CN109298603A - 一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，包括：解包机械手、暂存装置、翻转检查装置以及传输装置，传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手的作业区，解包机械手夹取盖体并将其放置在暂存装置上，传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与翻转检查装置相对接的作业区，翻转检查装置夹紧已解包的曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对已解包的曝光光罩进行多角度的清洁。实施本发明的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，将曝光光罩的解包、传输及清洁集成为一体，节省空间，满足智能化制造的需求；提高产能，提高产品的良率。

Description

一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统
技术领域
本发明涉及面板制造领域，尤其涉及一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统。
背景技术
现有技术中，曝光光罩的解包和清洁需要采用人工的方式分别进行作业，人工作业的方式存在损伤光罩、影响产能等一系列的问题；此外，由于需要在多个不同的场地进行解包、传输以及清洁的作业，占用空间较大，不利于面板制造的集约化发展。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，将曝光光罩的解包、传输及清洁集成为一体，节省空间，满足智能化制造的需求；提高产能，提高产品的良率。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，包括：用以兼容夹取曝光光罩及盖设在其上盖体的解包机械手，解包机械手可自适应位置调整；设在解包机械手邻侧的用以存放盖体的暂存装置；对夹取的曝光光罩进行不同角度的翻转以供多角度清洁的翻转检查装置；以及分别与解包机械手的位置和翻转检查装置的位置相适配以供流水作业的传输装置，其中：传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手的作业区，解包机械手夹取盖体并将其放置在暂存装置上，传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与翻转检查装置相对接的作业区，翻转检查装置夹紧曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对曝光光罩进行多角度的清洁。
其中，传输装置包括：导轨；装设在导轨上且可沿导轨往复移动的移动架；以及设在移动架上且可相对于移动架进行升降的用以承载曝光光罩的载台，其中：移动架连同载台沿导轨移动将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手的作业区。
其中，翻转检查装置包括：支撑架；设置在支撑架上的翻转组件；
连接在翻转组件上的载架，载架上设有卡爪组件，其中：卡爪组件包括：装设在载架上的滑台、设置在滑台上的卡爪以及连接在滑台上用以调整滑台相对位置的驱动模组，驱动模组改变载架上的滑台的相对位置，以使其上的卡爪能够夹取和紧固传输装置上的曝光光罩。
其中，翻转检查装置包括：支撑架；设置在支撑架上的翻转组件；连接在翻转组件上的载架，载架上设有用以夹取和紧固曝光光罩的卡爪组件，其中：卡爪组件包括：滑台、设置在滑台上的卡爪以及连接在滑台和卡爪之间的用以调整滑台上卡爪相对位置的驱动模组，其中:载架翻转至水平状态时，移动架连同载台沿导轨移动并将曝光光罩传输至载架的下方。
其中，载台相对于移动架上升，将载台上的曝光光罩推送至靠近载架的位置，驱动模组改变载架上的滑台的相对位置，以使滑台上的卡爪夹取和紧固曝光光罩。
其中，卡爪夹取和紧固曝光光罩后，载台相对于移动架下降，并沿导轨由载架的下方移开，载架连同曝光光罩在翻转组件的带动下翻转。
其中，卡爪组件还包括：装设在滑台和/或驱动模组上的多个用以辅助卡爪夹取曝光光罩的传感器。
其中，传感器包括：压力传感器、夹紧传感器以及上下到位传感器中的一种或多种。
其中，通过PLC电机控制移动架沿导轨往复移动。
实施本发明所提供的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，具有如下有益效果：传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手的作业区，解包机械手夹取盖体并将其放置在暂存装置上，传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与翻转检查装置相对接的作业区，翻转检查装置夹紧曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对曝光光罩进行多角度的清洁，将曝光光罩的解包、传输及清洁集成为一体，节省空间，满足智能化制造的需求；提高产能，提高产品的良率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例曝光光罩的一体化解包及清洁系统的结构示意图。
图2是本发明实施例曝光光罩的一体化解包及清洁系统的传输装置的结构示意图。
图3是本发明实施例曝光光罩的一体化解包及清洁系统的翻转检查装置的结构示意图。
图4是本发明实施例曝光光罩的一体化解包及清洁系统的传感器安装位置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-图4所示，为本发明曝光光罩的一体化解包及清洁系统的实施例一。
本实施例中的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，包括：
用以兼容夹取曝光光罩及盖设在其上盖体的解包机械手1，解包机械手1可自适应位置调整；
设在解包机械手1邻侧的用以存放盖体的暂存装置2；
对夹取的曝光光罩进行不同角度的翻转以供多角度清洁的翻转检查装置3；以及
分别与解包机械手1的位置和翻转检查装置3的位置相适配以供流水作业的传输装置4，其中：
传输装置4将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手1的作业区，解包机械手1夹取盖体并将其放置在暂存装置2上，传输装置4将已解包的曝光光罩继续传输至与翻转检查装置3相对接的作业区，翻转检查装置3夹紧曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对曝光光罩进行多角度的清洁。
具体实施时，解包机械手1的位置设在传输装置4导轨41的一侧，解包机械手1的作用是：对传输装置4在作业过程中其上传输的曝光光罩实施解包，解包作业包括但不限于夹取曝光光罩及盖设在其上盖体。解包机械手1能够灵活的实现自身转动、一定范围内移动等自适应位置调整作业。
暂存装置2的位置同样设在传输装置4导轨41的一侧，与解包机械手1设为相邻，暂存装置2为一支撑台结构，立方状。暂存装置2的作用是：当解包机械手1将传输装置4上传输的曝光光罩进行解包后，对解包的曝光光罩的盖体进行存放。解包机械手1、暂存装置2装设在传输装置4的邻侧，便于对系统中的各结构件进行集成，使节约体积。
传输装置4在本实施例中为一过渡台车，其包括：导轨41；装设在导轨41上且可沿导轨41往复移动的移动架42；以及设在移动架42上且可相对于移动架42进行升降的用以承载曝光光罩的载台43，其中：移动架42连同载台43沿导轨41移动将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手1的作业区。
具体实施时，通过PLC电机控制移动架42沿导轨41进行往复移动。通过设置导轨41，使移动架42能够达到与解包机械手1、暂存装置2以及翻转检查装置3的作业区，从而集成对曝光光罩的解包和清洁功能。
进一步的，载台43为一支撑台结构，立方状，其作用是：承载曝光光罩，为后续解包和清洁功能提供流水化作业平台。载台43可相对于移动架42进行升降的功能通过升降气缸实现，其作用是使载台43在升降后实现其上的曝光光罩能够对接翻转检查装置3。
翻转检查装置3包括：支撑架31；设置在支撑架31上的翻转组件32；连接在翻转组件32上的载架33，载架33上设有卡爪组件，其中：卡爪组件包括：装设在载架33上的滑台341、设置在滑台341上的卡爪342以及连接在卡爪342用以调整卡爪342相对位置的驱动模组343，驱动模组343改变滑台341上的卡爪342的相对位置，以使其上的卡爪342能够夹取和紧固传输装置4上的曝光光罩和/或盖体。
具体实施时，支撑架31为结构大小相同的两支撑结构，其装设在导轨41的两侧，如此设置使装设在导轨41上的移动架42连同载台43能够移至翻转检查装置3载架33的下方，将曝光光罩传输至与载架33设有卡爪组件相对接的区域。翻转组件32为设在支撑架31端部的翻转伺服电机，其可控制载架33能够绕一转轴进行360度的自由旋转。载架33为矩形框架结构，其长宽尺寸均大于曝光光罩的长宽尺寸，使在载架33上安装卡爪组件后能对曝光光罩和/盖体进行夹持。
进一步的，滑台341在本实施例中为两个相对而设的长杆结构，其分别对应设置在载架33的两相对长边上。卡爪342设为多个，其分别对称设置在两滑台341上，卡爪342能够沿滑台341的延伸方向移动以适应不同尺寸的曝光光罩和/或盖体的夹取。驱动模组343连接在卡爪342和滑台341之间，其作用是：改变两相对放置滑台341上卡爪342之间的距离。具体实施时，驱动模组343可以由PLC电机进行控制。
进一步的，卡爪组件还包括：装设在滑台341和/或驱动模组343上的多个用以辅助卡爪342夹取曝光光罩的传感器。例如：传感器包括：压力传感器、夹紧传感器53以及上下到位传感器52中的一种或多种，通过多个传感器的数据反馈，能够更为精确的控制多个卡爪342之间的相对位置，更为精准的夹取已解包的曝光光罩。
本实施例中的曝光光罩的一体化解包及清洁系统在具体实施时，移动架42连同载台43沿导轨41移动将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手1的作业区，解包机械手1将传输装置4上传输的曝光光罩进行解包后，对解包的曝光光罩的盖体存放在暂存装置2上。与此同时，翻转检查装置3的翻转组件32控制载架33翻转至水平状态时，传输装置4的移动架42连同载台43沿导轨41移动并将已解包的曝光光罩传输至载架33的下方。
紧接着，载台43相对于移动架42上升，将载台43上已解包的曝光光罩推送至靠近载架33的位置，驱动模组343连动改变滑台341上卡爪342之间的相对距离，以使滑台341上的卡爪342能够夹取和紧固已解包的曝光光罩。在此过程中，通过多个传感器的数据反馈，能够更为精确的控制多个卡爪342之间的相对位置，更为精准的夹取已解包的曝光光罩。
卡爪342夹取和紧固已解包的曝光光罩后，载台43相对于移动架42下降，并沿导轨41由载架33的下方移开，载架33连同已解包的曝光光罩在翻转组件32的带动下实施不同角度的翻转，可对曝光光罩进行不同角度的清洁。
实施本发明所提供的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，具有如下有益效果：
传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至解包机械手的作业区，解包机械手夹取盖体并将其放置在暂存装置上，传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与翻转检查装置相对接的作业区，翻转检查装置夹紧曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对曝光光罩进行多角度的清洁，将曝光光罩的解包、传输及清洁集成为一体，节省空间，满足智能化制造的需求；提高产能，提高产品的良率。

Claims (9)

1.一种曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，包括：
用以兼容夹取曝光光罩及盖设在其上盖体的解包机械手，所述解包机械手可自适应位置调整；
设在所述解包机械手邻侧的用以存放盖体的暂存装置；
对夹取的曝光光罩进行不同角度的翻转以供多角度清洁的翻转检查装置；以及
分别与所述解包机械手的位置和所述翻转检查装置的位置相适配以供流水作业的传输装置，其中：
所述传输装置将带有盖体的曝光光罩传输至所述解包机械手的作业区，所述解包机械手夹取盖体并将其放置在所述暂存装置上，所述传输装置将已解包的曝光光罩继续传输至与所述翻转检查装置相对接的作业区，所述翻转检查装置夹紧曝光光罩后进行不同角度的翻转，用以对曝光光罩进行多角度的清洁。
2.如权利要求1所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述传输装置包括：
导轨；
装设在所述导轨上且可沿所述导轨往复移动的移动架；以及
设在所述移动架上且可相对于所述移动架进行升降的用以承载曝光光罩的载台，其中：所述移动架连同所述载台沿所述导轨移动将带有盖体的曝光光罩传输至所述解包机械手的作业区。
3.如权利要求1所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述翻转检查装置包括：
支撑架；
设置在所述支撑架上的翻转组件；
连接在所述翻转组件上的载架，所述载架上设有卡爪组件，其中：所述卡爪组件包括：装设在所述载架上的滑台、设置在所述滑台上的卡爪以及连接在所述滑台上用以调整所述滑台相对位置的驱动模组，所述驱动模组改变所述载架上的所述滑台的相对位置，以使其上的卡爪能够夹取和紧固所述传输装置上的曝光光罩。
4.如权利要求2所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述翻转检查装置包括：
支撑架；
设置在所述支撑架上的翻转组件；
连接在所述翻转组件上的载架，所述载架上设有用以夹取和紧固曝光光罩的卡爪组件，其中：所述卡爪组件包括：滑台、设置在所述滑台上的卡爪以及连接在所述滑台和所述卡爪之间的用以调整所述滑台上所述卡爪相对位置的驱动模组，其中:
所述载架翻转至水平状态时，所述移动架连同所述载台沿所述导轨移动并将曝光光罩传输至所述载架的下方。
5.如权利要求4所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述载台相对于所述移动架上升，将所述载台上的曝光光罩推送至靠近所述载架的位置，所述驱动模组改变所述载架上的所述滑台的相对位置，以使所述滑台上的卡爪夹取和紧固曝光光罩。
6.如权利要求4所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述卡爪夹取和紧固曝光光罩后，所述载台相对于所述移动架下降，并沿所述导轨由所述载架的下方移开，所述载架连同曝光光罩在翻转组件的带动下翻转。
7.如权利要求3-6任一项所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述卡爪组件还包括：
装设在所述滑台和/或所述驱动模组上的多个用以辅助所述卡爪夹取曝光光罩的传感器。
8.如权利要求7所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，所述传感器包括：压力传感器、夹紧传感器以及上下到位传感器中的一种或多种。
9.如权利要求2所述的曝光光罩的一体化解包及清洁系统，其特征在于，通过PLC电机控制所述移动架沿所述导轨往复移动。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111330877A (zh) * 2020-03-09 2020-06-26 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201503858U (zh) * 2009-09-25 2010-06-09 北京京东方光电科技有限公司 掩模板更换装置
CN202649668U (zh) * 2012-06-19 2013-01-02 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板自动清洁系统及曝光设备
CN203838474U (zh) * 2014-04-15 2014-09-17 上海微电子装备有限公司 一种版盒加载卸载装置
CN204667040U (zh) * 2015-05-21 2015-09-23 上海和辉光电有限公司 光罩异物检测设备
CN106950797A (zh) * 2017-05-22 2017-07-14 深圳市华星光电技术有限公司 光罩卡夹清洁装置及曝光机
CN108124469A (zh) * 2017-05-17 2018-06-05 深圳市柔宇科技有限公司 更换装置
CN208037500U (zh) * 2017-12-29 2018-11-02 深圳柔宇显示技术有限公司 过渡台车和光罩检查机

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201503858U (zh) * 2009-09-25 2010-06-09 北京京东方光电科技有限公司 掩模板更换装置
CN202649668U (zh) * 2012-06-19 2013-01-02 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板自动清洁系统及曝光设备
CN203838474U (zh) * 2014-04-15 2014-09-17 上海微电子装备有限公司 一种版盒加载卸载装置
CN204667040U (zh) * 2015-05-21 2015-09-23 上海和辉光电有限公司 光罩异物检测设备
CN108124469A (zh) * 2017-05-17 2018-06-05 深圳市柔宇科技有限公司 更换装置
CN106950797A (zh) * 2017-05-22 2017-07-14 深圳市华星光电技术有限公司 光罩卡夹清洁装置及曝光机
CN208037500U (zh) * 2017-12-29 2018-11-02 深圳柔宇显示技术有限公司 过渡台车和光罩检查机

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111330877A (zh) * 2020-03-09 2020-06-26 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法

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