KR20050072758A - 단일의 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 운반 수단에의한 하나 이상의 재료 저장 선반 레벨로의 접근 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (123)
- 자동 재료 핸들링 시스템(automated material handling system)으로서,트랙, 오버헤드 호이스트(overhead hoist), 및 상기 트랙을 따라 상기 호이스트를 이동시키도록 구성된 운반 수단(transport vehicle)을 포함하는 적어도 하나의 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템; 및상기 트랙의 제 1 측면에 배치되고, 적어도 하나의 재료 유닛을 저장하도록 구성된 적어도 하나의 재료 저장 위치;를 포함하고,상기 호이스트가 상기 재료 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 재료 저장 위치는 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 제 1 위치로부터 상기 호이스트에 인접한 제 2 위치로 이동하도록 구성되어, 상기 호이스트가 상기 저장 위치로부터 상기 재료 유닛을 집을 수 있거나 또는 상기 재료 유닛을 상기 저장 위치로 배치할 수 있게 하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 트랙 옆에 평행하게 행으로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 2항에 있어서,각각의 저장 위치는 상기 호이스트가 상기 저장 위치 옆에 배치되는 경우에 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 상기 제 1 위치로부터 상기 호이스트에 인접한 상기 제 2 위치로 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 옆에 평행하게 다수의 행들로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 4항에 있어서,최상위 행의 각각의 저장 위치는 상기 호이스트가 상기 저장 위치 옆에 배치되는 경우에 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 상기 제 1 위치로부터 상기 호이스트에 인접한 상기 제 2 위치로 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 4항에 있어서,상기 복수 개의 저장 위치들은 복수 개의 행 및 복수 개의 열을 포함하는 어레이로 배열되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 6항에 있어서,상기 호이스트가 최상위 행의 제 1 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 제 1 저장 위치와 동일한 열에 있는 각각의 저장 위치는 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 제 3 위치로부터 상기 호이스트 바로 아래에 있는 제 4 위치로 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 7항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 부가하여 상기 호이스트가 상기 저장 위치로부터 상기 재료 유닛을 집거나 또는 상기 재료 유닛을 상기 저장 위치로 배치시킬 수 있도록 상기 호이스트를 상기 제 4 위치에 있는 상기 저장 위치 근처로 이동시키도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 행으로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 행으로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 9항에 있어서,상기 제 2 복수 개의 저장 위치들의 각각의 저장 위치는 상기 호이스트가 상기 저장 위치 옆에 배치되는 경우에 상기 트랙의 제 2 측면에 있는 제 3 위치로부터 상기 호이스트에 인접한 상기 제 2 위치로 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 9항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 11항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 11항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 다수의 행들로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 다수의 행들로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 14항에 있어서,상기 트랙의 제 2 측면에 있는 최상위 행의 각각의 저장 위치는 상기 호이스트가 상기 저장 위치 옆에 배치되는 경우에 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 있는 제 3 위치로부터 상기 호이스트에 인접한 상기 제 2 위치로 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 14항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 각각의 어레이들로 배열되고, 각각의 어레이는 복수 개의 행들 및 복수 개의 열들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 16항에 있어서,상기 호이스트가 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 있는 최상위 행의 제 1 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 제 1 저장 위치와 동일한 열에 있는 각각의 저장 위치는 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 제 3 위치로부터 상기 호이스트 바로 아래의 제 4 위치로 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 17항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 부가하여 상기 호이스트가 상기 저장 위치로부터 상기 재료 유닛을 집거나 또는 상기 재료 유닛을 상기 저장 위치로 배치시킬 수 있도록 상기 호이스트를 상기 제 4 위치에 있는 상기 저장 위치 근처로 이동시키도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 14항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 19항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 19항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 22항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 22항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 자동 재료 핸들링 시스템은 상기 재료 유닛을 이동시키도록 구성된 컨베이어 서브시스템을 더 포함하고,상기 호이스트는 부가하여 상기 컨베이어 서브시스템으로부터 상기 재료 유닛을 집거나 또는 상기 재료 유닛을 상기 컨베이어 서브시스템으로 배치하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 25항에 있어서,상기 컨베이어 서브시스템은 적어도 하나의 레일을 포함하고, 상기 컨베이어 서브시스템은 상기 레일을 따라 상기 재료 유닛을 이동시키도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 재료 저장 위치는 이동 선반을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 재료 유닛은 전방 개방 통합 포드(Front Opening Unified Pod; FOUP)를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 재료 유닛은 적어도 하나의 제조된 부품을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 자동 재료 핸들링 시스템으로서,트랙, 오버헤드 호이스트, 및 상기 트랙을 따라 상기 오버헤드 호이스트를 이동시키도록 구성된 운반 수단을 포함하는 적어도 하나의 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템; 및상기 트랙의 제 1 측면에 배치되고, 적어도 하나의 재료 유닛을 저장하도록 구성된 적어도 하나의 재료 저장 위치;를 포함하고,상기 호이스트가 상기 재료 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 호이스트는 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단 내의 제 1 위치로부터 상기 재료 저장 위치에 인접한 제 2 위치로 이동하도록 구성되어, 상기 호이스트가 상기 저장 위치로부터 상기 재료 유닛을 집을 수 있거나 또는 상기 재료 유닛을 상기 저장 위치로 배치할 수 있게 하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙 옆에 평행하게 행으로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙 옆에 평행하게 다수의 행들로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 32항에 있어서,상기 복수 개의 저장 위치들은 복수 개의 행들 및 복수 개의 열들을 포함하는 어레이로 배열되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 행으로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 행으로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 34항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 35항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 35항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 다수의 행들로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 다수의 행들로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 38항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 각각의 어레이들로 배열되고, 각각의 어레이는 복수 개의 행들 및 복수 개의 열들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 38항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 40항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 40항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 43항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 43항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 재료 유닛은 전방 개방 통합 포드(FOUP)를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 재료 유닛은 적어도 하나의 제조된 부품을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 부가하여 상기 호이스트에 결합된 병진 스테이지(translating stage)를 포함하고, 상기 병진 스테이지는 상기 호이스트를 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단 내의 상기 제 1 위치로부터 상기 재료 저장 위치에 인접한 상기 제 2 위치로 이동시키도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 2 측면에 배치된 적어도 하나의 저장 위치를 포함하고, 상기 제 2 측면은 상기 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 49항에 있어서,상기 호이스트가 상기 트랙의 제 2 측면에 있는 상기 재료 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 호이스트는 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단 내 상기 제 1 위치로부터 상기 트랙의 제 2 측면에 있는 상기 재료 저장 위치에 인접한 제 3 위치로 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 30항에 있어서,상기 자동 재료 핸들링 시스템은 상기 재료 유닛을 이동시키도록 구성된 컨베이어 서브시스템을 더 포함하고, 상기 호이스트는 부가하여 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단 내 상기 제 1 위치로부터 상기 컨베이어 서브시스템에 인접한 제 3 위치로 이동하도록 구성되어, 상기 호이스트가 상기 컨베이어 서브시스템으로부터 상기 재료 유닛을 집거나 또는 상기 재료 유닛을 상기 컨베이어 서브시스템으로 배치시킬 수 있도록 하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 51항에 있어서,상기 컨베이어 서브시스템은 적어도 하나의 레일을 포함하고, 상기 컨베이어 서브시스템은 상기 레일을 따라 상기 재료 유닛을 이동시키도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 자동 재료 핸들링 시스템을 작동시키는 방법으로서,트랙, 오버헤드 호이스트, 및 상기 트랙을 따라 상기 호이스트를 이동시키기 위한 운반 수단을 포함하는 적어도 하나의 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템을 제공하는 단계;적어도 하나의 재료 유닛을 저장하기 위한 적어도 하나의 재료 저장 위치를 제공하는 단계 - 상기 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 배치됨 -;상기 호이스트가 상기 재료 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 제 1 위치로부터 상기 호이스트에 인접한 제 2 위치로 상기 재료 저장 위치를 이동시키는 단계; 및상기 저장 위치로부터 상기 재료 유닛을 집거나 또는 상기 호이스트에 의해 상기 재료 유닛을 상기 저장 위치로 배치시키는 단계;를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 트랙 옆에 평행하게 행으로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 트랙 옆에 평행하게 다수의 행들로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 55항에 있어서,상기 복수 개의 저장 위치들은 복수 개의 행들 및 복수 개의 열들을 포함하는 어레이로 배열되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 56항에 있어서,상기 재료 저장 위치를 이동시키는 단계는, 상기 호이스트가 최상위 행의 제 1 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 제 1 저장 위치와 동일한 열에 있는 적어도 하나의 저장 위치를 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 제 3 위치로부터 상기 호이스트 바로 아래에 있는 제 4 위치로 이동시키는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 57항에 있어서,상기 호이스트를 상기 제 4 위치에 있는 상기 저장 위치 근처로 이동시키는 단계를 더 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 행으로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 행으로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 59항에 있어서,상기 호이스트가 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들의 저장 위치들 중 하나의 옆에 배치되는 경우에, 상기 저장 위치를 상기 트랙의 제 2 측면에 있는 제 3 위치로부터 상기 호이스트에 인접한 상기 제 2 위치로 이동시키는 단계를 더 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 59항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 61항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 61항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 다수의 행들로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 다수의 행들로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 64항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 각각의 어레이들로 배열되고, 각각의 어레이는 복수 개의 행들 및 복수 개의 열들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 65항에 있어서,상기 호이스트가 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 있는 최상위 행의 제 1 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 제 1 저장 위치와 동일한 열에 있는 적어도 하나의 저장 위치를 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 있는 제 3 위치로부터 상기 호이스트 바로 아래의 제 4 위치로 이동시키는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 66항에 있어서,상기 방법은 상기 제 4 위치에 있는 상기 저장 위치 근처로 상기 호이스트를 이동시키는 단계를 더 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 64항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 68항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 68항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 71항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 71항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 재료 저장 위치는 이동 선반인 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 재료 유닛은 전방 개방 통합 포드(FOUP)인 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 53항에 있어서,상기 재료 유닛은 적어도 하나의 제조된 부품을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 자동 재료 핸들링 시스템을 작동시키는 방법으로서,트랙, 오버헤드 호이스트, 및 상기 호이스트를 상기 트랙을 따라 이동시키기 위한 운반 수단을 포함하는 적어도 하나의 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템을 제공하는 단계;적어도 하나의 재료 유닛을 저장하기 위한 적어도 하나의 재료 저장 위치를 제공하는 단계 - 상기 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 배치됨 -;상기 호이스트가 상기 재료 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단 내의 제 1 위치로부터 상기 재료 저장 위치에 인접한 제 2 위치로 상기 호이스트를 이동시키는 단계; 및상기 저장 위치로부터 상기 재료 유닛을 집거나 또는 상기 호이스트에 의해 상기 재료 유닛을 상기 저장 위치로 배치시키는 단계;를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙 옆에 평행하게 행으로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 트랙 옆에 평행하게 다수의 행들로 배치된 복수 개의 저장 위치들을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 79항에 있어서,상기 복수 개의 저장 위치들은 복수 개의 행들 및 복수 개의 열들을 포함하는 어레이로 배열되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 행으로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 행으로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 81항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 82항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 82항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 상기 제 1 측면에 다수의 행들로 배치된 제 1 복수 개의 저장 위치들, 및 상기 트랙의 제 2 측면에 다수의 행들로 배치된 제 2 복수 개의 저장 위치들을 포함하고, 상기 트랙의 제 2 측면은 상기 트랙의 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 85항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 각각의 어레이들로 배열되고, 각각의 어레이는 복수 개의 행 및 복수 개의 열을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 85항에 있어서,상기 제 1 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되고, 상기 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙의 상기 제 2 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 87항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 87항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 복수 개의 저장 위치들은 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 1 측면에 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 90항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 90항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 천장으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 재료 유닛은 전방 개방 통합 포드(FOUP)인 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 재료 유닛은 적어도 하나의 제조된 부품을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 호이스트를 이동시키는 단계는 상기 호이스트에 결합된 병진 스테이지에 의해 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단 내 상기 제 1 위치로부터 상기 재료 저장 위치에 인접한 상기 제 2 위치로 상기 호이스트를 이동시키는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 77항에 있어서,상기 적어도 하나의 재료 저장 위치는 상기 트랙의 제 2 측면에 배치된 적어도 하나의 저장 위치를 포함하고, 상기 제 2 측면은 상기 제 1 측면에 대향하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 96항에 있어서,상기 호이스트가 상기 트랙의 제 2 측면에 있는 상기 재료 저장 위치 옆에 배치되는 경우에, 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단 내 상기 제 1 위치로부터 상기 트랙의 제 2 측면에 있는 상기 재료 저장 위치에 인접한 제 3 위치로 상기 호이스트를 이동시키는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 자동 재료 핸들링 시스템으로서,적어도 하나의 재료 유닛을 유지하도록 구성된 고정 선반을 각각 포함하는 복수 개의 재료 저장 위치들 - 여기서, 상기 고정 선반들은 복수 개의 이격된 열들로 배열되고, 각각의 열은 하나 이상의 선반들을 포함함 -; 및오버헤드 호이스트 및 상기 호이스트에 동작가능하게 결합된 제 1 및 제 2 호이스트 전달 기구를 포함하는 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템 - 상기 호이스트는 선택된 선반들 열에 포함된 선택된 선반으로부터 적어도 하나의 재료 유닛에 접근하도록 구성됨 -;를 포함하고,상기 제 1 전달 기구는 상기 선택된 열에 인접하여 평행하게 배치된 제 1 축을 따라 제 1 위치로부터 제 2 위치로 상기 호이스트를 전달하도록 구성되고,상기 제 2 전달 기구는 상기 제 1 축에 수직인 각도로 배치된 제 2 축을 따라 상기 제 1 또는 제 2 위치로부터 제 3 위치로 상기 호이스트를 전달하도록 구성되며,그에 의해 상기 선택된 선반으로부터 직접 상기 재료 유닛에 접근하도록 상기 호이스트를 배치시키는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 98항에 있어서,상기 선택된 열과 상기 선택된 열에 인접한 적어도 하나의 열 사이에 있는 적어도 하나의 공간은, 상기 제 2 호이스트 전달 기구가 상기 제 1 또는 제 2 위치로부터 상기 제 3 위치로 상기 호이스트를 전달할 때, 상기 제 1 호이스트 전달 기구의 적어도 일 부분을 수용하기에 충분한 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 99항에 있어서,상기 제 1 호이스트 전달 기구는 제 1 및 제 2 세장형 호이스트 서스펜션 엘리먼트(elongated hoist suspension element)들을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 호이스트 서스펜션 엘리먼트들은 상기 제 1 축에 평행하게 배치되며 상기 제 1 전달 기구가 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 위치로 상기 호이스트를 전달할 때 상기 호이스트를 지지하도록 구성되고, 선택된 열의 대향하는 측면들 상에 있는 각각의 공간들은 상기 제 2 호이스트 전달 기구가 상기 제 1 또는 제 2 위치로부터 상기 제 3 위치로 상기 호이스트를 전달할 때 상기 제 1 및 제 2 호이스트 서스펜션 엘리먼트들이 상기 선택된 열을 걸칠(straddle) 수 있게 하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 99항에 있어서,상기 제 2 호이스트 전달 기구는 Y-테이블, 뉴매틱 기구(pneumatic mechanism), 스테퍼 기구(stepper mechanism) 및 서보 기구(servo mechanism)로 구성된 그룹으로부터 선택되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 98항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 적어도 하나의 트랙 및 상기 트랙 상에 있는 복수 개의 위치들로 이동하도록 구성된 상기 호이스트를 운반하기 위한 운반 수단을 더 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 102항에 있어서,상기 선택된 열은 복수 개의 선반들을 포함하고, 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단은 상기 트랙 상의 미리 설정된 위치에 배치되며, 상기 호이스트는 상기 선택된 선반들 열에 있는 각각의 선반으로부터 각각의 재료 유닛에 접근하기 위해 배치될 수 있는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 102항에 있어서,적어도 상기 트랙의 일 부분은 상기 선택된 열의 일 측면 위로 배치되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 102항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 각각의 오버헤드 호이스트들을 운반하기 위한 복수 개의 운반 수단들을 포함하고, 상기 복수 개의 운반 수단들 중 각각의 하나는 공통 트랙 상에서 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 102항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 각각의 오버헤드 호이스트들을 운반하기 위한 복수 개의 운반 수단들을 포함하고, 복수 개의 운반 수단들 중 각각의 하나는 각각의 트랙 상에서 이동하도록 구성되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 98항에 있어서,상기 호이스트는 상기 적어도 하나의 재료 유닛을 잡도록(grip) 구성된 그리퍼 부분(gripper portion)을 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 107항에 있어서,상기 그리퍼는 2개의 재료 유닛을 동시에 잡는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 108항에 있어서,상기 그리퍼는 상기 제 1 재료 유닛과 상기 제 2 재료 유닛의 교환(swap)을 촉진시키기 위하여 상기 두 재료 유닛들을 회전시킬 수 있는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 98항에 있어서,상기 복수 개의 재료 저장 위치들은 행들 및 열들로 배열된 고정 선반들의 어레이를 포함하고, 각각의 열은 상기 제 1 축을 따라 이격된 제 1 복수 개의 선반들을 구비하며, 각각의 행은 제 3 축을 따라 이격된 제 2 복수 개의 선반들을 구비하며, 상기 제 3 축은 상기 제 1 및 상기 제 2 축에 직교하는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 98항에 있어서,상기 선반들은 평평하고, 적어도 하나의 지지 부재에 수직인 각도로 단일 차원(dimension)을 따라 고정되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 제 111항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 부가하여 상기 호이스트를 운반하는데 사용하기 위한 적어도 하나의 트랙을 포함하고, 상기 지지 부재는 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템.
- 자동 재료 핸들링 시스템을 작동시키는 방법으로서,상기 자동 재료 핸들링 시스템은 복수 개의 재료 저장 위치들 및 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템을 포함하고, 각각의 저장 위치는 적어도 하나의 재료 유닛을 유지하기 위한 고정 선반을 포함하며, 상기 선반들은 복수 개의 이격된 열들로 배열되며, 각각의 열은 하나 이상의 선반들을 포함하고, 상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 선택된 선반들 열에 포함된 선택된 선반으로부터 적어도 하나의 재료 유닛에 접근하기 위한 오버헤드 호이스트를 구비하며,상기 방법은,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템에 포함된 제 1 호이스트 운반 기구에 의해 상기 선택된 선반들 열에 인접하여 평행하게 배치된 제 1 축을 따라 제 1 위치로부터 제 2 위치로 상기 호이스트를 전달하는 단계;상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템에 포함된 제 2 호이스트 운반 기구에 의해 상기 제 1 축에 수직인 각도로 배치된 제 2 축을 따라 상기 제 1 또는 제 2 위치로부터 제 3 위치로 상기 호이스트를 전달하여, 상기 선택된 선반으로부터 상기 재료 유닛에 접근하기 위하여 상기 호이스트를 배치시키는 단계; 및상기 호이스트에 의해 상기 선택된 선반으로부터 직접 상기 재료 유닛에 접근하는 단계;를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 113항에 있어서,상기 제 2 전달 단계는, 상기 제 2 호이스트 전달 기구에 의해 상기 제 1 또는 제 2 위치로부터 상기 제 3 위치로 상기 호이스트를 전달할 때, 상기 선택된 열과 상기 선택된 열에 인접한 적어도 하나의 열 사이에 있는 적어도 하나의 공간 내에 상기 제 1 호이스트 전달 기구의 적어도 일 부분을 배치시키는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 114항에 있어서,상기 제 1 호이스트 전달 기구는 제 1 및 제 2 세장형 호이스트 서스펜션 엘리먼트들을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 호이스트 서스펜션 엘리먼트들은 상기 제 1 축에 평행하게 배치되며,상기 제 1 전달 단계는, 상기 제 1 전달 기구 전달에 의해 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 위치로 상기 호이스트를 전달할 때, 상기 제 1 및 제 2 세장형 호이스트 서스펜션 엘리먼트들에 의해 상기 호이스트를 지지하는 단계를 포함하며,상기 제 2 전달 단계는, 선택된 열의 대향하는 측면들 상에 있는 각각의 공간들에 상기 제 1 및 제 2 세장형 호이스트 서스펜션 엘리먼트들을 배치시켜 상기 제 2 호이스트 전달 기구에 의해 상기 제 1 또는 제 2 위치로부터 상기 제 3 위치로 상기 호이스트를 전달할 때 상기 선택된 열을 걸치는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 113항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 적어도 하나의 트랙 및 상기 호이스트를 운반하기 위한 운반 수단을 더 포함하고,상기 방법은 부가하여 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단에 의해 상기 트랙 상에 있는 적어도 하나의 위치로 이동하는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 116항에 있어서,상기 선택된 열은 복수 개의 선반들을 포함하고,상기 이동 단계는 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단에 의해 상기 트랙 상의 미리 설정된 위치로 이동하는 단계를 포함하며,상기 방법은 부가하여 상기 제 1 및 제 2 호이스트 전달 기구들에 의해 상기 선택된 선반들 열에 있는 하나 이상의 선반들로부터 각각의 재료 유닛들에 접근하도록 상기 호이스트를 배치시키는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 116항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 각각의 오버헤드 호이스트들을 운반하기 위한 복수 개의 운반 수단들을 포함하고, 상기 이동 단계는 상기 복수 개의 오버헤드 호이스트 운반 수단들에 의해 공통 트랙 상에 있는 복수 개의 각각의 위치들로 이동하는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 116항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 각각의 오버헤드 호이스트들을 운반하기 위한 복수 개의 운반 수단들을 포함하고, 상기 이동 단계는 상기 복수 개의 오버헤드 호이스트 운반 수단들에 의해 각각의 트랙들 상에 있는 복수 개의 위치들로 이동하는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 113항에 있어서,상기 접근 단계는 상기 호이스트에 포함된 그리퍼에 의해 상기 적어도 하나의 재료 유닛을 잡는 단계를 포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 113항에 있어서,상기 선반들은 평평하고, 적어도 하나의 지지 부재에 수직인 각도로 단일 차원을 따라 고정되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 제 121항에 있어서,상기 오버헤드 호이스트 운반 서브시스템은 부가하여 적어도 하나의 트랙 및 상기 호이스트를 운반하기 위한 운반 수단을 포함하며,상기 방법은 부가하여 상기 오버헤드 호이스트 운반 수단에 의해 상기 트랙 상에 있는 적어도 하나의 위치로 이동하는 단계를 더 포함하며, 상기 지지 부재는 상기 트랙으로부터 서스펜딩되는 자동 재료 핸들링 시스템 작동 방법.
- 자동 재료 핸들링 시스템을 제어하는 방법으로서,컨트롤러에 의해 적어도 하나의 재료 유닛을 포함하는 운반 장비를 프로세스 툴로 안내하는 단계;상기 프로세스 툴이 상기 재료 유닛을 허용하기 위해 이용가능하지 않은 경우에, 상기 프로세스 툴과 연관된 저장 유닛들이 상기 컨트롤러에 의해 상기 재료 유닛을 유지할 수 있는지 여부를 결정하는 단계;상기 프로세스 툴과 연관된 상기 저장 유닛들이 상기 재료 유닛을 유지할 수 있는 경우에, 상기 재료 유닛을 상기 컨트롤러에 의해 상기 툴의 저장 유닛들에 할당하는 단계;상기 프로세스 툴과 연관된 상기 저장 유닛들이 상기 재료 유닛을 유지할 수 없는 경우에, 상기 프로세스 툴 그룹과 연관된 저장 유닛들이 상기 컨트롤러에 의해 상기 재료 유닛을 유지할 수 있는지 여부를 결정하는 단계;상기 프로세스 툴 그룹과 연관된 상기 저장 유닛들이 상기 재료 유닛을 유지할 수 있는 경우에, 상기 재료 유닛을 상기 컨트롤러에 의해 상기 툴 그룹의 저장 유닛들에 할당하는 단계;상기 프로세스 툴 그룹과 연관된 상기 저장 유닛들이 상기 재료 유닛을 유지할 수 없는 경우에, 상기 재료 유닛을 상기 컨트롤러에 의해 반도체 베이(bay)의 저장 유닛들로 할당하는 단계; 및상기 컨트롤러에 의해 상기 자동 재료 핸들링 시스템 내의 상기 재료 유닛들의 배치 및 검색을 스케쥴링하는 단계;포함하는 자동 재료 핸들링 시스템 제어 방법.
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