JP4626302B2 - 単一の軌道位置から高架ホイスト搬送手段により材料収納棚の一つまたはそれ以上のレベルへ到達する方法 - Google Patents
単一の軌道位置から高架ホイスト搬送手段により材料収納棚の一つまたはそれ以上のレベルへ到達する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4626302B2 JP4626302B2 JP2004543686A JP2004543686A JP4626302B2 JP 4626302 B2 JP4626302 B2 JP 4626302B2 JP 2004543686 A JP2004543686 A JP 2004543686A JP 2004543686 A JP2004543686 A JP 2004543686A JP 4626302 B2 JP4626302 B2 JP 4626302B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hoist
- track
- material storage
- elevated
- suspended
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 153
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims description 121
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 46
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 15
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 7
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 77
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 45
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 29
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 27
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C17/00—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Description
本出願は、2002年10月11日に出願されたアメリカ仮特許出願番号 第60/417,993号、名称 移動棚または移動ホイスト プラットホームを使用するオフセット ゼロ設置面積収納(ZFS)に係る優先権を主張する。
なし
本発明は一般的に材料の自動搬送方法に関し、更に詳しくは懸架軌道上の高架ホイストが軌道の側に収納される仕掛品(WIP)部品に到達可能な自動材料搬送方法に関する。
本発明に従い改良された自動材料搬送システムが提供され、それは懸架軌道に支持された高架ホイストが軌道側の収納場所から仕掛品(WIP)部品を入手することを可能とするものである。高架ホイストが軌道側から仕掛品(WIP)部品を入手可能とすることにより、ここに開示される自動材料搬送システムは空間をより効率的に使用でき、そしてより処理量を上げられ、信頼性を向上させ、更にコスト低減を可能とする。
本発明の第1の態様においては、改良された自動材料搬送システムは、懸架軌道に高架ホイストを搬送する高架ホイスト搬送手段の少なくともひとつ、および軌道側に位置するWIP部品を収納する複数の収納ビン(容器)を含む。複数の収納ビンは、高架ホイストが収納ビンの選択された一つからWIP部品の一つまたはそれ以上を直接入手することが可能となるように構成される。複数の移動棚は、軌道の側で、実質的に平行な単一の列または複数の列に配置され得る。さらに、一つまたはそれ以上の移動棚の列は、懸架軌道のいずれかの側または両側に位置し得る。選択された棚から一つまたはそれ以上のWIP部品に到達するには高架ホイストを含む高架ホイスト搬送手段は懸架軌道に沿って選択された棚の側へ移動する。次いで、選択された棚は高架ホイストの真下の位置へ移動する。高架ホイストは、その後、作動して棚から直接に所望のWIP部品を取り上げるかまたは一つまたはそれ以上のWIP部品を直接に棚へ載置する。好ましい態様では、高架ホイストは所望のWIP部品の上を通過するのは必要とされないので、選択された棚は高架ホイストと実質的に同じ高さであり得る。この場合、棚が高架ホイスト下の位置に移動するので、WIP部品は高架ホイスト搬送手段のカウル(cowl)開口を通過する。一旦WIP部品が高架ホイストに支持されると、棚は棚の列において元の位置へ戻る。
図面のいくつかの図の簡単な説明
本発明は以下の説明と共に、次ぎの発明の詳細な説明に従いより十分に理解される:
図1は、本発明に従う自動材料搬送システムを含むICチップ製造環境の組立分解図である;
図2a−2bは、図1の自動材料搬送システムに使用されるオフセット ゼロ設置面積収納の第1の態様の分解組立図であり、オフセット ゼロ設置面積収納は移動棚の単一列からなる;
図3a−3bは、図2のオフセット ゼロ設置面積収納の第1の態様の分解組立図であり、オフセット ゼロ設置面積収納は多重の移動棚からなる;
図4a−4bは、図1の自動材料搬送システムに使用されるオフセット ゼロ設置面積収納の第2の態様の分解組立図であり、オフセット ゼロ設置面積は固定棚の単一列と移動ステージ上の高架ホイスト機構からなる;
図5は、WIP収納ユニットに接続して使用される図4の高架ホイスト機構の分解組立図である;
図6は、WIP部品コンベアシステムに接続して使用される図4の高架ホイスト機構の分解組立図である;
図7は、図4の高架ホイスト機構の代替態様の透視図である;
図8は、固定棚配列に接続して使用される図7の高架ホイスト機構の透視図である;
図9は、図7の高架ホイスト機構のような多重高架ホイスト機構の透視図であり、高架ホイスト機構は同じ軌道を移動し、そして固定棚の配列に接続して使用される;
図10は、図7の高架ホイスト機構のような多重高架ホイスト機構の透視図であり、高架ホイスト機構は各軌道を移動し、そして固定棚の背中併せの配列に接続して使用される;
図11は、オフセット 設置面積ゼロ収納の第3の態様の透視図であり、図7の高架ホイスト機構が固定棚の多重配列に接続して使用される;
図12a−12bは、図1の自動材料搬送システムを作動させる説明のフロー説明図である;
図13は、図1の自動材料搬送システムを制御する方法のフロー説明図である;
図14a−14bは、図4a−4bの移動ステージの透視図である。
2002年10月11日に出願されたアメリカ仮特許出願番号 第60/417993号、名称 移動棚または移動ホイスト プラットホームを使用するオフセット ゼロ設置面積の収納(ZFS)は、この出願に参照として組み込まれる。
Claims (28)
- 自動材料搬送システムであって、
懸架軌道、高架ホイストおよび高架ホイスト搬送手段を具備する少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、前記高架ホイスト搬送手段は移動ステージを備え、この移動ステージに前記高架ホイストが取り付けられている前記高架ホイスト搬送サブシステムと、
少なくとも一つの材料収納棚を含む材料収納部であって、この材料収納部は、少なくとも一つの材料ユニットを収納すると共に前記懸架軌道の第1の側に固定配置されている前記材料収納部と、を有し、
前記高架ホイスト搬送手段は、前記高架ホイストを懸架軌道に沿って移動させると共に、前記高架ホイストが加工ツールロードポートの真上に来たとき前記高架ホイストを真下に降ろして前記材料ユニットを加工ツールロードポートに載置するか、又は、前記高架ホイストが加工ツールロードポートにある前記材料ユニットを真上に引き上げるようになっており、
前記高架ホイスト搬送手段は、前記高架ホイストを懸架軌道に沿って前記材料収納部に隣接する第1の位置に移動させるようになっていて、さらに、前記材料収納部が高架ホイストのレベルよりも低いレベルに配置されている場合には、高架ホイストを前記材料収納部の前記低いレベルまで低下させるものであり、
前記高架ホイストは、前記材料収納部の前記低いレベルにまで低下される間、前記高架ホイスト搬送手段から降りるようになっており、
前記移動ステージは、前記懸架軌道に対して横に延びる構造を持ち、材料収納部所において材料ユニットを取り上げて前記第1の位置に移動させるか、又は、材料ユニットを前記第1の位置から材料収納部へ移動させて載置するようになっている自動材料搬送システム。 - 前記少なくとも一つの材料収納部が、複数の材料収納部であり、これらの複数の材料収納部は複数の列と複数の行を含む配列となっている請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の材料収納部が、軌道の第1の側にそれぞれ複数の列と行をなして配列してなる第1の複数の材料収納部と、軌道の第2の側にそれぞれ複数の列と行をなして配列してなる第2の複数の材料収納部とを有する請求項2の自動材料搬送システム。
- 前記第1の複数の材料収納部は、軌道の第1の側に懸架され、そして第2の複数の材料収納部は軌道の第2の側に懸架されている請求項3記載の自動材料搬送システム。
- 第1と第2の複数の材料収納部は天井から懸架されている請求項4記載の自動材料搬送システム。
- 少なくとも一つの材料収納部が軌道の第1の側から懸架されることを特徴とする請求項1記載のシステム。
- 少なくとも一つの材料収納部が天井から懸架されている請求項6記載の自動材料搬送システム。
- 材料ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)である請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 材料ユニットは、少なくとも一つの仕掛品(WIP)部品である請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 少なくとも一つの材料収納部は、複数の材料収納部からなり、これらの複数の材料収納部は、軌道の第2の側に配置される少なくとも一つの材料収納部を含み、前記軌道の第2の側は軌道の第1の側の反対側である請求項1記載の自動材料搬送システム。
- 前記高架ホイスト搬送手段は、前記高架ホイストを懸架軌道に沿って前記材料収納部に隣接する第2の位置に移動させるようになっていて、前記移動ステージは、前記懸架軌道に対して横に延びる構造を持ち、材料収納部において材料ユニットを吊上げて前記第2の位置に移動させるか、又は、材料ユニットを前記第2の位置から材料収納部へ移動させて載置するようになっている請求項10記載の自動材料搬送システム。
- 自動材料搬送システムであって、
懸架軌道、高架ホイストおよび高架ホイスト搬送手段を具備する少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、前記高架ホイスト搬送手段は移動ステージを備え、この移動ステージに前記高架ホイスト及びホイスト把持部が取り付けられており、この高架ホイスト搬送手段が、高架ホイストを懸架軌道に沿って複数の位置へ搬送し、高架ホイストを複数のレベルへ上昇または低下させる前記高架ホイスト搬送サブシステムと、
少なくとも一つの材料ユニットを収納する少なくとも一つの材料収納部であって、この少なくとも一つの材料収納部は懸架軌道の第1の側の所定のレベルに固定配置されている前記材料収納部と、を有し、
前記高架ホイスト搬送手段は、前記高架ホイストを懸架軌道に沿って移動させると共に、前記高架ホイストが加工ツールロードポートの真上に来たとき前記高架ホイストを真下に降ろして前記材料ユニットを加工ツールロードポートに載置するか、又は、前記高架ホイストが加工ツールロードポートにある前記材料ユニットを真上に引き上げるようになっており、
前記高架ホイスト搬送手段は、移動ステージ、高架ホイスト、ホイスト把持具を懸架軌道に沿って材料収納部に隣接する第1の位置へ搬送し、そしてホイスト把持具を材料収納部とほぼ同じレベルに位置させるために高架ホイストを低下または上昇させものであり、
移動ステージは、少なくともホイスト把持具が材料収納部とほぼ同じレベルに位置する間は、ホイスト把持具を高架ホイスト搬送手段に隣接する第1の位置から材料収納部の第2の位置に向かって横に延びることにより移動させるものであり、これにより、ホイスト把持具が少なくとも一つの材料ユニットを材料収納部において吊持するかまたは材料収納部へ載置することが可能となる自動材料搬送システム。 - 少なくとも一つの材料収納部は、懸架軌道の第1の側の所定レベルに配置された第1の材料収納部と、懸架軌道の第2の側の所定レベルに配置された第2の材料収納部を含み、前記懸架軌道の第2の側は懸架軌道の第1の側の反対側である請求項12に記載の自動材料搬送システム。
- 移動ステージは、さらに、懸架軌道の第2の側に向かって横に延びることにより、ホイスト把持具を、高架ホイスト搬送手段に隣接する第1の位置から第2の材料収納部の第3の位置へ移動させるものであり、これにより、ホイスト把持具が少なくとも一つの材料ユニットを、第2の材料収納部において吊持するかまたは材料収納部へ載置することが可能となる請求項13に記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも一つの材料収納部が懸架軌道の側で実質的に並行に一つの列となって配列される複数の材料収納部からなる請求項12記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも一つの材料収納部が懸架軌道の側で実質的に並行に多重列となって配列される複数の材料収納部からなる請求項12記載の自動材料搬送システム。
- 前記複数の材料収納部が、複数の列と複数の行を含むように配列されている請求項16記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも一つの材料収納部は、懸架軌道の第1の側に列で配置される第1の複数の材料収納部と、懸架軌道の第2の側に列で配置される第2の複数の材料収納部からなり、懸架軌道の第2の側は、懸架軌道の第1の側の反対側である、請求項12の自動材料搬送システム。
- 第1の複数の材料収納部は懸架軌道の第1の側で懸架され、そして第2の複数の材料収納部は懸架軌道の第2の側で懸架される請求項18記載の自動材料搬送システム。
- 第1と第2の複数の材料収納部が天井から懸架される請求項19記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも一つの材料収納部は、懸架軌道の第1の側で多重列で配置される第1の複数の材料収納部と懸架軌道の第2の側で多重列で配置される第2の複数の材料収納部からなり、懸架軌道の第2の側は懸架軌道の第1の側の反対側である請求項12記載の自動材料搬送システム。
- 前記第1と第2の複数の材料収納部がそれぞれ列に配列し、それぞれは複数の列と複数の行を含む請求項21記載の自動材料搬送システム。
- 前記第1の複数の材料収納部が懸架軌道の第1の側で懸架され、前記第2の複数の材料収納部が懸架軌道の第2の側で懸架される請求項21記載の自動材料搬送システム。
- 第1と第2の複数の材料収納部が天井から懸架される請求項23記載の自動材料搬送システム。
- 前記少なくとも一つの材料収納部が高架ホイストの第1の側で懸架される請求項12記載の自動材料搬送システム。
- 少なくとも一つの材料収納部が天井から懸架される請求項25記載の自動材料搬送システム。
- 材料ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)からなる請求項12記載の自動材料搬送システム。
- 材料ユニットは、少なくとも一つの仕掛品(WIP)部品からなる請求項12記載の自動材料搬送システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US41799302P | 2002-10-11 | 2002-10-11 | |
PCT/US2003/032200 WO2004034438A2 (en) | 2002-10-11 | 2003-10-09 | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006515256A JP2006515256A (ja) | 2006-05-25 |
JP2006515256A5 JP2006515256A5 (ja) | 2006-12-07 |
JP4626302B2 true JP4626302B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=32094132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004543686A Expired - Lifetime JP4626302B2 (ja) | 2002-10-11 | 2003-10-09 | 単一の軌道位置から高架ホイスト搬送手段により材料収納棚の一つまたはそれ以上のレベルへ到達する方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10957569B2 (ja) |
EP (2) | EP1573778B1 (ja) |
JP (1) | JP4626302B2 (ja) |
KR (10) | KR101515775B1 (ja) |
CN (1) | CN1849251B (ja) |
AU (1) | AU2003284051A1 (ja) |
TW (1) | TWI302902B (ja) |
WO (1) | WO2004034438A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9620397B2 (en) | 2002-06-19 | 2017-04-11 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
US10957569B2 (en) | 2002-10-11 | 2021-03-23 | Murata Machinery Ltd. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
Families Citing this family (63)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070092359A1 (en) * | 2002-10-11 | 2007-04-26 | Brooks Automation, Inc. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
JP4045451B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
DE102004032659B4 (de) * | 2004-07-01 | 2008-10-30 | Atotech Deutschland Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut sowie die Verwendung der Vorrichtung |
JP4337683B2 (ja) * | 2004-08-16 | 2009-09-30 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
JP4221603B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4394027B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2010-01-06 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
US7661919B2 (en) | 2005-09-28 | 2010-02-16 | Muratec Automation Co., Ltd. | Discontinuous conveyor system |
US7780392B2 (en) * | 2005-10-27 | 2010-08-24 | Muratec Automation Co., Ltd. | Horizontal array stocker |
US8267634B2 (en) * | 2005-11-07 | 2012-09-18 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
KR20140091768A (ko) * | 2005-11-07 | 2014-07-22 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 반도체 작업대상물 공정처리 시스템 |
US20080107507A1 (en) * | 2005-11-07 | 2008-05-08 | Bufano Michael L | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
CN100435310C (zh) * | 2005-12-19 | 2008-11-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体制造用自动化物料运输系统 |
JP2007191235A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
KR101707925B1 (ko) | 2006-08-18 | 2017-02-17 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템 |
JP5041207B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-10-03 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP4849331B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-01-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP4277287B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2009-06-10 | 村田機械株式会社 | 天井走行車 |
JP2008195471A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
JP4389181B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-24 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
JP4378655B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-09 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
JP4378656B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-09 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US20090067957A1 (en) * | 2007-09-06 | 2009-03-12 | Mitsuhiro Ando | Transport system with buffering |
JP4543338B2 (ja) | 2007-11-13 | 2010-09-15 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システムとそのバッファの施工方法 |
US7992734B2 (en) * | 2008-01-11 | 2011-08-09 | International Business Machines Corporation | Semiconductor automation buffer storage identification system and method |
US9633881B2 (en) | 2008-02-05 | 2017-04-25 | Brooks Automation, Inc. | Automatic handling buffer for bare stocker |
US9048274B2 (en) * | 2008-12-08 | 2015-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Portable stocker and method of using same |
KR100959505B1 (ko) * | 2009-08-12 | 2010-05-27 | (주) 엠에스피 | 반도체 웨이퍼 운송용 자동 로드버퍼 |
JP5445015B2 (ja) * | 2009-10-14 | 2014-03-19 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | キャリア移載促進装置 |
US8977387B2 (en) * | 2009-10-29 | 2015-03-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method for overhead cross-system transportation |
JP5273118B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2013-08-28 | 村田機械株式会社 | 搬送車及び搬送システム |
US9187260B2 (en) * | 2010-11-04 | 2015-11-17 | Murata Machinery, Ltd. | Conveying system and conveying method |
JP5750926B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-07-22 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
JP5472209B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2014-04-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US8888434B2 (en) | 2011-09-05 | 2014-11-18 | Dynamic Micro System | Container storage add-on for bare workpiece stocker |
KR20130098688A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 삼성전자주식회사 | 호이스트 장치 및 이를 갖는 호이스트 시스템 |
US9558978B2 (en) * | 2012-05-04 | 2017-01-31 | Kla-Tencor Corporation | Material handling with dedicated automated material handling system |
EP2754357B1 (de) * | 2013-01-09 | 2018-07-18 | Hauni Maschinenbau GmbH | Verfahren zur bedarfsgesteuerten Versorgung und Entsorgung mindestens zweier Produktionsstationen der Tabak verarbeitenden Industrie mit vollen und/oder leeren Transporteinheiten |
US9852934B2 (en) | 2014-02-14 | 2017-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor wafer transportation |
US10332770B2 (en) | 2014-09-24 | 2019-06-25 | Sandisk Technologies Llc | Wafer transfer system |
JP6048686B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-21 | 村田機械株式会社 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
KR102561719B1 (ko) * | 2015-04-22 | 2023-07-31 | 인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하 | 메인터넌스 장치 |
JP6642577B2 (ja) * | 2015-08-14 | 2020-02-05 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
CN105173504A (zh) * | 2015-09-29 | 2015-12-23 | 扬中中科维康智能科技有限公司 | 一种自动仓储机器人系统 |
CN105564442B (zh) * | 2016-01-15 | 2018-03-02 | 彭红廷 | 空铁运输系统及空铁运输方法 |
KR102326782B1 (ko) * | 2016-06-28 | 2021-11-17 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 오버헤드 제조, 프로세싱 및 스토리지 시스템 |
CN106743016B (zh) * | 2016-12-29 | 2018-10-09 | 库控(上海)实业有限公司 | 一种机械化存取仓库 |
KR102037950B1 (ko) * | 2017-08-17 | 2019-10-29 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 공급 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 |
US11027944B2 (en) * | 2017-09-08 | 2021-06-08 | Otis Elevator Company | Climbing elevator transfer system and methods |
CN111212797B (zh) * | 2017-11-02 | 2021-07-20 | 村田机械株式会社 | 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法 |
US11396424B2 (en) | 2017-11-14 | 2022-07-26 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
US20220371821A1 (en) * | 2017-11-14 | 2022-11-24 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
US11465840B2 (en) | 2017-11-14 | 2022-10-11 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
CA3084526C (en) * | 2017-11-14 | 2024-02-20 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot and method for retrieving inventory item based on handling robot |
CN108423352A (zh) * | 2017-12-16 | 2018-08-21 | 楚天科技股份有限公司 | 车间隐蔽式智能转运系统 |
US11437258B2 (en) | 2018-08-30 | 2022-09-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Workpiece storage system, method of storing workpiece, and method of transferring workpiece using the same |
JP6814412B2 (ja) * | 2018-10-23 | 2021-01-20 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
US11542135B2 (en) | 2019-02-01 | 2023-01-03 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
US11597598B2 (en) | 2019-02-01 | 2023-03-07 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
WO2020195240A1 (ja) * | 2019-03-22 | 2020-10-01 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
KR102242361B1 (ko) | 2019-12-10 | 2021-04-20 | 제닉스주식회사 | 이송 시스템 및 이것의 제어 방법 |
KR20230023301A (ko) | 2021-08-10 | 2023-02-17 | 삼성전자주식회사 | 선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템 |
CN113467199B (zh) * | 2021-09-06 | 2021-11-12 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置 |
WO2023218757A1 (ja) * | 2022-05-10 | 2023-11-16 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
Family Cites Families (194)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US328408A (en) | 1885-10-13 | isbell | ||
US343293A (en) | 1886-06-08 | bowen | ||
US618318A (en) * | 1899-01-24 | Coin-case | ||
US1352947A (en) * | 1917-10-29 | 1920-09-14 | Jonathan P B Fiske | Process for handling clay products |
US2317689A (en) | 1941-04-21 | 1943-04-27 | Earl B Spencer | Underdrive for traveling cranes, monorails, and the like |
US2827189A (en) | 1955-10-27 | 1958-03-18 | Robert N Sergeant | Lift truck attachment for handling drums |
US3049247A (en) | 1956-04-10 | 1962-08-14 | Jerome H Lemelson | Automated storage |
US3042227A (en) | 1958-09-26 | 1962-07-03 | Sea Land Service | Shipboard freight container transferring apparatus |
US3119501A (en) | 1961-10-10 | 1964-01-28 | Jerome H Lemelson | Automatic warehousing system |
US3422967A (en) | 1965-10-24 | 1969-01-21 | Peter A Aron | Automatic manipulator and positioning system |
US3467264A (en) | 1966-07-19 | 1969-09-16 | Euclid Crane & Hoist Co The | Load transfer and storage mechanism |
US3499554A (en) * | 1968-02-21 | 1970-03-10 | Commercial Affiliates | Stacker crane and warehouse system and method for stacking and storing rolls of material |
JPS4831521B1 (ja) | 1968-05-07 | 1973-09-29 | ||
US3750804A (en) * | 1969-03-07 | 1973-08-07 | Triax Co | Load handling mechanism and automatic storage system |
US3531002A (en) * | 1969-07-15 | 1970-09-29 | Triax Co | Automatic storage apparatus |
US3583584A (en) | 1969-08-18 | 1971-06-08 | Mcneil Corp | Warehousing |
US3701442A (en) | 1970-09-25 | 1972-10-31 | Mcneil Corp | Storage and retrieval apparatus |
US3700121A (en) | 1971-02-22 | 1972-10-24 | Baker Perkins Inc | Rack loading and unloading apparatus |
US3762531A (en) * | 1971-08-26 | 1973-10-02 | Eaton Corp | Load stacker |
CH542137A (de) | 1972-04-19 | 1973-09-30 | Sperry Rand Corp | Einrichtung zur Verriegelung und Kontrolle der Verriegelung von Behältern für den Transport auf Trägern in einer Artikelaufbewahrungsanlage |
US3770137A (en) | 1972-09-01 | 1973-11-06 | I Slutsky | Overhead transporter and reloader |
US3968885A (en) | 1973-06-29 | 1976-07-13 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for handling workpieces |
US4088232A (en) * | 1974-04-01 | 1978-05-09 | Clark Equipment Co. | Apparatus with storage cells disposed adjacent vertical shafts having covers and a lift means movable thereabove |
US4190013A (en) * | 1977-03-22 | 1980-02-26 | Otis Roger W | Floating dry storage facility for small boats |
US4398630A (en) | 1978-07-17 | 1983-08-16 | Brems John Henry | Workpiece vertical conveyor system |
US4243147A (en) | 1979-03-12 | 1981-01-06 | Twitchell Brent L | Three-dimensional lift |
US4311427A (en) | 1979-12-21 | 1982-01-19 | Varian Associates, Inc. | Wafer transfer system |
US4457661A (en) | 1981-12-07 | 1984-07-03 | Applied Materials, Inc. | Wafer loading apparatus |
JPS5937205A (ja) | 1982-08-25 | 1984-02-29 | Hitachi Ltd | 車室シ−ル装置 |
JPS5937205U (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-08 | 株式会社ダイフク | 棚設備 |
US4540326A (en) | 1982-09-17 | 1985-09-10 | Nacom Industries, Inc. | Semiconductor wafer transport system |
US4682927A (en) | 1982-09-17 | 1987-07-28 | Nacom Industries, Incorporated | Conveyor system |
US4642017A (en) | 1982-09-30 | 1987-02-10 | Amca International Corporation | Automated in-process pipe storage and retrieval system |
US4541769A (en) * | 1983-07-18 | 1985-09-17 | Twin City Monorail | Stacker crane fork mounting system |
US4668484A (en) | 1984-02-13 | 1987-05-26 | Elliott David J | Transport containers for semiconductor wafers |
DE3485800T2 (de) | 1984-12-27 | 1993-02-11 | Inst Rech De La Construction N | Verfahren zur behandlung grosser objekte. |
DE3504751A1 (de) | 1985-02-08 | 1986-08-14 | Bellheimer Metallwerk GmbH, 6729 Bellheim | Umlaufregal |
US4801236A (en) | 1985-04-06 | 1989-01-31 | Karl Mengele & Sohne Gmbh & Co. | Mechanical inventory storage and delivery cabinet |
JPH0227838Y2 (ja) | 1985-08-23 | 1990-07-26 | ||
US4776744A (en) | 1985-09-09 | 1988-10-11 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for wafer handling in semiconductor process equipment |
US4816116A (en) | 1985-10-24 | 1989-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor wafer transfer method and arm mechanism |
SU1326512A1 (ru) | 1986-03-25 | 1987-07-30 | Предприятие П/Я М-5588 | Устройство дл перемещени и перегрузки |
US4756657A (en) * | 1986-04-04 | 1988-07-12 | Interlake, Inc. | Stacker bin shuttle |
US5083262A (en) | 1986-04-28 | 1992-01-21 | International Business Machines Corporation | Language bindings for graphics functions to enable one application program to be used in different processing environments |
US4934767A (en) * | 1986-05-16 | 1990-06-19 | Thermco Systems, Inc. | Semiconductor wafer carrier input/output drawer |
JPH06104554B2 (ja) | 1986-06-13 | 1994-12-21 | 村田機械株式会社 | 天井自走車 |
US5380139A (en) * | 1986-06-30 | 1995-01-10 | Kone Oy | Load handling method and system |
JPH0834235B2 (ja) | 1986-07-31 | 1996-03-29 | 清水建設株式会社 | ウエハの天吊移送ロボット |
US4886412A (en) | 1986-10-28 | 1989-12-12 | Tetron, Inc. | Method and system for loading wafers |
GB2198406B (en) | 1986-11-26 | 1990-12-12 | Shinko Electric Co Ltd | Railway carrier apparatus for semiconductor wafers |
US4775281A (en) | 1986-12-02 | 1988-10-04 | Teradyne, Inc. | Apparatus and method for loading and unloading wafers |
US5080549A (en) | 1987-05-11 | 1992-01-14 | Epsilon Technology, Inc. | Wafer handling system with Bernoulli pick-up |
IT1222730B (it) * | 1987-09-25 | 1990-09-12 | Savio Spa | Metodo ed apparecchio per la rimozione di bobine di filato e loro deposito in un carrello a pioli |
JPH01285512A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-16 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫の在庫管理システム |
US5128912A (en) * | 1988-07-14 | 1992-07-07 | Cygnet Systems Incorporated | Apparatus including dual carriages for storing and retrieving information containing discs, and method |
US5064337A (en) | 1988-07-19 | 1991-11-12 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers |
DE3825401A1 (de) | 1988-07-22 | 1990-01-25 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Umlaufregal |
US5536128A (en) | 1988-10-21 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for carrying a variety of products |
JPH02117506A (ja) | 1988-10-24 | 1990-05-02 | Itoki Kosakusho Co Ltd | 自動保管検索装置 |
DE3906718A1 (de) * | 1989-03-03 | 1990-09-06 | Palitex Project Co Gmbh | Transport- und handhabungssystem fuer vielstellen-textilmaschinen insbesondere zwirnmaschinen |
JPH0818648B2 (ja) | 1989-12-06 | 1996-02-28 | 日立造船株式会社 | トンネルセグメントの一時保管・搬入設備 |
JPH03225847A (ja) | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハカセツトストツカ |
SE9004006L (sv) | 1990-12-14 | 1992-01-20 | Volvo Ab | Anordning foer oeverfoering av arbetsstycken fraan en maskin till en annan, foeretraedesvis pressar |
JPH0577183A (ja) | 1991-09-24 | 1993-03-30 | Toshiba Corp | ロボツトの制御装置 |
JP2548081Y2 (ja) | 1992-01-13 | 1997-09-17 | 村田機械株式会社 | クリーン搬送システム |
JPH05186050A (ja) | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 版材の吊り上げ移載装置 |
JP2576398Y2 (ja) † | 1992-01-29 | 1998-07-09 | 川鉄マシナリー株式会社 | 橋形クレーン |
JPH05278853A (ja) | 1992-03-31 | 1993-10-26 | Murata Mach Ltd | 天井走行台車 |
JP2810592B2 (ja) | 1992-07-06 | 1998-10-15 | シャープ株式会社 | ディジタル情報再生装置 |
JPH0653578A (ja) | 1992-07-30 | 1994-02-25 | I N R Kenkyusho:Kk | レーザー装置 |
JPH0653835A (ja) | 1992-08-03 | 1994-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | D/a変換装置 |
JPH0661487A (ja) | 1992-08-05 | 1994-03-04 | Fuji Xerox Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH0653578U (ja) † | 1992-12-22 | 1994-07-22 | 近藤 彰宏 | 荷役装置 |
GB2293590B (en) * | 1993-03-01 | 1997-03-26 | Kawasaki Steel Co | A Stacker Crane having a Fork-lift Apparatus |
US5417537A (en) | 1993-05-07 | 1995-05-23 | Miller; Kenneth C. | Wafer transport device |
US5570990A (en) | 1993-11-05 | 1996-11-05 | Asyst Technologies, Inc. | Human guided mobile loader stocker |
JP3246642B2 (ja) * | 1994-05-16 | 2002-01-15 | 特種製紙株式会社 | 段積みしたシート状包装体の自動ピッキング方法及び装置 |
JP3331746B2 (ja) * | 1994-05-17 | 2002-10-07 | 神鋼電機株式会社 | 搬送システム |
JPH0817894A (ja) | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板表面処理装置 |
US5647718A (en) | 1995-07-07 | 1997-07-15 | Pri Automation, Inc. | Straight line wafer transfer system |
US5615988A (en) | 1995-07-07 | 1997-04-01 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having rotational capability |
US5741109A (en) | 1995-07-07 | 1998-04-21 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having vertical lifting capability |
US5738574A (en) | 1995-10-27 | 1998-04-14 | Applied Materials, Inc. | Continuous processing system for chemical mechanical polishing |
US5820237A (en) | 1995-10-27 | 1998-10-13 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Vertical stacking system using controlled access method |
US5751581A (en) | 1995-11-13 | 1998-05-12 | Advanced Micro Devices | Material movement server |
JP3669057B2 (ja) | 1996-06-03 | 2005-07-06 | アシスト シンコー株式会社 | ストッカへの搬送システム |
JP3436334B2 (ja) * | 1996-08-06 | 2003-08-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP3067682B2 (ja) | 1997-03-13 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
TW348162B (en) * | 1996-09-30 | 1998-12-21 | Murada Kikai Kk | Work carrying system |
JP3067656B2 (ja) * | 1996-09-30 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | ワーク搬送システム |
US6078845A (en) | 1996-11-25 | 2000-06-20 | Schlumberger Technologies, Inc. | Apparatus for carrying semiconductor devices |
JP2968742B2 (ja) | 1997-01-24 | 1999-11-02 | 山形日本電気株式会社 | 自動保管棚及び自動保管方法 |
US6092978A (en) | 1997-03-12 | 2000-07-25 | Fishchersips, Inc. | Alignment device used to manufacture a plurality of structural insulated panels |
US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
JPH1116981A (ja) | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US6579052B1 (en) | 1997-07-11 | 2003-06-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF pod storage, delivery and retrieval system |
US5893795A (en) | 1997-07-11 | 1999-04-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for moving a cassette |
US5993148A (en) | 1997-07-22 | 1999-11-30 | Micron Technology, Inc. | Article transfer methods |
JPH1159829A (ja) | 1997-08-08 | 1999-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法 |
WO1999013495A2 (en) * | 1997-09-12 | 1999-03-18 | Novus Corporation | Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers |
JP3637947B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2005-04-13 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
US6002840A (en) | 1997-09-30 | 1999-12-14 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus |
JPH11121582A (ja) | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備 |
US5947802A (en) | 1997-11-05 | 1999-09-07 | Aplex, Inc. | Wafer shuttle system |
EP1049640A4 (en) | 1997-11-28 | 2008-03-12 | Mattson Tech Inc | SYSTEMS AND METHODS FOR HANDLING WORKPIECES FOR VACUUM PROCESSING AT HIGH FLOW RATE AND LOW CONTAMINATION |
JPH11180505A (ja) | 1997-12-22 | 1999-07-06 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JPH11222122A (ja) | 1998-02-03 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 分岐軌道を備えた搬送設備 |
US6035245A (en) | 1998-03-24 | 2000-03-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Automated material handling system method and arrangement |
TW568879B (en) | 1998-04-01 | 2004-01-01 | Asyst Shinko Inc | Suspension type hoist |
JPH11349280A (ja) | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
US6102647A (en) | 1998-06-26 | 2000-08-15 | Intel Corporation | Cart for transferring objects |
JP2000016521A (ja) | 1998-07-02 | 2000-01-18 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
JP2000053237A (ja) | 1998-08-07 | 2000-02-22 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送設備 |
US7023440B1 (en) | 1998-09-14 | 2006-04-04 | Fisher Rosemount Systems, Inc. | Methods and apparatus for integrated display of process events and trend data |
KR100646906B1 (ko) | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
US6604624B2 (en) * | 1998-09-22 | 2003-08-12 | Hirata Corporation | Work conveying system |
US20010014268A1 (en) | 1998-10-28 | 2001-08-16 | Charles S. Bryson | Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage |
JP4221789B2 (ja) | 1998-11-12 | 2009-02-12 | アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 | ホイスト付天井走行搬送装置 |
US6068437A (en) | 1998-11-24 | 2000-05-30 | Lab-Interlink | Automated laboratory specimen organizer and storage unit |
JP2000161457A (ja) | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Shinko Electric Co Ltd | 直進/回転機構 |
US6283692B1 (en) | 1998-12-01 | 2001-09-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
JP3375907B2 (ja) | 1998-12-02 | 2003-02-10 | 神鋼電機株式会社 | 天井走行搬送装置 |
US6240335B1 (en) * | 1998-12-14 | 2001-05-29 | Palo Alto Technologies, Inc. | Distributed control system architecture and method for a material transport system |
US6435330B1 (en) | 1998-12-18 | 2002-08-20 | Asyai Technologies, Inc. | In/out load port transfer mechanism |
JP2000188316A (ja) | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Hitachi Ltd | 搬送方法および装置ならびにそれを用いた半導体装置の製造方法 |
DE19900804C2 (de) | 1999-01-12 | 2000-10-19 | Siemens Ag | Fördersystem |
US6356256B1 (en) | 1999-01-19 | 2002-03-12 | Vina Technologies, Inc. | Graphical user interface for display of statistical data |
JP4267742B2 (ja) | 1999-03-12 | 2009-05-27 | 平田機工株式会社 | 天井搬送装置及びこれを用いた物流ラインシステム |
US6304051B1 (en) | 1999-03-15 | 2001-10-16 | Berkeley Process Control, Inc. | Self teaching robotic carrier handling system |
JP4288747B2 (ja) | 1999-04-01 | 2009-07-01 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送装置 |
DE19921072A1 (de) * | 1999-05-08 | 2000-11-09 | Acr Automation In Cleanroom | Einrichtung zum Handhaben von Substraten innerhalb und außerhalb eines Reinstarbeitsraumes |
US6361422B1 (en) | 1999-06-15 | 2002-03-26 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for transferring semiconductor substrates using an input module |
TW466153B (en) | 1999-06-22 | 2001-12-01 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for measuring a pad profile and closed loop control of a pad conditioning process |
JP2001031216A (ja) † | 1999-07-26 | 2001-02-06 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
US6308818B1 (en) | 1999-08-02 | 2001-10-30 | Asyst Technologies, Inc. | Transport system with integrated transport carrier and directors |
EP1079421A1 (en) | 1999-08-12 | 2001-02-28 | Semiconductor 300 GmbH & Co. KG | Overhead transport system for open cassette transport |
JP3769425B2 (ja) | 1999-09-21 | 2006-04-26 | シャープ株式会社 | 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 |
US7330886B2 (en) | 1999-10-27 | 2008-02-12 | American Power Conversion Corporation | Network appliance management |
JP3458083B2 (ja) | 1999-11-17 | 2003-10-20 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ | 基板収納治具搬送システム |
JP3716693B2 (ja) * | 1999-12-06 | 2005-11-16 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
JP2001171970A (ja) | 1999-12-20 | 2001-06-26 | Tsubakimoto Chain Co | 天井走行搬送車におけるワーク旋回方法 |
EP1250632B1 (de) | 2000-01-29 | 2005-01-19 | ABB Research Ltd. | System und verfahren zur ermittlung der produktionsanlagen-effektivität, von fehlerereignissen und der fehlerursachen |
US6421571B1 (en) | 2000-02-29 | 2002-07-16 | Bently Nevada Corporation | Industrial plant asset management system: apparatus and method |
JP2001242978A (ja) | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Yokogawa Electric Corp | グラフ上のデータの属性を表示する方法および装置 |
US20020025244A1 (en) | 2000-04-12 | 2002-02-28 | Kim Ki-Sang | Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
TW514618B (en) | 2000-04-12 | 2002-12-21 | Samsung Electronics Co Ltd | A transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
US6303398B1 (en) | 2000-05-04 | 2001-10-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system of managing wafers in a semiconductor device production facility |
US6564120B1 (en) * | 2000-05-11 | 2003-05-13 | Cryo-Cell International, Inc. | Storage system, particularly with automatic insertion and retrieval |
US6364593B1 (en) | 2000-06-06 | 2002-04-02 | Brooks Automation | Material transport system |
US6450318B1 (en) | 2000-06-16 | 2002-09-17 | Tec Engineering Corporation | Overhead monorail system |
US6530735B1 (en) | 2000-06-22 | 2003-03-11 | Amkor Technology, Inc. | Gripper assembly |
US6695120B1 (en) * | 2000-06-22 | 2004-02-24 | Amkor Technology, Inc. | Assembly for transporting material |
EP1202325A1 (en) | 2000-10-25 | 2002-05-02 | Semiconductor300 GmbH & Co KG | Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier |
US6677690B2 (en) * | 2001-02-02 | 2004-01-13 | Asyst Technologies, Inc. | System for safeguarding integrated intrabay pod delivery and storage system |
TW522292B (en) | 2001-02-06 | 2003-03-01 | Asml Us Inc | Inertial temperature control system and method |
JP3514312B2 (ja) * | 2001-03-07 | 2004-03-31 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ | ウェハ搬送装置 |
JP2002270662A (ja) | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法 |
US6453574B1 (en) | 2001-03-28 | 2002-09-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Method for aligning a cassette pod to an overhead hoist transport system |
US6519502B2 (en) | 2001-03-28 | 2003-02-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Apparatus and method for positioning a cassette pod onto a loadport by an overhead hoist transport system |
US20020187024A1 (en) * | 2001-06-12 | 2002-12-12 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a carrier |
US20020197136A1 (en) | 2001-06-21 | 2002-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for aligning the loading/unloading of a wafer cassette to/from a loadport by an overhead hoist transport system |
US6904561B1 (en) | 2001-07-19 | 2005-06-07 | Microsoft Corp. | Integrated timeline and logically-related list view |
JP2003188229A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Hitachi Kasado Eng Co Ltd | ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法 |
US6775918B2 (en) | 2002-02-06 | 2004-08-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Wafer cassette pod equipped with position sensing device |
US6726429B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-04-27 | Vertical Solutions, Inc. | Local store for a wafer processing station |
US6812926B1 (en) | 2002-02-26 | 2004-11-02 | Microsoft Corporation | Displaying data containing outlying data items |
US6923612B2 (en) * | 2002-03-29 | 2005-08-02 | TGW Transportgeräte GmbH & Co. KG | Load-handling system and telescopic arm therefor |
US6715978B2 (en) | 2002-04-22 | 2004-04-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker |
US6881020B2 (en) | 2002-04-26 | 2005-04-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist |
CN100520706C (zh) | 2002-06-19 | 2009-07-29 | 布鲁克斯自动技术公司 | 半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统 |
US20040191032A1 (en) | 2002-07-19 | 2004-09-30 | R. Foulke Development Company, Llc | Bi-directional arm and storage system |
US7570262B2 (en) | 2002-08-08 | 2009-08-04 | Reuters Limited | Method and system for displaying time-series data and correlated events derived from text mining |
US6748282B2 (en) | 2002-08-22 | 2004-06-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Flexible dispatching system and method for coordinating between a manual automated dispatching mode |
WO2004034438A2 (en) | 2002-10-11 | 2004-04-22 | Brooks Automation, Inc. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
US20040101386A1 (en) | 2002-11-22 | 2004-05-27 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Vertical carousel with top and side access stations |
SE524799C2 (sv) | 2002-11-29 | 2004-10-05 | Zealcore Embedded Solutions Ab | Förfarande och dataprogram för debuggning av en programkod |
JP3991852B2 (ja) | 2002-12-09 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
JP4045451B2 (ja) | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
US7292245B2 (en) | 2004-01-20 | 2007-11-06 | Sensitron, Inc. | Method and apparatus for time series graph display |
US7446769B2 (en) | 2004-02-10 | 2008-11-04 | International Business Machines Corporation | Tightly-coupled synchronized selection, filtering, and sorting between log tables and log charts |
US7565417B2 (en) | 2004-05-20 | 2009-07-21 | Rowady Jr E Paul | Event-driven financial analysis interface and system |
US20060074598A1 (en) | 2004-09-10 | 2006-04-06 | Emigholz Kenneth F | Application of abnormal event detection technology to hydrocracking units |
US7689918B2 (en) | 2005-07-19 | 2010-03-30 | Cisco Technology, Inc. | Graphical indicator for the multiplexed display of line graph information |
US20080313560A1 (en) | 2005-09-16 | 2008-12-18 | Dalal Pankaj B | Financial Decision Systems |
US7746887B2 (en) | 2006-04-12 | 2010-06-29 | Siemens Industry, Inc. | Dynamic value reporting for wireless automated systems |
US8113844B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-02-14 | Atellis, Inc. | Method, system, and computer-readable recording medium for synchronous multi-media recording and playback with end user control of time, data, and event visualization for playback control over a network |
JP5088468B2 (ja) | 2007-03-09 | 2012-12-05 | 村田機械株式会社 | 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム |
US7767767B2 (en) | 2007-10-01 | 2010-08-03 | Equistar Chemicals, Lp | Modification of polyethylene with ozone |
US7805320B2 (en) | 2008-01-10 | 2010-09-28 | General Electric Company | Methods and systems for navigating a large longitudinal dataset using a miniature representation in a flowsheet |
US8271892B2 (en) | 2008-07-02 | 2012-09-18 | Icharts, Inc. | Creation, sharing and embedding of interactive charts |
US8269620B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-09-18 | Honeywell Internatonal Inc. | Alarm trend summary display system and method |
JP2011115010A (ja) | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Sinfonia Technology Co Ltd | 電気機器 |
JP5537245B2 (ja) | 2010-04-28 | 2014-07-02 | 株式会社ミクニ | 冷却液調整弁 |
JP2014003564A (ja) | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Panasonic Corp | 電子機器と、それを搭載した移動装置 |
-
2003
- 2003-10-09 WO PCT/US2003/032200 patent/WO2004034438A2/en active Search and Examination
- 2003-10-09 KR KR1020147014468A patent/KR101515775B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 KR KR1020137032375A patent/KR101458520B1/ko active IP Right Review Request
- 2003-10-09 TW TW092128191A patent/TWI302902B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-10-09 KR KR1020127021492A patent/KR101475662B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 JP JP2004543686A patent/JP4626302B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 KR KR1020127001230A patent/KR20120026129A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-10-09 KR KR1020137013825A patent/KR101446511B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 AU AU2003284051A patent/AU2003284051A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-09 CN CN2003801059515A patent/CN1849251B/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 EP EP03776281.2A patent/EP1573778B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 KR KR1020057006248A patent/KR100880291B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 KR KR1020087020783A patent/KR101323337B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 KR KR1020147016337A patent/KR101544699B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 EP EP13162984.2A patent/EP2615625B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 KR KR1020137010807A patent/KR101510614B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 KR KR1020107004083A patent/KR20100040746A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-10-09 US US10/682,809 patent/US10957569B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9620397B2 (en) | 2002-06-19 | 2017-04-11 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
US9881823B2 (en) | 2002-06-19 | 2018-01-30 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
US10141212B2 (en) | 2002-06-19 | 2018-11-27 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
US10147627B2 (en) | 2002-06-19 | 2018-12-04 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
US10381251B2 (en) | 2002-06-19 | 2019-08-13 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
US10957569B2 (en) | 2002-10-11 | 2021-03-23 | Murata Machinery Ltd. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4626302B2 (ja) | 単一の軌道位置から高架ホイスト搬送手段により材料収納棚の一つまたはそれ以上のレベルへ到達する方法 | |
US7780392B2 (en) | Horizontal array stocker | |
JP5333997B2 (ja) | 自動材料搬送システム、及び自動材料搬送システムを操作する方法 | |
KR100882376B1 (ko) | 수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템 | |
US20210057255A1 (en) | Automatic handling buffer for bare stocker | |
US20090196716A1 (en) | Scalable stocker with automatic handling buffer | |
KR101647277B1 (ko) | 베어 스토커용 자동 취급 버퍼 | |
CN114446842A (zh) | 容器搬送装置及具有容器搬送装置的容器存储系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060724 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100106 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100120 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100921 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101012 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101025 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4626302 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |