TWI599528B - 基板搬送設備 - Google Patents

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TWI599528B
TWI599528B TW102137505A TW102137505A TWI599528B TW I599528 B TWI599528 B TW I599528B TW 102137505 A TW102137505 A TW 102137505A TW 102137505 A TW102137505 A TW 102137505A TW I599528 B TWI599528 B TW I599528B
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村山繁人
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大福股份有限公司
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Description

基板搬送設備 發明領域
本發明是關於設有頂部搬送車之基板搬送設備，該頂部搬送車是在受配置於頂部之行進軌道所導引支撐之狀態下沿著前述行進軌道行進移動，將收納有複數枚基板之容器朝容器搬送處搬送。
發明背景
作為如上述之基板搬送設備之一例，有一種構成是以頂部搬送車將收納有基板之容器朝容器搬送處搬送(例如，參考日本特開2010-137961號公報(專利文獻1)。)。
該專利文獻1所記載之基板搬送設備是設有第1搬送裝置與第2搬送裝置；該第1搬送裝置是使載置容器之第1載置部沿著水平方向移動而將容器在容器搬送處與中繼處之間搬送；該第2搬送裝置是使載置容器之第2載置部朝水平方向及上下方向移動而將容器在中繼處與物品收納架之收納部之間搬送；以該等第1搬送裝置與第2搬送裝置將容器搬送處之容器朝物品收納架之收納部搬送。
然後，有一種構成是於物品收納架之附近設定基板取出處，於該基板取出處設置用於載置支撐容器之載置台， 並設置從載置於載置台之容器將基板取出而將該基板朝基板處理裝置搬送之基板搬送裝置(例如，參考日本特開2008-068963號公報(專利文獻2)。)。該專利文獻2所記載之基板搬送設備是利用第2搬送裝置將容器在物品收納架之收納部與基板取出處之載置台之間搬送，用基板搬送裝置從載置台上之容器取出基板而將該基板朝基板處理裝置搬送，以將基板朝基板處理裝置搬送。
由上述之專利文獻1所記載之基板搬送設備及專利文獻2所記載之基板搬送設備可以想到以如下方式來構成基板搬送設備。亦即，用頂部搬送車將收納有基板之容器朝容器搬送處搬送，用第1搬送裝置將位於該容器搬送處之容器朝中繼處搬送，用第2搬送裝置將位於中繼處之容器朝物品收納架之收納部搬送，並因應需求將收納在物品收納架之收納部的容器朝基板取出處之載置台上搬送。然後，用基板搬送裝置從以載置於載置台之狀態位於基板取出處之容器取出基板，而將該基板4朝基板處理裝置搬送。
然而，如上述構成之基板搬送設備為了將容器在容器搬送處與基板取出處之間搬送，設置有使第1載置部朝水平方向移動之第1搬送裝置與使第2載置部朝水平方向及上下方向移動之第2搬送裝置，設置有將容器暫時收納之物品收納架，於基板取出處設置有載置台，基板搬送設備之構成變複雜。另外，由於將容器從第1搬送裝置朝第2搬送裝置傳遞、將容器從第2搬送裝置朝載置台傳遞， 故難以有效率地將基板朝基板處理裝置搬送。
發明概要
鑑於上述背景，希望能實現可謀求構成之簡潔化且有效率地將基板朝基板處理裝置搬送之基板搬送設備。
與本發明相關之基板搬送設備是具有以下：頂部搬送車，在受配置於頂部之行進軌道所導引支撐之狀態下沿著前述行進軌道行進移動，將收納有複數枚基板之容器朝容器搬送處搬送；中繼搬送裝置，將前述容器在前述容器搬送處與基板取出處之間搬送自如；基板搬送裝置，從位於前述基板取出處之前述容器取出前述基板，將取出之前述基板朝對前述基板進行處理之基板處理裝置搬送；在此，前述中繼搬送裝置之構成是：具有載置前述容器之單一之載置部，使前述載置部沿著水平方向移動而將前述容器在前述容器搬送處與前述基板取出處之間搬送自如，前述基板搬送裝置之構成是：從以載置於前述載置部之狀態位於前述基板取出處之前述容器取出前述基板，而將該基板朝前述基板處理裝置搬送自如。
亦即，中繼搬送裝置是令用於載置容器之單一 之載置部沿著水平方向移動，藉此，可以在沒有使該載置部上之容器移載至其他之載置部的情況下，將載置於載置部之容器在容器搬送處與基板取出處之間搬送。基板搬送裝置可從以載置於載置部之狀態位於基板取出處之容器取出基板，而將該基板朝前述基板處理裝置搬送。
因此，作為在容器搬送處與基板取出處之間將容器搬送之搬送裝置，只要設置使載置部沿著水平方向移動之中繼搬送裝置即可；另外，不需要將容器暫時收納之物品收納架；另外，不需要在基板取出處特別設置用於載置支撐容器之載置台。因此，可謀求基板搬送設備之構成之簡潔化。再者，因為其構成是基板搬送裝置在基板取出處直接從載置於中繼搬送裝置之載置部的容器取出基板、而將該基板朝基板處理裝置搬送，故不需要將容器從中繼搬送裝置之載置部傳遞到別處，易於有效率地將基板朝基板處理裝置搬送。
以下，針對適合本發明之實施形態之例進行說明。
在與本發明相關之基板搬送設備之實施形態中，前述基板宜為形成矩形狀之板狀體。
亦即，基板是玻璃基板等之形成矩形狀之板狀體，可將該形成矩形狀之板狀體有效率地從容器取出而朝基板處理裝置搬送。
在與本發明相關之基板搬送設備之實施形態中，前述中繼搬送裝置之構成宜為：使前述載置部繞沿著 鉛直方向之軸心環繞移動，而將前述容器在前述容器搬送處與前述基板取出處之間搬送。
亦即，可藉由在使容器載置於載置部之狀態下使載置部環繞移動，而將容器在容器搬送處與基板取出處之間搬送。
然後，因為載置部之環繞移動可藉由例如將載置部連結至繞沿著鉛直方向之旋轉軸心旋轉自如之連結部而用電動馬達使該連結部旋轉等之簡單構成來實現，故可謀求中繼搬送裝置之構成之簡潔化。
在與本發明相關之基板搬送設備之實施形態中，宜為：前述基板取出處設定有複數個；前述中繼搬送裝置是以朝複數之前述基板取出處個別地搬送前述容器之狀態設置有複數個；前述基板搬送裝置之構成是：即便前述容器是位於複數之前述基板取出處之任一處之狀態，亦可從該容器將前述基板取出自如。
亦即，由於設置複數之中繼搬送裝置，可朝複數處之基板取出處個別地搬送容器，故即便是在一個基板取出處存在有容器的情況下，亦可將容器朝別的基板取出處搬送。然後，複數之基板取出處中，除了正在由基板搬送裝置將基板取出之容器所在之基板取出處，其他之基板取出處可以作為將容器暫時保管之緩衝區來利用。
在與本發明相關之基板搬送設備之實施形態中，宜為：前述頂部搬送車具有將前述容器懸吊支撐之升降自如之支撐體，其構成是在使前述支撐體上昇移動至上 昇位置之行進用狀態下行進移動自如，而且，其構成是以使前述支撐體從前述上昇位置下降移動而將前述容器卸下至前述載置部上之形態將前述容器朝前述容器搬送處搬送；前述容器搬送處是設定於如下之處：以載置於前述載置部上之狀態位於前述容器搬送處之前述容器之上端是比前述行進用狀態之前述頂部搬送車之前述支撐體之下端還要位於下方、且比受前述行進用狀態之前述頂部搬送車所支撐之前述容器之下端還要位於上方。
亦即，容器搬送處是設定成：以載置於載置部上之狀態位於容器搬送處之容器之上端是比行進用狀態之頂部搬送車之支撐體之下端還要位於下方、且比受行進用狀態之頂部搬送車所支撐之容器之下端還要位於上方。因此，可令載置支撐位於容器搬送處之容器之載置部的位置接近位於容器搬送處之稍微上方之頂部搬送車，而令頂部搬送車朝容器搬送處搬送時之支撐體之下降量少，可迅速地將容器搬送至容器搬送處。
另外，因為容器搬送處是以載置於載置部上之狀態位於容器搬送處之容器之上端比行進用狀態之頂部搬送車之支撐體之下端還要位於下方之處，故即便於容器搬送處有容器，亦可使未支撐容器之行進用狀態之頂部搬送車行進至容器搬送處之稍微上方。
在與本發明相關之基板搬送設備之實施形態中，宜為：設定有低位置容器搬送處、及設定在比該低位置容器搬送處更高之位置的高位置容器搬送處，來作為前 述容器搬送處；設定有低位置基板取出處、及設定在比該低位置基板取出處更高之位置的高位置基板取出處，來作為前述基板取出處；設置有將前述容器在前述低位置容器搬送處與前述低位置基板取出處之間搬送之低位置搬送裝置、及將前述容器在前述高位置容器搬送處與前述高位置基板取出處之間搬送之高位置搬送裝置，來作為前述中繼搬送裝置；於前述高位置搬送裝置所具備之高位置用之前述載置部是設置在比前述低位置搬送裝置所具備之低位置用之前述載置部中之載置前述容器之載置面的高度更高、且比載置於前述低位置用之載置部之前述容器的上端更低的高度；前述低位置用之載置部是以該低位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於前述高位置用之載置部之前述容器的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分之狀態設置；前述高位置用之載置部是以該高位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於前述低位置用之載置部之前述容器的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分之狀態設置。
亦即，低位置用之載置部及高位置用之載置部是以如下之狀態設置：低位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於高位置用之載置部之容器的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分，另外，高位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於低位置用之載置部之容器的移動軌跡在上下方向視點重複中之部分。因此，可謀求低位置搬送裝置與高位置搬送裝置之在水平方向之設置空間之省空間化。
另外，因為高位置用之載置部是設置在比低位置用之載置部中之載置容器之載置面的高度更高、且比載置於低位置用之載置部之容器的上端更低的高度，故可謀求低位置搬送裝置與高位置搬送裝置之在上下方向之設置空間之省空間化。
而且，高位置用之載置部及載置於該高位置用之載置部之容器不與低位置用之載置部的移動軌跡在上下方向視點中重複之狀態下，在使低位置用之載置部移動而搬送容器時不會被高位置用之載置部與載置於該高位置用之載置部之容器妨礙。因此，如上述，可藉由在使高位置用之載置部及載置於該高位置用之載置部之容器位於與低位置用之載置部的移動軌跡在上下方向視點中不重複之處的狀態下，使低位置用之載置部朝與低位置容器搬送處對應之位置、與低位置基板取出處對應之位置移動，而將容器在低位置容器搬送處與低位置基板取出處之間搬送。
另外，載置於低位置用之載置部之容器於上下方向不與高位置用之載置部的移動軌跡重複之狀態下，可藉由使高位置用之載置部朝與高位置容器搬送處對應之位置、與高位置基板搬送處對應之位置移動，而將容器在高位置容器搬送處與高位置基板搬送處之間搬送。
如此，可謀求低位置搬送裝置與高位置搬送裝置之在水平方向及上下方向之設置空間之省空間化，並且，可在不干涉載置於高位置搬送裝置中之高位置用之載置部之容器的情況下用低位置搬送裝置將容器搬送至低位 置容器搬送處或低位置基板取出處。
1‧‧‧第1搬送處(容器搬送處)
1L‧‧‧低位置第1搬送處(低位置容器搬送處)
1H‧‧‧高位置第1搬送處(高位置容器搬送處)
2‧‧‧第2搬送處(基板取出處)
2L‧‧‧低位置第2搬送處(低位置基板取出處)
2H‧‧‧高位置第2搬送處(高位置基板取出處)
3‧‧‧容器
3LT‧‧‧移動軌跡
3HT‧‧‧移動軌跡
4‧‧‧基板
5‧‧‧搬送裝置(中繼搬送裝置)
5L‧‧‧低位置搬送裝置
5H‧‧‧高位置搬送裝置
6‧‧‧頂部搬送車
7‧‧‧基板處理裝置
8‧‧‧基板搬送裝置
9‧‧‧區隔壁
11‧‧‧載置部
11L‧‧‧低位置用之載置部
11H‧‧‧高位置用之載置部
11LT‧‧‧移動軌跡
11HT‧‧‧移動軌跡
12‧‧‧支撐框
13L‧‧‧低位置電動馬達
13H‧‧‧高位置電動馬達
14a‧‧‧上側連結部分
14b‧‧‧下側連結部分
14c‧‧‧上突出部分
14d‧‧‧下突出部分
14L‧‧‧低位置連結部
14H‧‧‧高位置連結部
15‧‧‧構件
17‧‧‧昇降台
18‧‧‧移動機器人
18a‧‧‧支撐部
20‧‧‧行進軌道
21‧‧‧支撐體
E1‧‧‧容器搬送領域
E2‧‧‧基板搬送領域
H‧‧‧搬送控制裝置
P‧‧‧軸心
X‧‧‧顯示之方向
圖1是基板搬送設備的立體圖，圖2是基板搬送設備的平面圖，圖3是基板搬送設備的側面圖，圖4(a)、(b)是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的立體圖，圖5(a)、(b)是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的平面圖，圖6是顯示載置於低位置用之載置部之容器的移動軌跡與高位置用之載置部及載置於該載置部之容器的移動軌跡的平面圖，圖7是顯示載置於高位置用之載置部之容器的移動軌跡與低位置用之載置部及載置於該載置部之容器的移動軌跡的平面圖，圖8是顯示載置部之支撐構造的圖，圖9是控制方塊圖，圖10是流程圖。
用以實施發明之形態
以下，基於圖面來說明本發明之實施形態。
如圖1~圖3所示，於基板搬送設備設置有：搬送裝置5，在第1搬送處1(參考圖2及圖3)與第2搬送處2(參考圖2及圖3)之間搬送將複數枚之基板4收納自如之容器3；頂部搬 送車6，在第1搬送處1與自己之間搬送容器3；基板處理裝置7，對基板4進行處理；基板搬送裝置8，在位於第2搬送處2之容器3與基板處理裝置7之間搬送基板4。在本例中，頂部搬送車6之構成是具有在第1搬送處1與自己之間搬送容器3之機構，並於水平方向移動自如。
然後，基板搬送設備之構成是用頂部搬送車6將容器3朝第1搬送處1搬送，用搬送裝置5將容器3從第1搬送處1朝第2搬送處2搬送，用基板搬送裝置8從位於第2搬送處2之容器3取出基板4而將該基板4往基板處理裝置7搬送。
另外，基板搬送設備之構成是用基板搬送裝置8將基板處理裝置7之處理已結束之基板4從基板處理裝置7往位於第2搬送處2之容器3搬送而將該基板4收納於容器3，用搬送裝置5將容器3從第2搬送處2朝第1搬送處1搬送，用頂部搬送車6將容器3從第1搬送處1搬送。
基板搬送設備是設置於無塵室內，於容器3收納有作為基板4之用於液晶面板等之形成矩形狀之玻璃基板。容器3於橫側面形成用於讓基板4出入之開口，且於上面設置有受頂部搬送車6之支撐體21支撐之凸緣部。另外，圖示雖然省略，但基板4是以水平姿勢且在上下方向鄰接之基板4之間形成有間隙之狀態收納於容器3。
附帶一提，在基板處理裝置7是對基板4進行塗佈、曝光及顯影等預定之處理。
如圖3所示，設置有頂部搬送車6而由該頂部搬 送車搬送容器3之容器搬送領域E1、設置有基板處理裝置7與基板搬送裝置8而由該基板搬送裝置8搬送基板4之基板搬送領域E2是由區隔壁9區隔。然後，搬送裝置5之構成是以朝容器搬送領域E1突出自如之狀態設置於基板搬送領域E2，在容器搬送領域E1與基板搬送領域E2之間搬送容器3。
附帶一提，第1搬送處1是設定於容器搬送領域E1，第2搬送處2是設定於基板搬送領域E2。
如圖4及圖5所示，設定有低位置第1搬送處1L、及設定在比該低位置第1搬送處更高之位置的高位置第1搬送處1H來作為第1搬送處1，設定有低位置第2搬送處2L、及設定在比該低位置第2搬送處2L更高之位置的高位置第2搬送處2H來作為第2搬送處2。
然後，搬送裝置5之構成是令用於載置容器3之單一之載置部11沿著水平方向移動，藉此，將容器3在第1搬送處1與第2搬送處2之間搬送。單一之載置部11是由在上下方向視點中形成ㄈ字狀(有角之U字狀)之板狀構件所構成。
設置有令用於載置容器3之低位置用之載置部11L沿著水平方向移動而將容器3在低位置第1搬送處1L與低位置第2搬送處2L之間搬送之低位置搬送裝置5L、及令用於載置容器3之高位置用之載置部11H沿著水平方向移動而將容器3在高位置第1搬送處1H與高位置第2搬送處2H之間搬送之高位置搬送裝置5H，來作為搬送裝置5。
附帶一提，第1搬送處1是相當於容器搬送處， 第2搬送處2是相當於基板取出處。低位置第1搬送處1L是相當於低位置容器搬送處，高位置第1搬送處1H是相當於高位置容器搬送處。低位置第2搬送處2L是相當於低位置基板取出處，高位置第2搬送處2H是相當於高位置基板取出處。如此，設定有複數之第2搬送處2。
另外，搬送裝置5是相當於令用於載置容器3之載置部11沿著水平方向移動而將容器3在容器搬送處與基板取出處之間搬送之中繼搬送裝置。搬送裝置5是以朝複數之第2搬送處2個別地搬送容器3之狀態設置有複數個。
如圖1及圖3所示，低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之一對之搬送裝置5之組是以於上下方向排列之狀態設置有2組。該等上側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H、下側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H除了高度不同之外是相同地構成。另外，上側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H、下側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H是受相同之支撐框12在上下方向支撐於不同之高度。
低位置搬送裝置5L是設置成將低位置用之載置部11L繞沿著鉛直方向之軸心P環繞移動自如。
再加以說明，則如圖8所示，低位置連結部14L是繞軸心P旋轉自如地連結於低位置電動馬達13L之輸出軸，低位置用之載置部11L是單邊支持狀地連結於該低位置連結部14L。然後，其構成是用低位置電動馬達13L將低位置連結部14L繞軸心P旋轉驅動，藉此，使低位置用之載置部11L 繞軸心P環繞移動而將容器3在低位置第1搬送處1L與低位置第2搬送處2L之間搬送。
另外，同樣地，高位置搬送裝置5H亦是設置成將高位置用之載置部11H繞沿著鉛直方向之軸心P環繞移動自如，其構成是用高位置電動馬達13H將高位置連結部14H繞軸心P旋轉驅動，藉此，使高位置用之載置部11H繞軸心P環繞移動而將容器3在高位置第1搬送處1H與高位置第2搬送處2H之間搬送。
如此，低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H設置成繞同一軸心地環繞移動自如。
低位置電動馬達13L及高位置電動馬達13H是以低位置電動馬達13L比高位置電動馬達13H位於上方之狀態支撐於支撐框12。
低位置電動馬達13L是以輸出軸往上方突出之姿勢設置，低位置連結部14L之從上側連結部分14a朝上方突出之上突出部分14c以一體旋轉之狀態連結於該低位置電動馬達13L之輸出軸。
另外，高位置電動馬達13H是以輸出軸往下方突出之姿勢設置，高位置連結部14H之從下側連結部分14b朝下方突出之下突出部分14d以一體旋轉之狀態連結於該高位置電動馬達13H之輸出軸。
然後，低位置連結部14L之下側連結部分14b是以繞軸心P旋轉自如之狀態連結於高位置連結部14H之下突出部分14d，高位置連結部14H之上側連結部分14a是以繞 軸心P旋轉自如之狀態連結於低位置連結部14L之上突出部分14c。
另外，於低位置連結部14L之上側連結部分14a與高位置連結部14H之下側連結部分14b之間具有受支撐框12所支撐之構件15，低位置連結部14L之上側連結部分14a是以繞軸心P旋轉自如之狀態連結於構件15之上端部，高位置連結部14H之下側連結部分14b是以繞軸心P旋轉自如之狀態連結於構件15之下端部。
如此，低位置連結部14L及高位置連結部14H是以在低位置電動馬達13L與高位置電動馬達13H之間於上下方向被包夾之狀態設置。然後，從上以高位置連結部14H之上側連結部分14a、低位置連結部14L之上側連結部分14a、高位置連結部14H之下側連結部分14b、低位置連結部14L之下側連結部分14b之順序排列，使低位置連結部14L之上側連結部分14a位於高位置連結部14H之上側連結部分14a與下側連結部分14b之間，使高位置連結部14H之下側連結部分14b位於低位置連結部14L之上側連結部分14a與下側連結部分14b之間。藉此，可將低位置連結部14L及高位置連結部14H分別於上下方向以廣間隔連結於支撐框12側，並謀求低位置連結部14L與高位置連結部14H之在上下方向之設置空間之省空間化。
然後，連結至低位置連結部14L之低位置用之載置部11L及連結至高位置連結部14H之高位置用之載置部11H是以高位置用之載置部11H位於比低位置用之載置部11L中之 載置容器3之載置面(載置部11H之上表面)的高度更高、且比載置於低位置用之載置部11L之容器3的上端更低之高度的狀態來設置。
接著，針對低位置用之載置部11L及高位置用之載置部11H之環繞移動及在上下方向視點中之位置關係進行說明。附帶一提，將容器搬送領域E1與基板搬送領域E2所排列之方向稱作設備前後方向(於圖2及圖5以箭頭X顯示之方向)，將與設備前後方向正交之方向稱作設備左右方向(於圖2及圖5以箭頭Y顯示之方向)，而進行說明。在本例，設備前後方向及設備左右方向是分別與水平面平行之方向。
如圖5所示，支撐框12是設置於基板搬送領域E2，軸心P是位於基板搬送領域E2。
低位置用之載置部11L之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中逆時針環繞移動而朝容器搬送領域E1突出移動，藉此朝與低位置第1搬送處1L對應之位置(於圖5(a)以實線顯示之位置)環繞移動。此時，低位置用之載置部11L是相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側。
另外，低位置用之載置部11L之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中順時針環繞移動而朝基板搬送領域E2退回移動，藉此朝與低位置第2搬送處2L對應之位置(於圖5(a)以假想線顯示之位置)環繞移動。此時，低位置用之載置部11L是相對於軸心P位於設備左右方向之一側(頂部搬送車6 之行進方向上游側)。
然後，高位置用之載置部11H之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中順時針環繞移動而朝容器搬送領域E1突出移動，藉此朝與高位置第1搬送處1H對應之位置(於圖5(b)以實線顯示之位置)環繞移動。此時，高位置用之載置部11H是相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側。
另外，高位置用之載置部11H之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中逆時針環繞移動而朝基板搬送領域E2退回移動，藉此朝與高位置第2搬送處2H對應之位置(於圖5(b)以假想線顯示之位置)環繞移動。此時，高位置用之載置部11H是相對於軸心P位於設備左右方向之另一側(頂部搬送車6之行進方向下游側)。
附帶一提，與搬送處(低位置第1搬送處1L等)對應之位置是當容器3位於搬送處時載置著該容器3之載置部11所在之位置。另外，低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H之擺動角度分別設定為90°。
話說，圖3中位於上側之低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之組是圖5(b)所示之位置關係，圖3中位於下側之低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之組是圖5(a)所示之位置關係。
如圖5所示，低位置第1搬送處1L與高位置第1搬送處1H皆是設定成相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側，低位置第1搬送處1L與高位置第1 搬送處1H設定成在上下方向視點中位於相同位置。然後，環繞移動至與低位置第1搬送處1L對應之位置的低位置用之載置部11L、環繞移動至與高位置第1搬送處1H對應之位置的高位置用之載置部11H皆是朝相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側移動，該等低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H在上下方向視點中位於相同位置。
另外，低位置第2搬送處2L是設定成相對於軸心P位於設備左右方向之一側，高位置第2搬送處2H是設定成相對於軸心P位於設備左右方向之另一側，低位置第2搬送處2L與高位置第2搬送處2H設定成在上下方向視點中位於不同之位置。然後，環繞移動至與低位置第1搬送處1L對應之位置的低位置用之載置部11L是朝相對於軸心P位於設備左右方向之一側移動，環繞移動至與高位置第1搬送處1H對應之位置的高位置用之載置部11H是朝相對於軸心P位於設備左右方向之另一側移動，低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H在上下方向視點中位於不同之位置。
然後，如圖5~圖7所示，低位置用之載置部11L是設置成：在移動至與低位置第1搬送處1L對應之位置的狀態下，在上下方向視點中與高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡重複；在移動至與低位置第2搬送處2L對應之位置的狀態下，在上下方向視點中不與高位置用之載置部11H的移 動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡重複。
另外，高位置用之載置部11H是設置成：在移動至與高位置第1搬送處1H對應之位置的狀態下，在上下方向視點中與低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡重複；在移動至與高位置第2搬送處2H對應之位置的狀態下，在上下方向視點中不與低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡重複。
附帶一提，在圖6中，以鏈線3LT來表示載置於低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡，以鏈線11HT來表示高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡。另外，在圖7中，以鏈線3HT來表示載置於高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡，以鏈線11LT來表示低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡。
如此，低位置用之載置部11L是以如下狀態設置：該低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡具有與高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，該重複部分與該非重複部分是沿著低位置用之載置部11L之移動方向排列。另外，高位置用之 載置部11H是以如下狀態設置：該高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡具有與低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，該重複部分與該非重複部分是沿著高位置用之載置部11L之移動方向排列。
然後，高位置用之載置部11H及低位置用之載置部11L分別是在另一載置部11L、11H位於不重複之處之狀態下，將容器3在第1搬送處1與第2搬送處2之間搬送自如。
亦即，如圖5(a)所示，在高位置用之載置部11H位於與高位置第2搬送處2H對應之位置的狀態下，可將低位置用之載置部11L朝與低位置第1搬送處1L對應之位置或與低位置第2搬送處2L對應之位置移動，而將容器3朝低位置第1搬送處1L或低位置第2搬送處2L搬送，且不接觸高位置用之載置部11H與載置於該高位置用之載置部11H之容器3。
另外，如圖5(b)所示，在低位置用之載置部11L位於與低位置第2搬送處2L對應之位置的狀態下，可將高位置用之載置部11H朝與高位置第1搬送處1H對應之位置或與高位置第2搬送處2H對應之位置移動，而將容器3朝高位置第1搬送處1H或高位置第2搬送處2H搬送，且不接觸低位置用之載置部11L與載置於該低位置用之載置部11L之容器3。
基板搬送裝置8是具有昇降台17與移動機器人18而構成，昇降台17是在設備前後方向設置於搬送裝置5與基板處理裝置7之間且昇降移動自如，移動機器人18是將該昇降台17上朝設備左右方向移動自如。於移動機器人18具有昇降移動自如、繞鉛直軸心旋轉移動自如、及於水平方向進出移動自如之叉子狀之支撐部18a。
該基板搬送裝置8之構成是藉由昇降台17之昇降移動及移動機器人18之沿著設備左右方向之移動、以及支撐部18a之昇降、旋轉及進出，而如以下般地作動。亦即，基板搬送裝置8之構成是從以載置於低位置用之載置部11L之狀態位於低位置第2搬送處2L之容器3一枚一枚地取出基板4而將該基板4朝基板處理裝置7搬送，從以載置於高位置用之載置部11H之狀態位於高位置第2搬送處2H之容器3一枚一枚地取出基板4而將該基板4朝基板處理裝置7搬送，而且，將用基板處理裝置7處理結束之基板4一枚一枚地朝以載置於高位置用或低位置用之載置部11之狀態位於第2搬送處2之容器3搬送而將該基板4收納於容器3。
基板搬送裝置8之構成是不論容器3位於四處之第2搬送處2(兩處之低位置第2搬送處2L及兩處之高位置第2搬送處2H)之任一處之狀態皆從容器3將基板4出入自如。然後，四處之第2搬送處2中，除了正在由基板搬送裝置8將基板4出入之容器3所在之第2搬送處2，其他之第2搬送處2可以作為將容器3暫時保管之緩衝區來利用。
如圖1~圖3所示，頂部搬送車6之構成是在受配 置於頂部之行進軌道20所導引支撐之狀態下沿著行進軌道20行進自如。另外，頂部搬送車6是具有昇降自如且繞沿著上下方向之軸心旋轉自如之用於支撐容器3之支撐體21而構成。話說，頂部搬送車6在搬送裝置5之附近是沿著設備左右方向朝一方向(在圖1中是從左上朝右下)行進。
然後，頂部搬送車6之構成是如圖3所示，在使支撐體21上昇移動至上昇位置之狀態下行進移動自如。另外，頂部搬送車6之構成是以使支撐體21從上昇位置下降移動而將容器3卸下至載置部11上之形態將容器3朝第1搬送處1搬送，以使支撐體21上昇移動至上昇位置而將容器3從載置部11拉起之形態自第1搬送處1將容器3搬送。如此，頂部搬送車6進行以第1搬送處1作為搬送對象處之容器3之搬送，在第1搬送處1與自己之間將容器3移載(授受)。
再加以說明，頂部搬送車6之構成是在停止於第1搬送處1之正上之停止位置之狀態下使支撐著容器3之支撐體21下降移動，將支撐體21對容器3之支撐解除而將容器3卸下至載置部11，令容器3搬送至第1搬送處1。
另外，頂部搬送車6之構成是在停止於第1搬送處1之正上之停止位置之狀態下使未支撐容器3之支撐體21下降移動，藉由支撐體21來支撐位於第1搬送處1之容器3，使支撐著容器3之支撐體21上昇移動，藉此，自第1搬送處1搬送容器3。
然後，頂部搬送車6之構成是在停止於對低位置第1搬送處1L及高位置第1搬送處1H共通設定之停止位置 之狀態下，將容器3在低位置第1搬送處1L或高位置第1搬送處1H與自己之間搬送自如(移載自如)。
話說，在使頂部搬送車6停止於停止位置之狀態中，當低位置用之載置部11L位於與第1搬送處1對應之位置時，是在頂部搬送車6與低位置第1搬送處1L之間搬送容器3，當高位置用之載置部11H位於與第1搬送處1對應之位置時，是在頂部搬送車6與高位置第1搬送處1H之間搬送容器3。
第1搬送處1(低位置第1搬送處1L及高位置第1搬送處1H)是設定於如下之處：以載置於載置部11之狀態位於第1搬送處1之容器3的上端是比行進用狀態之頂部搬送車6之支撐體21的下端還要位於下方、且比受行進用狀態之頂部搬送車6所支撐之容器3的下端還要位於上方。
因為可將第1搬送處1設定於接近頂部搬送車6之處，故可令頂部搬送車6將容器3朝第1搬送處1搬送時之支撐體21之下降量少，可迅速地將容器3搬送至第1搬送處1。另外，即便於第1搬送處1有容器3，亦可使未支撐容器3之行進用狀態之頂部搬送車6自由地行進移動。
如圖9所示，於基板搬送設備設置有控制搬送裝置5、頂部搬送車6、及基板搬送裝置8之作動的搬送控制裝置H。
搬送控制裝置H之構成是控制頂部搬送車6之作動以執行使頂部搬送車6行進移動至位於第1搬送處1之正上之停止位置的授受前行進處理、使頂部搬送車6從第1搬送處1 之正上之停止位置行進移動的授受後行進處理、由頂部搬送車6將容器3朝第1搬送處1搬送的卸下處理、由頂部搬送車6將容器3自第1搬送處1搬送的舀起處理。
另外，搬送控制裝置H之構成是控制搬送裝置5之作動以執行使載置部11從與第1搬送處1對應之位置移動至與第2搬送處2對應之位置的退回處理、使載置部11從與第2搬送處2對應之位置移動至與第1搬送處1對應之位置的突出處理。
接著，基於圖10所示之流程圖，舉搬送控制裝置H執行卸下處理而用頂部搬送車6將容器3朝低位置第1搬送處1L搬送、搬送控制裝置H執行舀起處理而用頂部搬送車6將容器3自高位置第1搬送處1H搬送的情況為例，說明將容器3在頂部搬送車6與搬送裝置5之間搬送之搬送控制。附帶一提，載置部11平常是移動到與第2搬送處2對應之位置。
搬送控制裝置H是於將容器3朝低位置第2搬送處2L搬送之搬入指令下達後，首先，執行授受前行進處理與突出處理。在授受前行進處理及突出處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使支撐著搬入對象之容器3的頂部搬送車6行進至第1搬送處1之正上之停止位置且使低位置用之載置部11L突出移動至與低位置第1搬送處1L對應之位置。之後，搬送控制裝置H是在執行卸下處理後，執行退回處理。在卸下處理是控制頂部搬送車6之作動，以將容器3朝低位置用之載置部11L上卸下而使容器3搬送 至低位置第1搬送處1L。另外，在退回處理是控制搬送裝置5之作動，以使低位置用之載置部11L移動至與低位置第2搬送處2L對應之位置而將容器3朝低位置第2搬送處2L搬送。
話說，關於授受前行進處理與突出處理，通常是授受前行進處理需要較長之時間，在頂部搬送車6移動至第1搬送處1之正上之停止位置前，載置部11已完成往與第1搬送處1對應之位置之移動。因此，在使頂部搬送車6行進至第1搬送處1之正上後，不需要使卸下處理之開始待機來等待載置部11突出移動至第1搬送處1，可迅速地將容器3搬送至第1搬送處1。
如上述，執行退回處理而將容器3搬送至低位置第2搬送處2L後，若無搬出指令下達，則搬送控制裝置H是執行授受後行進處理，控制頂部搬送車6之作動，以使未支撐容器3之頂部搬送車6自第1搬送處1之正上之停止位置行進。
另外，若有搬出指令，則搬送控制裝置H是執行突出處理。在突出處理是控制搬送裝置5之作動，以使高位置用之載置部11H突出移動至與高位置第1搬送處1H對應之位置。之後，搬送控制裝置H是在執行舀起處理後，執行授受後行進處理與退回處理。在舀起處理是控制頂部搬送車6之作動，以用頂部搬送車6支撐搬出對象之容器3。另外，在授受後行進處理及退回處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使支撐著搬出對象之容器3之頂部搬 送車6自第1搬送處1之正上之停止位置行進且使高位置用之載置部11H退回移動至與高位置第2搬送處2H對應之位置。
然後，在未下達搬入指令而只有下達搬出指令的情況下，搬送控制裝置H首先是執行授受前行進處理與突出處理。在授受前行進處理及突出處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使未支撐容器3之頂部搬送車6行進至第1搬送處1之正上之停止位置且使高位置用之載置部11朝與高位置第1搬送處1H對應之位置突出移動。之後，搬送控制裝置H是在執行舀起處理後，執行授受後行進處理與退回處理。在舀起處理是控制頂部搬送車6之作動，以用頂部搬送車6支撐搬出對象之容器3。另外，在授受後行進處理及退回處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使支撐著搬出對象之容器3之頂部搬送車6自第1搬送處1之正上之停止位置行進且使高位置用之載置部11H退回移動至與高位置第2搬送處2H對應之位置。
如此，藉由令用於載置容器3之載置部11沿著水平方向移動而將載置於載置部11之容器3在第1搬送處1與第2搬送處2之間搬送，且用基板搬送裝置8從以載置於載置部11之狀態位於第2搬送處2之容器3取出基板4而將該基板4朝基板處理裝置7搬送。結果，可謀求基板搬送設備之構成之簡潔化，並且易於有效率地將基板4朝基板處理裝置7搬送。
[別實施形態]
(1)上述實施形態雖然是設置低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H來作為中繼搬送裝置，但亦可僅設置低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之其中一裝置來作為中繼搬送裝置。
(2)上述實施形態之構成雖然是藉由使載置部11繞沿著鉛直方向之軸心環繞移動而使其移動至與容器搬送處對應之位置、與基板取出處對應之位置，但亦可是藉由使載置部11沿著水平方向直線移動而使其移動至與容器搬送處對應之位置、與基板取出處對應之位置。
另外，中繼搬送裝置亦可是由具備有用於載置支撐容器3之鏈或皮帶等的輸送機(conveyor)裝置而構成。如此地由輸送機裝置來構成中繼搬送裝置的情況下，鏈或皮帶等之將容器3載置支撐之部分是相當於載置部11，藉由使鏈或皮帶旋轉驅動而使載置支撐之部分(載置部11)沿著水平方向移動。
附帶一提，關於單一之載置部11，可以是如上述實施形態之ㄈ字狀(有角之U字狀)之板狀構件般地用一個構件來構成，亦可以是以分別支撐容器3之設備橫寬方向之兩端部的方式用一對構件(例如無端皮帶)來構成。
(3)上述實施形態雖然是將容器搬送處設定於以載置於載置部11之狀態位於容器搬送處之容器3的上端比行進用狀態之頂部搬送車6的下端還要位於下方、且比受行進用狀態之頂部搬送車6所支撐之容器3的下端還要位於上方之處，但其構成亦可是將容器搬送處設定於以載置於 載置部11之狀態位於容器搬送處之容器3的上端比行進用狀態之頂部搬送車6的下端還要位於下方、且比受行進用狀態之頂部搬送車6所支撐之容器3的下端還要位於下方之處，即便於容器搬送處具有容器3，支撐容器3之行進用狀態之頂部搬送車6亦可自由地行進移動。
(4)上述實施形態雖然是將低位置用之載置部11L以該低位置用之載置部11L的移動軌跡具有與高位置用之載置部11H的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分的狀態來設置，將高位置用之載置部11H以該高位置用之載置部11H的移動軌跡具有與低位置用之載置部11H的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分的狀態來設置，但亦可將該等低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H以各自之移動軌跡於上下方向不重複之狀態來設置。
具體而言，例如，亦可在上述實施形態中，藉由將載置部11之俯視形狀形成為梳齒狀等方法，而以與低位置第1搬送處1L對應之位置之低位置用之載置部11L、與高位置第1搬送處1H對應之位置之高位置用之載置部11H在上下方向視點中不重疊的方式構成，將低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H以各自之移動軌跡於上下方向不重複之狀態來設置。
附帶一提，亦可是：以低位置用之載置部11L之移動軌跡之整體與高位置用之載置部11H之移動軌跡之整體於上下方向重複之狀態來設置。
(5)上述實施形態雖然是以形成矩形狀之板狀體來作為基板4，但基板4亦可是以晶圓等之圓形或略圓形所形成之板狀體。另外，容器3亦可是晶圓收納用之FOUP。
1‧‧‧第1搬送處(容器搬送處)
1L‧‧‧低位置第1搬送處(低位置容器搬送處)
1H‧‧‧高位置第1搬送處(高位置容器搬送處)
2‧‧‧第2搬送處(基板取出處)
2L‧‧‧低位置第2搬送處(低位置基板取出處)
2H‧‧‧高位置第2搬送處(高位置基板取出處)
3‧‧‧容器
4‧‧‧基板
5‧‧‧搬送裝置(中繼搬送裝置)
5L‧‧‧低位置搬送裝置
5H‧‧‧高位置搬送裝置
6‧‧‧頂部搬送車
7‧‧‧基板處理裝置
8‧‧‧基板搬送裝置
9‧‧‧區隔壁
11‧‧‧載置部
11L‧‧‧低位置用之載置部
11H‧‧‧高位置用之載置部
12‧‧‧支撐框
13L‧‧‧低位置電動馬達
13H‧‧‧高位置電動馬達
15‧‧‧構件
17‧‧‧昇降台
18‧‧‧移動機器人
18a‧‧‧支撐部
20‧‧‧行進軌道
21‧‧‧支撐體
E1‧‧‧容器搬送領域
E2‧‧‧基板搬送領域
X‧‧‧顯示之方向

Claims (6)

  1. 一種基板搬送設備，是具有以下：頂部搬送車，在受配置於頂部之行進軌道所導引支撐之狀態下沿著前述行進軌道行進移動，將收納有複數枚基板之容器朝容器搬送處搬送；其特徵在於具有：中繼搬送裝置，將前述容器在前述容器搬送處與基板取出處之間搬送自如；基板搬送裝置，從位於前述基板取出處之前述容器取出前述基板，將取出之前述基板朝對前述基板進行處理之基板處理裝置搬送；在此，前述中繼搬送裝置之構成是：具有載置前述容器之單一之載置部，使前述載置部沿著水平方向移動而將前述容器在前述容器搬送處與前述基板取出處之間搬送自如，且使前述載置部繞沿著鉛直方向之軸心環繞移動，而將前述容器在前述容器搬送處與前述基板取出處之間搬送，前述基板搬送裝置之構成是：從以載置於前述載置部之狀態位於前述基板取出處之前述容器取出前述基板，而將該基板朝前述基板處理裝置搬送自如。
  2. 如請求項1之基板搬送設備，其中前述基板是形成矩形狀之板狀體。
  3. 如請求項1或2之基板搬送設備，其中前述容器搬送處與 前述基板取出處是由區隔壁區隔。
  4. 如請求項1或2之基板搬送設備，其中前述基板取出處設定有複數個；前述中繼搬送裝置是以朝複數之前述基板取出處個別地搬送前述容器之狀態設置有複數個；前述基板搬送裝置之構成是：即便前述容器是位於複數之前述基板取出處之任一處之狀態，亦可從該容器將前述基板取出自如。
  5. 如請求項1或2之基板搬送設備，其中前述頂部搬送車具有將前述容器懸吊支撐之升降自如之支撐體，其構成是在使前述支撐體上昇移動至上昇位置之行進用狀態下行進移動自如，而且，其構成是以使前述支撐體從前述上昇位置下降移動而將前述容器卸下至前述載置部上之形態將前述容器朝前述容器搬送處搬送；前述容器搬送處是設定於如下之處：以載置於前述載置部上之狀態位於前述容器搬送處之前述容器之上端是比前述行進用狀態之前述頂部搬送車之前述支撐體之下端還要位於下方、且比受前述行進用狀態之前述頂部搬送車所支撐之前述容器之下端還要位於上方。
  6. 一種基板搬送設備，是具有以下：頂部搬送車，在受配置於頂部之行進軌道所導引支撐之狀態下沿著前述行進軌道行進移動，將收納有複數枚基板之容器朝容器搬送處搬送；其特徵在於具有： 中繼搬送裝置，將前述容器在前述容器搬送處與基板取出處之間搬送自如；基板搬送裝置，從位於前述基板取出處之前述容器取出前述基板，將取出之前述基板朝對前述基板進行處理之基板處理裝置搬送；在此，前述中繼搬送裝置之構成是：具有載置前述容器之單一之載置部，使前述載置部沿著水平方向移動而將前述容器在前述容器搬送處與前述基板取出處之間搬送自如，前述基板搬送裝置之構成是：從以載置於前述載置部之狀態位於前述基板取出處之前述容器取出前述基板，而將該基板朝前述基板處理裝置搬送自如，且設定有低位置容器搬送處、及設定在比該低位置容器搬送處更高之位置的高位置容器搬送處，來作為前述容器搬送處；設定有低位置基板取出處、及設定在比該低位置基板取出處更高之位置的高位置基板取出處，來作為前述基板取出處；設置有將前述容器在前述低位置容器搬送處與前述低位置基板取出處之間搬送之低位置搬送裝置、及將前述容器在前述高位置容器搬送處與前述高位置基板取出處之間搬送之高位置搬送裝置，來作為前述中繼搬送裝置；於前述高位置搬送裝置所具備之高位置用之前述 載置部是設置在比前述低位置搬送裝置所具備之低位置用之前述載置部中之載置前述容器之載置面的高度更高、且比載置於前述低位置用之載置部之前述容器的上端更低的高度；前述低位置用之載置部是以該低位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於前述高位置用之載置部之前述容器的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分之狀態設置；前述高位置用之載置部是以該高位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於前述低位置用之載置部之前述容器的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分之狀態設置。
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