CN103625926B - 自洁净搬运方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种自洁净搬运方法，包括：(1)、提供至少一个能够在指定位置之间往复移动的可移动洁净搬运舱装置；(2)、当可移动洁净搬运舱装置到达一指定位置准备装载货物之前，可移动洁净搬运舱装置利用其自带的洁净气源吹扫系统对附近环境进行洁净吹扫；(3)、当可移动洁净搬运舱装置自带的探测系统探测到附近环境满足净化要求之后，开启可移动洁净搬运舱装置的舱门并将货物接收于其内；(4)、关闭可移动洁净搬运舱装置的舱门之后停止洁净气源吹扫系统对附近环境的吹扫；以及(5)、可移动洁净搬运舱装置将货物从一指定位置运送至另一指定位置。
Description
技术领域
本发明涉及一种工件搬运方法，尤其涉及一种在平板显示和微电子加工生产中搬运基底材料的方法。
背景技术
随着平板显示行业的快速发展和进一步技术要求，自动化搬运技术得到不断提升。目前平板显示生产货物搬运过程中，存在着这样一个客观事实，储料器(Stocker)之间的货物搬运采用AGV或RGV等非密闭搬运系统，由于基板直接与周围环境接触，因此对环境的净化等级要求极高，同时上道工序残留在基板上的化学物质容易直接扩散至开敞的环境中，形成交叉污染，降低良品率。
同时，随着技术提升的要求，基板的加工尺寸不断增大，维持高净化等级的设备投入和运维费用亦巨幅增加。因此，对平板显示生产中自动化搬运系统的自净化技术提出革命性的要求。
因此，业内急需解决如下问题：以储料器之间的货物搬运为例，利用自洁净搬运方法来替代开敞式搬运系统，以降低对周围环境的洁净等级要求，削减净化系统的初始投资和运维费用，降低产品的生产成本；同时利用密闭的搬运系统，避免基板上残留的化学物质向环境扩散，避免交叉污染，提高良品率。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明的首要目的在于：提供一种自洁净搬运方法，在较低的的净化等级环境下进行储料器之间的货物搬运，同时避免残留的化学物质扩散至环境中，从而实现避免交叉污染，提高良品率的目的。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：利用一种封闭式自净化搬运系统，将储料器中的货物搬运至微净化的搬运舱内，通过搬运舱的气体保护和自带的净化洁净气源吹扫系统，形成局部净化微环境，保证搬运路径的净化要求，从而降低整个生产环境的净化等级，同时利用本搬运系统的封闭特性，防止残留在基板上的化学物质向环境扩散。
根据本发明，提供一种自洁净搬运方法，包括：(1)、提供至少一个能够在指定位置之间往复移动的可移动洁净搬运舱装置；(2)、当可移动洁净搬运舱装置到达一指定位置准备装载货物之前，可移动洁净搬运舱装置利用其自带的洁净气源吹扫系统对附近环境进行洁净吹扫；(3)、当可移动洁净搬运舱装置自带的探测系统探测到附近环境满足净化要求之后，开启可移动洁净搬运舱装置的舱门并将货物接收于其内；(4)、关闭可移动洁净搬运舱装置的舱门之后停止洁净气源吹扫系统对附近环境的吹扫；以及(5)、可移动洁净搬运舱装置将货物从一指定位置运送至另一指定位置。
可选择地，洁净气源吹扫系统还可以用于向可移动洁净搬运舱内提供净化气体。
可选择地，洁净气源吹扫系统可以主要对可移动洁净搬运舱的舱门附近进行洁净吹扫。
优选地，可移动洁净搬运舱内的气压可以设定为略小于储料器内的气压但略高于周边环境气压。从而形成带有过滤系统的封闭的微洁净环境，其舱内气压略高于周边环境，但略小于储料器内气压，保证货物在搬运过程中不被污染，同时防止有害物质向环境扩散。
本发明的有益效果是：利用自洁净搬运方法来替代开敞式搬运系统，以降低对周围环境的洁净等级要求，最大程度上实现削减净化系统的初始投资和运维费用，降低产品的生产成本；同时利用密闭的搬运系统，避免基板上残留的化学物质向环境扩散，避免交叉污染，提高良品率。
具体实施方式
本发明提出一种自洁净搬运方法，其包括以下步骤：(1)、提供至少一个能够在指定位置之间往复移动的可移动洁净搬运舱装置，比如安装了洁净搬运仓的小车；(2)、当可移动洁净搬运舱装置到达一指定位置准备装载货物之前，可移动洁净搬运舱装置利用其自带的洁净气源吹扫系统对附近环境进行洁净吹扫；可选择地，洁净气源吹扫系统可以主要对可移动洁净搬运舱的舱门附近进行洁净吹扫；可选择地，洁净气源吹扫系统还可以用于向可移动洁净搬运舱内提供净化气体；优选地，可移动洁净搬运舱内的气压可以设定为略小于储料器内的气压但略高于周边环境气压，从而保证货物在搬运过程中不被污染，同时防止有害物质向环境扩散；(3)、当可移动洁净搬运舱装置自带的探测系统探测到附近环境满足净化要求之后，开启可移动洁净搬运舱装置的舱门并将货物接收于其内，比如采用设置于可移动洁净搬运舱装置内的机械手装置；(4)、关闭可移动洁净搬运舱装置的舱门之后停止洁净气源吹扫系统对附近环境的吹扫；以及(5)、可移动洁净搬运舱装置将货物从一指定位置运送至另一指定位置。
作为一种非限制性示例实施方式，首先，当可移动洁净搬运舱装置到达指定位置后，系统发送开启信号至洁净气源吹扫系统。洁净气源吹扫系统利用自带洁净气源对附近环境进行洁净吹扫，保证搬运舱和周边环境净化等级。搬运舱内气压略高于周边环境，但略小于储料器室内气压，以保证搬运搬运过程中搬运舱不被污染，同时不污染储料器。当洁净探测器探测附近环境满足净化要求后，发送开启信号至舱门开关装置。舱门开关装置接收到开启信号后，洁净搬运舱舱门打开，同时机械手伸出搬运舱，机械手上安装的可转动托盘可以调整货物摆放角度。接收到货物后，机械手收回搬运舱内，同时发出关闭信号至舱门开关装置。舱门开关装置接收到关闭信号后，舱门关闭，使搬运舱完全封闭。待搬运舱完全封闭后，发出关闭信号至洁净气源吹扫系统。洁净气源吹扫系统接收到关闭信号后，切断洁净气源。之后，可移动洁净搬运舱装置将货物从一指定位置运送至另一指定位置。
可替代地，可移动洁净搬运舱装置可以为基于轨道或传送带的运输装置。
可替代地，货物可以通过人工装载于可移动洁净搬运舱装置的舱内。
尽管在此已详细描述本发明的优选实施方式，但要理解的是本发明并不局限于这里详细描述和示出的具体结构，在不偏离本发明的实质和范围的情况下可由本领域的技术人员实现其它的变型和变体。
Claims (1)
1.一种自洁净搬运方法，包括：
(1)、提供至少一个能够在指定位置之间往复移动的可移动洁净搬运舱装置；
(2)、当所述可移动洁净搬运舱装置到达一指定位置准备装载货物之前，所述可移动洁净搬运舱装置利用其自带的洁净气源吹扫系统对附近环境进行洁净吹扫，所述洁净气源吹扫系统主要对所述可移动洁净搬运舱的舱门附近进行洁净吹扫，所述洁净气源吹扫系统还用于向所述可移动洁净搬运舱内提供净化气体，所述可移动洁净搬运舱内的气压设定为小于储料器内的气压但高于周边环境气压；
(3)、当所述可移动洁净搬运舱装置自带的探测系统探测到附近环境满足净化要求之后，开启所述可移动洁净搬运舱装置的舱门并将货物接收于其内；
(4)、关闭所述可移动洁净搬运舱装置的舱门之后停止所述洁净气源吹扫系统对附近环境的吹扫；以及
(5)、所述可移动洁净搬运舱装置将所述货物从所述一指定位置运送至另一指定位置。
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Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11238777A (ja) * | 1998-02-23 | 1999-08-31 | Mitsubishi Electric Corp | カセット搬送装置及びこれを備えたカセット搬送システム |
| CN1720613A (zh) * | 2002-12-03 | 2006-01-11 | 近藤工业株式会社 | 微环境方式半导体制造装置 |
| CN101271836A (zh) * | 2002-07-01 | 2008-09-24 | 三菱电机株式会社 | 输送车、制造装置、及输送系统 |
| CN101676660A (zh) * | 2008-09-18 | 2010-03-24 | 吉乐菲尔有限责任公司 | 用于冷冻干燥设备的转运装置 |
| CN201756265U (zh) * | 2010-07-01 | 2011-03-09 | 苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司 | 一种洁净工作室及洁净度监控系统 |
| CN201812803U (zh) * | 2010-09-20 | 2011-04-27 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 大气传输单元及具有该大气传输单元的晶片传输系统 |
| CN102310992A (zh) * | 2010-06-23 | 2012-01-11 | 村田机械株式会社 | 有轨台车系统 |
| CN102693926A (zh) * | 2011-03-25 | 2012-09-26 | 东京毅力科创株式会社 | 盖体开闭装置 |
-
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Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11238777A (ja) * | 1998-02-23 | 1999-08-31 | Mitsubishi Electric Corp | カセット搬送装置及びこれを備えたカセット搬送システム |
| CN101271836A (zh) * | 2002-07-01 | 2008-09-24 | 三菱电机株式会社 | 输送车、制造装置、及输送系统 |
| CN1720613A (zh) * | 2002-12-03 | 2006-01-11 | 近藤工业株式会社 | 微环境方式半导体制造装置 |
| CN101676660A (zh) * | 2008-09-18 | 2010-03-24 | 吉乐菲尔有限责任公司 | 用于冷冻干燥设备的转运装置 |
| CN102310992A (zh) * | 2010-06-23 | 2012-01-11 | 村田机械株式会社 | 有轨台车系统 |
| CN201756265U (zh) * | 2010-07-01 | 2011-03-09 | 苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司 | 一种洁净工作室及洁净度监控系统 |
| CN201812803U (zh) * | 2010-09-20 | 2011-04-27 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 大气传输单元及具有该大气传输单元的晶片传输系统 |
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