JP4626812B2

JP4626812B2 - 物品搬送設備

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Publication number: JP4626812B2
Application number: JP2005348079A
Authority: JP
Inventors: 雪夫飯塚; 正美鈴木; 吉隆乾
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2005-12-01
Filing date: 2005-12-01
Publication date: 2011-02-09
Anticipated expiration: 2025-12-01
Also published as: JP2007153480A

Description

本発明は、天井側に設けられた案内レールに沿って移動自在な移動体に、搬送対象の物品を保持する物品保持部が昇降操作自在に設けられている物品搬送設備に関する。

かかる物品搬送設備は、処理対象物に各種処理を施す複数の処理部にわたって処理対象物を順次移送するものであり、例えば、半導体工場に設置する場合は、処理対象物としての半導体基板を収納した容器を物品として、その容器を、半導体基板を製造するための各種処理を施す複数の処理部にわたって順次搬送することになる。ちなみに、物品そのものを、処理対象物とする場合もある。

ところで、物品搬送経路において隣接する処理部の間で、処理対象物を処理する処理量に差が生じる場合がある。
そこで、このような物品搬送設備において、従来は、複数の物品収納部を上下方向に沿う循環移動経路に沿って循環移動自在に備えた物品収納装置を、水平方向に沿う幅よりも上下方向の高さが大きい背高状態で、且つ、前記移動体の物品保持部との間で物品を移載自在な状態で、床側に設けて、処理部間における物品の搬送を、物品を物品収納装置に一時的に収納させる状態で、その物品収納装置を介して行うようにしていた。

つまり、物品搬送経路における上手側の処理部から送出された物品を移動体の物品保持部にて保持させ、その移動体を物品収納装置の物品移載箇所に対応する停止位置に移動させて、その物品保持部に保持している物品を物品収納部に収納させ、且つ、物品収納装置の物品収納部に収納されている物品を移動体の物品保持部に保持させ、その移動体を物品搬送経路における下手側の処理部の物品移載箇所に対応する停止位置に移動させて、その物品保持部に保持している物品をその処理部の物品移載箇所に移載する形態で、処理部間で物品を搬送するようになっていた。そして、そのように、処理部間における物品の搬送を、物品を物品収納装置に一時的に収納させる状態で、その物品収納装置を介して行うようにすることにより、一部の処理部に対して、物品が搬送されてくるのを待つ待ち時間を設ける等の不都合を生じさせることがないようにして、各処理部を適切に運転させることが可能なように構成していた（例えば、特許文献１参照。）。

そして、このような物品搬送設備や複数の処理部等を、限られたスペースにコンパクトに設置する必要があることから、前記特許文献１には記載されていないが、背高状の物品収納装置を、隣接する処理部同士の間の床面上に設けることになる。

特開２００４−５９２２３号公報

ところで、各処理部のメンテナンスを行う必要があり、そして、そのようなメンテナンスは、通常は、隣接する処理部同士の間のスペースにて行うことになる。

しかしながら、従来の物品搬送設備では、背高状の物品収納装置を隣接する処理部同士の間の床面上に設けることから、処理部のメンテナンスを行うためのメンテナンススペースが狭くなったり、なくなってしまったりするので、メンテナンスを狭いメンテナンススペースにて行ったり、物品収納装置を移動させて行う必要があり、メンテナンス作業を行い難いという問題があった。

本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理部間の処理量の差に拘らず各処理部を適切に運転し得るように処理部間で物品を搬送できながら、コンパクトに且つ処理部のメンテナンス作業を行い易いように設置し得る物品搬送設備を提供することにある。

本発明の物品搬送設備は、天井側に設けられた案内レールに沿って移動自在な移動体に、搬送対象の物品を保持する物品保持部が昇降操作自在に設けられているものであって、
第１特徴構成は、複数の物品収納部を循環移動自在に備えた物品収納装置が、上下方向に沿う幅よりも水平方向に沿う幅を大きくする横長収納部分を少なくとも備える状態で、且つ、前記物品保持部との間で物品を移載自在な状態で、天井側に設けられ、
搬送対象の物品としての容器に収納された半導体基板に処理を施す横長状の複数の処理部が、その長手方向を前記移動体の移動経路と交差させる姿勢で、前記移動体の移動経路に沿って互いに間隔を隔てた状態で並べて配置され、
前記複数の処理部の夫々が、その長手方向の同じ一端側に物品を載置する載置台を備え、
前記物品収納装置が、前記複数の物品収納部を上下方向に沿う循環移動経路にて循環移動させるように構成され、かつ、平面視で隣接する前記処理部の間に、前記横長収納部分の長手方向を前記処理部の長手方向に沿わせて前記移動体の移動経路と交差させる姿勢で、前記物品収納装置の一部を前記移動体の移動経路の下方に位置させる状態で配置され、
前記物品収納装置における前記移動体の移動経路の下方に位置する部分に、前記物品収納部と前記移動体の前記物品保持部との間で物品を移載するための物品移載箇所が複数設けられ、
前記複数の物品移載箇所として、前記移動体の前記物品保持部にて前記物品収納部に容器を搬入するための入庫口と、前記移動体の前記物品保持部にて前記物品収納部から容器を搬出するための出庫口とを、平面視にて、前記出庫口が前記処理部の前記載置台と横並び状となり且つ前記入庫口が平面視で隣接する前記処理部の間から突出するように、前記横長収納部分における長手方向の一端側に、前記入庫口が端部側に位置するように設け、
前記案内レールが、前記複数の処理部の載置台及び前記物品収納装置の前記出庫口の上方を巡る外側循環部分と、前記複数の物品収納装置の前記入庫口の上方を巡る内側循環部分とを二重の環状に備えると共に、前記移動体を前記外側循環部分から前記内側循環部分へ移し、前記内側循環部分から前記外側循環部分に移すためのわたり部分を備えて構成されている点を特徴とする。

即ち、複数の物品収納部を循環移動自在に備えた物品収納装置が、上下方向に沿う幅よりも水平方向に沿う幅を大きくする横長収納部分を少なくとも備える状態で、且つ、物品保持部との間で物品を移載自在な状態で、天井側に設けられているので、横長収納部分により十分な数の物品の収納を可能としながら、少なくとも横長収納部分の下方と床面との間に空きスペースを形成することができる。
そして、その横長収納部分の下方に形成される空きスペースをメンテナンススペースとして用いて、処理部のメンテナンスを行うことができるので、メンテナンス作業を行い易いようにすることが可能となる。
又、物品収納装置を天井側に設けるので、物品搬送設備や複数の処理部等を、限られたスペースにコンパクトに設置することが可能となる。

例えば、隣接する処理部同士の間のスペースの天井側に横長収納部分を位置させる姿勢で、物品収納装置を天井側に設けることにより、隣接する処理部同士の間のスペースを狭めることなく物品収納装置を設置することができ、処理部のメンテナンスは、隣接する処理部同士の間のスペースをメンテナンススペースとして行うことができるのである。

そして、物品搬送経路における上手側の処理部から送出された物品を移動体の物品保持部にて保持させ、その移動体を物品収納装置の物品移載箇所に対応する停止位置に移動させて、その物品保持部に保持している物品を物品収納部に収納させ、且つ、物品収納装置の物品収納部に収納されている物品を移動体の物品保持部に保持させ、その移動体を物品搬送経路における下手側の処理部の物品移載箇所に対応する停止位置に移動させて、その物品保持部に保持している物品をその処理部の物品移載箇所に移載する形態で、処理部間で物品を搬送することになる。
つまり、処理部間の物品の搬送を、物品を物品収納装置に一時的に収納させる状態で、その物品収納装置を介して行わせることにより、処理部間の処理量に差があっても、その処理量の差を物品収納装置にて吸収して、一部の処理部に対して、物品が搬送されてくるのを待つ待ち時間を設ける等の不都合を生じさせることがないようにして、各処理部を適切に運転させることが可能となる。

従って、処理部間の処理量の差に拘らず各処理部を適切に運転し得るように処理部間で物品を搬送できながら、コンパクトに且つ処理部のメンテナンス作業を行い易いように設置し得る物品搬送設備を提供することができるようになった。

また、物品収納装置が、複数の物品収納部を上下方向に沿う循環移動経路にて循環移動させるように構成されているので、物品収納装置におけるその物品の循環移動方向に直交し且つ水平方向に沿う方向での長さを短くすることができる。
つまり、物品収納装置における平面視での形状を細長状にすることができるので、その平面視で細長状の物品収納装置を、例えば、隣接する処理部同士の間における天井側の部分等、狭いスペースにも配置することが可能となる。
従って、物品収納装置を狭いスペースにも配置することができるようになった。

また、物品収納装置を、その横長収納部分を移動体の移動経路と交差させる姿勢で配置することにより、物品収納装置を、隣接する処理部同士の間における天井側の部分等の狭いスペースにも配置することができ、又、複数の物品収納装置を、隣接する物品収納装置同士で干渉し合うのを抑制して、移動体の移動経路に沿って効率良く配置することができる。

つまり、複数の処理部を間隔を隔てて並べて、それら複数の処理部の並び方向に沿う移動経路にて移動体を移動させるように、案内レールを天井側に設けることになる。
そこで、物品収納装置をその横長収納部分を移動体の移動経路と交差させる姿勢で配置することにより、物品収納装置を、隣接する処理部同士の間における天井側の部分等の狭いスペースにも配置することができる。又、複数の処理部を互いの間隔をより狭くしてコンパクトに設置しながらも、複数の物品収納装置を、隣接する収納装置同士で干渉し合うのを抑制して、移動体の移動経路に沿って効率良く配置することができるのである。
従って、物品収納装置を狭いスペースにも配置することができ、又、複数の物品収納装置を移動体の移動経路に沿って効率良く配置することができるようになった。

また、物品保持部に物品を保持させている移動体を物品収納装置の物品移載箇所の上方に移動させて、移動体の物品保持部を下降させ、そして、その物品保持部による物品の保持状態を解除して物品を物品収納装置の物品収納部に載置状態で収納させた後、物品保持部を上昇させる形態や、物品保持部に物品を保持させていない移動体を物品収納部の物品移載箇所の上方に移動させて、移動体の物品保持部を下降させ、そして、物品収納装置の物品収納部に載置状態で収納されている物品を物品保持部に保持させた後、物品保持部を上昇させる形態で、移動体の物品保持部と物品収納装置の物品収納部との間で物品を直接的に移載させることができる。

ちなみに、物品収納装置の横側方における移動体の移動経路の下方に対応する部分に、前記物品移載箇所を設ける場合が想定されるが、この場合は、その物品移載箇所にて、移動体の物品保持部と物品収納装置の物品収納部との間で物品を移載するようにするには、物品収納装置の物品収納部に収納されている物品を横方向に搬送して物品移載箇所に移動させたり、物品移載箇所の物品を横方向に搬送して物品収納装置の物品収納部に収納させる物品移載手段を設ける必要がある。

つまり、物品収納装置を、その一部を移動体の移動経路の下方に位置させる状態で配置し、その物品収納装置における移動体の移動経路の下方に位置する部分に、物品収納部と移動体の物品保持部との間で物品を移載するための物品移載箇所を設けることにより、前述のような物品移載手段を設けることなく、物品収納装置の物品収納部と移動体の物品保持部との間で物品を直接的に移載することができるようになるのである。
従って、物品収納装置の物品収納部と移動体の物品保持部との間の物品移載構成の簡略化を図って、物品搬送設備を低廉化することができるようになった。

また、物品移載箇所が複数設けられているので、複数の物品移載箇所の一部にて、移動体の物品保持部に保持させている物品を物品収納装置の物品収納部に収納させ、並びに、複数の物品移載箇所の他部にて、物品収納装置の物品収納部に収納されている物品を移動体の物品保持部に保持させることができる。
従って、移動体の物品保持部による物品収納装置への物品の入庫、及び、移動体の物品保持部による物品収納装置からの物品の出庫を効率良く行うことができるので、物品搬送設備の物品搬送処理能力をより一層向上することができるようになった。

第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記物品収納装置が、床面に立設された脚部にて支持されている点を特徴とする。

即ち、処理部をメンテナンスするためのメンテナンススペースを物品収納装置の下方に形成する状態で、物品収納装置を、床面に立設された脚部にて頑丈に支持することができる。
そして、物品収納装置を床面に立設された脚部にて支持する支持構成とすることにより、物品収納装置を簡単に設置することができるのである。
従って、処理部のメンテナンス作業を行い易いようにしながら、物品搬送設備を簡単な作業にて頑丈に設置することができるようになった。

第３特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記物品収納装置が、吊り下げ体にて天井から吊り下げ支持されている点を特徴とする。

即ち、物品収納装置が、吊り下げ体にて天井から吊り下げ支持されているので、物品収納装置の下方に、障害物がない空きスペースを形成することができ、その障害物がない空きスペースをメンテナンススペースとして用いることができる。
従って、より一層広いメンテナンススペースを形成することができるので、処理部のメンテナンス作業をより一層行い易いように、物品搬送設備を設置することができるようになった。

以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
図１に示すように、クリーンルームからなる半導体工場内に、半導体基板を収納した物品としての容器Ｃを載置する一対の載置台１ａを一端側に備えて、半導体基板に処理を施す横長状の複数の処理部１を、各列においては複数の処理部１を夫々の載置台１ａを同じ側に位置させた状態で互いに間隔を隔て、且つ、列同士で載置台１ａを向かい合わせた状態で２列に並べて設けてある。

そして、隣接する処理部１の間に形成されるスペース２（以下、処理部間スペースと記載する場合がある）を、その両側の処理部１のメンテナンス作業を行うためのメンテナンススペースとするようにしてある。

物品搬送設備は、上述のように２列状に設けた複数の処理部１の上方を巡るように、案内レール３を環状に天井側に設けて、その案内レール３に沿って移動自在に移動体としての物品搬送車４を設けると共に、その物品搬送車４に、搬送対象の物品を保持する物品保持部として、搬送対象の容器Ｃを把持する物品把持部５（図２参照）を昇降操作自在に設けて構成してある。

そして、本発明では、図２及び図３にも示すように、複数の物品収納部としての物品収納トレイ６を循環移動自在に備えた物品収納装置Ｓを、上下方向に沿う幅よりも水平方向に沿う幅を大きくする横長収納部分Ｓａを少なくとも備える状態で、且つ、前記物品搬送車４の物品把持部５との間で容器Ｃを移載自在な状態で、天井側に設けてある。

更に、物品搬送設備の運転を制御する主制御部７と、物品収納装置Ｓの運転を制御する収納制御部８とを設け、それら主制御部７と収納制御部８との間で制御情報が通信自在なように構成してある。

以下、物品搬送設備の各部について説明を加える。
図２ないし図４に示すように、この実施形態では、物品収納装置Ｓは、横長収納部分Ｓａのみを備えて構成し、その横長収納部分Ｓａは、上下方向に沿う幅よりも水平方向に沿う幅を大きくする横長状のケーシング９内に、水平方向に長い横長状の循環経路にて上下方向に循環する無端状の主チェーン１０を備えた左右一対のチェーン式循環搬送手段Ｔを水平方向に所定の間隔を隔てて並べて設け、前記複数の物品収納トレイ６を夫々が左右の主チェーン１０に支持される状態で、主チェーン１０の長手方向に沿って間隔を隔てて並べて設けることにより、複数の物品収納トレイ６を循環移動自在に備えるように構成してある。

前記物品収納トレイ６と前記物品搬送車４の物品把持部５との間で容器Ｃを移載するための物品移載箇所として、物品搬送車４の物品把持部５にて物品収納トレイ６に容器Ｃを収納するための入庫口１１と、物品搬送車４の物品把持部５にて物品収納トレイ６から容器Ｃを搬出するための出庫口１２との２個を、前記ケーシング９の上面を形成する上壁部における長手方向の一端側に、入庫口１１が端部側に位置するように設けてある。

各チェーン式循環搬送手段Ｔは、水平方向に間隔を隔てて並ぶ一対の駆動用スプロケット１３に前記主チェーン１０を巻回して構成し、左右のチェーン式循環搬送手段Ｔの駆動用スプロケット１３は共通の回転軸１４にて回転自在に設けると共に、一対の駆動用スプロケット１３のうちの一方の駆動用スプロケット１３の回転軸１４をステッピングモータにて構成される循環用モータ１５にて回転駆動するようにして、左右のチェーン式循環搬送手段Ｔの主チェーン１０が同期して回転するように構成してある。

各物品収納トレイ６は、水平方向に沿う台板部６ａの左右の両端夫々に鉛直方向に沿う概ね三角形状の側板部６ｂを備えて構成してある。
そして、各主チェーン１０に、その長手方向に沿って、複数のＶ字状の吊り下げ部１０ａを夫々が外側に突出する状態で並べて取り付けて、各物品収納トレイ６を、左右の側板部６ｂの頂部を左右の主チェーン１０の吊り下げ部１０ａの先端に枢支することにより、左右の主チェーン１０に支持される状態で設けてある。
更に、左右の主チェーン１０が回転して複数の物品収納トレイ６が循環されるときに、各物品収納トレイ６の姿勢を一定に維持するように、姿勢維持用の左右一対の無端状の補助チェーン（図示省略）を各物品収納トレイ６の左右の側板部６ｂに連結してある。

そして、図１及び図２に示すように、上述のように構成した物品収納装置Ｓを、前記処理部間スペース２等の天井側に、前記横長収納部分Ｓａの長手方向を前記処理部１の長手方向に沿わせ、且つ、平面視にて、前記出庫口１２が両側の処理部１の載置台１ａと横並び状となり且つ入庫口１１が処理部間スペース２から突出する姿勢にて、床面に立設した４本の脚部１６にて支持した状態で設けてある。
この実施形態では、複数の物品収納装置Ｓ（この実施形態では５基）を、前記処理部間スペース２や、各処理部１の列の端部の処理部１の横側方等に１基ずつ設けてある。

そして、上述のように、物品収納装置Ｓを、床面に立設した４本の脚部１６にて支持した状態で、天井側に設けることにより、横長収納部分Ｓａ（この実施形態では物品収納装置Ｓ全体）の下方と床面との間に空きスペースを形成することができ、その空きスペースをメンテナンススペースとして用いて、処理部１のメンテナンスを行うことができるので、メンテナンス作業が行い易い。

図１及び図２に示すように、前記案内レール３は、前記複数の処理部１の載置台１ａ及び前記複数の物品収納装置Ｓの出庫口１２の上方を巡る外側循環部分３ａと、前記複数の物品収納装置Ｓの入庫口１１の上方を巡る内側循環部分３ｂとを二重の環状に備えると共に、物品搬送車４を外側循環部分３ａから内側循環部分３ｂへ移したり、内側循環部分３ｂから外側循環部分３ａに移したりするためのわたり部分３ｃを備えて構成してある。
そして、２台の物品搬送車４を前記案内レール３に沿って移動自在に設けてある。

つまり、前記物品収納装置Ｓを、前記横長収納部分Ｓａを前記物品搬送車４の移動経路と交差させる姿勢で配置してある。
又、前記物品収納装置Ｓを、その一部を前記物品搬送車４の移動経路の下方に位置させる状態で配置し、その物品収納装置Ｓにおける前記物品搬送車４の移動経路の下方に位置する部分に、前記物品収納トレイ６と前記物品搬送車４の物品把持部５との間で容器Ｃを移載するための物品移載箇所としての入庫口１１及び出庫口１２を設けてある。

そして、図１及び図２に示すように、物品収納装置Ｓを、その横長収納部分Ｓａを物品搬送車４の移動経路と交差させる姿勢で配置することにより、物品収納装置Ｓを、処理部間スペース２における天井側の部分等の狭いスペースにも配置することができ、又、複数の物品収納装置Ｓを、隣接する物品収納装置Ｓ同士で干渉し合うのを抑制して、物品搬送車４の移動経路に沿って効率良く配置することができる。

図５及び図６に示すように、前記案内レール３は、ブラケット１７により天井部に固定取付けする状態で配備される左右一対のレールにて構成して、天井側に設置し、その案内レール３には、その案内レール３の長手方向に沿う状態に左右一対の給電線１８を設けてあり、物品搬送車４には、給電線１８にて駆動用電力が給電される集電部１９を備えてある。

前記物品搬送車４は、案内レール３を走行する走行部２０と、その走行部２０に吊り下げ支持されて、容器Ｃを吊り下げ状態で把持する昇降駆動自在な前記物品把持部５とを備えて構成してある。
そして、物品搬送車４は、処理部１の載置台１ａに対応する目標停止位置に停止した状態において、ワイヤ２１を巻き取りまたは巻き出すことにより物品把持部５を昇降させて、容器Ｃを把持した物品把持部５を上昇させて物品収納装置Ｓの物品収納トレイ６や処理部１の載置台１ａから容器Ｃを引き上げたり、容器Ｃを把持した物品把持部５を下降させて物品収納装置Ｓの物品収納トレイ６や処理部１の載置台１ａに容器Ｃを載置させるように構成してある。
ちなみに、図５は、物品搬送車４の縦断側面図であり、図６は、物品搬送車４の縦断正面図である。

前記走行部２０には、回転自在な左右一対の従動輪及び左右一対の駆動モータ２２にて駆動される左右一対の駆動輪で構成されて案内レール３の走行面３ｄを転動する走行車輪２３と、案内レール２の対向する案内面３ｅに側方から接当する案内輪２４とを設けてある。従って、後方側の左右一対の走行車輪２３が駆動モータ２２にて駆動され、且つ、案内輪２４が案内面３ｅに接当案内されることにより、物品搬送車４が案内レール３に案内されて走行するように構成してある。

また、図５及び図６に示すように、前記物品把持部５は、走行部２０に連結扞２５により連結された枠体２６と、枠体２６に吊り下げ支持された昇降操作部２７とで構成してある。この昇降操作部２７は、容器ＣのフランジＣａを把持する作用状態及び把持を解除する解除状態に切り換え自在な把持作用部２８を備えた昇降体２９と、その昇降体２９を上下方向に昇降操作自在に支持している昇降操作機構３０とで構成してある。

そして、昇降操作機構３０は、ドラム駆動用モータＭ１によって上下方向の軸芯周りで回転する回転ドラム３１により、４本の前記ワイヤ２１を同時に巻き取りおよび巻き出しを行えるようにして、回転ドラム３１を正逆転させることで、この４本のワイヤ２１にて吊り下げ支持された昇降体２９が略水平姿勢を維持しながら昇降操作されるように構成してある。
前記把持作用部２８は、容器ＣのフランジＣａを把持する一対の把持具３２を設け、これら一対の把持具３２が把持動作用モータＭ２によりリンク機構３３を介して互いに近づく方向に揺動してフランジＣａを把持する把持姿勢と、一対の把持具３２が互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢とに切り換え自在に構成してある。
そして、この把持作用部２８は、縦軸芯周りで回転自在に昇降体２９に取り付けて、旋回用モータＭ３により縦軸芯周りで旋回操作可能に構成してある。

前記枠体２６の上面には、左右一対の前記給電線１８にて走行駆動モータ２２やドラム駆動用モータＭ１、把持動作用モータＭ２等の駆動用電力が給電される前記集電部１９を備えてある。この集電部１９は、ピックアップコイルにて構成され且つ正面視でエ字状に形成してある。
そして、交流電流の通電により給電線１８に磁界を発生させ、この磁界により物品搬送車４側での必要電力を集電部１９に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成してある。

次に、前記主制御部７及び前記収納制御部８夫々の制御動作について説明する。
尚、図示は省略するが、各容器Ｃには、ロットナンバー等の容器Ｃを識別するための容器識別情報を所定の範囲に送信するＩＣタグ（即ち、ＲＦＩＤタグ）を取り付けてある。
又、前記物品収納装置Ｓには、前記入庫口１１の下方に位置する物品収納トレイ６に新たに載置された容器ＣのＩＣタグから送信される容器識別情報を受信する受信器を設けてある。
又、前記複数の物品収納トレイ６夫々には、各物品収納トレイ６を識別するためのトレイ識別情報（例えば、トレイナンバー）を設定してある。

先ず、前記収納制御部８の制御動作について、説明する。
前記収納制御部８は、複数の物品収納トレイ６を循環移動させる循環経路における位置と複数の物品収納トレイ６のトレイ識別情報との対応関係を管理すると共に、前記受信器の受信情報に基づいて、容器Ｃが載置されている物品収納トレイ６のトレイ識別情報とその物品収納トレイ６に載置されている容器Ｃの容器識別情報との対応関係、並びに、容器Ｃが載置されていない空状態の物品収納トレイ６のトレイ識別情報を管理するように構成してある。

前記収納制御部８は、前記主制御部７から、容器Ｃを出庫する容器出庫指令及び容器Ｃを入庫する容器入庫指令のいずれも送信されていない状態では、前記入庫口１１に最も近い空状態の物品収納トレイ６の位置を判別して、その空状態の物品収納トレイ６から入庫口１１に至る経路が短い方の回転方向にて主チェーン１０を回転させ、空状態の物品収納トレイ６を入庫口１１の下方の入庫容器受取位置に位置させるように、前記循環用モータ１５を制御する空トレイ呼び出し処理を実行し、その空状態の物品収納トレイ６を入庫容器受取位置に位置させた状態で待機する。

そして、収納制御部８は、前記主制御部７から送信された容器入庫指令を受信すると、空状態の物品収納トレイ６が入庫容器受取位置に停止している状態を示す入庫許可情報を前記主制御部７に送信する。

又、入庫容器受取位置に位置している空状態の物品収納トレイ６に新たに容器Ｃが載置されて、前記受信器がその容器Ｃの識別情報を受信すると、前記収納制御部８は、その入庫容器受取位置に位置している物品収納トレイ６のトレイ識別情報とそれに載置されている容器Ｃの容器識別情報との対応関係を管理する。

又、前記収納制御部８は、前記主制御部７から送信された容器出庫指令及び出庫すべき容器Ｃの識別情報を受信すると、受信した識別情報の容器Ｃを載置している物品収納トレイ６の位置を判別して、その物品収納トレイ６から出庫口１２に至る経路が短い方の回転方向にて主チェーン１０を回転させ、その物品収納トレイ６を出庫口１２の下方の出庫容器取り出し位置に位置させるように、前記循環用モータ１５を制御する出庫トレイ呼び出し処理を実行し、そして、その物品収納トレイ６を出庫容器取り出し位置に位置させると、出庫すべき容器Ｃを載置した物品収納トレイ６が出庫容器取り出し位置に停止している状態を示す出庫許可情報を送信する。

尚、前記収納制御部８は、空状態の物品収納トレイ６が入庫容器受取位置に位置していない状態で、前記主制御部７からの容器入庫指令を受信すると、前記空トレイ呼び出し処理を実行した後、前記入庫許可情報を前記主制御部７に送信する。
又、前記収納制御部８は、前記容器出庫指令及び前記容器入庫指令のいずれも送信されていない状態での前記空トレイ呼び出し処理の実行中に、前記出庫指令を受信すると、前記出庫トレイ呼び出し処理を実行する。

次に、前記主制御部７の制御動作について、説明する。
この主制御部７は、前記処理部１の運転を制御する処理部側制御部（図示省略）から送信された容器搬出指令を受信すると、その容器搬出指令に対応する容器Ｃを収納すべき容器収納装置Ｓの前記収納制御部８に前記容器入庫指令を送信すると共に、前記物品搬送車４を前記容器搬出指令が指令された処理部１の載置台１ａに対応する目標停止位置にまで移動させてその目標停止位置に停止させた状態で、ドラム駆動用モータＭ１及び把持動作用モータＭ２を制御して、載置台１ａ上の容器Ｃを物品把持部５に把持させて引き上げ、続いて、物品搬送車４を、容器Ｃを収納すべき容器収納装置Ｓの入庫口１１に対応する目標停止位置に移動させる。

続いて、前記主制御部７は、前記収納制御部８からの前記入庫許可情報を受信すると、ドラム駆動用モータＭ１及び把持動作用モータＭ２を制御して、物品把持部５に把持している容器Ｃを物品収納トレイ６に載置する。

又、前記主制御部７は、前記処理部側制御部から送信された容器搬入指令及び搬入する容器Ｃの識別情報を受信すると、その受信した識別情報の容器Ｃを収納している物品収納装置Ｓの収納制御部８に容器出庫指令及び出庫する容器Ｃの識別情報を送信すると共に、前記物品搬送車４を物品収納装置Ｓの出庫口１２に対応する目標停止位置に移動させてその目標停止位置に停止させ、前記収納制御部８から送信された前記出庫許可情報を受信すると、ドラム駆動用モータＭ１及び把持動作用モータＭ２を制御して、物品収納トレイ６に載置されている容器Ｃを物品把持部５に把持して引き上げる。
続いて、前記主制御部７は、物品搬送車４を前記容器搬入指令が送信された処理部１の載置台１ａに対応する目標停止位置にまで移動させてその目標停止位置に停止させた状態で、ドラム駆動用モータＭ１及び把持動作用モータＭ２を制御して、物品把持部５に把持している容器Ｃを処理部１の載置台１ａに載置する。

〔別実施形態〕
次に別実施形態を説明する。
（イ）物品収納装置Ｓの支持構成は、上記の実施形態において例示した支持構成、即ち、床面に立設された脚部１６にて支持する支持構成に限定されるものではない。
例えば、図７に示すように、吊り下げ体としての複数の吊り下げ棒３４にて天井から吊り下げ支持する支持構成でも良い。
又、図示は省略するが、壁面から水平方向に張り出す状態で壁部に支持させた張り出し体に載置支持する支持構成でも良い。

（ロ）上記の実施形態では、物品収納装置Ｓを、上下方向に沿う幅よりも水平方向に沿う幅を大きくする横長収納部分Ｓａのみを備えるように構成する場合について例示したが、図８に示すように、前記横長収納部分Ｓａと、水平方向に沿う幅よりも上下方向の高さが大きい背高収納部分Ｓｂとを備えるように構成しても良い。

この場合は、主チェーン１０を水平方向から下向きに向きを変え、続いて、上向きに向きを変え、続いて、横向きに向きを代えて元の位置に戻る循環経路にて循環させるように、左右一対のチェーン式循環搬送手段Ｔを構成する。
そのチェーン式循環搬送手段Ｔは、一対の駆動用スプロケット１３同士の間に、変向用スプロケット３５を主チェーン１０の移動方向を変えるように設けて構成する。

そして、上述の如き循環経路において、主チェーン１０が水平方向に互いに反対方向に移動する循環経路部分にて、前記横長収納部分Ｓａが構成され、前記循環経路において、主チェーン１０が上下方向に互いに反対方向に移動する循環経路部分にて、前記背高収納部分Ｓｂが構成されることになる。

この場合、図８に示すように、物品収納装置Ｓを、床面に立設された複数の脚部１６にて支持しても良いし、図示は省略するが、吊り下げ体にて天井から吊り下げ支持しても良い。

実施形態に係る物品搬送設備の設置状態を示す概略平面図実施形態に係る物品搬送設備の要部を示す斜視図実施形態に係る物品搬送設備の要部を示す縦断面図実施形態に係る物品搬送設備の物品収納装置を示す斜視図実施形態に係る物品搬送設備の物品搬送車の縦断側面図実施形態に係る物品搬送設備の物品搬送車の縦断正面図別実施形態に係る物品搬送設備の要部を示す斜視図別実施形態に係る物品搬送設備の要部を示す斜視図

符号の説明

３案内レール
４移動体
５物品保持部
６物品収納部
１１，１２物品移載箇所
１６脚部
３４吊り下げ体
Ｃ物品
Ｓ物品収納装置
Ｓａ横長収納部分

Claims

天井側に設けられた案内レールに沿って移動自在な移動体に、搬送対象の物品を保持する物品保持部が昇降操作自在に設けられている物品搬送設備であって、
複数の物品収納部を循環移動自在に備えた物品収納装置が、上下方向に沿う幅よりも水平方向に沿う幅を大きくする横長収納部分を少なくとも備える状態で、且つ、前記物品保持部との間で物品を移載自在な状態で、天井側に設けられ、
搬送対象の物品としての容器に収納された半導体基板に処理を施す横長状の複数の処理部が、その長手方向を前記移動体の移動経路と交差させる姿勢で、前記移動体の移動経路に沿って互いに間隔を隔てた状態で並べて配置され、
前記複数の処理部の夫々が、その長手方向の同じ一端側に物品を載置する載置台を備え、
前記物品収納装置が、前記複数の物品収納部を上下方向に沿う循環移動経路にて循環移動させるように構成され、かつ、平面視で隣接する前記処理部の間に、前記横長収納部分の長手方向を前記処理部の長手方向に沿わせて前記移動体の移動経路と交差させる姿勢で、前記物品収納装置の一部を前記移動体の移動経路の下方に位置させる状態で配置され、
前記物品収納装置における前記移動体の移動経路の下方に位置する部分に、前記物品収納部と前記移動体の前記物品保持部との間で物品を移載するための物品移載箇所が複数設けられ、
前記複数の物品移載箇所として、前記移動体の前記物品保持部にて前記物品収納部に容器を搬入するための入庫口と、前記移動体の前記物品保持部にて前記物品収納部から容器を搬出するための出庫口とを、平面視にて、前記出庫口が前記処理部の前記載置台と横並び状となり且つ前記入庫口が平面視で隣接する前記処理部の間から突出するように、前記横長収納部分における長手方向の一端側に、前記入庫口が端部側に位置するように設け、
前記案内レールが、前記複数の処理部の載置台及び前記物品収納装置の前記出庫口の上方を巡る外側循環部分と、前記複数の物品収納装置の前記入庫口の上方を巡る内側循環部分とを二重の環状に備えると共に、前記移動体を前記外側循環部分から前記内側循環部分へ移し、前記内側循環部分から前記外側循環部分に移すためのわたり部分を備えて構成されている物品搬送設備。
前記物品収納装置が、床面に立設された脚部にて支持されている請求項１記載の物品搬送設備。
前記物品収納装置が、吊り下げ体にて天井から吊り下げ支持されている請求項１記載の物品搬送設備。