JP2008195471A - 物品搬送設備 - Google Patents

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Abstract

【課題】物品支持体の軽量化を図りながら、物品支持体上での物品の移動を防止できる物品搬送設備を提供する。
【解決手段】天井側に配置されている物品支持体が、固定枠体29に対して物品移載箇所に停止した移動体に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分35を備えた移動枠体30に、物品5の底部を載置支持する複数の接続枠体36を、左右一対の支持アーム部分35に対して遠近方向に間隔を隔てて位置させて、且つ、その左右一対の支持アーム部分35を接続する状態で設けて構成され、物品5の底部の被係合部に係合する突起状の複数の物品位置決め部材39が、遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材40にて保持された状態で、複数の接続枠体36に支持された状態で設けられている。
【選択図】図7

Description

本発明は、天井側に配置されている移動経路に沿って移動自在な物品搬送用の移動体に、物品を吊り下げ状態で把持自在で且つ昇降自在な把持部が備えられ、天井側に配置されている物品保管用の物品支持体が、それに対する物品移載箇所に停止した前記移動体の前記把持部との間で物品を授受する物品授受用位置と物品保管用位置とに位置変更自在に設けられた物品搬送設備に関する。
上記のような物品搬送設備は、物品の移載対象となる物品移載用のステーションが床部側に移動経路に沿って複数設けられ、移動体が移動経路に沿って移動して把持部を昇降させることにより、ステーション間での物品搬送を行うものである。
そして、ステーションに搬送する物品を一時的に保管するために物品支持体が設けられている。この物品支持体は、通常、移動経路の側脇等の物品保管用位置に位置しており、移動体の移動等を邪魔しないようにしている。そして、物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を搬送する場合に、物品支持体を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させて、移動体の把持部から物品支持体への物品の受け渡し及び物品支持体から把持部への物品の受け取りを行う。
従来の物品搬送設備では、物品支持体が、物品の底部を載置支持する1つの板状枠体と、天井部に対して水平軸心周りで揺動自在に設置されて板状枠体を物品移載箇所に停止した移動体の遠近方向に移動自在に吊り下げ状態で支持するリンク機構と、リンク機構にて板状枠体を前記遠近方向に移動させて物品支持体を物品保管用位置と物品授受用位置とに位置変更操作するための油圧シリンダとを設けている(例えば、特許文献1参照。)。
そして、物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を搬送する場合には、移動体を物品移載箇所に停止させた状態で油圧シリンダによりリンク機構を水平軸心周りで揺動させて板状枠体を前記遠近方向に移動させ、物品支持体を物品保管用位置から物品授受用位置へ位置変更操作する。その後、移動体の把持部を昇降させることにより、把持部から板状枠体へ物品を受け渡す又は把持部にて板状枠体から物品を受け取るようにしている。
特開平10−45213号公報
上記従来の物品搬送設備では、物品の底部を載置支持する部材が1つの板状枠体であるので、物品の底部を載置支持する部材の重量が重いものとなっている。したがって、板状枠体を吊り下げ支持するリンク機構を大きな荷重に耐えられるものにする等、構成が大掛かりなものとなり、構成の複雑化を招く虞がある。
また、従来の物品搬送設備では、板状枠体が物品の底部を載置支持しているだけであるので、板状枠体を前記遠近方向に移動させるとき等に、物品が移動してしまうことがある。このように物品が移動すると、物品支持体を物品授受用位置に位置変更させたときに、物品が把持部との間で物品を授受する適正な位置からずれてしまい、把持部にて物品支持体から物品を適正に受け取ることができない虞がある。
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、物品支持体の軽量化を図りながら、物品支持体上での物品の移動を防止できる物品搬送設備を提供する点にある。
この目的を達成するために、本発明に係る物品搬送設備の第1特徴構成は、天井側に配置されている移動経路に沿って移動自在な物品搬送用の移動体に、物品を吊り下げ状態で把持自在で且つ昇降自在な把持部が備えられ、天井側に配置されている物品保管用の物品支持体が、それに対する物品移載箇所に停止した前記移動体の前記把持部との間で物品を授受する物品授受用位置と物品保管用位置とに位置変更自在に設けられた物品搬送設備であって、
前記物品支持体が、天井側に設置された固定枠体に対して前記物品移載箇所に停止した前記移動体に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分を備えた移動枠体に、物品の底部を載置支持する複数の接続枠体を、前記左右一対の支持アーム部分に対して前記遠近方向に間隔を隔てて位置させて、且つ、その左右一対の支持アーム部分を接続する状態で設けて構成され、前記物品の底部の被係合部に係合する突起状の複数の物品位置決め部材が、前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材にて保持された状態で、前記複数の接続枠体に支持された状態で設けられている点にある。
すなわち、移動枠体が、固定枠体に対して前記遠近方向に移動自在に支持され、その移動枠体に備えられた左右一対の支持アーム部分が、前記遠近方向に間隔を隔てて位置された複数の接続枠体にて接続されている。そして、複数の接続枠体にて物品の底部を分担して載置支持する状態で物品の底部を載置支持することができ、移動枠体を固定枠体に対して前記遠近方向に移動させることにより複数の接続枠体にて載置支持された物品を前記遠近方向に移動させることができる。したがって、物品の底部を載置支持する部材が、前記遠近方向に間隔を隔てた複数の接続枠体となり、物品の底部を載置支持する部材の軽量化を図ることができる。
物品の底部を載置支持する複数の接続枠体の夫々には、突起状の複数の物品位置決め部材が設けられており、この物品位置決め部材が物品の底部の被係合部に係合することにより物品を複数の物品位置決め部材にて位置決めした状態で載置支持することができ、物品の移動を防止できる。
そして、物品を複数の物品位置決め部材にて位置決めした状態で載置支持するに当り、物品の位置を適正な位置に位置決めするためには、複数の物品位置決め部材を前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係となるように設置する必要がある。
しかしながら、複数の物品位置決め部材を複数の接続枠体に支持させているので、複数の接続枠体の相対位置関係を考慮しながら、複数の物品位置決め部材の相対位置関係を調整しなければならず、複数の物品位置決め部材の設置作業が難しいものとなる。そして、物品位置決め部材の設置作業は、天井側の高い箇所にて行わなければならず、物品位置決め部材の設置作業の簡素化が望まれる。
そこで、複数の物品位置決め部材を、前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材にて保持された状態で、複数の接続枠体に支持された状態で設けることにより、単に、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係に保持する位置規制部材を設置するだけで、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係に設置できる。
以上の如く、物品支持体の軽量化を図りながら、物品支持体上での物品の移動を防止でき、しかも、複数の物品位置決め部材の設置作業の簡素化を図ることができる物品搬送設備を提供できるに至った。
本発明に係る物品搬送設備の第2特徴構成は、前記物品位置決め部材が、その底部に前記位置規制部材における位置決め用嵌合孔に嵌合する小径で且つ前記位置規制部材の厚さと同幅又はそれよりも小さい突出部を備える状態で形成され、前記物品位置決め部材を嵌合した前記位置規制部材を前記接続枠体の上部に載置した状態において、前記接続枠体に形成のボルト挿通孔を下方より上方に貫通し且つ前記物品位置決め部材の底部に螺合する締結用ボルトにより前記物品位置決め部材を前記接続枠体に締結するように構成されている点にある。
すなわち、物品位置決め部材は、その底部に形成された突出部が位置規制部材における位置決め用嵌合孔に嵌合することにより位置決め規制部材に嵌合する。物品位置決め部材が嵌合した位置規制部材を接続枠体の上部に載置することにより、締結用ボルトが接続枠体に形成のボルト挿通孔を下方より上方に貫通できる。そして、締結用ボルトを下方より上方に貫通して物品位置決め部材の底部に螺合することにより、物品位置決め部材と接続枠体との間に位置規制部材を挟み込む状態で物品位置決め部材を接続枠体に締結できる。
例えば、接続枠体に位置規制部材をボルト固定し、その接続枠体にボルト固定された位置規制部材に物品位置決め部材をボルト固定することにより、位置規制部材及び複数の物品位置決め部材を設置することが考えられる。しかしながら、この場合には、接続枠体に位置規制部材をボルト固定する作業と位置規制部材に物品位置決め部材をボルト固定する作業とを行わなければならず、設置作業の複雑化を招くことになる。
それに対して、物品位置決め部材が嵌合した位置規制部材を接続枠体の上部に載置させて、締結用ボルトにて物品位置決め部材を接続枠体に締結するだけで、位置規制部材及び複数の物品位置決め部材を設置することができるので、設置作業の簡素化を図ることができる。
本発明に係る物品搬送設備の第3特徴構成は、前記接続枠体に形成のボルト挿通孔が、前記物品位置決め部材の位置調整のために前記締結用ボルトの径よりも大きく形成されている点にある。
すなわち、締結用ボルトの径よりも大きいボルト挿通孔の開口範囲で物品位置決め部材を位置調整することができるので、締結用ボルトにて物品位置決め部材を接続枠体に締結する際に、複数の物品位置決め部材の位置調整を行うことができる。
したがって、複数の接続枠体の設置位置が適正な位置から多少ずれているときでも、締結用ボルトにて物品位置決め部材を接続枠体に締結する際に、複数の物品位置決め部材の位置調整を行うことにより、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係とすることができ、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係に的確に設置できる。
本発明に係る物品搬送設備の第4特徴構成は、前記移動体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品支持体を前記物品保管用位置と前記物品授受用位置とに変更操作するための操作手段が設けられている点にある。
すなわち、物品支持体を物品保管用位置と物品授受用位置とに変更操作するための操作手段を移動体に設けているので、物品支持体に物品保管用位置と物品授受用位置とに変更操作するための油圧シリンダ等を設ける必要がなく、物品支持体の軽量化を図ることができる。
そして、物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を移動体にて搬送する場合には、移動体を物品移載箇所に停止させた状態で、操作手段が物品支持体を物品保管用位置から物品授受用位置へ変更操作することができる。その後、移動体の把持部から物品支持体への物品の受け渡し又は物品支持体から移動体の把持部への物品の受け取りを行うと、操作手段が物品支持体を物品授受用位置から物品保管用位置へ変更操作することができる。
このように、移動体に設けた操作手段によって物品支持体を物品授受用位置と物品保管用位置とに適切に位置変更させることができる。
本発明に係る物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
この物品搬送設備は、図1及び図2に示すように、複数の物品処理部1を経由する状態で移動経路としての案内レール2が設置され、この案内レール2に沿って移動自在な物品搬送用の移動体としての移動車3が設けられている。そして、半導体基板を収納した容器5を物品として、移動車3が複数の物品処理部1の間で容器5を搬送するように構成されている。前記物品処理部1では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。
前記移動車3は、容器5を吊り下げ状態で把持する把持部4を昇降自在に備えている。
前記把持部4は、移動車3が停止した状態において、ワイヤ6を巻き取り又は巻き出すことにより、移動車3に近接位置させる上昇位置と移動車3よりも下方側に設置された物品移載用のステーション7との間で物品移載を行う下降位置とに昇降自在に設けられている。
ちなみに、図2では、把持部4が上昇位置から下降位置に下降する場合を上方側に示し、把持部4を下降位置から上昇位置に上昇させる場合を下方側に示している。
前記ステーション7は、容器5を載置支持する載置台にて構成されている。そして、ステーション7は、物品処理部1にて所定の処理を行う容器5を移動車3から受け取る又は物品処理部1にて所定の処理を行った容器5を移動車3に受け渡すためのものであり、複数の物品処理部1の夫々に対応して配置されている。
そして、移動車3は、把持部4を上昇位置に位置させた状態で案内レール2に沿って移動し、複数のステーション7のうち、移載対象のステーション7に対応する停止位置に停止した状態で把持部4を上昇位置と下降位置との間で昇降させることにより、ステーション7との間で容器5の授受を行うように構成されている。
前記案内レール2は、図2〜図4に示すように、案内レール用ブラケット8により天井部に固定状態で設置されている。前記移動車3は、案内レール2の内方空間部に位置する上方車体9と案内レール2の下方に位置する下方車体12とを前後の連結扞10,11にて連結して構成されている。
前記上方車体9は、案内レール2の内方空間部に設けられるマグネット13に近接対向させる状態で一次コイル14を備えている。そして、上方車体9は、マグネット13と一次コイル14とからなるリニアモータにより推進力を得るリニアモータ式であり、移動車3は、この推進力によって案内レール2に沿って移動するように構成されている。
前記案内レール2の内方空間部には、上方車体9に備えた走行輪15に対する走行案内面16と、上方車体9に備えた振止輪17に対する振止案内面18とが形成されている。
また、案内レール2には給電線19が設けられ、上方車体9には受電コイル20が設けられ、交流電流の通電により給電線19に磁界を発生させ、この磁界により移動車3側での必要電力を受電コイル20に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
この実施形態では、上方車体9を駆動させる方式として、リニアモータにより推進力を得て駆動させるリニアモータ式を例示しているが、例えば、走行輪15を回転駆動する電動モータを設け、この電動モータにて走行輪15を回転駆動させることにより上方車体9を駆動させる方式を用いることもできる。
前記下方車体12は、移動車3の前後方向に延びる前後枠体21、前後枠体21の前端箇所及び後端箇所から下方側に延びる前後一対の縦枠体22から構成されている。そして、下方車体12は、側面視において、下方側が開放されたコ字状に形成され、前後方向の中央部に把持部4を配置している。
前記把持部4は、上方車体9に対して昇降自在な昇降体23に設けられ、この昇降体23は、前後枠体21に設けられた昇降操作機構24によって昇降操作自在に支持されている。
前記昇降操作機構24は、ドラム駆動用モータ25により回動自在な回転ドラム26に4本のワイヤ6を巻き掛けて構成されている。そして、昇降操作機構24は、回転ドラム26を正逆回転させて4本のワイヤ6を同時に巻き取り及び巻き出しすることによって、昇降体23を略水平姿勢に維持しながら昇降操作するように構成されている。
この実施形態では、回転ドラム26にワイヤ6を巻き掛けた例を示しているが、例えば、回転ドラム26にベルトを巻き掛けて昇降体23を昇降操作することもでき、ワイヤ6に限らず、ベルトを用いることもできる。
前記把持部4には、容器5のフランジ5aを把持する一対の把持具4aが設けられている。そして、一対の把持具4aが把持動作用モータ27の正逆回転により互いに近づく方向に揺動してフランジ5aを把持する把持姿勢(図3中実線)と、一対の把持具4aが互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢(図3中点線)とに切り換え自在に構成されている。
また、把持部4は、縦軸芯周りで旋回自在に昇降体23に設けられ、図示は省略するが、把持部4を旋回操作する旋回用モータが設けられている。
前記ステーション7に搬送する容器5を一時的に保管するために、案内レール2の側脇には、図1に示すように、案内レール2に対して左右両側に物品保管用の物品支持体28が設けられている。そして、物品支持体28は、案内レール2に沿って並ぶ状態で複数設けられている。
以下、図5〜図10に基づいて、物品支持体28について説明する。
複数の物品支持体28の夫々は、それに対する物品移載箇所に停止した移動車3の把持部4からの容器5の受け取り及び把持部4への容器5の受け渡しを行う物品授受用位置(図8及び図10参照)と物品保管用位置(図7及び図9参照)とに位置変更自在に設けられている。
以下、物品移載箇所に停止した移動車3の前後方向を「前後方向」と略称し、且つ、物品移載箇所に停止した移動車3に対する遠近方向を「遠近方向」と略称して説明する。
前記物品移載箇所は、複数の物品支持体28の夫々に対応して定められている。そして、前後方向において物品支持体28の幅は移動車3における前後一対の縦枠体22の間隔よりも小さくなるように形成されている。したがって、物品移載箇所に移動車3が停止した状態において、移動車3における前後一対の縦枠体22の間に物品支持体28を挿脱できるように構成されている。
前記物品保管用位置は、物品支持体28が物品保管用位置に位置するときに、自己及び自己が載置支持する容器5が移動車3の移動や把持部4の昇降の邪魔にならないように、案内レール2の存在箇所から遠近方向に外れた案内レール2の側脇に定められている。
前記物品授受用位置は、物品支持体28が物品授受用位置に位置するときに、物品移載箇所に停止した移動車3において上昇位置に近接する位置に位置する把持部4との間で容器5を授受できるように、物品移載箇所に停止した移動車3における把持部4と上下方向に重複する位置に定められている。
前記物品支持体28は、図5及び図6に示すように、物品保管用位置に対応して天井側に設置された固定枠体29と、その固定枠体29に対して遠近方向に移動自在に支持された移動枠体30とから構成されている。
前記固定枠体29は、遠近方向に長尺状に形成された一対の側面枠部29aから構成されている。一対の側面枠部29aは、遠近方向に間隔を隔てて配設された枠体用第1連結体31aと枠体用第2連結体31bとにより連結されている。枠体用第1連結体31aは、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車3に接近する側を連結しており、枠体用第2連結体31bは、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車3から離れる側を連結している。
そして、固定枠体29は、一対の側面枠部29aの夫々から上方に向って延設された複数の吊り下げ用延設体32の上端部を取り付け金具により2本の吊り下げ用支持体33に固定して吊り下げ支持されている。前記吊り下げ用支持体33は、天井部からの吊りボルト34にて吊り下げ支持されており、案内レール2と平行になるように案内レール2の長手方向に沿って配設されている。
前記固定枠体29を天井側に吊り下げ支持する構成は、上述の構成に限らず、適宜変更が可能である。例えば、固定枠体29の上端部にボルト取り付け用溝部を設け、このボルト取り付け用溝部に吊り下げ支持体の下端部をボルト固定し、吊り下げ支持体の上端部を天井部にボルト固定することにより、固定枠体29を天井側に吊り下げ支持することができる。
このように、複数の物品支持体28における固定枠体29の夫々を各別に天井側に吊り下げ支持することにより、物品支持体28を1つずつ取り付け又は取り外しすることができ、物品支持体28の増設又は取り外しを容易に行うことができるようにしている。
前記移動枠体30は、遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分としての支持アーム体35と、その左右一対の支持アーム体35に対して遠近方向に間隔を隔てて位置させて且つその左右一対の支持アーム体35を接続する状態で設けられた複数の接続枠体36とを備えて構成されている。
そして、移動枠体30は、複数の接続枠体36にて容器5の底部を載置支持するように構成されており、複数の接続枠体36が、容器5の底部を分担して載置支持するように構成されている。
前記支持アーム体35は、遠近方向に沿って延びる下端部35a、遠近方向において下端部35aの移動車3から離れる側の端部から上方に延びる中間部35b、その中間部35bの上端から移動車3から離れる側に遠近方向に沿って延びる上端部35cから形成されている。
前記支持アーム体35において下端部35a及び中間部35bには、その長手方向に間隔を隔てて複数の孔部が形成されており、支持アーム体35の軽量化が図られている。
前記接続枠体36は、その断面形状が中央部を上方側に突出させた凸状に形成されており、凸状の平らな部分にて容器5の底部を載置支持する。そして、接続枠体36は、支持アーム体35において内側に折り曲げた部分に載置させた状態において、両端部がボルトナットにて支持アーム体35に固定されている。
前記接続枠体36は、物品移載箇所に停止した移動車3に接近する側に位置する細長状の第1接続枠体36aと、物品移載箇所に停止した移動車3から離間する側に位置する細長状の第2接続枠体36bとから構成されている。そして、第1接続枠体36aには、物品移載箇所に停止した移動車3に接近する側に伸びて上方側に起立する起立壁部37が設けられている。この起立壁部37は、物品移載箇所に停止した移動車3に接近する側への容器5の移動を規制するように構成されている。
前記左右一対の支持アーム体35は、接続枠体36だけでなく、複数の連結用枠体45によっても接続されている。前記連結用枠体45は、左右一対の支持アーム体35の下端部35aにおいて物品移載箇所に停止した移動車3から離間する側の端部を接続する第1連結用枠体45aと、左右一対の支持アーム体35の中間部35bを接続する第2連結用枠体45bと、左右一対の支持アーム体35の上端部35cを接続する第3連結用枠体45cとから構成されている。
前記物品支持体28を物品保管用位置(図7及び図9参照)と物品授受用位置(図8及び図10参照)とに位置変更自在に支持するスライド案内機構46が設けられている。このスライド案内機構46は、固定枠体29に対して遠近方向に移動枠体30をスライド移動自在に支持するように構成されている。
前記スライド案内機構46は、固定枠体29に形成されたレール部47と支持アーム体35に設けられた複数のガイドローラ48とから構成されている。そして、スライド案内機構46は、レール部47にてガイドローラ48を案内支持することにより、固定枠体29に対して物品保管用位置と物品授受用位置とに移動枠体30をスライド案内移動自在に支持するように構成されている。
前記レール部47は、一対の側面枠部29aの夫々に設けられている。前記ガイドローラ48は、支持アーム体35における上端部35cに設けられている。前記ガイドローラ48は、レール部47の上面部にて案内される第1ガイドローラ48aと、レール部47の下面部にて案内される第2ガイドローラ48bと、レール部47の側面部にて案内される第3ガイドローラ48cとの3種類から構成されている。そして、第1ガイドローラ48aと第2ガイドローラ48bとが、レール部47を上下に挟み込む状態で遠近方向に間隔を隔てて2つずつ設けられ、第3ガイドローラ48cも、遠近方向に間隔を隔てて2つ設けられている。
また、固定枠体29には、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車3に接近する接近位置(図7及び図9参照)と物品移載箇所に停止した移動車3から離間する離間位置(図8及び図10参照)とに移動自在に支持された被操作体49が設けられている。そして、被操作体49は、接近位置では物品支持体28を物品保管用位置に操作し、且つ、離間位置では物品支持体28を物品授受用位置に操作するように、物品支持体28に連係されている。
前記被操作体49は、その長手方向の中央部が一方の側面枠部29aの上部に設けられた板状の基台50に枢支連結されて、その連結箇所である第1揺動軸心P1周りに揺動自在に設けられている。そして、被操作体49は、接近位置に位置する状態において、第1揺動軸心P1から移動車3に接近する側に延びる第1被操作部分49aと第1揺動軸心P1から移動車3から離れる側に延びる第2被操作部分49bとを上下に段差をつけて一体的に形成されている。
前記被操作体49は、第1揺動軸心P1周りでの揺動により接近位置と離間位置とに切換自在で且つ接近位置(図7及び図9参照)においては第1被操作部分49aが第1揺動軸心P1よりも物品移載箇所に停止した移動車3に接近する姿勢となるように設けられている。そして、被操作体49の第1被操作部分49aに、被操作体49が接近位置に位置する状態において、遠近方向に対して交差する方向に沿って第1揺動軸心P1側に延びる溝部51が設けられている。この溝部51には、物品移載箇所に停止した移動車3に接近する側の先端を遠近方向に沿って開口させた形状に形成されている。
そして、被操作体49が接近位置に位置すると、図7及び図9に示すように、物品支持体28を物品保管用位置に位置させ、且つ、被操作体49が離間位置に位置すると、図8及び図10に示すように、物品支持体28を物品授受用位置に位置させるように、被操作体49の動きと物品支持体28の動きとを連係させる連係機構52が設けられている。
前記連係機構52は、上下軸心周りに揺動自在な第1リンクアーム53、第2リンクアーム54及び第3リンクアーム55の3つのリンクアームから構成されている。第1リンクアーム53は、一端部が被操作体49の第2操作部分49bの一端部に枢支連結され且つ他端部が第2リンクアーム54の長手方向の途中部分に枢支連結されている。第2リンクアーム54は、一端部が基台50に枢支連結され且つ他端部が第3リンクアーム55の一端部に枢支連結されている。第3リンクアーム55は、他端部が第3連結用枠体45cに立設された連係用被操作体56に枢支連結されている。
前記移動車3には、物品支持体28を物品保管用位置と物品授受用位置とに変更操作するための操作手段Sが設けられている。
前記操作手段Sは、移動車3に固定されて遠近方向に長尺状のベース57と、そのベース57に対して遠近方向に移動自在に設けられた長尺状の操作体58と、その操作体58の先端部の下面側に設けられた係合ローラ59とを備えて構成されている。そして、操作手段Sは、図示を省略したアクチュエータの作動によりベース57に対して操作体58を出退させて、係合ローラ59を遠近方向に移動させる突出作動及び引退作動を行うように構成されている。
ちなみに、移動車3には、移動車3の走行方向において右側に位置する物品支持体28を変更操作するための操作手段Sと、移動車3の走行方向において左側に位置する物品支持体28を変更操作するための操作手段Sとが設けられている。
前記係合ローラ59は、前後方向において被操作体49の溝部51の幅と同じ又はその幅よりも小さい直径に形成されており、係合ローラ59が、遠近方向での移動により被操作体49の溝部51に係脱自在に構成されている。
そして、操作手段Sが、突出作動により係合ローラ59を溝部51に係合させて被操作体49を接近位置から離間位置に押し操作し、且つ、引退作動により係合ローラ59を溝部51に係合させて被操作体49を離間位置から接近位置に引き操作し、その後係合ローラ59を溝部51から離脱させる押し引き式に構成されている。
前記操作手段Sが突出作動により係合ローラ59にて被操作体49を接近位置から離間位置に操作すると、被操作体49が離間位置に位置することにより物品支持体28を物品授受用位置に操作して、物品支持体28を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させることになる。
また、操作手段Sが引退作動により係合ローラ59にて被操作体49を離間位置から接近位置に操作すると、被操作体49が接近位置に位置することにより物品支持体28を物品保管用位置に操作して、物品支持体28を物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更させることになる。
前記物品支持体28を物品保管用位置と物品授受用位置とに位置変更させるときの動きについて説明する。
図7及び図9に示すように、被操作体49が接近位置に位置すると、溝部51の開口部分が遠近方向に開口しているので、操作手段Sが突出作動を行うことにより、係合ローラ59が遠近方向において移動車3から突出する側に移動して溝部51の開口から溝部51に嵌り込んで溝部51に係合する。そして、係合ローラ59が溝部51に係合した状態で遠近方向において移動車3から突出する側に移動することにより、係合ローラ59が溝部51の側壁部を押圧しながら溝部51を移動して被操作体49を接近位置から離間位置に押し操作する。そして、被操作体49が接近位置から離間位置に揺動すると、連係機構52における第1リンクアーム53、第2リンクアーム54、及び、第3リンクアーム55が順次揺動して連係用被操作体56を移動車3に接近する側に移動させることになる。したがって、連係用被操作体56による移動車3に接近する側への移動によってスライド案内機構46が移動枠体30をスライド案内移動自在に支持しながら、図8及び図10に示すように、物品支持体28が物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更される。
図8及び図10に示すように、被操作体49が離間位置に位置するときに、操作手段Sが引退作動を行うと、係合ローラ59が溝部51に係合した状態で移動車3に接近する側に移動することになり、係合ローラ59が溝部51の側壁部を押圧しながら溝部51を移動して被操作体49を離間位置から接近位置に引き操作する。そして、被操作体49が離間位置から接近位置に揺動すると、連係機構52における第1リンクアーム53、第2リンクアーム54、及び、第3リンクアーム55が順次揺動して連係用被操作体56を移動車3から離れる側に移動させることになる。したがって、連係用被操作体56による移動車3から離れる側への移動によってスライド案内機構46が移動枠体30をスライド案内移動自在に支持しながら、物品支持体28が物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更される。そして、図7及び図9に示すように、被操作体49が接近位置に位置すると、溝部51の開口部分が遠近方向に開口しているので、係合ローラ59が移動車3に接近する側に移動することにより、係合ローラ59が溝部51を離脱して移動車3に引退する。
以下、物品支持体28において、容器5の底部を載置支持する構成について説明を加える。
前記物品支持体28は、遠近方向に間隔を隔てて位置させた2つの接続枠体36にて容器5の底部を分担して載置支持するように構成されており、物品支持体28の軽量化を図っている。そして、2つの接続枠体36は、遠近方向において容器5の底部の端部側部分を載置支持するように配設されており、容器5をバランスよく載置支持している。
前記複数の接続枠体36には、図11に示すように、容器5の底部の被係合部38に係合する突起状の複数の物品位置決め部材39が支持されている。複数の物品位置決め部材39は、遠近方向及びそれに直交する前後方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材40にて保持された状態で設けられている。
そして、第1接続枠体36aには前後方向に間隔を隔てて2つの物品位置決め部材39が支持され、且つ、第2接続枠体36bには1つの物品位置決め部材39が支持されている。第2接続枠体36bにおける物品位置決め部材39は、第2接続枠体36bの長手方向において略中央部に位置するように設置され、且つ、第1接続枠体36aにおける2つの物品位置決め部材39は、第2接続枠体36bにおける物品位置決め部材39の設置位置を中心として前後方向に設定距離だけ間隔を隔てるように設置されている。前記位置規制部材40は、平面視で三角形状に形成されており、その各角部に物品位置決め部材39が保持されている。
前記適正相対位置関係は、容器5の底部に形成されている複数の被係合部38の相対位置関係に対応しているものであり、複数の物品位置決め部材39が被係合部38の夫々に係合することにより容器5を適正な位置に位置決めできるように定められている。
前記物品位置決め部材39は、図12及び図13に示すように、突起状のピンにて構成されている。そして、物品位置決め部材39は、その底部に位置規制部材40における位置決め用嵌合孔41に嵌合する小径で且つ位置規制部材40の厚さと同幅又はそれよりも小さい突出部39aを備える状態で形成されている。
前記物品位置決め部材39を嵌合した位置規制部材40を接続枠体36の上部に載置した状態において、接続枠体36に形成のボルト挿通孔42を下方より上方に貫通し且つ物品位置決め部材39の底部に螺合する締結用ボルト43により物品位置決め部材39を接続枠体36に締結するように構成されている。
前記位置決め用嵌合孔41は、その上部側が大径で且つその下部側が小径となっている段付きの嵌合孔に形成されており、物品位置決め部材39の突出部39aが位置決め用嵌合孔41の大径部分に嵌合するように構成されている。
前記接続枠体36に形成のボルト挿通孔42が、物品位置決め部材39の位置調整のために締結用ボルト43の径よりも大きく形成されている。そして、ボルト挿通孔42は、前後方向に細長状に形成されており、物品位置決め部材39を前後方向に位置調整可能に構成されている。
3つの物品位置決め部材39を設置するときには、まず、3つの物品位置決め部材39の夫々を位置規制部材40における位置決め用嵌合孔41の夫々に嵌合させて、3つの物品位置決め部材39の夫々を接続枠体36におけるボルト挿通孔42の夫々に位置合わせした状態で接続枠体36上に位置規制部材40を載置させる。そして、接続枠体36におけるボルト挿通孔42の夫々において、締結用ボルト43を下方より上方にボルト挿通孔42を貫通させて物品位置決め部材39の底部に座金44を介して螺合させる。
このようにして、物品位置決め部材39と接続枠体36との間に位置規制部材40を挟み込む状態で物品位置決め部材39を接続枠体36に締結するようにしている。このとき、3つの物品位置決め部材39が前後方向において適正相対位置関係からずれていると、ボルト挿通孔42での締結位置を調整することにより物品位置決め部材39の位置調整を行うようにしている。
ちなみに、3つの物品位置決め部材39が遠近方向において適正相対位置関係となるように、遠近方向における第1接続枠体36aの設置位置及び第2接続枠体36bの設置位置が調整されている。
前記移動車3には、移動車3の動作を制御する台車用制御部が設けられている。そして、台車用制御部は、物品搬送設備全体の動作を管理する管理用コンピュータからの指令、及び、移動車3に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車3の移動及び把持部4の昇降作動を制御するとともに、把持動作用モータ27及び操作手段Sの作動を制御するように構成されている。
例えば、管理用コンピュータから、複数のステーション7のうちから搬送元及び搬送先のステーション7を特定した状態で搬送元のステーション7から搬送先のステーション7に容器5を搬送する搬送指令が指令された場合には、台車用制御部が、搬送元のステーション7から容器5を受け取り、搬送先のステーション7に容器5を卸すべく、移動車3の動作を制御するように構成されている。
前記搬送元のステーション7から容器5を受け取る場合には、まず、台車用制御部は、搬送元のステーション7に対応する停止位置に移動車3を移動させるべく、移動車3の移動を制御する。次に、台車用制御部は、搬送元のステーション7に対応する停止位置に移動車3を停止させた状態で、上昇位置から下降位置に把持部4を下降させるべく、把持部4の昇降作動を制御する。そして、台車用制御部は、把持部4が下降位置に位置すると、把持動作用モータ27を作動させて一対の把持具4aを把持姿勢に切り換え、容器5のフランジ5aを一対の把持具4aにて把持して容器5を受け取る。その後、台車用制御部は、下降位置から上昇位置に把持部4を上昇させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、搬送先のステーション7に対応する停止位置に移動車3を移動させるべく、移動車3の移動を制御する。
そして、台車用制御部は、搬送先のステーション7に対応する停止位置に移動車3が停止すると、搬送元のステーション7から容器5を受け取る場合と同様に、把持部4の昇降作動や把持動作用モータ27の作動を制御することにより、搬送先のステーション7に容器5を卸すように構成されている。
また、管理用コンピュータから、複数の物品支持体28のうち移載対象の物品支持体28が特定された状態で物品支持体28に容器5を保管する保管指令が指令された場合について説明する。
前記台車用制御部が、まず、移載対象の物品支持体28に対応する物品移載箇所に移動車3を移動させるべく、移動車3の移動を制御する。次に、台車用制御部は、移載対象の物品支持体28に対応する物品移載箇所に移動車3を停止させた状態で、操作手段Sを突出作動させる。そして、操作手段Sが突出作動を行うことにより、物品支持体28を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させる。そして、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置に把持部4を下降させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ27を作動させて一対の把持具4aを解除姿勢に切り換え、把持部4から物品授受用位置に位置する物品支持体28に容器5を卸す。その後、台車用制御部は、把持部4を上昇位置まで上昇させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、操作手段Sを引退作動させる。そして、操作手段Sが引退作動を行うことにより、物品支持体28を物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更させる。
前記管理用コンピュータから、複数の物品支持体28のうち移載対象の物品支持体28が特定された状態で物品支持体28にて保管している容器5を取り出す取出指令が指令された場合について説明する。
前記台車用制御部は、保管指令が指令された場合と同様に、移動車3の移動を制御することにより、移載対象の物品支持体28に対応する物品移載箇所に移動車3を停止させる。そして、台車用制御部は、操作手段Sを突出作動させることにより、物品支持体28を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置へ把持部4を下降させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ27を作動させて一対の把持具4aを把持姿勢に切り換え、物品支持体28から把持部4に容器5を受け取る。そして、台車用制御部は、上昇位置まで把持部4を上昇させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、操作手段Sを引退作動させる。そして、操作手段Sが引退作動を行うことにより、物品支持体28を物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更させる。
〔別実施形態〕
(1)上記実施形態では、位置規制部材40を三角形状に形成しているが、位置規制部材40の形状は適宜変更が可能である。
例えば、反射体60を位置規制部材40に設けるために、図14に示すように、位置規制部材40を三角形から変形した形状とすることもできる。この場合、把持部4に設けた検出センサにて位置規制部材40に設けた反射体60を検出することにより、物品支持体28において容器5の載置位置を検出することができる。
(2)上記実施形態では、物品位置決め部材39及び位置規制部材40を設置するために、物品位置決め部材39が嵌合した位置規制部材40を接続枠体36の上部に載置させて、締結用ボルト43にて物品位置決め部材39を接続枠体36に締結するようにしているが、物品位置決め部材39をどのように設置するかは適宜変更が可能である。
例えば、接続枠体36に位置規制部材40をボルト固定し、その接続枠体36にボルト固定された位置規制部材40に物品位置決め部材39をボルト固定することもできる。
(3)上記実施形態では、接続枠体36を2つ設けているが、接続枠体36の数については適宜変更が可能である。また、物品位置決め部材39の数についても適宜変更が可能である。
(4)上記実施形態では、物品支持体28が、物品授受用位置において、上昇位置に近接する位置に位置する把持部4との間で容器5を授受するように設けられているが、例えば、物品授受用位置において、上昇位置に位置する把持部4との間で容器5を授受するように物品支持体29を設けることもできる。
また、物品授受用位置において、物品支持体28が把持部4との間で容器5を授受する位置については、上昇位置に近接する位置または上昇位置に限らず、上昇位置よりも設定高さだけ下降した位置であってもよい。この場合には、物品支持体28を物品授受用位置に位置させた状態で、把持部4を上昇位置から設定高さだけ下降させることにより、物品支持体28と把持部4との間での容器5の授受を行うことができることになる。
(5)上記実施形態では、物品支持体28を案内レール2に沿って並ぶ状態で複数設けているが、物品支持体28を設置する数については適宜変更が可能である。また、物品支持体28の設置位置についても、案内レール2に対して左右両側に設けているが、案内レール2の片側のみに設置することも可能である。
(6)上記実施形態では、移動車3に、移動車3の走行方向において右側に位置する物品支持体28を変更操作するための操作手段Sと、移動車3の走行方向において左側に位置する物品支持体28を変更操作するための操作手段Sとの2つの操作手段Sを設けているが、例えば、操作手段Sが、移動車3の走行方向に対して右側及び左側の両側に係合ローラ59を出退自在に備えることにより、移動車3に1つの操作手段Sを設けて実施することもできる。
(7)上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器5を搬送する物品搬送設備を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。
物品搬送設備の平面図 移動車とステーションとの側面図 移動車の側面図 移動車の縦断正面図 物品支持体の斜視図 物品支持体の分解斜視図 物品保管用位置における物品支持体の斜視図 物品授受用位置における物品支持体の斜視図 物品保管用位置における物品支持体の平面図 物品授受用位置における物品支持体の平面図 物品支持体の一部を示す斜視図 複数の接続枠体を示す斜視図 接続枠体、位置規制部材、物品位置決め部材の締結状態を示す断面図 別実施形態における位置規制部材を示す図
符号の説明
2 移動経路
3 移動体
4 把持部
5 物品
28 物品支持体
29 固定枠体
30 移動枠体
35 支持アーム部分
36 接続枠体
38 被係合部
39 物品位置決め部材
39a 突出部
40 位置規制部材
41 位置決め用嵌合孔
42 ボルト挿通孔
44 締結用ボルト
S 操作手段

Claims (4)

  1. 天井側に配置されている移動経路に沿って移動自在な物品搬送用の移動体に、物品を吊り下げ状態で把持自在で且つ昇降自在な把持部が備えられ、
    天井側に配置されている物品保管用の物品支持体が、それに対する物品移載箇所に停止した前記移動体の前記把持部との間で物品を授受する物品授受用位置と物品保管用位置とに位置変更自在に設けられた物品搬送設備であって、
    前記物品支持体が、
    天井側に設置された固定枠体に対して前記物品移載箇所に停止した前記移動体に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分を備えた移動枠体に、物品の底部を載置支持する複数の接続枠体を、前記左右一対の支持アーム部分に対して前記遠近方向に間隔を隔てて位置させて、且つ、その左右一対の支持アーム部分を接続する状態で設けて構成され、
    前記物品の底部の被係合部に係合する突起状の複数の物品位置決め部材が、前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材にて保持された状態で、前記複数の接続枠体に支持された状態で設けられている物品搬送設備。
  2. 前記物品位置決め部材が、その底部に前記位置規制部材における位置決め用嵌合孔に嵌合する小径で且つ前記位置規制部材の厚さと同幅又はそれよりも小さい突出部を備える状態で形成され、
    前記物品位置決め部材を嵌合した前記位置規制部材を前記接続枠体の上部に載置した状態において、前記接続枠体に形成のボルト挿通孔を下方より上方に貫通し且つ前記物品位置決め部材の底部に螺合する締結用ボルトにより前記物品位置決め部材を前記接続枠体に締結するように構成されている請求項1に記載の物品搬送設備。
  3. 前記接続枠体に形成のボルト挿通孔が、前記物品位置決め部材の位置調整のために前記締結用ボルトの径よりも大きく形成されている請求項2に記載の物品搬送設備。
  4. 前記移動体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品支持体を前記物品保管用位置と前記物品授受用位置とに変更操作するための操作手段が設けられている請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品搬送設備。
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