JPH10297710A - キャリア搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体素子を形成した基板を収納するキャリ
ア搬送装置に関し、小さい面積に設置することができ、
キャリアの搬送を短時間に行うことが可能となるキャリ
ア搬送装置の提供を目的とする。 【解決手段】 キャリア１を工程間で搬送する搬送台車
２と、工程内搬送台車５とを有するキャリア搬送装置で
あって、この工程内搬送台車５は、このキャリア１をこ
の搬送台車２からこの工程内に搬入して処理装置６に搬
送し、或いはこのキャリア１を保管棚４の各棚に収納す
るものであって、このキャリア１をこの搬送台車２から
この工程内搬送台車５に移載する移載機構部と、この移
載機構部を上下させる昇降機構5bとを有するように構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程に用いる半導体素子を形成した基板の搬送装置に係
り、特に半導体素子を形成した基板を収納するキャリア
搬送装置に関するものである。

【０００２】半導体装置の製造工程に用いる半導体基板
の大型化に伴い、処理装置も大型化する傾向があり、処
理装置の付帯設備の設置面積も大きくなるため、従来よ
り種々なキャリア搬送装置が提供されているが、これら
のキャリア搬送装置を設置するためにも、大きな設置面
積が必要である。

【０００３】以上のような状況から、小さな面積に設置
することが可能なキャリア搬送装置が要望されている。

【０００４】

【従来の技術】従来のキャリア搬送装置について図８に
より詳細に説明する。図８は従来のキャリア搬送装置の
斜視図である。

【０００５】図８には製造工程の一工程の処理装置の配
置のみを図示しているが、この工程の前後にはそれぞれ
隣接する他の工程の処理装置が配置され、これらの工程
の間には図示するように軌道23が敷設されており、被処
理物を収納した 400mm×400mm×300mm 程度の大きさの
キャリア21を搭載した搬送台車22がこの軌道23の上を走
行して被処理物を工程間で搬送するようになっている。

【０００６】隣接する他の工程からこの図示する工程に
搬送されてきた搬送台車22に搭載されたキャリア21は、
この軌道23に沿って設けられ、搬送ロボットを備えた保
管棚24に、この搬送ロボットにより搬送台車22から一旦
積み降ろされて保管される。

【０００７】その後、この保管棚24に保管されているキ
ャリア21は、この搬送ロボットにより、レールを備えて
いない自走車である工程内搬送台車25に移載され、それ
ぞれの処理装置26へ搬送されている。

【０００８】しかし、この搬送ロボットを備えた保管棚
24は、6,000mm 幅× 3,000mm奥行×3,500mm高さ程度の
大きさを有しているため、その設置面積が大きく、また
搬送台車22により搬送されてきたキャリア21は、この保
管棚24内で移動しなければならない場合があり、キャリ
ア21を工程内搬送台車25に移載するまでの間に長時間が
必要である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来のキ
ャリア搬送装置において搬送ロボットを備えた保管棚を
用いる場合には、保管棚を設置するスペースが必要であ
り、処理装置を設置するスペースを削減しなければなら
ない場合があるという問題点があり、また、キャリアを
搬送台車から保管棚に移載し、その後キャリアを保管棚
から工程内搬送台車に移載するので、移載する際に工程
内搬送台車を所定の位置に正しく停止させるのが困難な
ために時間が必要であるという問題点があった。

【００１０】本発明は以上のような状況から、小さい面
積に設置することができ、キャリアの搬送を短時間に行
うことが可能となるキャリア搬送装置の提供を目的とし
たものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のキャリア搬送装
置は、請求項１に記載のように、キャリアを工程間で搬
送する搬送台車と、工程内搬送台車とを有するキャリア
搬送装置であって、この工程内搬送台車は、このキャリ
アをこの搬送台車からこの工程内に搬入して処理装置に
直接搬送し、或いはこのキャリアを保管棚の各棚に直接
収納するものであって、このキャリアをこの搬送台車か
らこの工程内搬送台車に移載する ロボットと、このロ
ボットを上下させる昇降機構とを有するように構成す
る。

【００１２】また、本発明のキャリア搬送装置は、請求
項２に記載のように、キャリアを工程間で搬送する搬送
台車と、工程内搬送台車と、この搬送台車に搭載されて
いるこのキャリアを仮保管装置に移載する移載装置と、
この仮保管装置に移載されたこのキャリアの方向を変更
するキャリア回転機構とを有し、この工程内搬送台車
は、このキャリアをこの搬送台車からこの工程内に搬入
して処理装置に搬送し、或いは 該キャリアを保管棚に
収納するものであって、このキャリアをこの搬送台車か
ら前記工程内搬送台車に移載するロボットと、このロボ
ットを上下させる昇降機構とを有するように構成する。

【００１３】即ち請求項１に記載する本発明において
は、隣接する他の工程との間に軌道が敷設されており、
この軌道上を被処理物が収納されているキャリアを搭載
した搬送台車が走行してキャリアを搬送している。

【００１４】工程内搬送台車が、この搬送台車からこの
工程内搬送台車にこのキャリアを移載するロボットと、
このロボットを搭載する昇降機構とを有しているので、
このキャリアをこの搬送台車からこの工程内で搬送する
工程内搬送台車に移載して工程内の処理装置に直接搬送
し、或いはこの工程内搬送台車により搬送されたキャリ
アを保管棚の各棚に直接収納することが可能である。

【００１５】この保管棚に収納されているキャリアを工
程内搬送台車により取り出してキャリアから取り出した
被処理物を処理装置に搬出入することが可能となる。こ
のようにしてキャリアを搬送するから、キャリアを収納
する保管棚の奥行きを、キャリアの寸法に合わせて浅い
奥行きにすることができるので、保管棚の設置面積を小
さくすることが可能であり、両面から取り出すことがで
きるので、キャリアの取り出しを短時間に行うことが可
能となる。

【００１６】即ち請求項２に記載する本発明において
は、隣接する他の工程との間に軌道が敷設されており、
この軌道上を被処理物が収納されているキャリアを搭載
した搬送台車が走行してキャリアを搬送している。

【００１７】この搬送台車に搭載されているこのキャリ
アを仮保管装置に移載する移載装置と、この仮保管装置
に移載されたこのキャリアの方向を変更するキャリア回
転機構とを有しているから、この搬送台車に搭載されて
いるキャリアは移載装置により仮保管装置に移載され、
この仮保管装置に移載されたキャリアの方向はキャリア
回転機構により変更することができる。

【００１８】工程内搬送台車が、このキャリア回転機構
からこの工程内搬送台車にこのキャリアを移載するロボ
ットと、このロボットを搭載する昇降機構とを有してい
るので、このキャリアをこのキャリア回転機構からこの
工程内で搬送する工程内搬送台車に移載して工程内の処
理装置に直接搬送し、或いはこの工程内搬送台車により
搬送されたキャリアを保管棚の各棚に直接収納すること
が可能である。

【００１９】この保管棚に収納されているキャリアを工
程内搬送台車により取り出してこのキャリアから取り出
した被処理物を処理装置に搬出入することが可能とな
る。このようにしてキャリアを搬送するから、キャリア
を収納する保管棚の奥行きを、キャリアの寸法に合わせ
て浅い奥行きにすることができるので、保管棚の設置面
積を小さくすることが可能であり、両面から取り出すこ
とができるので、キャリアの取り出しを短時間に行うこ
とが可能となる。

【００２０】

【発明の実施形態】以下図１〜図７により本発明の実施
例について詳細に説明する。図１は本発明のキャリア搬
送装置の第１の実施例を示す平面図、図２は本発明のキ
ャリア搬送装置の第１の実施例を示す斜視図、図３は本
発明のキャリア搬送装置の第２の実施例を示す平面図、
図４は本発明のキャリア搬送装置の第２の実施例の片方
の処理装置側の斜視図、図５は本発明のキャリア搬送装
置の第２の実施例のキャリアの移載装置、仮保管装置及
びキャリア回転装置を示す斜視図、図６は本発明のキャ
リア搬送装置の工程内搬送台車の構造を示す斜視図、図
７は本発明のキャリア搬送装置の第３の実施例の片方の
処理装置側の斜視図である。

【００２１】本発明のキャリア搬送装置の第１の実施例
を示す図１及び図２には製造工程の一工程の処理装置の
配置のみを図示しているが、この工程の前後にはそれぞ
れ他の工程の処理装置が配置されている。

【００２２】これらの工程の間には図示するように軌道
３が敷設されており、被処理物を収納したキャリア１を
搭載した搬送台車２がこの軌道３の上を走行して被処理
物を工程間で搬送するようになっている。

【００２３】隣接する他の工程からこの図示する工程に
搬送されてきた搬送台車２に搭載されたキャリア１は、
工程内搬送台車５によってこの軌道３に対して垂直方向
に設けられた保管棚４に一旦保管される。

【００２４】本発明の工程内搬送台車５は図６の斜視図
に示すように、キャリア１を把持して搬送台車２から工
程内搬送台車５にキャリア１を移載し、このキャリア１
を保管棚４に収納するロボット5aと、このロボット5aを
搭載して上下させる昇降機構5bと、この工程内搬送台車
５をこの工程内で走行させる走行駆動部5cとを有してい
る。

【００２５】このロボット5aは多関節からなるアームを
有し、タイミングベルトによってこのアームが伸縮して
キャリア１の把手等を把持するようになっているので、
キャリア１を水平方向に移動することが可能であり、こ
のロボット5aが昇降機構5bに搭載されているので、キャ
リア１を垂直方向に移動することが可能である。

【００２６】キャリア１を水平方向に移動するロボット
5aとしては、上記の外にキャリア１の搭載部がスライド
するスライド方式を用いることも可能である。ロボット
5aにおけるキャリア１の有無の検出には光センサを用い
ており、光センサの信号は光或いはケーブルを用いて伝
達している。

【００２７】この昇降機構5bとしては、チエーン或いは
ワイヤを用いる吊り下げ方式か、ボールネジを用いたネ
ジ送り方式を用いることが可能である。この走行駆動部
5cとしては、床面に設けたラックと噛み合うピニオンを
駆動モータで回転させることにより駆動する方式か、ゴ
ムタイヤを備えた車輪を駆動モータで回転させて走行さ
せる方式を用いることが可能である。

【００２８】これらのロボット5a、昇降機構5b、走行駆
動部5cを駆動するモータへの給電方法としては、ケーブ
ルを用いる方法か、地下鉄などに用いられているトロー
リ方式を用いることが可能である。

【００２９】その後、この保管されているキャリア１
は、工程内搬送台車５によりローダー７に移載され、ロ
ーダー７が被処理物をキャリア１から取り出す機構部を
備えているので、キャリア１内に収納されている被処理
物はローダー７により処理装置６に搬送することが可能
である。

【００３０】このように、隣接する他の工程から搬送台
車２に搭載されて搬送されてきたキャリア１は、工程内
搬送台車５に設けられているロボット5aにより工程内搬
送台車５に移載され、工程内搬送台車５で搬送されて保
管棚４に一旦保管される。

【００３１】この保管棚４に保管されているキャリア１
は、工程内搬送台車５によりローダー７に移載され、ロ
ーダー７のキャリア取り出し機構によりキャリア１に収
納されていた被処理物が取り出され、この被処理物はロ
ーダー７により処理装置６に移載される。

【００３２】保管棚４の奥行きはキャリア１の寸法に合
わせて浅くすることができるので、保管棚４の設置面積
を小さくすることができ、キャリア１を保管棚４の両面
から取り出すことができるので、キャリア１の取り出し
を短時間に行うことが可能となる。

【００３３】本発明のキャリア搬送装置の第２の実施例
を示す図３及び図４には製造工程の一工程の処理装置の
配置のみを図示しているが、この工程の前後にはそれぞ
れ他の工程の処理装置が配置されており、これらの工程
の間には図示するように軌道３が敷設されており、被処
理物を収納したキャリア１を搭載した搬送台車２がこの
軌道３の上を走行して被処理物を工程間で搬送するよう
になっている。

【００３４】隣接する他の工程からこの図示する工程に
搬送されてきた搬送台車２に搭載されたキャリア１は、
この軌道３に近接して設けられた図５に示すような移載
装置８により、この軌道３に対して垂直方向に設けられ
た仮保管装置９に移載され、更に、キャリア１は図５に
示すキャリア回転機構10により所望の方向に回転され
る。

【００３５】この方向が決められたキャリア１は、ロボ
ット5aを備えた工程内搬送台車５により搬送されて保管
棚４の各棚に一旦保管される。その後、この保管されて
いるキャリア１は、工程内搬送台車５によりローダー７
に移載され、ローダー７が被処理物をキャリア１から取
り出す機構部を備えているので、キャリア１内に収納さ
れている被処理物はローダー７により処理装置６に搬送
することが可能である。

【００３６】このように、隣接する他の工程から搬送台
車２に搭載されて搬送されてきたキャリア１は、移載装
置８、キャリア回転機構10により仮保管装置９内で方向
が決められ、工程内搬送台車５に設けられているロボッ
ト5aにより工程内搬送台車５に移載され、搬送されて保
管棚４に一旦保管される。

【００３７】この保管棚４に保管されているキャリア１
は、工程内搬送台車５によりローダー７に移載され、ロ
ーダー７のキャリア取り出し機構によりキャリア１に収
納されていた被処理物を取り出し、この被処理物をロー
ダー７により処理装置６に搬送される。

【００３８】保管棚４の奥行きはキャリア１の寸法に合
わせて浅くすることができるので、保管棚４の設置面積
を小さくすることができ、キャリア１を保管棚４の両面
から取り出すことができるので、キャリア１の取り出し
を短時間に行うことが可能となる。

【００３９】本発明のキャリア搬送装置の第３の実施例
を示す図７には製造工程の一工程の処理装置の配置のみ
を図示しているが、この工程の前後にはそれぞれ他の工
程の処理装置が配置されており、これらの工程の間には
図示するように軌道３が敷設されており、被処理物を収
納したキャリア１を搭載した搬送台車２がこの軌道３の
上を走行して被処理物を工程間で搬送するようになって
いる。

【００４０】第３の実施例では、搬送台車２からキャリ
ア回転機構10までのキャリア１の移載は第２の実施例と
同じであるが、キャリア１を一旦収納する保管棚４が二
列設けられているので、保管棚４の収納能力が二倍にな
っており、その間に設けた工程内搬送台車５によりキャ
リア１を保管棚４に搬入し、保管棚４と処理装置６との
間に設けた工程内搬送台車５によりキャリア１を保管棚
４から搬出することが可能である。

【００４１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構成の変更によりロボット、昇降
機構を有する工程内搬送台車を設けるので、保管棚の構
造を簡略化し、設置面積を小さくすることができ、キャ
リアの搬送を短時間に行うことが可能となる等の利点が
あり、著しい経済的効果が期待できるキャリア搬送装置
の提供が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のキャリア搬送装置の第１の実施例を
示す平面図

【図２】 本発明のキャリア搬送装置の第１の実施例を
示す斜視図

【図３】 本発明のキャリア搬送装置の第２の実施例を
示す平面図

【図４】 本発明のキャリア搬送装置の第２の実施例の
片方の処理装置側の斜視図

【図５】 本発明のキャリア搬送装置の第２の実施例の
キャリアの移載装置、仮保管装置及びキャリア回転装置
を示す斜視図

【図６】 本発明のキャリア搬送装置の工程内搬送台車
の構造を示す斜視図

【図７】 本発明のキャリア搬送装置の第３の実施例の
片方の処理装置側の斜視図

【図８】 従来のキャリア搬送装置の斜視図

【符号の説明】

１ キャリア ２ 搬送台車 ３ 軌道 ４ 保管棚 ５ 工程内搬送台車 5a ロボット 5b 昇降機構 5c 走行駆動部 ６ 処理装置 ７ ローダー ８ 移載装置 ９ 仮保管装置 10 キャリア回転機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 忠幸 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 柳川 昌史 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 石崎 恭弘 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 志村 敏克 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリアを工程間で搬送する搬送台車
   と、工程内搬送台車とを有するキャリア搬送装置であっ
   て、 前記工程内搬送台車は、該キャリアを前記搬送台車から
   前記工程内に搬入して処理装置に搬送し、或いは該キャ
   リアを保管棚に収納するものであって、前記キャリアを
   前記搬送台車から前記工程内搬送台車に移載する移載機
   構部と、該移載機構部を上下させる昇降機構とを有する
   ことを特徴とするキャリア搬送装置。
2. 【請求項２】 キャリアを工程間で搬送する搬送台車
   と、工程内搬送台車と、前記搬送台車に搭載されている
   前記キャリアを仮保管装置に移載する移載装置と、前記
   仮保管装置に移載された前記キャリアの方向を変更する
   キャリア回転機構とを有し、 前記工程内搬送台車は、該キャリアを前記搬送台車から
   前記工程内に搬入して処理装置に搬送し、或いは該キャ
   リアを保管棚に収納するものであって、前記キャリアを
   前記搬送台車から前記工程内搬送台車に移載する移載機
   構部と、該移載機構部を上下させる昇降機構とを有する
   ことを特徴とするキャリア搬送装置。
3. 【請求項３】 前記保管棚が、複数並列して設けられ、
   該保管棚の間に前記工程内搬送台車が走行可能である請
   求項１または２記載のキャリア搬送装置。