KR100678596B1 - 천정 반송차 시스템 - Google Patents

천정 반송차 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100678596B1
KR100678596B1 KR1020030072221A KR20030072221A KR100678596B1 KR 100678596 B1 KR100678596 B1 KR 100678596B1 KR 1020030072221 A KR1020030072221 A KR 1020030072221A KR 20030072221 A KR20030072221 A KR 20030072221A KR 100678596 B1 KR100678596 B1 KR 100678596B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceiling
vehicle
cassette
buffer
transport vehicle
Prior art date
Application number
KR1020030072221A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040050704A (ko
Inventor
수주키타카시
Original Assignee
무라타 기카이 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라타 기카이 가부시키가이샤 filed Critical 무라타 기카이 가부시키가이샤
Publication of KR20040050704A publication Critical patent/KR20040050704A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100678596B1 publication Critical patent/KR100678596B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/10—Storage devices mechanical with relatively movable racks to facilitate insertion or removal of articles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)

Abstract

본 발명은 물품을 반송하는 천정 반송차와, 천정 반송차가 주행하는 주행로를 구비한 천정 반송차 시스템에 있어서는 물품을 일시 보관하기 위한 버퍼가 설치되어 있고, 버퍼와 천정 반송차 사이에서 단시간에 물품을 주고받을 수 있는 천정 반송차 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
이를 위해, 천정 반송차(10)에 물품[카세트(9) 등]을 차체의 주행방향에 대해서 직교하는 방향으로 반출입하는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 탑재하고, 주행로(2) 측방의, 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)에 대응한 높이위치에 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)를 구비한 버퍼(45)를 배치한다.

Description

천정 반송차 시스템{OVERHEAD TRANSPORTATION VEHICLE SYSTEM}
도 1은 천정 반송차 시스템(1)의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 처리장치(4) 및 자동 창고(5)의 평면도이다.
도 3은 처리장치(4)의 정면도이다.
도 4는 처리장치(4)의 정면도이다.
도 5는 자동 창고(5)의 정면 단면도이다.
도 6은 천정 반송차(10)의 사시도이다.
도 7은 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상에 카세트(9)를 탑재한 상태의 천정 반송차 (10)의 측면도이다.
도 8은 천정 반송차(10)의 측면도. 도 8(a)는 이동기구(80ㆍ80)를 이동적재위치로 위치시킨 상태, 도 8(b)는 이동기구(80,80)를 퇴피(退避)위치에 위치시킨 상태이다.
도 9는 천정 반송차(10)의 제어구성을 나타내는 블록도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1 … 천정 반송차 시스템 2 … 주행로
4 … 처리장치 5 … 자동 창고
7 … 호이스트 8 … 롤러 컨베이어
9 … 카세트 10 … 천정 반송차
20 … 통과구 24L … 레일
24R … 레일 45 … 버퍼
46 … 롤러 컨베이어 71 … 호이스트 본체
72 … 승강부 80 … 이동기구
110 … 기기상(機上) 컨트롤러
본 발명은 물품을 반송하는 천정 반송차와, 천정 반송차가 주행하는 주행로를 구비한 천정 반송차 시스템의 구성에 관한 것이다.
반도체 제조공장 등 클린룸(clean room)에 있어서, 처리장치나 자동 창고를 따라 주행로를 부설하고, 주행로 상에 천정 반송차를 자동 주행시켜서 물품을 반송하는 천정 반송차 시스템이 알려져 있다.
주행로 하방에는 처리장치의 스테이션이나, 스테이션에 공급하는 물품을 일시 보관하기 위한 버퍼가 배치되어 있다. 천정 반송차에는 척이 부착된 호이스트가 탑재되고, 스테이션 또는 버퍼 사이에서 물품을 상하로 주고받도록 구성되어 있다.
이와 같은 천정 반송시스템은 일본 특허 제3067656호 공보에 개시되어 있다. 동호 공보에서는 물품을 적재할 수 있는 래크를 갖는 저장 래크부재가 처리 스테이션 부근의 바닥면 상방이고 또한 주행로 하방에, 주행로에 대하여 이동하지 않도록 설치되어 있다. 구체적으로는 이하와 같이 구성되어 있다.
상기 공보의 도 6,도 8에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(V)의 주행로인 레일(1)에는 길이방향으로 소정 간격을 두고 2개의 래크프레임(16aㆍ16a)이 설치되어 있다. 상부 수평부(16a'ㆍ16a')가 레일(1)의 상면에 설치되고, 하부 수평부 (16a"ㆍ16a")에 래크(16c)가 놓여져서 저장 래크부재(16)가 구성되어 있다. 상기 래크(16c)에는 천정 반송차(V)로부터 호이스트를 통해서 물품(4)이 적재되도록 되어 있다. 또한, 래크프레임(16a)의 상부 수평부(16a')와 하부 수평부(16a") 사이는 충분한 폭을 가져서 래크(16c) 상에 놓여진 물품(4)과, 레일(1)을 따라 주행하는 천정 반송차(V)가 충돌하지 않도록 구성되어 있다.
처리 스테이션(P1)의 경사진 상방의 레일(1) 하방에 저장 래크부재(16)가 배치되어 있다.
처리 스테이션(P1)에 있어서 복수의 물품(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)을 통합해서 처리하는 경우에는 천정 반송차(V)에 의해서 반송되는 물품(4)을 일단 저장 래크부재(16)에 얹어놓는다. 또한, 저장 래크부재(16)에 소정의 개수의 물품(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)이 쌓인 후에 천정 반송차(V)에 의해 물품(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)을 통합하여 처리 스테이션(P1)에 공급한다.
또한, 상기 공보의 실시예 중에는 기재되어 있지 않지만, 처리 스테이션(P1)에 투입할 수 있는 최대개수의 물품(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)이 이미 투입되어 있는 상태에 있어서 새로운 물품(4)을 얹은 천정 반송차(V)가 처리 스테이션(P1)에 도착한 경우, 새로운 물품(4)을 일단 저장 래크부재(16)에 얹어놓도록 할 수도 있다.
이와 같이, 저장 래크부재(16)는 물품(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)을 일시적으로 보관하는 버퍼로서의 역할을 하고 있다.
천정 반송차(V)와 저장 래크부재(16) 사이의 물품(4)의 주고받음에 관해서 설명한다. 천정 반송차(V)는 호이스트의 척으로 물품(4)을 유지하여 주행한다. 주행 중은 물품(4)의 하면의 양단부(반송차의 진행방향에 대한 전후 양단부)가 낙하방지기구에 의해서 지지되도록 되어 있다[또는, 물품(4)의 하면의 양단부와 낙하방지기구 사이에는 간극이 형성되어 있어서 가령 물품(4)이 낙하하였더라도 낙하방지기구에 의해 받아내도록 되어 있다]. 천정 반송차(V)가 저장 래크부재(16) 상방에서 정지하면 우선 상기 낙하방지기구를 작동시켜서 물품(4) 하방을 개방한다.
호이스트의 본체에는 복수의 권취 드럼이 설치되어 있고, 권취 드럼에는 각각 와이어가 감겨져 있다. 와이어를 통해서 호이스트의 승강부가 승강가능하게 설치되고, 승강부의 하부의 척으로 물품(4)을 유지한다. 물품(4)을 유지한 승강부를 권취 드럼으로부터 와이어를 풀어냄으로써 호이스트 본체로부터 하강시켜 물품(4)을 저장 래크부재(16)의 래크(16c) 위에 얹어놓고, 물품(4)을 유지하고 있던 척을 개방한다. 또한, 권취 드럼으로 와이어를 권취하여 승강부를 상승시켜 천정 반송차 (V)에 수납한다.
[특허문헌1]
일본 특허 제3067656호 공보
이상과 같이 상기 공보에서는 천정 반송차(V)와 저장 래크부재(16) 사이의 물품(4)의 주고받음에는 호이스트가 이용되고 있다. 이 호이스트에 의한 물품(4)의 이동적재는 시간이 걸리므로 개선이 요망되고 있다. 그래서, 본 발명에서는 물품을 일시 보관하는 버퍼와 천정 반송차 사이에서, 단시간에 물품을 주고받을 수 있는 천정 반송차 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상과 같고, 이 과제를 해결하기 위한 수단은 이하에 나타내는 바와 같다.
물품을 반송하는 천정 반송차와, 천정 반송차가 주행하는 주행로를 구비한 천정 반송차 시스템에 있어서, 천정 반송차에 차체의 주행방향에 대해서 직교하는 방향으로 물품을 반출입(搬出入)하는 반송수단을 탑재하고, 주행로 측방의, 천정 반송차의 반송수단에 대응한 높이위치에 천정 반송차의 반송수단과의 사이에 물품을 주고받는 반출입수단을 구비한 버퍼를 배치하였다.
이하에 본 발명의 일실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 천정 반송차 시스템(1)의 개략 구성을 나타내는 평면도, 도 2는 처리장치(4) 및 자동 창고(5)의 평면도, 도 3 및 도 4는 처리장치(4)의 정면도, 도 5는 자동 창고(5)의 정면 단면도, 도 6은 천정 반송차(10)의 사시도, 도 7은 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상에 카세트(9)를 얹어놓은 상태의 천정 반송차(10)의 측면도이다. 또한, 도 8은 천정 반송차(10)의 측면도이고, 도 8(a)는 이동기구(80ㆍ80)를 이동적재위치에 위치시킨 상태, 도 8(b)는 이동기구(80ㆍ80)를 퇴피(退避)위치에 위치시킨 상태를 나타낸다. 또한, 도 9는 천정 반송차(10)의 제어구성을 나타내는 블록도 이다.
또한, 이하의 설명에서는 특별히 언급하지 않는한 천정 반송차(10)의 진행방향을 전방으로 하여 각 구성부재의 전후 좌우위치를 설명하는 것으로 한다.
또한, 이하의 설명에서는 천정 반송차(10)에 의해서 반송되는 물품을, 구체적으로 다수의 반도체 웨이퍼가 수납된 카세트(9)로 하고 있지만 물품은 카세트(9)에 한정되지 않는다. 이 카세트(9) 내에는 상하에 다수의 선반이 설치되어 있고, 각 선반에 웨이퍼가 수평으로 수납되어 있다.
또한, 이하의 설명에 있어서는 청구항에 기재된, 물품을 차체의 진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 반출입하는 천정 반송차(10)의 반송수단을 롤러 컨베이어(8ㆍ8), 상부 스테이션이 구비하는 입출고수단을 롤러 컨베이어(54ㆍ54), 버퍼가 구비하는 반출입수단을 롤러 컨베이어(46)로 하지만, 이들 구성에 한정되는 것은 아니다.
우선, 천정 반송차 시스템(1)의 개략 구성부터 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 반도체 제조공장 등의 클린룸(clean room) 내에는 천정 반송차(10ㆍ10ㆍㆍㆍ)의 이동경로로 되는 주행로(2)가 루프형상으로 부설된다. 주행로(2)를 따라 루프의 외측에 1대의 자동 창고(5)와 복수대의 처리장치(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)가 배치되어서 천정 반송차 시스템(1)이 구성되어 있다.
자동 창고(5)는 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 일시 보관하기 위한 소형 보관고이고, 자동 창고(5)를 기점으로 하여 처리장치(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)가 동 도면의 화살표방향으로 처리공정의 순번으로 배치되어 있다. 카세트(9)는 천정 반송차 시스템(1)과는 별도 의 시스템으로 자동 창고(5)에 입고되어서 일시적으로 보관된다. 자동 창고(5) 앞에 천정 반송차(10)가 도착하면 카세트(9)가 출고되어서 천정 반송차(10)로 이동적재되고, 공정의 순번으로 처리장치(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)로 반송된다. 또한, 각 처리장치 (4ㆍ4ㆍㆍㆍ)에서의 처리를 종료하면 다시 자동 창고(5)에 입고되고, 천정 반송차 시스템(1)과는 별도의 시스템으로 출고되도록 되어 있다.
이어서, 처리장치(4)에 관해서 설명한다.
도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 처리장치(4)의 주행로(2)에 대향하는 측면의 하부에는 입고구와 출고구가 형성되어 있다. 또한, 입고구와 출고구에는 각각 지상 스테이션(41ㆍ41)이 설치되어 있다. 지상 스테이션(41ㆍ41)은 처리장치(4)의 내부로부터 외부로 돌출되어 있고, 그 단부[주행로(2)측의 단부](41aㆍ41a)는 주행로(2)의 바로밑에 위치하고 있다.
또한, 지상 스테이션(41ㆍ41) 상방의 주행로(2)에는 카세트(9)가 상하로 통과할 수 있는 통과구(20ㆍ20)가 형성되어 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 통과구(20)를 상하로 통과시킴으로써 스테이션(41)의 외측 단부(41a)와 주행로(2) 상의 반송차(10) 사이에서 카세트(9)가 주고받아진다.
또한, 지상 스테이션(41)에는 롤러 컨베이어 등의 반송수단이 설치되고, 반송수단에 의해서 카세트(9)가 지상 스테이션(41)의 외측 단부(41a)와 내측 단부[반주행로(2)측의 단부](41b) 사이에서 반송된다.
처리장치(4) 내에는 수평 다관절식 이동적재 밴드를 구비한 이동적재장치가 설치되어 있다. 이동적재장치에 의해 카세트(9)가 스테이션(41)의 내측 단부(41b) 와 처리장치(4) 내의 수납 선반 사이에서 이동적재된다. 또한, 상기 처리장치(4) 내의 수납 선반에는 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 보관된다. 이들 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ) 내로부터 웨이퍼가 취출되고, 동시에 통합해서 세정 등의 처리가 행해진다.
이와 같이 처리장치(4)에서는 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ) 내의 웨이퍼가 일괄해서 처리된다.
또한, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 처리장치(4)의 지상 스테이션(41ㆍ41)의 경사진 상방의 주행로(2)의 좌우 내측방(루프형상 주행경로의 내측)에는 카세트(9)의 일시 보관장소로서 버퍼(45)가 배치되어 있다. 버퍼(45)는 매달림부재 (43ㆍ43)를 통해서 클린룸의 천정면으로부터 매달려져 있고, 주행로(2)에 접근시켜서 주행로(2)와 평행하게 배치되어 있다.
매달림부재(43)는 하부 프레임(43a)과, 하부 프레임(43a)의 전단부와 후단부 [주행로(2)의 주행방향에 대한 전단부와 후단부]로부터 세워설치되는 지지 로드 (43bㆍ43b)로 이루어지고, 지지 로드(43bㆍ43b)가 클린룸의 천정면으로부터 매달려진다. 이 매달림부재(43ㆍ43)가 주행로(2)와 평행하게 2세트 배치되고, 매달림부재 (43ㆍ43)의 하부 프레임(43aㆍ43a) 상에 버퍼(45)가 그 적재면이 수평으로 되도록 고정되어 있다.
또한, 버퍼(45)를 지지하는 구성은 매달림부재(43ㆍ43)에 한정되지 않고, 클린룸의 바닥면으로부터 세워 설치한 지지부재 상에 고정하는 구성 등으로 하여도 좋고, 특별히 한정하지 않는다.
버퍼(45)는 카세트(9)의 반출입수단으로서 복수의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍ ㆍ)를 구비하고 있다. 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)는 주행로(2)를 따라서 설치되어 있고, 1개의 롤러 컨베이어(46) 상에 1개의 카세트(9)가 일시 보관되도록 되어 있다.
롤러 컨베이어(46)는 평면에서 바라봐서 사각형의 프레임 내에 다수의 롤러 (48ㆍ48ㆍㆍㆍ)와 롤러(48ㆍ48ㆍㆍㆍ)의 구동수단(도시않함)을 구비하고 있다. 롤러(48ㆍ48ㆍㆍㆍ)는 카세트(9)의 하면의 폭보다 약간 길게 형성되고, 그 일부분이 프레임 상면으로부터 돌출되어 있다. 구동수단은 구동모터의 모터축에 구동풀리가 설치되고, 각 롤러(48ㆍ48ㆍㆍㆍ)의 회전축에 각각 설치되어 있는 종동풀리와의 사이에 벨트를 걸침으로써 구성되어 있다.
이와 같이 각 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)마다 구동수단이 설치되어 있고, 각각 독립해서 구동할 수 있도록 되어 있다. 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)는 롤러(48ㆍ48ㆍㆍㆍ)에 의해 보내지고, 주행로(2)의 주행방향에 대해서는 좌우방향으로 반송된다.
이상 구성에서는 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)에 각각 구동수단을 설치하고 있지만, 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)를 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)에 연동하여 움직이도록 하여도 좋다. 예컨대, 각 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)에는 구동수단을 설치하지 않고, 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)에 설치한 진퇴가능한 전달롤러가 롤러 컨베이어(46)에 접촉함으로써 구동력이 전달되어 각 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)가 움직이도록 구성하여도 좋다. 또한, 반대로, 각 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)에 각각 진 퇴가능한 전달롤러를 설치하고, 전달롤러를 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어 (8ㆍ8)에 접촉시킴으로써 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)로부터의 구동력이 전달되어서 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)가 움직이도록 구성하여도 좋다.
또한, 버퍼(45)로의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)의 반출입수단은 롤러 컨베이어 (46ㆍ46ㆍㆍㆍ)에 한정되는 것은 아니며 다른 구성이여도 좋다.
각 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)의 반송면이 주행로(2) 상을 주행하는 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 반송면과 동일 높이로 되도록 버퍼(45)가 배치되어 있다.
또한, 각 롤러 컨베이어(46)의 주행로(2)측이 단부에는 스토퍼(49)가 설치되어 있다. 스토퍼(49)는 롤러 컨베이어(46)의 반송면으로부터 출몰하도록 상하이동가능하게 구성되어 있다. 상기 스토퍼(49)를 반송면으로부터 상승시킴으로써 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)의 낙하가 방지된다. 또한, 스토퍼(49)를 반송면으로부터 하강시켜서 천정 반송차(10)와의 사이에서 카세트(9)를 주고받는다.
또한, 각 롤러 컨베이어(46)의 주행로(2)와 반대측의 단부에는 돌기부(46b)가 돌출되게 형성되어 있다. 이 돌기부(46b)가 스토퍼로 되어서 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)가 주행로(2)의 반대측에도 낙하하지 않도록 되어 있다.
또한, 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)의 낙하를 방지하는 수단에 관해서는, 스토퍼(49) 및 돌기부(46b)로 이루어지는 구성에 한정되는 것은 아니며 다른 구성이여도 좋다.
이상과 같은 구성으로, 버퍼(45)가 처리장치(4)의 경사진 상방에서 주행로 (2)의 좌우 내측방(루프형상 주행경로의 내측)에 배치되어 있다.
또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 처리장치(4)의 높이가 주행로(2)보다 낮은 경우에는 처리장치(4) 상방의 주행로(2)의 좌우 외측방(루프형상 주행경로의 외측)에도 버퍼(45)를 배치하여도 좋다.
처리장치(4) 상방에서 주행로(2) 양측방에 버퍼(45ㆍ45)가 배치되는 경우는, 천정 반송차(10)는 좌우 어느 한쪽의 버퍼(45)로부터 먼저 카세트(9)를 이동적재하여 간다. 한쪽의 버퍼(45)의 모든 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ) 상에 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 이동적재된 후에, 다른쪽의 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46aㆍ46aㆍㆍㆍ)에 이동적재한다.
또는, 천정 반송차(10)는 주행로(2)의 상류측, 또는 하류측으로부터 좌우 한쪽의 버퍼(45)와 다른쪽의 버퍼(45)에 교대로 카세트(9)를 이동적재하여 가도록 구성하여도 좋다. 버퍼(45ㆍ45)로의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)의 이동적재의 순번은 특별히 한정하지는 않는다.
또한, 주행로(2)의 처리장치(4ㆍ4) 사이에도 버퍼(45)를 배치하여도 좋다.
주행로(2)를 따라서 처리장치(4ㆍ4) 사이에 버퍼(45)가 배치되는 경우는, 천정 반송차(10)는 버퍼(45)의 상류측, 또는 하류측에 배치된 처리장치(4) 상방의 버퍼(45)로부터 카세트(9)를 이동적재하여 간다. 처리장치(4) 상방의 버퍼(45)의 모든 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ) 상에 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 이동적재된 후에, 처리장치(4ㆍ4) 사이의 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46aㆍ46aㆍㆍㆍ)에 이동적재한다.
또한, 버퍼(45ㆍ45ㆍㆍㆍ)의 배치위치에 관해서는 상기 배치위치 이외에도 주행로(2) 측방이면 특별히 한정은 하지 않는다.
이어서, 자동 창고(5)에 관해서 설명한다.
도 2 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 자동 창고(5)의 주행로(2)에 대향하는 측면의 상부에는 입고구와 출고구가 형성되어 있다. 입고구와 출고구에는 각각 카세트(9)의 이동적재장소로서의 상부 스테이션(52ㆍ52)이 설치되어 있다. 상부 스테이션(52ㆍ52)은 자동 창고(5)의 내부로부터 외부로 돌출되어 있고, 상부 스테이션 (52ㆍ52)의 외측 단부[주행로(2)측의 단부]는 주행로(2) 측방(루프형상 주행경로의 바로외측)에 배치되어 있다.
상부 스테이션(52)은 입출고수단으로서 1쌍의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)를 구비하고 있다. 1쌍의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)는 주행로(2)의 주행방향에 대한 전후에 설치되고, 주행로(2) 상의 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)와 동일 높이에 위치하고 있다. 롤러 컨베이어(54ㆍ54)는 연결부재(53ㆍ53ㆍㆍㆍ)를 통해서 연결되고, 롤러 컨베이어(54ㆍ54)의 간격이 일정하게 유지되어 있다.
상기 1쌍의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)로 카세트(9) 하면의 양단부[주행로(2)의 주행방향에 대한 전단부와 후단부]를 지지하여 주행로(2)의 주행방향에 대한 좌우방향으로 반송한다. 롤러 컨베이어(54)의 외측 단부[주행로(2)측의 단부]와 내측 단부[자동 창고(5) 내의 단부]에는 스토퍼(55ㆍ55)가 설치되어 있다. 스토퍼 (55ㆍ55)는 롤러 컨베이어(54)의 반송면으로부터 출몰하도록 상하 이동가능하게 구성되어 있다.
상기 스토퍼(55ㆍ55)를 반송면으로부터 상승시킴으로써 롤러 컨베이어 (54ㆍ54) 상에 놓여진 카세트(9)의 낙하가 방지된다. 스토퍼(55ㆍ55)를 반송면으로부터 하강시킨 상태에서 천정 반송차(10)와의 사이에서 카세트(9)를 주고받거나, 또는, 자동 창고(5) 내의 스태커 크레인(stacker crane)(56)과의 사이에서 카세트 (9)를 주고받는다.
또한, 상기 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52ㆍ52)과, 주행로(2)를 사이에 두고 대향하도록 하여 버퍼(45)가 배치되어 있다. 버퍼(45)는 주행로(2)의 좌우 내측방(루프형상 주행경로의 내측)에 배치되어 있고, 버퍼(45)에는 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52ㆍ52)으로부터 출고된 카세트(9)가 천정 반송차(10)를 통해서 일단 이동적재된다.
또한, 자동 창고(5)의 주행로(2)의 반대측의 측면의 하부에는 입고구와 출고구가 형성되어 있다. 입고구와 출고구에는 각각 하부 스테이션(51ㆍ51)이 설치되어 있다. 하부 스테이션(51ㆍ51)은 자동 창고(5)의 내부로부터 외부로 돌출되어 있고, 하부 스테이션(51ㆍ51)에는 롤러 컨베이어 등의 반송수단이 설치되어 있다. 반송수단에 의해서 카세트(9)가 자동 창고(5)에 입출고되도록 구성되어 있다.
또한, 상기 하부 스테이션(51ㆍ51)은, 예컨대, 작업자가 특급품(特急品)을 입출고하기 위해 이용된다.
자동 창고(5) 내에는 주행로(2)측의 측부와 주행로(2)의 반대측의 측부에 수납부가 형성되어 있다. 수납부 사이의 중앙의 공간에 스태커 크레인(56)이 배치되어 있다. 수납부에는 카세트(9)를 수납하기 위한 선반(50ㆍ50ㆍㆍㆍ)이 다수 설치되어 있고, 수납부 사이의 중앙의 공간의 바닥면에는 주행로(2)의 주행방향으로 도시하지 않은 레일이 부설되어 있다. 스태커 크레인(56)은 레일 상을 주행하는 주행대차(57)와, 주행대차(57) 상에 세워 설치되는 마스트(mast)(58)와, 마스트(58)를 따라서 승강하는 수평 다관절식 이동적재장치(59)를 구비하고, 레일을 따라서 수평방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 이동적재장치(59)의 선단부는 포크와 같은 형상이고, 이동적재장치(59)의 선단부로 카세트(9)의 하면을 퍼올린다. 주행대차 (57)의 수평방향의 이동과 이동적재장치(59)의 상하방향의 이동의 조합으로 하부 스테이션(51), 상부 스테이션(52) 및 선반(56ㆍ56ㆍㆍㆍ)에 대해서 카세트(9)를 이동적재할 수 있도록 되어 있다.
이상과 같은 구성으로, 자동 창고(5)의 하부 스테이션(51ㆍ51)에서는 천정 반송차 시스템(1) 밖으로부터의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 주고받아진다. 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52ㆍ52)에서는 주행로(2) 상의 천정 반송차(10)와의 사이에서 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 주고받아진다. 또한, 하부 스테이션(51)과 선반(50), 상부 스테이션(52)과 선반(50), 또는, 하부스테이션(51)과 상부 스테이션(52) 사이는 스태커 크레인(56)에 의해서 카세트(9)가 이동적재된다.
이어서, 주행로(2)의 구성에 관해서 설명한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 주행로(2)는 한쌍의 레일(24Lㆍ24R)과, 레일 (24Lㆍ24R)의 하면 사이를 연결하는 연결부재(25ㆍ25ㆍㆍㆍ)와, 레일(24Lㆍ24R) 사이에서 주행로(2)의 주행방향으로 가설되는 낙하방지부재(26ㆍ26)를 구비하고, 매달림부재(30ㆍ30ㆍㆍㆍ)에 의해서 클린룸의 천정으로부터 매달린다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 매달림부재(30)는 1쌍의 매달림 로드(31ㆍ31)와 매달림 프레임(32)을 구비하고 있다. 매달림 프레임(32)은 상부 프레임(32a)과 측부 로드(32bㆍ32b)로 구성되어 있다.
매달림 로드(31ㆍ31)의 하단부에 상부 프레임(32a)의 좌우 양측부가 고정되고, 상부 프레임의 좌우 양단부에 측부 로드(32bㆍ32b)의 상단부가 고정되어 있다. 또한, 측부 로드(32bㆍ32b)의 하단부에 연결부재(25)의 좌우 양단부가 고정되어 있다.
이와 같이 연결부재(25ㆍ25ㆍㆍㆍ)는 매달림 부재(30ㆍ30ㆍㆍㆍ)에 의해서 매달려져 있고, 연결부재(25ㆍ25ㆍㆍㆍ)의 상면의 좌우 양측부에 레일(24Lㆍ24R)의 하면이 고정되어 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 연결부재(25ㆍ25ㆍㆍㆍ)는 주행로(2)의 주행방향으로 간격을 두고서 다수 배치되고, 연결부재(25ㆍ25ㆍㆍㆍ)에 의해 2개의 레일(24Lㆍ24R)의 간격이 일정폭으로 유지되어 있다.
필요에 따라서 매달림 부재(30ㆍ30ㆍㆍㆍ)에 걸려 매달리지 않고, 단지 레일(24Lㆍ24R)을 그 하면에서 연결하는 연결부재(25ㆍ25)가 설치되어도 좋다.
단, 연결부재(25ㆍ25ㆍㆍㆍ)는 처리장치(4)의 스테이션(41ㆍ41) 상방위치에는 배치되지 않고, 스테이션(41ㆍ41) 상방위치의 레일(24Lㆍ24R) 하면 사이에는 연결부재(29ㆍ29)가 설치된다. 연결부재(29ㆍ29)와 레일(24Lㆍ24R)에 포위되어서 통과구(20)가 형성되어 있다.
레일(24L(24R))은 적당 길이로 형성된, 복수의 레일체(24lㆍ24lㆍㆍㆍ (24r ㆍ24rㆍㆍㆍ))로 이루어지고, 적어도 레일체(24l(24r))의 길이방향 양단부가 연결부재(25ㆍ25)에 지지 고정되어 있다. 상기 레일체(24lㆍ24lㆍㆍㆍ (24rㆍ24rㆍㆍㆍ))가 주행로(2)의 주행방향으로 연결되어서 레일(24L(24R))이 구성되어 있다.
레일체(24lㆍ24r)는 수평한 주행부와, 그 좌우 외측부에 세워설치되는 가이드부를 구비하고, 단면「L」자형상으로 형성되어 있다. 또한, 한쪽의 레일체(24l)에 관해서는 주행부의 좌우 내측부에도 가이드부가 세워설치되어 있다. 상기 한쪽의 레일체(24l)에 있어서의 좌우 양측부의 가이드부의 상단부에는 돌출부가 서로 마주 향하도록 형성되어 있다. 한쪽의 레일체(24l)의 주행부와 가이드부와 돌출부로 둘러싸이는 부분이 가이드홈으로 된다. 가이드홈에 후술하는 천정 반송차(10)의 가이드 롤러(12ㆍ12)가 안내되고, 돌출부에 의해 가이드 롤러(12ㆍ12)가 가이드홈으로부터 빠져나가지 않도록 구성되어 있다.
낙하방지부재(26)는 적당 길이로 형성된 복수의 낙하방지막대(26aㆍ26aㆍㆍㆍ)가 길이방향으로 연결되어서 구성되어 있다. 연결부재(25(29))의 상면에는 좌우로 일정간격을 두고서 브래킷이 2개 설치되어 있다. 이 브래킷에는 낙하방지막대 (26a)가 착탈가능하게 설치되어 있다.
이와 같은 구성으로 낙하방지막대(26aㆍ26aㆍㆍㆍ)가 연결부재(25ㆍ25ㆍㆍㆍ (29ㆍ29ㆍㆍㆍ)) 사이에 가설되어 있다. 단, 낙하방지막대(26aㆍ26aㆍㆍㆍ)는 통과구(20)에는 배치되지 않은 것으로 한다.
이와 같이, 본 실시예에서는 안전면의 관점에서 레일(24Lㆍ24R) 사이에 2개의 낙하방지부재(26ㆍ26)가 가설되어 있다. 만일, 천정 반송차(10) 등으로부터 카 세트(9)가 레일(24Lㆍ24R) 사이에 낙하하였을 때에도 낙하방지부재(26ㆍ26)에 걸려서 바닥면까지는 낙하하지 않도록 구성되어 있다.
또한, 낙하방지부재(26ㆍ26)의 개수나 배치의 방법 등에 관해서는 특별히 한정은 하지 않는 것으로 한다.
이어서, 천정 반송차(10)의 구성에 관해서 설명한다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(10)에는 차체 본체(10a)의 중앙부에 물품 수납공간(10b)이 형성되어 있다. 물품 수납공간(10b) 하방과 좌우 양측방은 카세트(9)가 통과가능한 개구로 되어 있다(도 7참조).
즉, 상기 천정 반송차(10)는 카세트(9)의 이동적재구를 차체 본체(10a)의 좌측방과 우측방과 하측방에 갖고 있다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 차체 본체(10a)의 전후의 하단부 사이를 지지부재(15)를 통해서 연결하고, 지지부재(15) 상에 구동모터(16)는 길이방향이 전후방향으로 향하도록 고정되어 있다. 상기 구동모터(16) 및 상기 지지부재(15)는 차체 본체(10a)의 좌우 일단측에 배치되고, 물품 수납공간(10b)으로부터 호이스트(7)를 통해서 승강하는 카세트(9)와 간섭하지 않도록 되어 있다. 또한, 구동모터(16)의 상면은 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 반송면보다 하방에 배치되어 반송되는 카세트(9)와 간섭하지 않도록 되어 있다.
또한, 구동모터(16)의 좌우 외측에는 구동륜(11)이 차축을 좌우 수평방향으로 향하여 설치되고, 베벨기어 등의 도시하지 않은 동력전달기구를 통해서 구동모터(16)로부터 동력이 전달된다. 상기 구동륜(11)은 차체 본체(10a)의 전후 중앙위 치에 배치되어 있다. 구동륜(11)의 전방과 후방에 있어서는 지지부재(15)에 가이드 롤러(12ㆍ12)가 차축을 연직방향으로 향하도록 설치되고, 측면에서 바라봐서 가이드 롤러(12ㆍ12)는 구동륜(11)의 차축에 대해서 전후 대칭위치에 배치되어 있다.
구동륜(11)의 일부분은 차체 본체(10a)의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있고, 한쪽의 레일체(24l)의 주행부와 접촉하도록 구성되어 있다. 또한, 가이드 롤러(12ㆍ12)는 한쪽의 레일체(24l)의 가이드홈에 안내된다.
차체 본체(10a)의 하단부이고, 구동륜(14)의 반대측의 측단부[레일(24R)의 측단부]에는 1쌍의 종동륜(14ㆍ14)이 설치되어 있다. 이 종동륜(14ㆍ14)은 방향전환 가능한 캐스터(caster) 륜으로 구성되고, 차체 본체(10a) 하면에 있어서의 전단부와 후단부에 차축이 수평방향으로 향하도록 배치되어 있다.
또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 차체 본체(10a)의 상면에 있어서의 전방부와 후방부에는 1쌍의 분기장치(17ㆍ17)가 설치되고, 이 분기장치(17ㆍ17)는 주행로(2)가 분기되어 있는 경우 등에 이용된다. 분기장치(17)는 차체 본체(10a)의 상면의 좌우방향 중앙부에 배치되는 가이드 롤러(18)와, 상기 좌우 양측방에 배치되는 분기롤러(19ㆍ19)를 구비하고 있다. 롤러(18ㆍ19ㆍ19)는 차축이 연직방향으로 향하도록 배치되어서 분기롤러(19ㆍ19)에 관해서는 상하이동가능하게 구성되어 있다.
또한, 차체 본체(10a) 상부의 좌우 양측부에는 주행로(2) 상방에 가설된 급전선으로부터 전력을 얻기 위한 픽업유닛(60ㆍ60)이 설치되어 있다. 이 픽업유닛 (60ㆍ60)은 차체에 점유하는 중량비가 많으므로 차체의 좌우 양측에 배치함으로써 차체 전체의 중량균형을 유지하고, 예컨대, 곡선부를 매끄럽게 주행하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 주행로(2)는 분기로를 가지므로 주행로(2)의 일측에 부설되는 급전선은 주행로(2)의 반대측에 부설되는 곳도 있고, 픽업유닛(60ㆍ60)을 차체 본체(10a)의 좌우 양측부에 배치함으로써 이와 같은 분기로 등에 있어서도 천정 반송차(10)로 전력을 공급할 수 있다.
픽업유닛(60)은 「E」자형상을 한 페라이트제 코어(61)와 픽업코일(62)을 구비하고 있다. 코어(61)의 상중하 3곳의 돌출부는 좌우 외측방향으로 향하여 배치되고, 중앙의 돌출부에 픽업코일(62)이 감겨져 있다. 코어(61)는 상하의 돌출부와 중앙의 돌출부 사이에 형성된 상하 2개의 오목부 내에 급전선이 각각 1개씩 위치하도록 배치되어 있다.
상기 급전선에 고주파 전류를 흘림으로써 발생하는 자계를 픽업코일(62)에서 수용하도록 하고 있다. 또한, 전자유도현상을 이용하여 픽업코일(62)에 발생하는 유도전류로부터 전력을 취출한다. 이와 같이 하여 급전선으로부터 픽업유닛(60)에 비접촉으로 전력이 공급되어 구동륜(11)의 구동모터(16)를 구동하거나 제어기기에 전력을 공급하고 있다.
또한, 천정 반송차(10)는 물품 수납공간(10b) 내에 처리장치(4)의 지상 스테이션(41) 사이에서 카세트(9)를 상하방향으로 주고받는 호이스트(7)와, 자동 창고 (5)의 상부 스테이션(52) 사이에서 카세트(9)를 차체 진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 주고받는 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 구비하고 있다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 물품 수납공간(10b) 상방의 천정면에는 슬라이 드장치(70)가 설치되어 있다. 슬라이드장치(70)에는 호이스트(7)의 본체(71)가 설치되어 있다. 호이스트 본체(71)에는 척을 구비한 승강부(72)를 승강시키기 위한 승강수단이 설치되어 있다. 슬라이드장치(70)에 의해 호이스트 본체(71)를 차체진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 따라서, 호이스트(7)의 바로아래로부터 지상 스테이션(41)이 진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 설치오차 등에 의해 다소 어긋나 있던 경우에도 카세트(9)를 지상 스테이션 (41)의 외측 단부(41a)의 적재부의 바로위가 되도록 호이스트 본체(71)를 이동시킴으로써 정확하게 이동적재할 수 있다.
지상 스테이션(41)의 외측 단부(41a)의 적재부의 바로위에 레일(24R)이 위치하고 있으면 레일(24R)에 노치부를 형성할 필요가 있다.
또한, 어느 지상 스테이션(41ㆍ41ㆍㆍㆍ)도 주행로(2) 상의 천정 반송차(10)의 바로밑에 위치하도록 하여 천정 반송차(10)에 슬라이드장치(70)를 탑재하지 않는 구성으로 하여도 좋다. 이 경우는 물품 수납공간(10b) 상방의 자체 본체(10a)의 천정면에 직접 호이스트본체(71)가 설치된다. 또한, 슬라이드장치(70)는 지상 스테이션(41)의 외측 단부(41a)의 적재부에 대한 미세조정을 위하여 설치하여도 좋다.
상기 호이스트(7)의 본체에는 4세트의 권취드럼이 설치되어 있다. 권취드럼에는 각각 벨트(73ㆍ73ㆍㆍㆍ)가 감겨지고, 벨트(73ㆍ73ㆍㆍㆍ)를 통해서 승강부 (72)가 승강가능하게 매달려진다. 이와 같이 하여 승강부(72)가 승강가능하게 구성되어 있고, 승강부(72)의 하부에 카세트(9)를 유지하기 위한 척이 설치되어 있다. 척은 카세트(9)의 상부에 형성되어 있는 상부 플랜지(9a)를 파지하도록 되어 있다.
또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 물품 수납공간(10b)의 전방과 후방의, 차체본체(10a) 내측면의 하부에는 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)가 설치되어 있다. 이 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)는 카세트(9)를 차체 진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 반송하는 수단이다. 롤러 컨베이어(8)는 길이방향(좌우방향)으로 다수의 롤러 (88ㆍ88ㆍㆍㆍ)를 구비하고, 롤러(88ㆍ88ㆍㆍㆍ)는 그 일부분이 롤러 컨베이어(8)의 본체 상면으로부터 돌출하고, 카세트(9)의 저면의 양단부[천정 반송차(10)의 진행방향에 대해서는 전단부와 후단부]를 지지하여 카세트(9)를 좌우방향으로 반송한다.
한쪽의 롤러 컨베이어(8)에는 구동모터가 설치되고, 구동모터의 구동축에는 구동풀리가 설치되어 있다. 각 롤러(88ㆍ88ㆍㆍㆍ)의 회전축에는 각각 종동풀리가 설치되고, 구동풀리와 전체 종동풀리 사이에 1개의 벨트를 감음으로써 전체 롤러 (88ㆍ88ㆍㆍㆍ)가 동기하여 회전하도록 구성되어 있다.
다른쪽의 롤러 컨베이어(8)에는 구동모터는 설치되지 않고, 각 롤러(88ㆍ88ㆍㆍㆍ)는 회전가능하게 구성되어 있다. 이렇게 하여 한쪽의 롤러 컨베이어(8)가 구동 컨베이어로서, 다른쪽의 롤러 컨베이어(8)가 종동 컨베이어로서 반송수단이 구성되어 있다.
이 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상에 카세트(9)의 저면의 양단부[천정 반송차 (10)의 진행방향에 대해서는 전단부와 후단부]가 놓여진다. 상세하게는 카세트(9)의 저면의 양단부에는 단차부(9cㆍ9c)(도 8 참조)가 형성되고, 단차부 (9cㆍ9c)가 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 롤러(88ㆍ88ㆍㆍㆍ) 상에 위치하고(도 7 참조), 카세 트(9)가 그 반송방향에 대한 좌우 횡방향[천정 반송차(10)의 진행방향에 대해서는 전후방향]으로 어긋나지 않도록 되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는 카세트(9)의 저면의 양단부에 단차부(9cㆍ9c)가 형성되어 있지만 카세트(9)의 저면은 평면이고 롤러 컨베이어(8ㆍ8)측에 가이드를 설치함으로써 카세트(9)가 사행하는 것을 방지하도록 하여도 좋다.
이렇게 하여 카세트(9)의 저면의 일측 단부[천정 반송차(10)의 진행방향에 대해서는 전단부 또는 후단부]가 한쪽의 구동롤러 컨베이어(8)에 의해서 보내지면 카세트(9)의 저면의 타측 단부가 놓여지는 다른쪽의 종동롤러 컨베이어(8)가 회전하고, 카세트(9)는 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상을 똑바로 반송하도록 되어 있다.
또한, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)에 설치된 1쌍의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)도 천정 반송차(10)의 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)와 마찬가지의 구성으로, 한쪽의 롤러 컨베이어(54)가 구동 컨베이어, 다른쪽의 롤러 컨베이어(54)가 종동 컨베이어로서 구성되어 있다.
이상과 같이, 본 실시형태에서는 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 및 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)를, 한쪽의 롤러 컨베이어(8(54))를 구동 컨베이어, 다른쪽의 롤러 컨베이어(8(54))를 종동 컨베이어로서 구성하고 있지만, 다른쪽의 롤러 컨베이어(8(54))도 구동 컨베이어로 구성하고, 즉, 양쪽의 롤러 컨베이어(8ㆍ8(54ㆍ54)) 모두 구동 컨베이어로 구성하여도 좋다. 이 경우는 양쪽의 롤러 컨베이어(8ㆍ8(54ㆍ54))는 동기 구동함으로써 카세트(9)는 롤러 컨베이어(8ㆍ8(54ㆍ54)) 상을 똑바로 반송된다.
이렇게 하여 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 선단[차체 본체(10a)의 측벽 개구측 선단]에는 상하이동가능한 스토퍼(89ㆍ89)가 설치된다. 스토퍼(89)는 카세트(9)의 반송 중에는 롤러 컨베이어(8)의 반송면보다 위로 돌출하여 카세트 (9)가 낙하하지 않도록 되어 있다. 또한, 카세트(9)를 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)와의 사이에서 주고받을 때에는 롤러 컨베이어(8)의 반송면보다 하강하도록 구성되어 있다.
또한, 도 8에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(10)는 1쌍의 롤러 컨베이어 (8ㆍ8)를 서로 접근 또는 이간시키는 이동기구(80ㆍ80)를 구비하고 있다. 이 이동기구(80ㆍ80)에 의해 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 접근시킨 위치를 「이동적재위치」[도 8(a)]로, 이간시킨 위치를 「퇴피위치」[도 8(b)]로 한다.
이동적재위치에서는 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 간격은 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)의 1쌍의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)의 간격과 동일 간격으로 되어서 카세트(9)의 폭(차체 진행방향에 대한 전후 방향의 길이)보다 좁게 되고, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)과의 사이에서 카세트(9)의 주고받음이 가능하게 된다.
한편, 퇴피위치에서는 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 간격은 카세트(9)의 폭보다 넓게 되고, 롤러 컨베이어(8ㆍ8)는 호이스트(7)와 처리장치(4)의 지상 스테이션 (41), 또는 자동 창고(5)의 하부 스테이션(51)과의 사이의 카세트(9)의 주고받음을 방해하지 않는 위치에 배치되어서 호이스트(7)의 승강부(72)가 1쌍의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 사이를 상하로 통과할 수 있도록 된다.
상기 이동기구(80)는 래크ㆍ피니언기구, 링크기구, 그 외 롤러 컨베이어(8) 를 수평으로 진퇴시키는 기구로 구성되어 있다.
이상과 같이, 롤러 컨베이어(8ㆍ8)가 구성되어 있다.
또한, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)과의 사이에서 카세트(9)를 천정 반송차(10)의 진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 주고받는 반송수단은 롤러 컨베이어(8ㆍ8)에 한정하는 것은 아니고, 다른 구성의 반송수단을 적용하여도 좋다.
또한, 천정 반송차(10)에는 기기상 컨트롤러(110)가 탑재되어 있다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 기기상 컨트롤러(110)는 제어선을 통해서 구동륜(11)의 구동모터(16), 호이스트(7) 및 슬라이드장치(70)의 구동부, 롤러 컨베이어(8)의 롤러 (88ㆍ88ㆍㆍㆍ)의 구동모터, 이동기구(80ㆍ80)의 구동부, 분기장치(17ㆍ17)의 구동부, 그 외 천정 반송차(10)의 각 기기와 접속되어 있다.
천정 반송차(10)의 주행제어에 관해서 설명한다. 처리장치(4)의 스테이션(41ㆍ41) 상방의, 주행로(2)의 통과구(20ㆍ20ㆍㆍㆍ)의 바로앞 등, 주행로(2) 상의 적당 위치에는 위치정보를 기록한 마커(marker)가 붙여져 있다. 천정 반송차(10)의 하부에는 리더가 설치되어 있고, 리더로 마커를 판독함으로써 주행위치를 파악하도록 되어 있다.
또한, 천정 반송차(10)의 제어수단인 기기상 컨트롤러(110)에는 주행로(2)에 관한 지도정보(데이터)가 기억되어 있어서 천정 반송차(10)는 스스로도 현재의 주행위치를 시시각각 파악하고 있다. 천정 반송차(10)에는 인코더가 탑재되어 있어서 주행거리를 판단하도록 되어 있고, 기기상 컨트롤러(110)에서는 지도정보와 주행거리로부터 현재위치가 인식되어 있다.
따라서, 천정 반송차(10)의 기기상 컨트롤러(110)에서는 주행로(2) 상에 붙여져 있는 다수의 마커의 위치도 파악되어 있고, 천정 반송차(10)가 리더로 마커를 검출함으로써 현재 어느 위치를 주행중인지를 확인하고 있다.
또한, 리더로 마커를 검출하였을 때에 인코더에 의해 인식하고 있는 천정 반송차(10)의 현재위치가 지도정보 상의 마커위치와 일치하고 있지 않으면 인코더에 의한 현재위치를 지도정보 상의 마커위치에 의해 수정한다.
이와 같이 천정 반송차(10)에서는 기기상 컨트롤러(110)에 기억된 지도정보와 인코더로 검출한 주행거리에 의해 항시 현재위치가 인식된다. 또한, 리더로 마커를 검출함으로써 현재위치가 확인되고, 2중의 시스템으로 현재위치가 정확하게 인식된다.
이상과 같이 하여 천정 반송차(10)는 주행로(2) 상의 주행위치를 파악하고 있고, 지도정보와 마커에 기초하여 주행제어가 행해진다. 예컨대, 목적지의 스테이션(41) 상방의 통과구(20) 바로앞의 마커를 검출하면, 통과구(20)에서 정지하도록 천정 반송차(10)를 감속시키는 등의 제어가 행해진다.
또한, 천정 반송차(10)와, 처리장치(4)의 지상 스테이션(41), 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52), 또는 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46) 사이에서 카세트 (9)의 주고받음이 행해지는 경우, 천정 반송차(10)는 기기상 컨트롤러(110)에 기억되어 있는 지도정보에 기초하여 현재 어느 정지위치[지상 스테이션(41)위치, 상부 스테이션(52)위치, 또는 롤러 컨베이어(46)위치]에 정지해 있는지를 파악하고 있다. 천정 반송차(10)의 기기상 컨트롤러(110)에서는 카세트(9)의 주고받음에, 호이스트 (7)를 이용하는지 롤러 컨베이어(8)를 이용하는지를 결정하고, 롤러 컨베이어(8)를 이용하는 경우에는 롤러(88ㆍ88ㆍㆍㆍ)의 회전구동방향에 관해서도 결정한다.
천정 반송차 시스템(1)의 복수의 천정반송차(10ㆍ10ㆍㆍㆍ)를 통괄하여 제어하는 상위의 컨트롤러를 설치하고, 지상 스테이션(41), 상부 스테이션(52), 또는 롤러 컨베이어(46)의 정지위치에서 정지한 천정 반송차(10)에 상위의 컨트롤러로부터의 지령에 의해서 호이스트(7)를 이용하는지 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 이용하는지를 지시하여도 좋다.
처리장치(4)의 지상 스테이션(41)과의 사이에서 카세트(9)의 주고받음을 행할 때에는 호이스트(7)가 선택된다. 또한, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52), 또는 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)와의 사이에서 카세트(9)의 주고받음을 행할 때에는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)가 선택된다. 이 때 롤러 컨베이어(8ㆍ8)가 선택되면 상부 스테이션(52), 또는 롤러 컨베이어(46)가 주행로(2)의 좌우 외측방(루프형상 반송경로의 외측), 또는 좌우 내측방(루프형상 반송경로의 내측) 중 어느 쪽에 배치되어 있는가에 따라서 구동모터의 회전방향이 정회전방향인지 역회전방향인지로 결정된다.
이어서, 천정 반송차(10)에 탑재된 호이스트(7)를 이용하여 카세트(9)를 이동적재할 때의 흐름을 설명한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 주행로(2) 상을 주행하는 천정 반송차(10)가 목적지인 처리장치(4)의 스테이션(41) 상방에서 정지하면, 기기상 컨트롤러(110)에서는 이번 이동적재에 사용하는 이동적재수단을 호이스트(7)로 결정한다.
이 정지한 천정 반송차(10)의 하방에는 통과구(20)가 위치하고 있고, 호이스트(7)를 유지하는 슬라이드장치(70)로 좌우방향의 위치의 조절을 행하여 호이스트 (7)를 지상 스테이션(41) 상의 카세트(9)의 바로 상방에 위치시킨다.
이어서, 천정 반송차(10)의 기기상 컨트롤러(110)는 이동기구(80ㆍ80)를 작동시켜서 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 퇴피위치로 이동시키고, 호이스트(7)의 승강부 (72)를 하강시킨다[도 8(b) 참조]. 승강부(72)는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 사이를 통과하고, 또한 통과구(20)를 통과하여 지상 스테이션(41) 상의 카세트(9)에 도달한다. 또한, 승강부(72)의 척으로 카세트(9)를 파지하고, 승강부(72)를 상승시킨다. 상승하는 승강부(72)는 통과구(20)를 통과하고, 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 사이를 통과한다. 또한, 카세트(9)를 물품 수납공간(10b) 내에 수납하고, 호이스트 본체(71)를 지지하는 슬라이드장치(70)를 원래의 위치로 이동시킨다.
이렇게 하여 카세트(9)의 수납을 완료한 후, 다시 이동기구(80ㆍ80)를 작동시켜서 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 이동적재위치로 이동시킨다[도 8(a) 참조]. 이 때 카세트(9)는 물품 수납공간(10b) 내에서 호이스트(7)의 승강부(72)에 파지되어서 공중에 매달려 있고, 이동적재위치에 있는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)는 카세트(9)의 낙하방지로서의 역할을 하고 있다. 또한, 이 때, 승강부(72)를 조금 하강시켜서 카세트(9)를 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상에 얹어놓도록 하여도 좋다(도 7참조).
또한, 반대로 천정 반송차(10)가 유지하고 있는 카세트(9)를 처리장치(4)의 지상 스테이션(41)으로 이동적재하는 경우에도 호이스트(7)를 이용하여 상기 흐름과 대략 동일하게 행한다.
이어서, 천정 반송차(10)에 탑재된 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 이용하여 카세트 (9)를 이동적재할 때의 흐름을 설명한다.
도 5(또는, 도 3)에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(10)가 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)[또는, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)]의 바로 측방에서 정지하면 기기상 컨트롤러(110)에서는 이번 이동적재에 사용하는 이동적재수단을 롤러 컨베이어(8ㆍ8)로 결정한다. 또한, 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 회전구동방향이 결정된다.
상기 정지한 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)와, 자동 창고(5)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)[또는, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)]는 각각 접근 대향하여 동일 높이로 일직선상에 나열되어 있다. 천정 반송차(10)의 기기상 컨트롤러(110)에서 이동적재수단이 선정된 후, 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 자동 창고(5)측[또는, 버퍼(45)측]의 스토퍼(89ㆍ89) 및 롤러 컨베이어(54ㆍ54)의 천정 반송차(10)측의 스토퍼(55ㆍ55)[또는, 롤러 컨베이어(46)의 천정 반송차(10)측의 스토퍼(49)]를 하강시킨다. 또한, 이 때, 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 자동 창고(5)의 반대측[또는, 롤러 컨베이어(46)의 반대측]의 스토퍼(89ㆍ89)에 관해서는 반송면으로부터 상승시킨 상태로 하여 스토퍼기능을 가지게 하여 둔다.
또한, 자동 창고(5)의 구동용 롤러 컨베이어(54)[또는, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)]와, 천정 반송차(10)의 구동용 롤러 컨베이어(8)를 구동하고, 카세트 (9)를 자동 창고(5)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)[또는, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어 (46)]로부터 송출함과 아울러 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)로 끌어들인다. 이렇게 하여 카세트(9)가 자동 창고(5)[또는, 버퍼(45)]로부터 천정 반송차 (10)로 이동적재되고, 카세트(9)가 천정 반송차(10)에 실어지면 자동 창고(5)측[또는, 버퍼(45)측]의 스토퍼(89ㆍ89)를 상승시켜서 카세트(9)의 낙하를 방지한다.
이렇게 하여 천정 반송차(10)는 카세트(9)의 수납을 완료한 후 목적의 처리장치(4)를 향해서 주행을 개시한다.
주행 중의 진동이 카세트(9)에 전달되는 것을 억제하기 위하여, 예컨대, 카세트(9)를 공중매달림으로 하고, 물품 수납공간(10b)의 전방과 후방의, 차체 본체 (10a) 내측면에 진퇴가능한 누름부재를 설치하고, 카세트(9)의 측면[반송차(10)의 진행방향에 대해서 전방측과 후방측의 측면]을 주행중에 누르도록 하여도 좋다. 누름부재의 접촉부에는 카세트(9)와의 접촉시의 충격을 약화시켜서 주행중의 진동이 흡수가능하도록 탄성체를 설치하는 것이 바람직하다. 또한, 롤러 컨베이어(8ㆍ8)의 상면에 상하방향 또는 천정 반송차(10)의 진행방향으로 진퇴가능한 탄성부재를 배치하여 탄성부재를 통해서 카세트(9)를 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상에 얹어놓도록 하여도 좋다.
또한, 반대로 천정 반송차(10)로부터 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)[또는, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)]으로 카세트(9)를 이동적재하는 경우도, 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)와, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)[또는, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)]를 통해서 상기 기재된 흐름과 대략 마찬가지로 행해진다.
이와 같이 천정 반송차(10)는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)에 의해 주행로(2) 측방의 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)와 카세트(9)를 주고받도록 구성되어 있고, 종래와 같이 호이스트를 탑재한 천정 반송차에 의해 주행로 하방의 물품 일시 보관장소와의 사이에서 물품을 주고받는 구성에 비해서 단시간에 카세트를 주고받을 수 있어 작업성이 향상된다.
이어서, 천정 반송차 시스템(1)에 있어서 천정 반송차(10)로 카세트(9)를 이동적재ㆍ반송하는 흐름에 관해서 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52) 상의 카세트 (9)는 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)와, 상부 스테이션(52)의 횡측에 정지한, 화물적재가 이루어지고 있지 않는 빈 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 사이에서 이동적재된다. 또한, 천정 반송차(10)에 의해서 다음 목적지의 처리장치(4)로 반송된다. 또는, 상부 스테이션(52)의 횡측에 정지한, 빈 천정 반송차 (10)를 통해서 그대로의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상을 좌우로 통과하고, 상부 스테이션(52)과 주행로(2)를 사이에 두고 대향하는 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46) 상으로 이동적재된다.
후자의 경우에는 자동 창고(5)로부터 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 순번대로 출고되어서 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)의 횡측에 정지한 1대의 빈 천정 반송차(10)를 통해서 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 일단 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ) 상에 1개씩 이동적재하도록 하여도 좋다.
이 때, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)와, 그 횡측에 정지한, 빈 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)와, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)가 평면에서 바라봐서 일직선상에 배치되어 있는 경우, 즉, 상부 스테이 션(52)과 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)가 주행로(2)를 사이에 두고 대칭위치에 배치되어 있는 경우는, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52) 상의 카세트(9)를 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)로부터, 빈 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어 (8ㆍ8) 상에 천정 반송차(10)를 이동적재시키는 일없이 그대로 통과시키면서 단숨에 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)까지 반송한다. 그러나, 이 롤러 컨베이어(46)의 상류측, 또는 하류측의 롤러 컨베이어(46)에 대해서는 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52) 상의 카세트(9)를 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어(54ㆍ54)로부터 빈 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)로 일단 이동적재한 후, 천정 반송차(10)를 조금 전후로 이동시켜서 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)로부터 롤러 컨베이어(46)의 상류측, 또는 하류측의 롤러 컨베이어(46)로 이동적재한다.
또한, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)과 대향하는 버퍼(45)의 횡측에 도착한 복수대의 빈 천정 반송차(10ㆍ10ㆍㆍㆍ)에 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ) 상의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 1개씩 이동적재되어서 목적의 처리장치(4)로 반송된다.
또한, 이 때 버퍼(5)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ) 상의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)는 선입ㆍ선출된다.
예컨대, 자동 창고(5)로부터 출고된 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 1대의 빈 천정 반송차(10)를 통해서 버퍼(45)로 임시로 놓을 때에 버퍼(45)의 하류측[천정 반송차(10)의 진행방향에 대한 하류측]의 롤러 컨베이어(46)로부터 순번대로 상류측으로 임시로 놓여져 간다. 또한, 이 임시로 놓은 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 버퍼 (45) 횡측에 도착한 복수대의 빈 천정 반송차(10ㆍ10ㆍㆍㆍ)에 이동적재할 때에는 제일 앞에 임시로 놓은 하류측의 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)부터 순번대로 이동적재되어 간다.
또는, 반대로, 자동 창고(5)로부터 출고된 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 1대의 빈 천정 반송차(10)를 통해서 버퍼(45)의 상류측의 롤러 컨베이어(46)로부터 순번대로 하류측으로 임시로 놓여져 간다. 또한, 상기 임시로 놓여진 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 버퍼(45) 횡측에 도착한 복수대의 빈 천정 반송차(10ㆍ10ㆍㆍㆍ)에 이동적재할 때에는 제일 앞에 임시로 놓은 상류측의 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)부터 순번대로 이동적재하여 가도록 하여도 좋다.
또한, 천정 반송차 시스템(1)을 통괄 관리하는 상위의 컨트롤러로, 자동 창고(5)로부터 출고된 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 버퍼(45)의 어느 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ)로부터 임시로 놓여져 있었는지, 그 순번을 관리하여 두고, 그 후, 상기 임시로 놓여진 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 버퍼(45) 횡측에 도착한 복수대의 빈 천정 반송차(10ㆍ10ㆍㆍㆍ)에 이동적재할 때에는 상위의 컨트롤러로부터의 지령에 기초하여 제일 앞에 임시로 놓여진 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)부터 순번대로 이동적재하여 가도록 하여도 좋다.
상기와 같이 처리장치(4)에서는 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ) 내의 웨이퍼가 일괄하여 처리되도록 되어 있고, 처리장치(4)로 한번에 처리할 수 있는 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍㆍㆍㆍ)의 최대 개수는 한정되어 있으므로, 처리장치(4)에 처리할 수 있는 최대 개수의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍㆍㆍㆍ)가 투입되어 있을 때에 카세트 (9)를 유지한 천정 반송차(10)가 도착하여도 처리장치(4)에는 그 이상 카세트(9)를 투입할 수 없으므로, 새로운 카세트(9)는 일단 처리장치(4)가 가까운 버퍼(45)로 이동적재된다.
상기 처리장치(4)로 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ) 내의 웨이퍼를 처리하는 시간은 비교적 길게 걸리고, 이 처리 동안에 카세트(9)를 유지한 천정 반송차(10)가 차차 도착하면, 새로운 카세트(9)는 일단 처리장치(4)가 가까운 버퍼(45)에 임시로 놓여진다.
또한, 처리장치(4)에서의 처리가 완료하면 이들 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 앞에 입고된 것부터 순번대로 출고구로부터 지상 스테이션(41)으로 출고되어서, 그 바로위의 주행로(2) 상에 정지한 천정 반송차(10)의 호이스트(7)에 의해서 이동적재된다.
이렇게 하여 이들 처리가 종료된 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 지상 스테이션(41)으로부터 1개씩 각 천정 반송차(10ㆍ10ㆍㆍㆍ)로 실어져서 다음의 처리공정의 처리장치(4)를 향하여 반송된다. 또한, 처리장치(4)에 도착한 별도의 빈 천정 반송차(10)에 의해서 처리장치(4)가 가까운 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ) 상에 일시 보관되어 있던 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ) 중, 처리장치(4)로 처리를 행할 예정인 새로운 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 1개씩 처리장치(4)의 지상 스테이션 (41)으로 이동적재된다.
이 때, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46) 상의 카세트(9)는 그 바로 횡측에 정지한 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상에 일단 이동적재되고, 상기 천정 반송차(10)를 이동적재처인 지상 스테이션(41)의 바로위에 이동시킨다. 또한, 카세트(9)는 호이스트(7)에 의해 유지되어 통과구(20)를 상하로 통과하면서 지상 스테이션(41)으로 이동적재된다.
단, 이동적재처인 지상 스테이션(41)의 바로위의 통과구(20)로부터 바라봐서 그 바로 횡측의 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)[평면에서 바라봐서 지상 스테이션 (41)과 일직선상에 배치되어 있는 롤러 컨베이어(46)] 상의 카세트(9)에 관해서는, 롤러 컨베이어(46)로부터 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상으로 이동적재되어 천정 반소차(10)를 이동시키는 일없이 그대로 정지시킨 채 호이스트(7)에 의해 하방의 지상 스테이션(41)으로 이동적재된다.
또한, 이 때도 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46ㆍ46ㆍㆍㆍ) 상의 새로운 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)는, 상기한 바와 같이, 선입ㆍ선출되어서 처리장치(4)의 지상 스테이션(41)으로 이동적재된다.
또한, 마찬가지로, 상기 새로운 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)도 지상 스테이션(41)으로부터 처리장치(4)로 투입되어서 일련의 처리가 행해진다.
이상과 같은 흐름에서 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 최후의 처리장치(4)로 처리를 종료하면 이들 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 먼저 입고된 것부터 순번대로 출고구로부터 지상 스테이션(41)으로 출고되어서 그 바로위의 주행로(2) 상에 정지한 천정 반송차(10)로 이동적재된다.
이렇게 하여 이들 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍㆍㆍㆍ)가 1개씩 천정 반송차 (10ㆍ10 ㆍㆍㆍ)로 이동적재되어서 자동 창고(5)를 향하여 반송된다. 또한, 천정 반송차(10)는 자동 창고(5)의 횡측에서 정지하여 카세트(9)가 천정 반송차(10)의 롤러 컨베이어(8ㆍ8) 상으로부터 자동 창고의 상부 스테이션(52)의 롤러 컨베이어 (54ㆍ54) 상으로 이동적재되고, 자동 창고(5) 내로 입고된다.
이상과 같이, 카세트(9)는 자동 창고(5)로부터 출고되어서 천정 반송차(10)에 의해 반송되면서 각 처리장치(4ㆍ4ㆍㆍㆍ)에서의 처리를 거쳐 다시 자동 창고 (5)로 입고된다.
또한, 상기 천정 반송차(10)는 카세트(9)를 상하방향으로 주고받는 호이스트 (7)와, 카세트(9)를 좌우방향으로 주고받는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 탑재하고 있어서 범용성의 향상이 도모되고 있다. 천정 반송차(10)는 제어수단인 기기상 컨트롤러(110)에 의해 처리장치(4)의 지상 스테이션(41)과의 사이의 카세트(9)의 주고받음에서는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 퇴피위치에 위치시켜서 호이스트(7)를 승강시킨다. 한편, 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52), 또는, 버퍼(45)의 롤러 컨베이어 (46)와의 사이의 카세트(9)의 주고받음에서는 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 이동적재위치에 위치시켜서 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 작동시키고 있다.
천정 반송차(10)와 주행로(2) 하방의 지상 스테이션(41) 사이의 카세트(9)의 주고받음에서 이동기구(80ㆍ80)에 의해 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 퇴피위치에 이동시키면 호이스트(7)를 통해서 승강하는 카세트(9)와 롤러 컨베이어(8ㆍ8)가 간섭하지 않게 되고, 콤팩트한 레이아웃으로 천정 반송차(10)에 호이스트(7)와 롤러 컨베이어 (8ㆍ8)를 배치할 수 있다.
또한, 이동기구(80ㆍ80)에 의해 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 이동적재위치에 이동 시킴으로써 물품 수납공간(10b) 내에서 호이스트(7)에 유지되는 카세트(9)의 낙하를 방지할 수도 있어 안전성이 향상된다.
이와 같은 구성으로 주행로(2) 상에는 호이스트(7)와 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 탑재한 천정 반송차(10)를 주행시키고 있지만, 주행로(2) 상에 호이스트(7)와 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 탑재한 천정 반송차(10)와, 호이스트(7)는 탑재하지 않고 롤러 컨베이어(8ㆍ8)만을 탑재한 천정 반송차를 함께 주행시켜도 좋다.
이하, 호이스트(7)와 롤러 컨베이어(8ㆍ8)를 탑재한 천정 반송차(10)를 제 1 반송차, 후자의 롤러 컨베이어(8ㆍ8)만을 탑재한 천정 반송차를 제 2 반송차라 칭한다. 제 2 반송차쪽이 제 1 반송차보다 값싸게 제작할 수 있으므로 천정 반송차 시스템(1) 내에 존재하는 제 1 반송차의 대수를 최소한 적게 하여 그만큼 제 2 반송차에서 보충하도록 구성하면, 천정 반송차 시스템(1)을 구축하는 비용을 억제할 수 있다.
이와 같이 제 1 반송차와 제 2 반송차를 함께 존재시키는 시스템에서는, 제 1 반송차로 자동 창고(5)의 상부 스테이션(52)과 처리장치(4)의 지상 스테이션(41) 사이, 처리장치(4)의 지상 스테이션(41)과 처리장치(4)의 지상 스테이션(41) 사이 및 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)와 처리장치(4)의 지상 스테이션(41) 사이에서 카세트(9)를 이동적재한다. 제 2 반송차로는 주로 자동 창고(5)와 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46) 사이 및 버퍼(45)의 롤러 컨베이어(46)와 버퍼(45)의 롤러 컨베이어 (46) 사이에서 카세트(9)를 반송한다.
상기와 같이 처리장치(4)에는 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)가 일괄적으로 투 입되어서 복수개 단위로 처리되도록 되어 있고, 처리를 종료한 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 지상 스테이션(41)으로부터 1개씩 제 1 반송차에 직접 싣는다. 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 복수대의 제 1 반송차에 의해 다음의 처리장치(4)로 반송하도록 구성하여도 좋다. 또는, 처리를 종료한 복수개의 카세트(9ㆍ9ㆍㆍㆍ)를 지상 스테이션(41)으로부터 1개씩, 1대의 제 1 반송차에 의해 상기 처리장치(4)의 제일 가까운 버퍼(45)로 일단 이동적재하고, 상기 버퍼(45)에 이동적재된 복수개의 카세트를 1개씩 제 2 반송차에 실어서 다음의 처리장치(4)로 반송하도록 구성하여도 좋다.
이상, 본 발명의 천정 반송차 시스템(1)의 구성이다.
또한, 청구항에 기재된 천정 반송차는 상기 실시예 중의, 카세트(9)를 레일 (24Lㆍ24R)의 상방에서 지지하는 마운트형 천정 반송차(10)에 한정하지 않고, 레일의 하방에서 물품을 매달아서 주행하는 매달림형 천정 반송차이여도 좋다.
매달림형 천정 반송차에서는 레일(24Lㆍ24R)의 하방에 물품 수납공간이 형성되고, 물품 수납공간의 하방에는 카세트(9)가 상하로 통과가능한 개구가 형성됨과 아울러, 천정 반송차의 진행방향과 직교하는 방향[카세트(9)를 이동적재하는 방향]의 측면에는 카세트(9)가 좌우로 통과가능한 개구가 형성된다. 물품 수납공간의 천정에는 호이스트가 배치됨과 아울러, 물품 수납공간의 전방과 후방에는 횡이동장치인 롤러 컨베이어가 배치된다. 롤러 컨베이어는 호이스트에 의한 카세트(9)의 승강을 방해하지 않도록 전후로 진퇴한다.
또한, 본 실시예에서는 처리장치(4)에서의 처리 동안, 빈 카세트(9)는 처리 장치(4)에서 보관되도록 되어 있지만 버퍼(45)에서 일시 보관하도록 하여도 좋다.
이상과 같이 구성한 본 발명에서는 다음과 같은 효과를 거둔다.
우선, 청구항2 및 청구항3에 기재된 발명에서는 천정 반송차는 반송수단에 의해, 주행로 측방의 반출입수단을 구비한 버퍼와 물품을 주고받도록 구성되어 있고, 종래와 같이 호이스트로 주행로 하방의 물품 일시 보관장소와의 사이에서 물품을 주고받는 구성에 비해서 단시간에 물품을 주고받을 수 있어 작업성이 향상된다.
또한, 청구항2에 기재된 발명에서는 천정 반송차는 반송수단에 의해 주행로 측방의 입출고 수단을 구비한 상부 스테이션과도 단시간에 물품을 주고받을 수 있어 작업성이 향상된다.
또한, 청구항3에 기재된 발명은 천정 반송차는 호이스트에 의해 주행로 하방의 지상 스테이션과도 물품을 주고받을 수 있어 범용성이 향상된다.
또한, 청구항4에 기재된 발명은 버퍼와 상부 스테이션 사이에 천정 반송차를 정지시킴으로써 천정 반송차를 통해서 버퍼와 상부 스테이션 사이에서 물품을 단시간에 주고받을 수 있다. 상기 버퍼와 상부 스테이션 사이에서의 물품의 주고받음에서는 천정 반송차는 물품을 중계할 뿐이다. 또한, 천정 반송차에 탑재한 물품을 버퍼 또는 상부 스테이션 중 어느 한쪽에 짐부리기를 함과 아울러 버퍼 또는 상부 스테이션 중 어느 하나의 다른쪽으로부터 새로운 물품을 실을 수 있고, 이 짐부리기와 짐싣기는 대략 동시에 행할 수 있어서 이동적재시간의 단축을 도모할 수 있다.

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 물품을 반송하는 천정 반송차(10)와, 천정 반송차(10)가 주행하는 주행로(2)를 구비한 천정 반송차 시스템에 있어서,
    천정 반송차(10)에 차체의 진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 물품을 반출입하는 반송수단(8)을 탑재하고,
    주행로(2) 측방의, 천정 반송차의 반송수단(8)에 대응한 높이위치에, 천정 반송차의 반송수단(8)과의 사이에서 물품을 주고받는 반출입수단(46)을 구비한 버퍼(45)를 배치하며,
    주행로(2) 측방의, 천정 반송차의 반송수단(8)에 대응한 높이위치에, 천정 반송차의 반송수단(8)과의 사이에서 물품을 주고받는 입출고수단(54)을 구비한 상부 스테이션(52)을 배치한 것을 특징으로 하는 천정 반송차 시스템.
  3. 물품을 반송하는 천정 반송차(10)와, 천정 반송차(10)가 주행하는 주행로(2)를 구비한 천정 반송차 시스템에 있어서,
    천정 반송차(10)에 차체의 진행방향에 대해서 직교하는 방향으로 물품을 반출입하는 반송수단(8)을 탑재하고,
    주행로(2) 측방의, 천정 반송차의 반송수단(8)에 대응한 높이위치에, 천정 반송차의 반송수단(8)과의 사이에서 물품을 주고받는 반출입수단(46)을 구비한 버퍼(45)를 배치하며,
    주행로(2) 하방에 지상 스테이션(41)을 배치하고, 천정 반송차(10)에, 지상 스테이션(41)과의 사이에서 물품을 상하방향으로 주고받는 호이스트(7)를 탑재한 것을 특징으로 하는 천정 반송차 시스템.
  4. 제2항에 있어서, 버퍼(45)와 상부 스테이션(52)을, 주행로(2)를 사이에 두고 서로 반대측에 배치한 것을 특징으로 하는 천정 반송차 시스템.
  5. 제2항에 있어서, 주행로(2) 하방에 지상 스테이션(41)을 배치하고, 천정 반송차(10)에, 지상 스테이션(41)과의 사이에서 물품을 상하방향으로 주고받는 호이스트(7)를 탑재한 것을 특징으로 하는 천정 반송차 시스템.
  6. 제4항에 있어서, 주행로(2) 하방에 지상 스테이션(41)을 배치하고, 천정 반송차(10)에, 지상 스테이션(41)과의 사이에서 물품을 상하방향으로 주고받는 호이스트(7)를 탑재한 것을 특징으로 하는 천정 반송차 시스템.
KR1020030072221A 2002-12-09 2003-10-16 천정 반송차 시스템 KR100678596B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2002-00356598 2002-12-09
JP2002356598A JP3991852B2 (ja) 2002-12-09 2002-12-09 天井搬送車システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040050704A KR20040050704A (ko) 2004-06-16
KR100678596B1 true KR100678596B1 (ko) 2007-02-05

Family

ID=32463415

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030072221A KR100678596B1 (ko) 2002-12-09 2003-10-16 천정 반송차 시스템

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20040109746A1 (ko)
JP (1) JP3991852B2 (ko)
KR (1) KR100678596B1 (ko)
CN (1) CN1506257A (ko)
TW (1) TW200409721A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101381645B1 (ko) 2012-07-24 2014-04-07 주식회사 선익시스템 전자 제어방식의 롤러를 구비한 기판이송장치

Families Citing this family (77)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1202325A1 (en) * 2000-10-25 2002-05-02 Semiconductor300 GmbH & Co KG Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier
CN100520706C (zh) 2002-06-19 2009-07-29 布鲁克斯自动技术公司 半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统
KR20100040746A (ko) 2002-10-11 2010-04-20 브룩스 오토메이션, 인크. 단일 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 수송 차량에 의한 하나 이상의 재료 저장 선반 레벨로의 접근
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
US7578650B2 (en) * 2004-07-29 2009-08-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Quick swap load port
JP4126559B2 (ja) * 2004-08-09 2008-07-30 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4123383B2 (ja) * 2004-08-12 2008-07-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
JP2006096427A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Murata Mach Ltd 物品保管設備
KR101048708B1 (ko) * 2004-12-29 2011-07-14 엘지디스플레이 주식회사 카세트 반송시스템의 마그네틱 스팟마크
JP4296601B2 (ja) * 2005-01-20 2009-07-15 村田機械株式会社 搬送台車システム
FI126245B (fi) * 2005-03-09 2016-08-31 Konecranes Finland Oy Menetelmä paletittoman tavarakollin sijoittamiseksi ja luovuttamiseksi varastohyllystä ja kollien logistiikan hallitsemiseksi sekä laitteisto menetelmän toteuttamiseksi
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4895079B2 (ja) * 2005-04-20 2012-03-14 村田機械株式会社 天井走行車システム
US7798759B2 (en) * 2005-05-16 2010-09-21 Muratec Automation Co., Ltd. Modular terminal for high-throughput AMHS
JP5035761B2 (ja) * 2005-07-08 2012-09-26 村田機械株式会社 ストッカ
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
TWI328854B (en) * 2005-09-14 2010-08-11 Applied Materials Inc Methods and apparatus for a transfer station
JP4636379B2 (ja) * 2005-09-30 2011-02-23 ムラテックオートメーション株式会社 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置
EP1945541B1 (en) * 2005-11-07 2013-04-10 Brooks Automation, Inc. Transport system
JP4513019B2 (ja) * 2005-12-09 2010-07-28 村田機械株式会社 搬送システム
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
KR100743194B1 (ko) * 2006-03-22 2007-07-27 삼성전자주식회사 이송시스템
KR101340786B1 (ko) 2006-08-18 2013-12-11 엘지디스플레이 주식회사 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치
KR20140069354A (ko) * 2006-08-18 2014-06-09 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템
JP5041207B2 (ja) * 2006-11-14 2012-10-03 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4849331B2 (ja) * 2006-11-14 2012-01-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4217918B2 (ja) * 2006-11-28 2009-02-04 村田機械株式会社 移動体システム
JP4378656B2 (ja) 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4378655B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP4389181B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-24 株式会社ダイフク 物品処理設備
US9033638B2 (en) * 2007-04-17 2015-05-19 International Business Machines Corporation OHT accessible high density stocker and method
DE102007035839B4 (de) * 2007-07-31 2017-06-22 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen
KR100895450B1 (ko) 2007-11-22 2009-04-30 주식회사 신성에프에이 카세트 처리 시스템
KR100920168B1 (ko) 2007-11-22 2009-10-06 주식회사 신성에프에이 카세트 처리 시스템
JP5163866B2 (ja) 2007-12-10 2013-03-13 村田機械株式会社 天井バッファとその移設方法
JP5228504B2 (ja) * 2008-01-24 2013-07-03 村田機械株式会社 保管庫及び入出庫方法
JP5234328B2 (ja) * 2008-04-11 2013-07-10 株式会社ダイフク 物品収納設備
US8055373B2 (en) * 2008-09-19 2011-11-08 Inotera Memories, Inc. Automatic wafer storage system and a method for controlling the system
DE102008059711A1 (de) * 2008-11-29 2010-06-10 Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Umsetzen von Gegenständen sowie Förderanlagen mit einer solchen Vorrichtung
US9048274B2 (en) * 2008-12-08 2015-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Portable stocker and method of using same
JP4807424B2 (ja) * 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
JP5212200B2 (ja) * 2009-03-17 2013-06-19 村田機械株式会社 天井搬送システム
EP2433299B1 (en) * 2009-05-18 2022-10-26 Brooks Automation US, LLC Substrate container storage system
US8882433B2 (en) * 2009-05-18 2014-11-11 Brooks Automation, Inc. Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems
JP5182598B2 (ja) 2009-06-02 2013-04-17 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムと、そこでの物品の受け渡し方法
JP5463758B2 (ja) * 2009-06-26 2014-04-09 村田機械株式会社 保管庫
JP4840478B2 (ja) * 2009-06-29 2011-12-21 株式会社ダイフク 給電設備
JP5370775B2 (ja) * 2010-02-01 2013-12-18 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP2011173478A (ja) * 2010-02-24 2011-09-08 Muratec Automation Co Ltd 搬送車システム
JP4973747B2 (ja) * 2010-02-24 2012-07-11 ムラテックオートメーション株式会社 搬送車システム
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5765549B2 (ja) * 2010-10-04 2015-08-19 株式会社ダイフク 物品搬送装置
CN103201198B (zh) * 2010-11-04 2015-03-11 村田机械株式会社 搬运系统以及搬运方法
JP5316907B2 (ja) * 2011-03-17 2013-10-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US9190304B2 (en) * 2011-05-19 2015-11-17 Brooks Automation, Inc. Dynamic storage and transfer system integrated with autonomous guided/roving vehicle
JP5674041B2 (ja) * 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US9422121B2 (en) * 2011-09-30 2016-08-23 Ats Automation Tooling Systems Inc. System for providing vacuum to a moving element
JP5880693B2 (ja) 2012-04-05 2016-03-09 村田機械株式会社 搬送システム
CN102826316B (zh) * 2012-08-31 2015-06-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板的仓储系统以及玻璃基板仓储方法
CN102897538B (zh) * 2012-09-18 2016-12-21 上海集成电路研发中心有限公司 自动化物料传输系统及其方法
US9356822B2 (en) * 2012-10-30 2016-05-31 Kla-Tencor Corporation Automated interface apparatus and method for use in semiconductor wafer handling systems
PL2754357T4 (pl) * 2013-01-09 2019-04-30 Hauni Maschinenbau Gmbh Sposób sterowanego zapotrzebowaniem dostarczania do i odprowadzania z co najmniej dwóch stanowisk produkcyjnych w przemyśle przetwórstwa tytoniu pełnych i/lub pustych jednostek transportowych
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
JP6149805B2 (ja) 2014-06-05 2017-06-21 株式会社ダイフク 搬送装置
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
US11239102B2 (en) * 2018-03-22 2022-02-01 Murata Machinery, Ltd. Stocker system
JP6879258B2 (ja) * 2018-04-03 2021-06-02 株式会社ダイフク 物品搬送装置
CN109775293B (zh) * 2019-01-30 2021-03-16 华经信息技术(上海)有限公司 针对空中搬运系统的搬运控制方法
CN109733825A (zh) * 2019-02-28 2019-05-10 东莞职业技术学院 一种空中agv片料输送方法及系统
JP7378895B2 (ja) * 2019-11-20 2023-11-14 株式会社ディスコ 搬送車
CN111573092B (zh) * 2020-04-02 2022-01-14 国网浙江省电力有限公司湖州供电公司 一种可升降式电缆架
KR20220060028A (ko) * 2020-11-02 2022-05-11 삼성디스플레이 주식회사 적재부 및 그것을 포함하는 윈도우 제조 시스템
US11912512B2 (en) 2021-05-13 2024-02-27 HighRes Biosolutions, Inc. Overhead labware transport system
WO2024219029A1 (ja) * 2023-04-18 2024-10-24 村田機械株式会社 天井搬送システム

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5020752B1 (ko) * 1971-06-29 1975-07-17
SU685569A1 (ru) * 1974-03-06 1979-09-15 Ленинградский Государственный Проектный Институт Министерства Промышленнсти Средств Связи Устройство дл загрузки и разгрузки стеллажей склада штучными грузами
US5328316A (en) * 1992-08-04 1994-07-12 Hoffmann Christopher J Automatic storage and retrieval system having an extendible bin extraction mechanism with pop-up tabs
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
TW348162B (en) * 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
US6540466B2 (en) * 1996-12-11 2003-04-01 Applied Materials, Inc. Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers
US6533101B2 (en) * 1998-06-24 2003-03-18 Asyst Technologies, Inc. Integrated transport carrier and conveyor system
US6481558B1 (en) * 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
US6089811A (en) * 1998-12-25 2000-07-18 Fujitsu Limited Production line workflow and parts transport arrangement
DE19900804C2 (de) * 1999-01-12 2000-10-19 Siemens Ag Fördersystem
US6450318B1 (en) * 2000-06-16 2002-09-17 Tec Engineering Corporation Overhead monorail system
US6530735B1 (en) * 2000-06-22 2003-03-11 Amkor Technology, Inc. Gripper assembly
JP4048409B2 (ja) * 2001-10-22 2008-02-20 株式会社ダイフク 搬送設備
US6726429B2 (en) * 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101381645B1 (ko) 2012-07-24 2014-04-07 주식회사 선익시스템 전자 제어방식의 롤러를 구비한 기판이송장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040050704A (ko) 2004-06-16
JP3991852B2 (ja) 2007-10-17
JP2004189018A (ja) 2004-07-08
TW200409721A (en) 2004-06-16
CN1506257A (zh) 2004-06-23
US20040109746A1 (en) 2004-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100678596B1 (ko) 천정 반송차 시스템
KR100683497B1 (ko) 무인반송차 시스템
KR101943928B1 (ko) 물품 반송 설비
JP5674041B2 (ja) 物品搬送設備
TWI462862B (zh) 物品搬送設備
KR101664238B1 (ko) 반송 시스템 및 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법
KR101836963B1 (ko) 물품 반송 설비
JP4378655B2 (ja) 物品処理設備
JP2004189361A (ja) 天井搬送車及びそのシステム
KR101398929B1 (ko) 반송차 시스템
KR101504145B1 (ko) 반송시스템 및 그 대차장치
JP2004010250A (ja) 無人搬送車システム
JP2004014749A (ja) 無人搬送車システム
KR101419354B1 (ko) 반송 시스템 및 그 대차승강장치
JPH09315520A (ja) 物品保管棚用の物品搬送装置
JP2004010247A (ja) 天井搬送車用走行路
JP2004014751A (ja) 走行路
JP2004014750A (ja) 無人搬送車
JPH06179506A (ja) 搬送及び床置き保管装置
JPH05213442A (ja) パレット積み被搬送物の積込み装置
JPH09315519A (ja) 物品保管設備
JP2004010248A (ja) 走行路
JPH1136796A (ja) ワークのハンドリング装置及び保管・搬送設備
JP2004189360A (ja) 天井搬送車システム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121210

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131204

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150116

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee