識光学部
80…部品収容部
90…トレイステージ
100…第1トレイ交換機構
110…第2トレイ交換機構
200…制御部
Claims (4)
- テープに保持された電子部品を打抜、検査し、トレイに収納する電子部品打抜検査装置において、
リールに捲回された前記テープを供給する部品供給部と、
この部品供給部により供給された前記テープから前記電子部品を打抜いて成形する打抜・成形部と、
この打抜・成形部により打抜き成形された前記電子部品を検査する検査部と、
この検査部による結果に基づいて良品トレイと不良品トレイとに選別して収容する部品収容部とを備え、
前記部品供給部は、リールに捲回された前記テープを供給するとともに、前記テープの残量によって前記リールの回転トルクを自動的に調整することを特徴とする電子部品打抜検査装置。 - テープに保持された電子部品を打抜、検査し、トレイに収納する電子部品打抜検査装置において、
リールに捲回された前記テープを供給する部品供給部と、
この部品供給部により供給された前記テープから前記電子部品を打抜いて成形する打抜・成形部と、
この打抜・成形部により打抜き成形された前記電子部品を検査する検査部と、
この検査部による結果に基づいて良品トレイと不良品トレイとに選別して収容する部品収容部とを備え、
前記検査部は、前記電子部品の外形を認識する外形認識光学部と、
この外形認識光学部において認識された前記電子部品の外形に基づいて前記電子部品を検査する形状認識光学部とを備えていることを特徴とする電子部品打抜検査装置。 - テープに保持された電子部品を打抜、検査し、トレイに収納する電子部品打抜検査装置において、
リールに捲回された前記テープを供給する部品供給部と、
この部品供給部により供給された前記テープから前記電子部品を打抜いて成形する打抜・成形部と、
この打抜・成形部により打抜き成形された前記電子部品を検査する検査部と、
この検査部による結果に基づいて良品トレイと不良品トレイとに選別して収容する部品収容部とを備え、
前記部品収容部は、
前記検査部により検査された前記電子部品を所定の第1方向に沿って搬送する移載機構部と、
前記第1方向に交差する所定の第2方向に沿ってトレイを位置決めするトレイステージ機構部と、
空のトレイを積層して保持する空トレイ保持部と、
この空トレイ保持部に対して前記トレイの積層方向に沿って離間して位置し、前記電子部品のうち良品が収容されたトレイを積層して保持する良品トレイ保持部と、
その一端が前記空トレイ保持部と前記良品トレイ保持部との間に位置し、他端が前記移載機構部に対応する位置に配置されたガイド部と、
このガイド部に沿って良品用のトレイと不良品用のトレイを位置決めするトレイ移動機構とを備えていることを特徴とする電子部品打抜検査装置。 - 前記打抜・成形部は、前記テープから前記電子部品を打抜く金型と、
この金型に前記テープを所定の張力で供給するテープ送り機構とを備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電子部品打抜検査装置。
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