JPS6221014Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6221014Y2 JPS6221014Y2 JP17829782U JP17829782U JPS6221014Y2 JP S6221014 Y2 JPS6221014 Y2 JP S6221014Y2 JP 17829782 U JP17829782 U JP 17829782U JP 17829782 U JP17829782 U JP 17829782U JP S6221014 Y2 JPS6221014 Y2 JP S6221014Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- carrier
- wafer
- elevator mechanism
- manufacturing equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 36
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 18
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Pile Receivers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
技術分野
この考案は半導体ウエーハの各製造室間又は装
置間等の搬送装置に関する。
置間等の搬送装置に関する。
背景技術
半導体ウエーハは汚染空気を嫌うので清浄空気
雰囲気に保たれた作業室内で不純物拡散や洗浄等
の各種処理が行われ、各種処理を行う製造装置間
のウエーハ搬送は一般に複数の半導体ウエーハを
整列させて収納したキヤリア単位で人手により行
われている。例えば半導体ウエーハ搬送装置とし
て多く使用されているものに自走式搬送車上にク
リーンボツクスを搭載したものがある。前記クリ
ーンボツクスは送風機や高精度のエアーフイルタ
を内蔵したもので、作業室内の空気をエアーフイ
ルタを通してボツクス内に送つてボツクス内に収
納した半導体ウエーハを保護するものであるが、
半導体ウエーハの製造装置からクリーンボツクス
へのカセツト搬入やクリーンボツクスから製造装
置への搬出は全て人手に頼るため工数的に問題が
多く、また前記搬入、搬出の際に半導体ウエーハ
が空気汚染される恐れが多分にあつた。
雰囲気に保たれた作業室内で不純物拡散や洗浄等
の各種処理が行われ、各種処理を行う製造装置間
のウエーハ搬送は一般に複数の半導体ウエーハを
整列させて収納したキヤリア単位で人手により行
われている。例えば半導体ウエーハ搬送装置とし
て多く使用されているものに自走式搬送車上にク
リーンボツクスを搭載したものがある。前記クリ
ーンボツクスは送風機や高精度のエアーフイルタ
を内蔵したもので、作業室内の空気をエアーフイ
ルタを通してボツクス内に送つてボツクス内に収
納した半導体ウエーハを保護するものであるが、
半導体ウエーハの製造装置からクリーンボツクス
へのカセツト搬入やクリーンボツクスから製造装
置への搬出は全て人手に頼るため工数的に問題が
多く、また前記搬入、搬出の際に半導体ウエーハ
が空気汚染される恐れが多分にあつた。
考案の開示
本考案は上記問題点に鑑みてなされたもので、
製造装置から半導体ウエーハの搬入と製造装置へ
の半導体ウエーハの搬出を自動化させた半導体ウ
エーハ搬送装置を提供する。
製造装置から半導体ウエーハの搬入と製造装置へ
の半導体ウエーハの搬出を自動化させた半導体ウ
エーハ搬送装置を提供する。
本考案は製造装置間を自走する搬送体に複数の
半導体ウエーハを収納するキヤリアを上下動させ
るエレベータ機構と、キヤリアを適宜囲繞するボ
ツクスと、エレベータ機構とボツクス全体を水平
方向に定角度回転させる回転駆動機構を装備させ
たもので、搬送車が製造装置に近接する定位置に
ある時にキヤリアを定ピツチずつ上昇或は下降さ
せて製造装置とキヤリア間で半導体ウエーハの搬
入、搬出を自動的に行い、製造装置間の移動中は
キヤリアを清浄空気雰囲気に保たれたボツクス内
に収納保管させて半導体ウエーハを空気汚染から
保護する。このようにすれば人手を介することな
く製造装置間で半導体ウエーハを搬送することが
でき、上記従来の工数的な問題点や汚染問題が解
決できる。
半導体ウエーハを収納するキヤリアを上下動させ
るエレベータ機構と、キヤリアを適宜囲繞するボ
ツクスと、エレベータ機構とボツクス全体を水平
方向に定角度回転させる回転駆動機構を装備させ
たもので、搬送車が製造装置に近接する定位置に
ある時にキヤリアを定ピツチずつ上昇或は下降さ
せて製造装置とキヤリア間で半導体ウエーハの搬
入、搬出を自動的に行い、製造装置間の移動中は
キヤリアを清浄空気雰囲気に保たれたボツクス内
に収納保管させて半導体ウエーハを空気汚染から
保護する。このようにすれば人手を介することな
く製造装置間で半導体ウエーハを搬送することが
でき、上記従来の工数的な問題点や汚染問題が解
決できる。
考案を実施するための最良の形態
第１図乃至第３図の実施例において、１は箱型
の自走式搬送車で、例えば車輪２を有して床３に
敷設されたレール４上を走行する。５は搬送車１
上に搭載された回転駆動機構で搬送車１上に回転
可能に保持された水平な回転台６と回転６をその
中心線ｌを中心に例えば180゜往復回転させる正
逆回転可なモータ７を有する。８は回転台６上に
搭載されたエレベータ機構、９は回転台６の上方
に回転台６と一体に支持されたボツクス、１０は
半導体ウエーハ（以下単にウエーハと称す）、１
１はウエーハ１０を複数枚平行に整列させて収納
するキヤリアである。
の自走式搬送車で、例えば車輪２を有して床３に
敷設されたレール４上を走行する。５は搬送車１
上に搭載された回転駆動機構で搬送車１上に回転
可能に保持された水平な回転台６と回転６をその
中心線ｌを中心に例えば180゜往復回転させる正
逆回転可なモータ７を有する。８は回転台６上に
搭載されたエレベータ機構、９は回転台６の上方
に回転台６と一体に支持されたボツクス、１０は
半導体ウエーハ（以下単にウエーハと称す）、１
１はウエーハ１０を複数枚平行に整列させて収納
するキヤリアである。
エレベータ機構８は回転台６の周辺部に設置さ
れた正逆回転可能なモータ１２と、モータ１２の
回転軸に連結されて垂直方向に延びる送りネジ１
３と、送りネジ１３に直交して一部が螺装された
水平な昇降台１４と、昇降台１４の一部を上下に
スライド自在に貫通して上下端が回転台６とボツ
クス９に固定されたガイドロツド５とで構成され
る。りネジ１３の上端はボツクス９を支持する支
持枠１６に枢着され、送りネジ１３の正逆回転で
昇降台１４がボツクス９の下方で上下動する。昇
降台１４はボツクス９と対向する上面でキヤリア
１１を図示の如くウエーハ１０を水平にした状態
で位置決め搭載する。
れた正逆回転可能なモータ１２と、モータ１２の
回転軸に連結されて垂直方向に延びる送りネジ１
３と、送りネジ１３に直交して一部が螺装された
水平な昇降台１４と、昇降台１４の一部を上下に
スライド自在に貫通して上下端が回転台６とボツ
クス９に固定されたガイドロツド５とで構成され
る。りネジ１３の上端はボツクス９を支持する支
持枠１６に枢着され、送りネジ１３の正逆回転で
昇降台１４がボツクス９の下方で上下動する。昇
降台１４はボツクス９と対向する上面でキヤリア
１１を図示の如くウエーハ１０を水平にした状態
で位置決め搭載する。
ボツクス９は内部を清浄空気雰囲気にするクリ
ーンボツクス機能を有するもので、底部が開口さ
れ、キヤリア１１を収容する容積を持つ。ボツク
ス９の底部開口端にはパツキング１７が固定さ
れ、このパツキング１７に上死点まで上昇した昇
降台１４が当接することによつてボツクス９内は
密閉構造となる。ボツクス９内壁面にはボツクス
９内のウエーハ１０の上下方向の動きを検出する
ホトセンサ１８，１８′が設置され、このホトセ
ンサ１８，１８′からの検出信号にてエレベータ
機構８のモータ１２が制御されて昇降台１４がボ
ツクス９内のウエーハ１０をその配列ピツチずつ
問題的に上下動させるよう動く。ボツクス９の中
心は回転台６の回転中心線ｌ上に設置される。
ーンボツクス機能を有するもので、底部が開口さ
れ、キヤリア１１を収容する容積を持つ。ボツク
ス９の底部開口端にはパツキング１７が固定さ
れ、このパツキング１７に上死点まで上昇した昇
降台１４が当接することによつてボツクス９内は
密閉構造となる。ボツクス９内壁面にはボツクス
９内のウエーハ１０の上下方向の動きを検出する
ホトセンサ１８，１８′が設置され、このホトセ
ンサ１８，１８′からの検出信号にてエレベータ
機構８のモータ１２が制御されて昇降台１４がボ
ツクス９内のウエーハ１０をその配列ピツチずつ
問題的に上下動させるよう動く。ボツクス９の中
心は回転台６の回転中心線ｌ上に設置される。
次に上記装置による製造装置間のウエーハ搬送
動作を、例えば第４図に示すように２つの製造装
置Ａ，Ｂ間にレール４が敷設され、製造装置Ａか
らウエーハ１０を受けて製造装置Ｂに送り込む動
作でもつて説明すると、先ず製造装置Ａの前の定
ポジシヨンP1に上記搬送装置Ｃを移動させ、ボツ
クス９の開口底部におけるウエーハ出入口部分ｍ
を製造装置Ａのウエーハ搬出部である例えばコン
ベアベルト２０ａに向ける。この状態で空のキヤ
リア１１を搭載した昇降台１４を例えば下死点か
ら１ピツチずつ上昇させて、１ピツチ上昇毎にキ
ヤリア１１の上部よりコンベアベルト２０ａから
送られてくるウエーハ１０を１枚ずつキヤリア１
１内へ搬入する。キヤリア１１に全てのウエーハ
１０，１０……が収納されると昇降台１４を上死
点まで上昇させてボツクス９を密閉し、その状態
を保持させて搬送装置Ｃを後退させ、第５図に示
す如く次の製造装置Ｂへ移動させる。この移動の
間ボツクス９内を清浄空気雰囲気にする。搬送装
置Ｃは製造装置Ｂの前の定ポジシヨンP2にくる間
に回転台６を180゜回転させ、定ポジシヨンP2で
停止するとボツクス９のウエーハ出入口部分ｍが
製造装且Ｂのウエーハ搬入部である例えばコンベ
アベルト２０ｂに対向する。後は第６図に示すよ
うに昇降台１４を１ピツチずつ下降させながらキ
ヤリア１１の下部からウエーハ１０を１枚ずつコ
ンベアベルト２０ｂへと送り込む動作をする。
動作を、例えば第４図に示すように２つの製造装
置Ａ，Ｂ間にレール４が敷設され、製造装置Ａか
らウエーハ１０を受けて製造装置Ｂに送り込む動
作でもつて説明すると、先ず製造装置Ａの前の定
ポジシヨンP1に上記搬送装置Ｃを移動させ、ボツ
クス９の開口底部におけるウエーハ出入口部分ｍ
を製造装置Ａのウエーハ搬出部である例えばコン
ベアベルト２０ａに向ける。この状態で空のキヤ
リア１１を搭載した昇降台１４を例えば下死点か
ら１ピツチずつ上昇させて、１ピツチ上昇毎にキ
ヤリア１１の上部よりコンベアベルト２０ａから
送られてくるウエーハ１０を１枚ずつキヤリア１
１内へ搬入する。キヤリア１１に全てのウエーハ
１０，１０……が収納されると昇降台１４を上死
点まで上昇させてボツクス９を密閉し、その状態
を保持させて搬送装置Ｃを後退させ、第５図に示
す如く次の製造装置Ｂへ移動させる。この移動の
間ボツクス９内を清浄空気雰囲気にする。搬送装
置Ｃは製造装置Ｂの前の定ポジシヨンP2にくる間
に回転台６を180゜回転させ、定ポジシヨンP2で
停止するとボツクス９のウエーハ出入口部分ｍが
製造装且Ｂのウエーハ搬入部である例えばコンベ
アベルト２０ｂに対向する。後は第６図に示すよ
うに昇降台１４を１ピツチずつ下降させながらキ
ヤリア１１の下部からウエーハ１０を１枚ずつコ
ンベアベルト２０ｂへと送り込む動作をする。
尚、本考案は上記実施例に限らず、特にボツク
スやエレベータ機構の回転角はウエーハの搬入方
向と搬出方向に応じ変更され得る。
スやエレベータ機構の回転角はウエーハの搬入方
向と搬出方向に応じ変更され得る。
以上のように、本考案はウエーハの自動搬入、
搬出機能を有するので、人手を介することなく製
造マシーン間等のウエーハ搬送が全自動的にでき
て作業率の向上やウエーハの保護が確実にでき
る。
搬出機能を有するので、人手を介することなく製
造マシーン間等のウエーハ搬送が全自動的にでき
て作業率の向上やウエーハの保護が確実にでき
る。
第１図乃至第３図は本考案の一実施例を示す側
面図、正面図及び平面図、第４図乃至第６図は第
１図の搬送装置の動作を説明するための各動作時
の概略側面図である。 １……搬送体、５……回転駆動機構、８……エ
レベータ機構、９……ボツクス、１０……半導体
ウエーハ、１１……キヤリア、１４……昇降台。
面図、正面図及び平面図、第４図乃至第６図は第
１図の搬送装置の動作を説明するための各動作時
の概略側面図である。 １……搬送体、５……回転駆動機構、８……エ
レベータ機構、９……ボツクス、１０……半導体
ウエーハ、１１……キヤリア、１４……昇降台。
Claims (1)
- 自走式搬送車に、複数の半導体ウエーハを上下
方向に整列させて出し入れ自在に収納するキヤリ
アを搭載する昇降台を上下動させるエレベータ機
構と、上死点にある前記昇降台で開口底が密閉さ
れて前記キヤリアを囲繞するボツクスと、前記エ
レベータ機構とボツクスの全体を支持して水平方
向に定角度で回転させる回転駆動機構とを装備さ
せたことを特徴とする半導体ウエーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17829782U JPS5981035U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 半導体ウエ−ハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17829782U JPS5981035U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 半導体ウエ−ハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981035U JPS5981035U (ja) | 1984-05-31 |
| JPS6221014Y2 true JPS6221014Y2 (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=30387136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17829782U Granted JPS5981035U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 半導体ウエ−ハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981035U (ja) |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP17829782U patent/JPS5981035U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5981035U (ja) | 1984-05-31 |
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