JP2010507229A - 単一の軌道位置から高架ホイスト搬送手段により材料収納棚の一つまたは複数のレベルへアクセスする方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (29)
- 少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムと少なくとも1つの材料収納部とを備える自動材料搬送システムであって、
前記少なくとも1つの高架ホイスト搬送サブシステムは、高架軌道と、少なくとも1つの材料ユニットを支持するように構成された少なくとも1つの移動アームと、前記少なくとも1つの移動アームを前記高架軌道に沿った複数の軌道位置に運ぶことができ且つ前記少なくとも1つの移動アームを複数のレベルに昇降することができるように構成された高架ホイスト搬送手段とを含み、前記レベルの各々は前記複数の軌道位置の少なくとも1つに対応しており、
前記少なくとも1つの移動アームは、当該アームの長手方向に沿って少なくとも1つの材料ユニットを搬送する搬送機構を少なくとも1つ有し、
前記少なくとも1つの材料収納部は前記少なくとも1つの材料ユニットを収納できるように構成され、前記少なくとも1つの材料収納部は前記軌道の第1の側の所定レベルに設けられ、
前記高架ホイスト搬送手段はさらに、前記少なくとも1つの移動アームを前記材料収納部近傍の軌道位置へ前記高架軌道に沿って運ぶことができると共に、前記少なくとも1つの移動アームを上昇もしくは下降して前記移動アームをほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置することができ、
前記少なくとも1つの移動アームは、ほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は少なくとも、前記高架軌道の前記第1の側に向かって横方向に動くことにより前記高架ホイスト搬送手段内の第1の位置から前記高架ホイスト搬送手段外の第2の位置へ移動することができ、当該移動により前記少なくとも1つの搬送機構は少なくとも1つの材料ユニットを前記材料収納部から前記アームの長手方向の少なくとも一部に搬送することができるか、少なくとも1つの材料ユニットを前記アームから前記材料収納部に搬送することができるように構成されていることを特徴とする自動材料搬送システム。 - 前記少なくとも1つの移動アームはさらに、ほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は少なくとも、前記高架ホイスト搬送手段外の前記第2の位置から前記高架ホイスト搬送手段内の前記第1の位置へ移動することができ、当該移動により、当該アーム上にある前記少なくとも1つの材料ユニットを前記高架ホイスト搬送手段内へ運ぶことができる請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は少なくとも1つの棚を含み、
前記少なくとも1つの移動アームは一対の移動アームからなり、
前記一対の移動アームは、ほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は、前記高架軌道の前記第1の側に向かって横方向に移動することにより前記高架ホイスト搬送手段内の前記第1の位置から前記高架ホイスト搬送手段外の前記第2の位置へ移動することができ、当該移動により、前記一対の移動アームを前記棚の両側近傍に位置させることができる請求項1記載の自動材料搬送システム。 - 前記材料ユニットの幅は前記棚の幅より大きく、よって、前記材料ユニットが前記棚に収納されている間は、前記材料ユニットの底面の一部が前記棚の前記両側からはみ出て、
前記少なくとも1つの搬送機構は、前記棚の前記両側近傍に位置している間は、前記材料ユニットの前記底面のはみ出し部分に接触することができる請求項3記載の自動材料搬送システム。 - 前記少なくとも1つの搬送機構は、前記材料ユニットの前記底面の前記はみ出し部分に接触する複数の第1ローラを有し
前記複数の第1ローラは、前記材料ユニットを前記棚から前記一対の移動アームの長手方向の少なくとも一部の上に移動することができるか、前記材料ユニットを前記一対のアームから前記棚へ移動することできる請求項4記載の自動材料搬送システム。 - 前記材料ユニットの前記棚への出し入れを容易にするために、前記棚の表面には複数の第2ローラが設けられた請求項5記載の自動材料搬送システム。
- 前記一対の移動アームは、ほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は少なくとも、前記高架ホイスト搬送手段外の前記第2の位置から前記高架ホイスト搬送手段内の前記第1の位置へ移動することができ、当該移動により、当該アーム上にある前記少なくとも1つの材料ユニットを前記高架ホイスト搬送手段内へ運ぶことができる請求項5記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は、前記高架軌道の前記第1の側の前記所定レベルに設けられた第1材料収納部と、前記高架軌道の第2の側の前記所定レベルに設けられた第2材料収納部とを有し、前記高架軌道の前記第2の側は前記高架軌道の前記第1の側の反対側である請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記一対の移動アームはさらに、前記高架軌道の前記第2の側へ向かって横方向に動くことにより、前記高架ホイスト搬送手段に近い前記第1の位置から前記第2材料収納部に近い第3の位置へ移動することができ、当該移動により、前記少なくとも1つの搬送機構は、前記第2材料収納部から少なくとも1つの材料ユニットを前記アームの長手方向の少なくとも一部の上へ搬送することができるか、前記アームから少なくとも1つの材料ユニットを前記第2材料収納部へ搬送することができる請求項8記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は複数の材料収納部からなり、当該複数の材料収納部は前記高架軌道の脇に一列で且つ前記高架軌道にほぼ平行に配置される請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は複数の材料収納部からなり、当該複数の材料収納部は前記高架軌道の脇に複数の列で且つ前記高架軌道にほぼ平行に配置される請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の材料収納部は複数の行と複数の列からなる所定の配列で設けられる請求項11記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は複数の第1材料収納部と複数の第2材料収納部とからなり、前記複数の第1材料収納部は前記高架軌道の前記第1の側に一列で配置され、前記複数の第2材料収納部は前記高架軌道の第2の側に一列で配置され、前記高架軌道の前記第2の側は前記高架軌道の前記第1の側の反対側である請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の第1材料収納部は前記高架軌道の前記第1の側に吊設され、前記複数の第2材料収納部は前記高架軌道の前記第2の側に吊設される請求項13記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の第1材料収納部と前記複数の第2材料収納部は天井から吊設される請求項14記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は複数の第1材料収納部と複数の第2材料収納部とからなり、前記複数の第1材料収納部は前記高架軌道の前記第1の側に複数列で配置され、前記複数の第2材料収納部は前記高架軌道の第2の側に複数列で配置され、前記高架軌道の前記第2の側は前記高架軌道の前記第1の側の反対側である請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の第1材料収納部と前記複数の第2材料収納部は、それぞれ複数の行と複数の列からなる所定の配列で設けられる請求項16記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の第1材料収納部は前記高架軌道の前記第1の側に吊設され、前記複数の第2材料収納部は前記高架軌道の前記第2の側に吊設される請求項16記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の第1材料収納部と前記複数の第2材料収納部は天井から吊設される請求項18記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は前記高架軌道の前記第1の側に吊設される請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は天井から吊設される請求項20記載の自動材料搬送システム。
- 前記材料ユニットはFOUPもしくは製造部品を含む請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 自動材料搬送システムを操作する方法であって、
前記方法は少なくとも1つの高架ホイスト搬送サブシステムを設けるステップを含み、前記高架ホイスト搬送サブシステムは、高架軌道と、少なくとも1つの材料ユニットを支持する少なくとも1つの移動アームと、高架ホイスト搬送手段とを含み、前記高架ホイスト搬送手段は、前記少なくとも1つの移動アームを前記高架軌道に沿った複数の軌道位置に運ぶことができ且つ前記少なくとも1つの移動アームを複数のレベルに昇降することができ、前記レベルの各々は前記複数の軌道位置の少なくとも1つに対応しており、前記少なくとも1つの移動アームは、当該アームの長手方向に沿って少なくとも1つの材料ユニットを搬送する搬送機構を少なくとも1つ有し、
前記方法はさらに、前記少なくとも1つの材料ユニットを収納する少なくとも1つの材料収納部を設けるステップを含み、前記少なくとも1つの材料収納部は前記軌道の第1の側の所定レベルに設けられ、
前記方法はさらに、前記高架ホイスト搬送手段によって、前記少なくとも1つの移動アームを前記材料収納部近傍の軌道位置へ前記高架軌道に沿って運ぶステップと、
前記高架ホイスト搬送手段によって、前記少なくとも1つの移動アームを上昇、下降若しくは昇降して、前記移動アームをほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置するステップとを含み、
第1の移動ステップにおいて、前記少なくとも1つの移動アームがほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は少なくとも、前記少なくとも1つの移動アームを前記高架軌道の前記第1の側に向かって前記高架ホイスト搬送手段内の第1の位置から前記高架ホイスト搬送手段外の第2の位置へ横方向に移動し、
第2の移動ステップにおいて、前記少なくとも1つの搬送機構によって、少なくとも1つの材料ユニットを前記材料収納部から前記アームの長手方向の少なくとも一部に搬送するか、少なくとも1つの材料ユニットを前記アームから前記材料収納部に搬送することを特徴とする方法。 - 前記少なくとも1つの移動アームがほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は少なくとも、前記少なくとも1つの移動アームを前記高架ホイスト搬送手段外の前記第2の位置から前記高架ホイスト搬送手段内の前記第1の位置へ動かすステップをさらに含み、よって、当該アーム上にある前記少なくとも1つの材料ユニットを前記高架ホイスト搬送手段内へ運ぶことができる請求項23記載の方法。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は少なくとも1つの棚を含み、
前記少なくとも1つの移動アームは一対の移動アームからなり、
前記第1の移動ステップは、前記一対の移動アームがほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は、前記一対の移動アームを前記高架軌道の前記第1の側に向かって横方向に移動することにより、前記一対の移動アームを前記高架ホイスト搬送手段内の前記第1の位置から前記高架ホイスト搬送手段外の前記第2の位置へ動かすステップを含み、よって、前記一対の移動アームを前記棚の両側近傍に位置することができる請求項23記載の方法。 - 前記材料ユニットの幅は前記棚の幅より大きく、よって、前記材料ユニットが前記棚に収納されている間は、前記材料ユニットの底面の一部が前記棚の前記両側からはみ出て、
前記第1の移動ステップは、前記移動アームが前記棚の前記両側近傍に位置している間は、前記材料ユニットの前記底面のはみ出し部分に前記一対の移動アームによって接触するステップを含む請求項25記載の方法。 - 前記少なくとも1つの搬送機構は複数のローラを有し、
前記第2の移動ステップは、前記複数のローラによって前記材料ユニットの前記底面の前記はみ出し部分に接触するステップを含み、その後、前記材料ユニットは前記棚から前記一対の移動アームの長手方向の少なくとも一部の上に移動するか、前記一対のアームから前記棚へ移動する請求項26記載の方法。 - 前記一対の移動アームがほぼ前記材料収納部の前記所定レベルに位置している間は少なくとも、前記一対の移動アームを前記高架ホイスト搬送手段外の前記第2の位置から前記高架ホイスト搬送手段内の前記第1の位置へ動かすステップをさらに含み、よって、当該アーム上にある前記少なくとも1つの材料ユニットを前記高架ホイスト搬送手段内へ運ぶことができる請求項27記載の方法。
- 前記少なくとも1つの材料収納部は、前記高架軌道の前記第1の側の前記所定レベルに設けられた第1材料収納部と、前記高架軌道の第2の側の前記所定レベルに設けられた第2材料収納部とを有し、
前記高架軌道の前記第2の側は前記高架軌道の前記第1の側の反対側であり、 前記方法はさらに、
前記一対の移動アームを前記高架軌道の前記第2の側へ向かって横方向に動かすことにより、前記一対の移動アームを前記高架ホイスト搬送手段に近い前記第1の位置から前記第2材料収納部に近い第3の位置へ移動させるステップと、
前記少なくとも1つの搬送機構によって、少なくとも1つの材料ユニットを前記第2材料収納部から前記アームの長手方向の少なくとも一部の上へ搬送するか、前記少なくとも1つの材料ユニットを前記アームから前記第2材料収納部へ搬送するステップとをさらに含む請求項23記載の方法。
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009532426A Active JP5333997B2 (ja) | 2006-10-13 | 2007-10-12 | 自動材料搬送システム、及び自動材料搬送システムを操作する方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302477A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム |
TWI548578B (zh) * | 2015-03-24 | 2016-09-11 | Chroma Ate Inc | Lifting equipment for electronic components |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5677773B2 (ja) | 2010-07-09 | 2015-02-25 | 川崎重工業株式会社 | 板状部材移載設備 |
TWI415779B (zh) * | 2010-10-20 | 2013-11-21 | Inotera Memories Inc | 旋轉式儲存搬運系統及其控制方法 |
JP6102759B2 (ja) * | 2014-01-16 | 2017-03-29 | 株式会社ダイフク | 物品搬送台車 |
CN112930312B (zh) * | 2018-11-06 | 2022-08-30 | 村田机械株式会社 | 桥式输送车 |
JP7095750B2 (ja) * | 2018-11-06 | 2022-07-05 | 村田機械株式会社 | 天井吊下棚 |
CN109592563B (zh) * | 2019-02-01 | 2024-05-03 | 上海宜亮电子科技有限公司 | 一种吊运装置及吊运设备 |
CN114111960B (zh) * | 2021-11-29 | 2022-07-15 | 商丘师范学院 | 一种水位计自固定定位装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006515256A (ja) * | 2002-10-11 | 2006-05-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 単一の軌道位置から高架ホイスト搬送手段により材料収納棚の一つまたはそれ以上のレベルへ到達する方法 |
Family Cites Families (83)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1352947A (en) * | 1917-10-29 | 1920-09-14 | Jonathan P B Fiske | Process for handling clay products |
US3374878A (en) * | 1966-07-25 | 1968-03-26 | Andrew T. Kornylak | Roller conveyor system |
US3499554A (en) * | 1968-02-21 | 1970-03-10 | Commercial Affiliates | Stacker crane and warehouse system and method for stacking and storing rolls of material |
US3750804A (en) * | 1969-03-07 | 1973-08-07 | Triax Co | Load handling mechanism and automatic storage system |
US3531002A (en) * | 1969-07-15 | 1970-09-29 | Triax Co | Automatic storage apparatus |
US3583584A (en) * | 1969-08-18 | 1971-06-08 | Mcneil Corp | Warehousing |
US3762531A (en) * | 1971-08-26 | 1973-10-02 | Eaton Corp | Load stacker |
US3809259A (en) * | 1973-02-26 | 1974-05-07 | Kenway Eng Inc | Handle engaging tote pan retractor |
SE382796C (sv) * | 1973-08-22 | 1977-11-07 | Robur Konsult Ab | Anordning for automatiserad hantering av bankkassetter |
US4088232A (en) * | 1974-04-01 | 1978-05-09 | Clark Equipment Co. | Apparatus with storage cells disposed adjacent vertical shafts having covers and a lift means movable thereabove |
US4058452A (en) * | 1976-07-19 | 1977-11-15 | Uop Inc. | Alkylaromatic hydrocarbon dealkylation process |
US4311427A (en) * | 1979-12-21 | 1982-01-19 | Varian Associates, Inc. | Wafer transfer system |
JPS57194863A (en) * | 1981-05-24 | 1982-11-30 | Murata Mach Ltd | Automatic workpiece exchanger |
US4457661A (en) * | 1981-12-07 | 1984-07-03 | Applied Materials, Inc. | Wafer loading apparatus |
US4682927A (en) * | 1982-09-17 | 1987-07-28 | Nacom Industries, Incorporated | Conveyor system |
US4540326A (en) * | 1982-09-17 | 1985-09-10 | Nacom Industries, Inc. | Semiconductor wafer transport system |
GB2143028B (en) * | 1983-07-01 | 1986-11-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Discharge direction control device for air conditioner |
US4541769A (en) * | 1983-07-18 | 1985-09-17 | Twin City Monorail | Stacker crane fork mounting system |
US4668484A (en) * | 1984-02-13 | 1987-05-26 | Elliott David J | Transport containers for semiconductor wafers |
US4776744A (en) * | 1985-09-09 | 1988-10-11 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for wafer handling in semiconductor process equipment |
US4816116A (en) * | 1985-10-24 | 1989-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor wafer transfer method and arm mechanism |
FI73645C (fi) * | 1986-04-28 | 1987-11-09 | Tampella Oy Ab | Anordning foer hantering av plaotar eller liknande. |
US4934767A (en) * | 1986-05-16 | 1990-06-19 | Thermco Systems, Inc. | Semiconductor wafer carrier input/output drawer |
US5380139A (en) * | 1986-06-30 | 1995-01-10 | Kone Oy | Load handling method and system |
US4886412A (en) * | 1986-10-28 | 1989-12-12 | Tetron, Inc. | Method and system for loading wafers |
GB2198406B (en) * | 1986-11-26 | 1990-12-12 | Shinko Electric Co Ltd | Railway carrier apparatus for semiconductor wafers |
US4775281A (en) * | 1986-12-02 | 1988-10-04 | Teradyne, Inc. | Apparatus and method for loading and unloading wafers |
US5080549A (en) * | 1987-05-11 | 1992-01-14 | Epsilon Technology, Inc. | Wafer handling system with Bernoulli pick-up |
US4856956A (en) * | 1987-06-18 | 1989-08-15 | Supac Systems, Inc. | Container extraction and transfer mechanism for an automated storage and retrieval system |
US5064337A (en) * | 1988-07-19 | 1991-11-12 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers |
EP0462518B1 (de) * | 1990-06-20 | 1995-09-27 | Digitron AG | Verfahren und Vorrichtung zum Aufnehmen bzw. Absetzen von paketförmigem Gut |
NL9100632A (nl) * | 1991-04-10 | 1992-11-02 | Ind Contractors Holland Bv | Laad/los-inrichting, voertuig voorzien van een dergelijke inrichting, laad/los-station en werkwijze gebruikmakend van dat voertuig. |
US5421697A (en) * | 1993-03-02 | 1995-06-06 | Storage Technology Corporation | Telescopic pick-and-place robotic mechanism |
US5417537A (en) * | 1993-05-07 | 1995-05-23 | Miller; Kenneth C. | Wafer transport device |
JP3246642B2 (ja) * | 1994-05-16 | 2002-01-15 | 特種製紙株式会社 | 段積みしたシート状包装体の自動ピッキング方法及び装置 |
JP3331746B2 (ja) * | 1994-05-17 | 2002-10-07 | 神鋼電機株式会社 | 搬送システム |
US5615988A (en) * | 1995-07-07 | 1997-04-01 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having rotational capability |
US5647718A (en) * | 1995-07-07 | 1997-07-15 | Pri Automation, Inc. | Straight line wafer transfer system |
US5741109A (en) * | 1995-07-07 | 1998-04-21 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having vertical lifting capability |
US5738574A (en) * | 1995-10-27 | 1998-04-14 | Applied Materials, Inc. | Continuous processing system for chemical mechanical polishing |
US5751581A (en) * | 1995-11-13 | 1998-05-12 | Advanced Micro Devices | Material movement server |
TW348162B (en) * | 1996-09-30 | 1998-12-21 | Murada Kikai Kk | Work carrying system |
US6078845A (en) * | 1996-11-25 | 2000-06-20 | Schlumberger Technologies, Inc. | Apparatus for carrying semiconductor devices |
US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
US6579052B1 (en) * | 1997-07-11 | 2003-06-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF pod storage, delivery and retrieval system |
US5893795A (en) * | 1997-07-11 | 1999-04-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for moving a cassette |
US5993148A (en) * | 1997-07-22 | 1999-11-30 | Micron Technology, Inc. | Article transfer methods |
JPH1159829A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法 |
US6002840A (en) * | 1997-09-30 | 1999-12-14 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus |
JPH11121582A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備 |
US5947802A (en) * | 1997-11-05 | 1999-09-07 | Aplex, Inc. | Wafer shuttle system |
US6315512B1 (en) * | 1997-11-28 | 2001-11-13 | Mattson Technology, Inc. | Systems and methods for robotic transfer of workpieces between a storage area and a processing chamber |
JPH11180505A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-06 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JPH11222122A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 分岐軌道を備えた搬送設備 |
US6035245A (en) * | 1998-03-24 | 2000-03-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Automated material handling system method and arrangement |
JPH11349280A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
US6604624B2 (en) * | 1998-09-22 | 2003-08-12 | Hirata Corporation | Work conveying system |
US20010014268A1 (en) * | 1998-10-28 | 2001-08-16 | Charles S. Bryson | Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage |
US6068437A (en) * | 1998-11-24 | 2000-05-30 | Lab-Interlink | Automated laboratory specimen organizer and storage unit |
US6240335B1 (en) * | 1998-12-14 | 2001-05-29 | Palo Alto Technologies, Inc. | Distributed control system architecture and method for a material transport system |
WO2000055074A1 (en) * | 1999-03-18 | 2000-09-21 | Pri Automation, Inc. | Person-guided vehicle |
US6361422B1 (en) * | 1999-06-15 | 2002-03-26 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for transferring semiconductor substrates using an input module |
US6308818B1 (en) * | 1999-08-02 | 2001-10-30 | Asyst Technologies, Inc. | Transport system with integrated transport carrier and directors |
US20020025244A1 (en) * | 2000-04-12 | 2002-02-28 | Kim Ki-Sang | Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
US6303398B1 (en) * | 2000-05-04 | 2001-10-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system of managing wafers in a semiconductor device production facility |
US6564120B1 (en) * | 2000-05-11 | 2003-05-13 | Cryo-Cell International, Inc. | Storage system, particularly with automatic insertion and retrieval |
US6364593B1 (en) * | 2000-06-06 | 2002-04-02 | Brooks Automation | Material transport system |
US6695120B1 (en) * | 2000-06-22 | 2004-02-24 | Amkor Technology, Inc. | Assembly for transporting material |
US6677690B2 (en) * | 2001-02-02 | 2004-01-13 | Asyst Technologies, Inc. | System for safeguarding integrated intrabay pod delivery and storage system |
US6453574B1 (en) * | 2001-03-28 | 2002-09-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Method for aligning a cassette pod to an overhead hoist transport system |
US20020187024A1 (en) * | 2001-06-12 | 2002-12-12 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a carrier |
JP2003165687A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | Murata Mach Ltd | 天井搬送車 |
CN1291473C (zh) * | 2001-12-04 | 2006-12-20 | 日商乐华股份有限公司 | 容器的暂时搬入、留置和搬出装置 |
US6726429B2 (en) * | 2002-02-19 | 2004-04-27 | Vertical Solutions, Inc. | Local store for a wafer processing station |
US6923612B2 (en) * | 2002-03-29 | 2005-08-02 | TGW Transportgeräte GmbH & Co. KG | Load-handling system and telescopic arm therefor |
US6715978B2 (en) * | 2002-04-22 | 2004-04-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker |
US6881020B2 (en) * | 2002-04-26 | 2005-04-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist |
US20040191032A1 (en) * | 2002-07-19 | 2004-09-30 | R. Foulke Development Company, Llc | Bi-directional arm and storage system |
JP3991852B2 (ja) * | 2002-12-09 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
TWI246501B (en) * | 2003-02-03 | 2006-01-01 | Murata Machinery Ltd | Overhead traveling carriage system |
JP4123383B2 (ja) * | 2004-08-12 | 2008-07-23 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
US7686560B2 (en) * | 2005-12-08 | 2010-03-30 | Conestoga Cold Storage | Rack, conveyor and shuttle automated pick system |
JP5088468B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2012-12-05 | 村田機械株式会社 | 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム |
-
2006
- 2006-10-13 US US11/580,697 patent/US20070092359A1/en not_active Abandoned
-
2007
- 2007-10-12 WO PCT/US2007/021792 patent/WO2008048483A2/en active Search and Examination
- 2007-10-12 JP JP2009532426A patent/JP5333997B2/ja active Active
- 2007-10-12 TW TW096138317A patent/TW200902403A/zh unknown
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006515256A (ja) * | 2002-10-11 | 2006-05-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 単一の軌道位置から高架ホイスト搬送手段により材料収納棚の一つまたはそれ以上のレベルへ到達する方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302477A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム |
TWI548578B (zh) * | 2015-03-24 | 2016-09-11 | Chroma Ate Inc | Lifting equipment for electronic components |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008048483A3 (en) | 2008-08-07 |
US20070092359A1 (en) | 2007-04-26 |
TW200902403A (en) | 2009-01-16 |
JP5333997B2 (ja) | 2013-11-06 |
WO2008048483A2 (en) | 2008-04-24 |
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