JPH072316B2 - 無塵室用搬送ロボットによる搬送方法 - Google Patents
無塵室用搬送ロボットによる搬送方法Info
- Publication number
- JPH072316B2 JPH072316B2 JP61118890A JP11889086A JPH072316B2 JP H072316 B2 JPH072316 B2 JP H072316B2 JP 61118890 A JP61118890 A JP 61118890A JP 11889086 A JP11889086 A JP 11889086A JP H072316 B2 JPH072316 B2 JP H072316B2
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- free chamber
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- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、無塵室内で製造部品の搬送等に利用される無
塵室用搬送ロボットによる搬送方法に関する。
塵室用搬送ロボットによる搬送方法に関する。
（従来の技術） たとえば、超LSI等の半導体装置の製造を行なう無塵室
では、フィルタを透過させて清浄化した清浄空気を上方
から下方へ向けて層流にて流下させて循環し、塵の除去
が行なわれている。
では、フィルタを透過させて清浄化した清浄空気を上方
から下方へ向けて層流にて流下させて循環し、塵の除去
が行なわれている。
このような無塵室内では、人体が大きな発塵源となるた
め、その内部においては無人化が図られており、たとえ
ば半導体ウェハなどの製造部品の搬送に、無塵室用搬送
ロボットを使用することが考えられている。
め、その内部においては無人化が図られており、たとえ
ば半導体ウェハなどの製造部品の搬送に、無塵室用搬送
ロボットを使用することが考えられている。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、通常無塵室内では発塵源となる物品は、
下方へ配置し、塵等の付着を避ける必要がある物品は上
方へ配置して、上方から下方へ向けて流下する清浄空気
流によりその清浄化雰囲気が保たれており、無塵室用搬
送ロボットが無塵室内を走行することにより、この清浄
空気流が乱され、周囲に悪影響を及ぼす可能性がある。
下方へ配置し、塵等の付着を避ける必要がある物品は上
方へ配置して、上方から下方へ向けて流下する清浄空気
流によりその清浄化雰囲気が保たれており、無塵室用搬
送ロボットが無塵室内を走行することにより、この清浄
空気流が乱され、周囲に悪影響を及ぼす可能性がある。
また、このような影響を除くためには、無塵室用搬送ロ
ボットの走行速度を低下させれば良いが、無塵室用搬送
ロボットの走行速度を遅くすると、搬送に時間を要し、
作業効率が悪化するという問題が生じる。
ボットの走行速度を低下させれば良いが、無塵室用搬送
ロボットの走行速度を遅くすると、搬送に時間を要し、
作業効率が悪化するという問題が生じる。
本発明は、かかる問題に対処してなされたもので、走行
速度を低下させることなく、高能率で搬送作業を行なう
ことができ、かつ、無塵室内の清浄空気流を乱すことが
少なく、無塵室内の清浄化雰囲気を保つことのできる無
塵室用搬送ロボットによる搬送方法を提供しようとする
ものである。
速度を低下させることなく、高能率で搬送作業を行なう
ことができ、かつ、無塵室内の清浄空気流を乱すことが
少なく、無塵室内の清浄化雰囲気を保つことのできる無
塵室用搬送ロボットによる搬送方法を提供しようとする
ものである。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明の無塵室用搬送ロボットによる搬送方法
は、走行装置と、搬送物収容部と、搬送物積み下ろし装
置とを具備した無塵室用搬送ロボットによる搬送方法に
おいて、前記搬送物収容部および前記搬送物積み下ろし
装置を上昇及び下降させる上昇下降装置を設け、前記搬
送物収容部および前記搬送物積み下ろし装置を、走行中
は低位置に降下させ、積み下ろし操作中は所望の高さに
上昇させることを特徴とする。
は、走行装置と、搬送物収容部と、搬送物積み下ろし装
置とを具備した無塵室用搬送ロボットによる搬送方法に
おいて、前記搬送物収容部および前記搬送物積み下ろし
装置を上昇及び下降させる上昇下降装置を設け、前記搬
送物収容部および前記搬送物積み下ろし装置を、走行中
は低位置に降下させ、積み下ろし操作中は所望の高さに
上昇させることを特徴とする。
（作 用） 本発明の無塵室用搬送ロボットによる搬送方法によれ
ば、搬送部を収容する搬送物収容部および搬送部の積み
下ろしを行なう搬送物積み下ろし装置を上昇、降下させ
る上昇下降装置によって、走行中はこの搬送物収容部お
よび搬送物積み下ろし装置を低位置に降下させるので、
高速で移動しても無塵室内の特に搬送物が置かれる高さ
の清浄空気流を乱すことが少なく、周囲に及ぼす影響を
減少させることができる。
ば、搬送部を収容する搬送物収容部および搬送部の積み
下ろしを行なう搬送物積み下ろし装置を上昇、降下させ
る上昇下降装置によって、走行中はこの搬送物収容部お
よび搬送物積み下ろし装置を低位置に降下させるので、
高速で移動しても無塵室内の特に搬送物が置かれる高さ
の清浄空気流を乱すことが少なく、周囲に及ぼす影響を
減少させることができる。
（実施例） 以下、本発明の詳細を図面に示す一実施例について説明
する。
する。
第１図および第２図は本発明の一実施例として半導体ウ
エハの搬送を行う無塵室用搬送ロボットを示すもので、
この実施例の無塵室用搬送ロボットでは、駆動輪１、走
行用駆動装置２等からなる走行装置を配置された基台３
に４本の支柱４が設けられており、この支柱４によって
支持された上昇下降基台５には、半導体ウエハを収容す
る搬送物収容部６と、積み下ろし作業用アーム７からな
る搬送物積み下ろし装置が配置されている。
エハの搬送を行う無塵室用搬送ロボットを示すもので、
この実施例の無塵室用搬送ロボットでは、駆動輪１、走
行用駆動装置２等からなる走行装置を配置された基台３
に４本の支柱４が設けられており、この支柱４によって
支持された上昇下降基台５には、半導体ウエハを収容す
る搬送物収容部６と、積み下ろし作業用アーム７からな
る搬送物積み下ろし装置が配置されている。
また、４本の支柱４には、それぞれ、上昇下降基台５を
上昇および下降させるための上昇下降装置９が配置され
ている。これらの上昇下降装置９は、第２図に示すよう
構成されており、基台３に固定された円筒状のガイド10
内には、ブレーキ11を備えたDCモータ12に接続されたボ
ールスクリュー13が配置されており、上昇下降基台５に
固定されガイド10に圧接されたガイド車輪14を備えたダ
ストカバー15内には、支持部16に固定されボールスクリ
ュー13に螺合されたボールナット17が配置されている。
上昇および下降させるための上昇下降装置９が配置され
ている。これらの上昇下降装置９は、第２図に示すよう
構成されており、基台３に固定された円筒状のガイド10
内には、ブレーキ11を備えたDCモータ12に接続されたボ
ールスクリュー13が配置されており、上昇下降基台５に
固定されガイド10に圧接されたガイド車輪14を備えたダ
ストカバー15内には、支持部16に固定されボールスクリ
ュー13に螺合されたボールナット17が配置されている。
上記構成のこの実施例の無塵室用搬送ロボットでは、各
支柱４に配置された上昇下降装置９のDCモータ12を同期
運転させることにより、搬送物収容部６および搬送物積
み下ろし装置を配置された上昇下降基台５を走行中は低
位置に降下させ、積み下ろし作業時はその作業高さに応
じて上昇させる。
支柱４に配置された上昇下降装置９のDCモータ12を同期
運転させることにより、搬送物収容部６および搬送物積
み下ろし装置を配置された上昇下降基台５を走行中は低
位置に降下させ、積み下ろし作業時はその作業高さに応
じて上昇させる。
したがって無塵室内を高速で走行しても、上方から下方
へ流下する清浄空気流を乱すことが少なく、作業能率の
向上と清浄化雰囲気の確保を同時に行なうことができ
る。また、走行中の重心が低くなるので、安定した走行
が可能となり、転倒防止および搬送物収容部６内の搬送
物に与える振動の軽減等を図ることもできる。
へ流下する清浄空気流を乱すことが少なく、作業能率の
向上と清浄化雰囲気の確保を同時に行なうことができ
る。また、走行中の重心が低くなるので、安定した走行
が可能となり、転倒防止および搬送物収容部６内の搬送
物に与える振動の軽減等を図ることもできる。
このように作業高さに応じて調整可能な構成であるた
め、多種の作業を実行させることができ、人間の入室制
限のあるクリーンロボットとして好適である。即ち、加
工される半導体ウエハが収納されるキャリアを、順次工
程順に次々に搬送させることが可能である。
め、多種の作業を実行させることができ、人間の入室制
限のあるクリーンロボットとして好適である。即ち、加
工される半導体ウエハが収納されるキャリアを、順次工
程順に次々に搬送させることが可能である。
［発明の効果］ 以上述べたように本発明の無塵室用搬送ロボットによる
搬送方法では、搬送物を収容する搬送物収容部および搬
送部の積み下ろしを行なう搬送物積み下ろし装置を上
昇、下降させる上昇下降装置によって、走行中はこの搬
送物収容部および搬送物積み下ろし装置の少なくとも一
部を低位置に降下させるので、高速で移動しても従来に
比べて清浄空気流を乱すことが少なく、無塵室内の清浄
化雰囲気を保つことができる。
搬送方法では、搬送物を収容する搬送物収容部および搬
送部の積み下ろしを行なう搬送物積み下ろし装置を上
昇、下降させる上昇下降装置によって、走行中はこの搬
送物収容部および搬送物積み下ろし装置の少なくとも一
部を低位置に降下させるので、高速で移動しても従来に
比べて清浄空気流を乱すことが少なく、無塵室内の清浄
化雰囲気を保つことができる。
第１図は本発明の一実施例の無塵室用搬送ロボットを示
す一部切り欠き斜視図、第２図は第１図の要部を示す縦
断面図である。 １……駆動輪、２……走行用駆動装置、５……上昇下降
基台、６……搬送物収容部、７……積み下ろし作業用ア
ーム、９……上昇下降装置。
す一部切り欠き斜視図、第２図は第１図の要部を示す縦
断面図である。 １……駆動輪、２……走行用駆動装置、５……上昇下降
基台、６……搬送物収容部、７……積み下ろし作業用ア
ーム、９……上昇下降装置。
Claims (1)
- 【請求項１】走行装置と、搬送物収容部と、搬送物積み
下ろし装置とを具備した無塵室用搬送ロボットによる搬
送方法において、 前記搬送物収容部および前記搬送物積み下ろし装置を上
昇及び下降させる上昇下降装置を設け、前記搬送物収容
部および前記搬送物積み下ろし装置を、走行中は低位置
に降下させ、積み下ろし操作中は所望の高さに上昇させ
ることを特徴とする無塵室用搬送ロボットによる搬送方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61118890A JPH072316B2 (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 無塵室用搬送ロボットによる搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61118890A JPH072316B2 (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 無塵室用搬送ロボットによる搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62277284A JPS62277284A (ja) | 1987-12-02 |
| JPH072316B2 true JPH072316B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=14747679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61118890A Expired - Lifetime JPH072316B2 (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 無塵室用搬送ロボットによる搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH072316B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108987318B (zh) * | 2017-05-31 | 2020-10-16 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 搬运装置及其搬运方法 |
| WO2024053204A1 (ja) * | 2022-09-09 | 2024-03-14 | 東京ロボティクス株式会社 | モバイルマニピュレータ及びその制御方法、プログラム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59102581A (ja) * | 1982-12-01 | 1984-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | ワ−クステ−シヨン |
-
1986
- 1986-05-23 JP JP61118890A patent/JPH072316B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62277284A (ja) | 1987-12-02 |
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