KR100882376B1 - 수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템 - Google Patents

수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템 Download PDF

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브라이언 제이. 도허티
토마스 알. 마리아노
로버트 피. 슐리반
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브룩스 오토메이션, 인크.
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Abstract

본 발명은 오버헤드 호이스트 운송 차량이 시스템에 포함된 하나 이상의 재공품(Work-In Process : WIP) 저장 유닛들에 직접 WIP 부품들을 적재하거나 하나 이상의 재공품 저장 유닛으로부터 직접 WIP 부품들을 하역하게 하는 높은 효율의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)에 관한 것이다. 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)은 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템 및 복수의 저장소를 갖는 하나 이상의 수직형 회전저장선반 스토커를 포함한다. 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템은 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성하는 현수식 트랙을 따라서 이동하는 오버헤드 호이스트 운송 차량을 포함한다. 미리정해진 루트는 오버헤드 운송 차량이 복수의 회전저장선반 저장소 중 하나로부터 직접 하나 이상의 WIP 부품들을 입수하도록 하는 수직형 회전저장선반 스토커 위를 통과한다. 선택된 회전저장선반 저장소는 현수식 트랙의 아래에서 수직형 회전저장선반 스토커의 상부에 위치한다. 다음, 오버헤드 호이스트 운송 차량은 선택된 회전저장선반 저장소 위의 위치로 현수식 트랙을 따라서 이동된다. 이어, 오버헤드 호이스트는 선택된 저장소를 향해 수직형 회전저장선반 스토커의 길이방향 축선에 평행하게 하향 이동된다. 마지막으로, 오버헤드 호이스트는 회전저장선반 저장소로부터 직접 원하는 WIP 로트를 들어 올리거나, 또는 하나 이상의 WIP 로트를 저장소에 위치시키도록 작동된다.

Description

수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템 {AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS}
본 출원은 수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템이라는 제목의 2002년 6월 19일에 제출된 미국 가출원 60/389,993호, 및 이동식 선반과 병진이동식 호이스트 플랫폼을 사용하는 오프셋 제로 풋프린트 저장(ZFS)이라는 제목의 2002년 10월 11일에 제출된 미국 가출원 60/417,993호로부터 우선권을 주장합니다.
본 발명은 일반적으로 자동식 재료 처리 시스템, 더 상세하게는 전체 재료 처리 시스템의 효율을 증가시키기 위해 오버헤드 호이스트가 재공품(work-in-process : WIP) 저장 장치로부터 직접 WIP 부품들을 입수(access)하도록 하는 자동식 재료 처리 시스템에 관한 것이다.
제품 제조 환경에서 여러 작업대(workstation) 및 공정 기계들, 또는 여러 작업대 또는 공정기계들 사이에서 WIP 부품들을 저장하고 운송하기 위해서 WIP 저장 유닛들과 오버헤드 호이스트(overhead hoist)를 이용하는 자동식 재료 처리 시스템(automated material handling system; AMHS)이 공지되어 있다. 예를 들면, 그러한 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)은 일반적으로 집적회로(integrated circuit; IC) 칩(chip)을 제조하는데 이용된다. 이러한 IC 칩을 제조하는 일반적인 공정은 증착, 세정, 이온주입, 에칭(etching) 및 패시베이션(passivation) 단계들을 포함하는 다양한 단계들을 포함한다. 또한, IC 칩 제조공정에서 각각의 상기 단계들은 일반적으로 화학적 기상 증착 챔버, 이온 주입 챔버, 또는 에칭기와 같은 다양한 공정 기계에 의해 수행된다. 따라서, WIP 부품들, 예를 들면 반도체 웨이퍼들은 일반적으로 IC 칩들을 제조하는데 필요한 다양한 공정 단계들을 수행하도록 다양한 작업대 및 공정 기계들, 또는 여러 작업대 또는 공정 기계들 사이에서 여러 번 운송된다.
IC 칩들을 제조하는 종래의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)은 반도체 웨이퍼들을 저장하기 위한 복수의 WIP 저장 유닛(또한 "스토커(stocker)"로 공지됨), 및 IC 칩 제조 바닥 상의 다양한 작업대와 공정 기계들 사이에서 웨이퍼들을 운송하기 위한 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운송 차량(vehicle)들을 포함한다. WIP 스토커에 저장된 반도체 웨이퍼들은 일반적으로 현수식 트랙(suspended track) 상에서 이동하도록 구성된 오버헤드 운송 차량에 연속적으로 전달되는, 전면 개방 일체형 포드(front opening unified pod; FOUP)와 같은 카세트 포드들로 적재(loading)된다. 종래의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)에서는, 스토커에 전면 개방 일체형 포드(FOUP)들을 적재하거나 스토커로부터 전면 개방 일체형 포드(FOUP)들을 하역하기 위해서, 각각의 스토커에는 일반적으로 (3개 이상의 작동축을 제공할 수 있는) 내부 로봇팔과 함께 작동하는 복수의 능동형 입력 포트(active input port) 또는 출력 포트(output port)가 제공된다. 전면 개방 일체형 포드(FOUP)는 오버헤드 호이스트 차량에 의해 입력 포트로부터 선택되거나 출력 포트에 배치된다.
종래의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)의 한가지 단점은 전체 시스템의 효율이 WIP 스토커의 능동형 입력 포드 또는 출력 포트에서 로봇팔이 복수의 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 입수하는데 요구되는 시간에 의해 제한된다는 것이다. 일반적으로 반도체 웨이퍼들의 정밀한 특성 때문에, 로봇팔의 가속에 엄격한 제한들이 부과된다. 이를 위해, 스토커의 복수의 입력 포트에 또는 출력 포트로부터 복수의 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 이동시키기 위해 통상적으로 최소량의 시간이 요구된다. 이러한 최소 이동 시간은 일반적으로 요구되는 IC 칩 제조 레벨을 만족시키는데 필요한 스토커의 수를 의미하는 스토커 처리량 및 이에 따른 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)의 전체 비용을 결정한다. 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)의 재료 처리 효율은 각각의 스토커 상에 능동형 입력 포트 또는 출력 포트의 수를 증가시키고, 오버헤드 운송 차량이 다중 입력 포트 또는 출력 포트를 동시에 입수할 수 있게 함으로써 개선될 수 있지만, 추가의 입력 포트 또는 출력 포트를 제공하는 것은 스토커 비용을 분명하게 증가시킬 수 있다.
또한, 스토커 내의 3 개 이상의 축들의 내부 로봇을, 각각이 1 개 내지 3 개의 작동축을 갖는 여러 개의 입력 포트 또는 출력 포트와 조합한다는 것은, 일반적인 스토커가 5 개 내지 16 개의 작동축을 가질 수 있다는 것을 의미한다. 이는 재료를 처리하는데 있어 매우 복잡하고, 낮은 신뢰도를 가지며, 고비용이 드는 방식이다.
따라서, 종래의 자동식 재료 처리 시스템들의 단점들을 극복하면서 증가된 재료 처리 효율을 제공하는 자동식 재료 처리 시스템이 필요하다.
본 발명에 의하면, 오버헤드 호이스트가 시스템에 포함된 하나 이상의 WIP 저장 유닛들에 직접 WIP 부품들을 적재하거나 유닛들로부터 직접 WIP 부품들을 하역하게 하는 고효율의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)이 제공된다.
일 실시예에서, 개선된 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)은 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템 및 복수의 저장소(storage bin)를 포함하는 하나 이상의 수직형 회전저장선반 WIP 저장 유닛(vertical carousel work-in-process storage unit)("스토커(stocker)")을 포함한다. 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템은 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성하는 현수식 트랙(suspended track)을 따라서 이동하도록 구성된 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운송 차량을 포함한다. 미리정해진 루트는 수직형 회전저장선반 스토커(vertical carousel stocker) 위를 통과하며, 이는 오버헤드 호이스트가 복수의 회전저장선반 저장소(carousel storage bin) 중 선택된 하나로부터 직접 하나 이상의 WIP 부품들을 입수하도록 한다. 이러한 제1 실시예에서, 원하는 WIP 로트(lot)를 포함하는 선택된 회전저장선반 저장소는 현수식 트랙의 거의 바로 밑에 수직형 회전저장선반 스토커 상부에 위치한다. 다음, 오버헤드 호이스트 운송 차량은 선택된 회전저장선반 저장소에 실질적으로 바로 위의 위치로 현수식 트랙을 따라서 이동된다. 오버헤드 호이스트는 선택된 저장소를 향해 하향 이동한다. 마지막으로, 오버헤드 호이스트는 회전저장선반 저장소로부터 원하는 WIP 로트를 직접 들어 올리거나, 또는 하나 이상의 WIP 로트를 회전저장선반 저장소에 위치시킨다.
제2 실시예에서, 현수식 트랙에 의해 형성된 미리정해진 루트는 수직형 회전저장선반 WIP 스토커에 평행하게 통과하며, 이는 오버헤드 호이스트가 복수의 회전저장선반 저장소 중 하나로부터 직접 하나 이상의 WIP 부품들을 입수하도록 한다. 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)은 트랙에 대해 원하는 WIP 로트(들)를 포함하는 선택된 회전저장선반 저장소를 적당하게 위치시키도록 수직형 회전저장선반 스토커와 함께 작동하는 반출 장치(extraction device)를 또한 포함한다. 예를 들면, 반출 장치는 트랙에 인접한 제1 위치로부터 트랙의 거의 바로 밑의 제2 위치까지 단일 서보-제어축을 따라서, 선택된 회전저장선반 저장소(예, 이동식 선반)를 이동시키도록 구성될 수 있다. 제2 실시예에서, 오버헤드 운송 차량은 트랙을 따라서 제2 위치의 거의 바로 위의 위치까지 이동된다. 다음, 오버헤드 호이스트는 제2 위치를 향해 하향 이동한다. 선택적인 실시예에서, 선택된 회전저장선반 저장소는 트랙 옆에 위치한 선반을 포함하고, 오버헤드 호이스트는 하나 이상의 WIP 로트를 오버헤드 운송 차량의 측면의 선반에 장착하기 위해 병진이동식 스테이지에 장착된다. 마지막으로, 오버헤드 호이스트는 선택된 저장소로부터 직접 원하는 WIP 로트를 들어 올리거나, 또는 하나 이상의 WIP 로트를 선택된 저장소에 위치시키도록 작동된다.
오버헤드 호이스트가 각각의 저장소 위의 위치로부터 복수의 회전저장선반 저장소에 또는 회전저장선반 저장소로부터 직접 WIP 부품들을 적재하고 제거하도록 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)을 구성함으로써, 보다 효율적인 자동식 재료 처리 시스템(AMHS) 작동이 달성될 수 있다.
본 발명의 다른 특징들, 기능들, 및 태양들은 다음 본 발명의 실시예들로부터 명백할 것이다.
본 발명은 다음 도면들과 함께 실시예를 참조하여 더 쉽게 이해될 수 있다.
도 1 은 종래의 자동식 재료 처리 시스템의 사시도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 자동식 재료 처리 시스템의 제1 실시예의 블록선도이다.
도 3 은 도 2 의 자동식 재료 처리 시스템의 제2 실시예의 블록선도이다.
도 4 는 도 2 의 지동화 재료 처리 시스템의 제3 실시예의 블록선도이다.
도 5a-5b 는 본 발명에 따른 고정된 저장 위치들에 접근하는 병진이동식 호이스트 차량의 블록선도이다.
도 6 은 컨베이어 상의 재료를 입수하는 도 5a-5b 의 병진이동식 호이스트 차량의 블록선도이다.
도 7 은 도 2 의 자동식 재료 처리 시스템을 작동시키는 방법의 흐름도이다.
수직형 회전저장선반(vertical carousel) 및 오버헤드 호이스트(overhead hoist)의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템이라는 제목의 2002년 6월 19일에 제출된 미국 가출원 제60/389,993호 및 이동식(moving) 선반 또는 병진이동식(translating) 호이스트 플랫폼(hoist platform)을 사용한 오프셋 제로 풋프린트 저장기(ZFS)라는 제목의 2002년 10월 11일에 제출된 미국 가출원 제60/417,993호는 본 발명에 참조된다.
개선된 효율을 가지면서 재공품(work-in-process; WIP) 저장 유닛에 WIP 부품들을 적재하거나 재공품(WIP) 저장 유닛으로부터 WIP 부품들을 하역할 수 있는 자동식 재료 처리 시스템(automated material handling system; AMHS)이 개시되었다. 현재 개시된 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)은 각각의 저장소(storage bin) 위에 위치한 오버헤드 호이스트에 의해서 수직형 회전저장선반 WIP 저장 유닛에 복수의 저장소를 상부-적재 또는 하역(top-loading or unloading)하게 함으로써 개선된 재료 처리 효율을 달성한다.
도 1 은 제품 제조 환경, 예를 들면 집적 회로(IC) 칩들을 제조하는 청정 환경에 여러 작업대 또는 처리 기계들 사이에서 재공품(WIP) 부품들을 자동적으로 저장하고 운송하는데 이용될 수 있는 종래의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(100)이 도시된다. 도 1 에 도시된 것처럼, 종래의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(100)은 재공품(WIP) 저장 유닛("재공품 스토커(WIP stocker)")(102) 및 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(overhead hoist transfer subsystem; 104)을 포함한다. 재공품(WIP) 스토커(102)는 입력 포트(111) 및 출력 포트(112)를 포함하고, 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(104)은 현수식 트랙(suspended track; 108) 및 이러한 현수식 트랙(108) 상에서 이동하도록 구성된 복수의 오버헤드 호이스트 운송 차량(overhead hoist transfer vehicle; 105-106)을 포함한다. 일반적인 작동 모드에서, WIP 부품들은 전면 개방 일체형 포드(FOUP)와 같은 카세트 포드(110) 내에서 운송된다. 제1 오버헤드 운송 차량(105)은 현수식 트랙(108)을 따라서 이동하고 입력 포트(111)로 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(110)를 하역하거나 또는 재공품 스토커(102)의 출력 포트(112)로부터 또 다른 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 적재하기 적당한 위치에서 정지한다. 또한, 제2 오버헤드 운송 차량(106)은 제1 오버헤드 운송 차량(105)이 전면 개방 일체형 포드(FOUP)들의 하역 또는 적재를 완료하고 물러날 때까지 현수식 트랙(108) 상에서 대기한다.
종래의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(100)에서, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)들은 오버헤드 호이스트로부터 입력 포트(111)로 하역되고, 출력 포트(112)로부터 오버헤드 호이스트로 적재되거나, 그렇지 않으면 3개 이상의 작동축까지 제공할 수 있는 로봇팔(107)에 의해 재공품 스토커(102) 안으로부터 입수된다. 또한, 재공품 스토커(102)로부터 전면 개방 일체형 포드(FOUP)들을 입수하는데 요구되는 최소 시간량은 일반적으로 요구되는 제조 레벨을 만족하는데 필요한 재공품 스토커의 수를 의미하는 스토커 처리량을 결정한다. 따라서, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)들을 입수하기 위한 다중축의 로봇팔(107)의 복잡한 작동은 최소 이동 시간을 증가시킬 수 있어서, 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(100)에 필요한 재공품 스토커의 수와 재료 처리 시스템의 전체 비용 모두를 증가시킬 수 있다.
도 2 는 본 발명에 따른 자동식 재료 처리 시스템(automated material handling system; AMHS)(200)의 예시적인 실시예이다. 예시적인 실시예에서, 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(200)은 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(overhead hoist transport subsystem; 204), 및 회전저장선반 저장소(carousel storage bin; 203)와 같은 복수의 저장소(storage bin)를 포함하는 하나 이상의 수직형 회전저장선반 저장 유닛(vertical carousel storage unit)("수직형 회전저장선반 스토커(vertical carousel stocker)")(202)을 포함한다. 수직형 회전저장선반 스토커(202)는 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(204)의 오버헤드 호이스트가 복수의 회전저장선반 저장소(203) 중 선택된 하나로부터 직접 재공품(work-in-process; WIP) 부품들을 입수하도록 구성된다.
종래의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(100)과 마찬가지로(도 1 참조), 도 2의 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(200)은 200mm 또는 300mm FAB 플랜트와 같은 IC 칩을 제조하는 청정 환경 또는 다른 적당한 제품 제조 환경에서 이용될 수 있다. 도 2 에 도시된 것처럼, IC 칩 제조환경은 제1 바닥(220) 및 제2 바닥(226), 및 천장(214)을 포함한다. 제1 바닥(220)은 일반적으로 강화 콘크리트로 만들어진 워플 바닥판(waffle slab)을 포함하고, 제2 바닥(226)은 워플 바닥판(220) 위에 위치한 상승된 바닥(raised floor)을 포함한다. 수직형 회전저장선반 스토커(202)는 워플 바닥판(220) 상에 위치한다. 또한 IC 칩들을 제조하는데 다양한 공정 단계들을 수행하도록 구성된 작업대 및 공정 기계들(도시되지 않음) 중 어느 하나 이상은 상승된 바닥(226) 상에 위치하는데, 일반적으로 전기적 비도전성 재료로 커버링되고 특정 적재 및 진동 요구 조건들을 충족하도록 설계된다. 예를 들면, 상승된 바닥(226)은 워플 바닥판(220) 위로 거리(228)(대략 0.6m), 그리고 천장(214) 아래로 거리(224)(4.15m와 같거나 그 이상)에 위치할 수 있다.
현재 개시된 실시예에서, 수직형 회전저장선반 스토커(202)는 스토커 하우징(252), 및 제1 및 제2 도르래(250-251) 및 스토커 하우징(252) 내에 배치된 벨트(254)를 포함한다. 도 2 에 도시된 것처럼, 복수의 회전저장선반 저장소(예, 회전저장선반 저장소(203))가 벨트(254)를 따라 여러 이격 위치들에서 벨트(254)에 결합되고, 벨트(254)는 제1 및 제2 도르래(250-251) 사이에서 고리로 두르게 되어, 도르래(250-251) 중 하나를 구동시킴으로써 복수의 회전저장선반 저장소가 벨트 경로를 따라서 회전가능하게 위치될 수 있다. 예를 들면, 수직형 회전저장선반 스토커(202)는 높이(218)(대략 3.85m)를 가질 수 있다. 따라서, 수직형 회전저장선반 스토커(202)의 상부는 상승된 바닥(226) 위로 거리(216)(대략 3.25m)에 있을 수 있다.
전술한 것처럼, 수직형 회전저장선반 스토커(202)는 오버헤드 호이스트가 복수의 회전저장선반 저장소 중 하나로부터 직접 WIP 부품들, 예를 들면 반도체 웨이퍼들을 입수하도록 구성된다. 예시적인 실시예에서, 천장(214) 근처의 스토커 하우징(252) 부분은 선택된 회전저장선반 저장소를 상부-적재 또는 하역하도록 적어도 부분적으로 개방된다. 또한, 각각의 회전저장선반 저장소(203)는 고정식 선반을 포함하고, 반도체 웨이퍼들은 선반 상에 위치한 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(210)와 같은 카세트 포드들로 적재된다. 예를 들면, 각각의 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(210)는 하나 이상의 반도체 웨이퍼 로트(semiconductor wafer lot)를 유지할 수 있어서, 오버헤드 호이스트가 단일 회전저장선반 저장소의 다중 웨이퍼 로트를 동시에 입수하도록 한다.
오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(204)은 현수식 트랙(208), 및 이러한 현수식 트랙(208) 상에서 이동하도록 구성되는 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운송 차량(205)을 포함한다. 현수식 트랙(208)은 수직형 회전저장선반 스토커(202)를 통과하는 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성해서, 오버헤드 운송 차량(205)이 수직형 회전저장선반 스토커(202)의 상부에 대략적으로 위치한 복수의 회전저장선반 저장소 중 하나로부터 직접 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 입수하도록 한다. 예를 들면, 오버헤드 운송 차량(205)은 천장(214)으로부터 거리(222)(대략 0.9m)를 연장할 수 있다.
예시적인 작동 모드에서, 선택된 회전저장선반 저장소, 예를 들면 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(210)를 포함하는 회전저장선반 저장소(203)는 현수식 트랙(208) 밑에 수직형 회전저장선반 스토커(202)의 거의 상부에 위치한다. 따라서, 오버헤드 운송 차량은 회전저장선반 저장소(203)에 거의 바로 위의 위치까지 현수식 트랙(208)을 따라서 이동된다. 다음, 오버헤드 호이스트는 오버헤드 운송 차량(205)으로부터 스토커 하우징(252)의 개방부를 통해 회전저장선반 저장소(203)를 향해 하강한다. 예를 들면, 오버헤드 호이스트는 수직형 회전저장선반 스토커(202)의 길이방향 축선(L1)에 평행한 방향으로 하강할 수 있다. 이어, 오버헤드 호이스트는 IC 칩 제조용 상승된 바닥 상의 작업대 또는 공정 기계로의 다음 운송을 위해 회전저장선반 저장소(203)로부터 직접 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(210)를 들어 올리도록 작동될 수 있다. 오버헤드 호이스트는 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 회전저장선반 저장소(203)에 위치시키도록 선택적으로 작동될 수 있다.
도 3 은 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(200)(도 2 참조)의 선택적인 실시예(300)를 도시한다. 도 3 에 도시된 것처럼, 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(300)은 오버헤드 호이스트 운송 시스템(304), 및 슬라이드-장착식 저장소(332)와 같은 복수의 저장소를 포함하는 하나 이상의 수직형 회전저장선반 스토커(302)를 포함한다. 수직형 회전저장선반 스토커(202)와 마찬가지로, 수직형 회전저장선반 스토커(302)는 오버헤드 호이스트 운송 시스템(304)의 오버헤드 호이스트가 복수의 회전저장선반 저장소 중 선택된 하나로부터 직접 WIP 부품들, 예를 들면 반도체 웨이퍼들을 입수하도록 구성된다.
특히, 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(300)은 천장(314), 워플 바닥판(320), 및 이 워플 바닥판(320) 위에 위치한 상승된 바닥(326)을 포함하는 IC 칩 제조환경에 이용될 수 있다. 도 3 에 도시된 것처럼, 수직형 회전저장선반 스토커(302)는 워플 바닥판(320) 상에 위치한다. 예를 들면, 상승된 바닥(326)은 워플 바닥판(320) 위로 거리(328)(대략 0.6m) 및 천장(314) 아래로 거리(대략 5.4m)에 위치할 수 있다. 또한, 수직형 회전저장선반 스토커(302)는 스토커 하우징(352), 및 제1 및 제2 도르래들(350-351) 및 스토커 하우징(352)내에 배치된 벨트(354)를 포함한다. 복수의 회전저장선반 저장소(예, 슬라이드-장착식 저장소(332))는 벨트를 따라서 여러 이격된 위치에서 벨트(354)에 연결될 수 있고, 벨트(354)는 도르래들(350-351) 중 하나를 구동함으로써 벨트 경로를 따라서 복수의 저장소가 회전하여 위치할 수 있도록 제1 및 제2 도르래들(350-351) 사이에서 고리를 만든다. 예를 들면, 수직형 회전저장선반 스토커(302)는 높이(318)(대략 6m)를 가질 수 있다.
전술한 것처럼, 수직형 회전저장선반 스토커(302)는 오버헤드 호이스트가 복수의 회전저장선반 저장소 중 하나로부터 직접 반도체 웨이퍼들을 입수하도록 구성된다. 예시적인 실시예에서, 스토커 하우징(352)의 하나 이상의 측면은, 선택된 회전저장선반 저장소가 스토커 하우징 안으로부터 반출되고 오버헤드 호이스트에 의해 선택된 저장소를 연속적인 상부-적재 또는 하역하도록 적어도 부분적으로 개방된다. 특히, 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(300)은 수직형 회전저장선반 스토커(302) 안으로부터 반도체 웨이퍼들을 반출하고, 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(304)에 포함된 현수식 트랙(308)에 대하여 재료를 적당하게 위치시키도록 작동하는 하나 이상의 반출 장치(extraction device; 330)를 또한 포함한다. 각각의 저장소(332)는 이동식 선반 및 고정식 선반 중 하나를 포함할 수 있다. 또한, 반도체 웨이퍼들은 선반(332) 상에 위치한 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(310)와 같은 카세트 포드들로 적재된다.
오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(304)은 현수식 트랙(308) 및 트랙(308) 상에서 이동하도록 구성된 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운송 차량(305)을 포함한다. 트랙(308)은 수직형 회전저장선반 스토커(302)에 평행하게 통과하는 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성해서, 오버헤드 운송 차량(305)이 슬라이드-장착식 복수의 저장소 중 선택된 하나로부터 직접 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 입수하도록 한다.
예시적인 작동 모드에서, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(310)를 포함하는 예를 들면 저장소(332)와 같은 선택된 슬라이드-장착식 저장소는 반출 장치(330)가 수직형 회전저장선반 스토커(302) 안으로부터 슬라이드-장착식 저장소(332)를 반출하고 현수식 트랙(308) 바로 밑에 슬라이드-장착식 저장소(332)를 위치시킬 수 있도록 위치된다. 반출 장치(330)는 수직형 회전저장선반 스토커(302)에 통합될 수 있고 슬라이드-장착식 저장소(332)를 단일 서보-제어 축(398)을 따라 이동시키도록 구성될 수 있다. 이어, 오버헤드 운송 차량(305)은 반출된 저장소(332) 바로 위의 위치까지 트랙(308)을 따라서 이동된다. 다음, 오버헤드 호이스트는 오버헤드 운송 차량(305)으로부터 저장소(332)를 향해서, 예를 들면 수직형 회전저장선반 스토커의 길이방향 축선(L2)에 평행한 방향으로 하강한다. 이어, 오버헤드 호이스트는 IC 칩 제조용 상승된 바닥 상의 작업대 또는 공정 기계에 다음 운송을 위해서 저장소(332)로부터 직접 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(310)를 들어 올리도록 작동된다. 오버헤드 호이스트가 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 회전저장선반 저장소(332)에 위치시키도록 선택적으로 작동될 수 있다.
도 4 는 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(300)(도 3 참조)의 상세한 실시예(400)를 도시한다. 예시적인 실시예에서, 자동식 재료 처리 시스템(AMHS)(400)는 오버헤드 호이스트 운송 시스템(404) 및 수직형 회전저장선반 스토커(402)를 포함한다. 오버헤드 호이스트 운송 시스템(404)은 현수식 트랙(408), 및 이러한 현수식 트랙(408) 상에서 이동하도록 구성된 오버헤드 호이스트 운송 차량(405)을 포함한다. 예를 들면, 오버헤드 운송 차량(405)은 트랙(408)으로부터 거리(436)(대략0.9m)를 연장할 수 있다. 수직형 회전저장선반 스토커(402)는 스토커 하우징 내에 배치된 저장소(432)와 같은 복수의 회전저장선반 저장소를 포함한다. 예를 들면, 저장소(432)는 IC 칩 제조용 상승된 바닥 위로 거리(438)(대략 2.6m)를 가질 수 있다.
전술한 것처럼, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(410)는 선택된 회전저장선반 저장소의 후속되는 상부-적재 또는 하역이 가능하도록 스토커 하우징 안으로부터 반출된다. 오버헤드 운송 차량(405)은 또한 저장소(432)에 또는 저장소로부터 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(410)를 상부-적재 또는 하역하도록 구성되는 호이스트 집게부(hoist gripper; 430)를 갖는 오버헤드 호이스트(431)를 포함한다. 바람직한 실시예에서, 오버헤드 호이스트가 오버헤드 운송 차량(405)의 어느 한 측면으로 카세트 포드를 집거나 위치시킬 수 있도록, 호이스트 집게부(430)가 병진이동식 스테이지(translating stage) 상에 장착된다.
도 5A 및 도 5B 는 고정된 저장 위치들에 접근하는 병진이동식 호이스트 차량 하위시스템(704)을 도시한다. 예시적인 실시예에서, 병진이동식 호이스트 차량 하위시스템(704)은 현수식 트랙(708), 및 이러한 현수식 트랙(708) 상에서 이동하도록 구성된 오버헤드 호이스트 운송 차량(705)을 포함한다. 오버헤드 운송 차량(705)은 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(710)를 유지된 저장 위치(732)에 장착하도록 구성된다. 예를 들면, 오버헤드 운송 차량(705)은 천장(714) 아래로 거리(736)(대략 0.9m)를 연장할 수 있고, 저장 위치(732)는 IC 칩 제조용 상승된 바닥 위로 거리(738)(대략 2.6m)에 배치될 수 있다. 또한, 천장(714)은 상승된 바닥 위로 거리(790)(대략 3.66m)에 있을 수 있다.
오버헤드 운송 차량(705)은 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(710)를 현수식 트랙(708)의 바로 아래에 위치한 위치까지 들어 올리도록(그리고, 배치시키도록) 구성된다. 이를 위해, 오버헤드 호이스트 차량(705)은 병진이동식 스테이지에 장착된 호이스트 집게부(731)를 포함하며, 이 호이스트 집게부(731)는 오버헤드 호이스트 차량(705)으로부터 연장되고 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(710)를 들어 올려서 다시 차량(705)으로 되돌아감으로써 오버헤드 운송 차량(705) 안으로 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(710)를 이동시키도록 구성된다. 바람직한 실시예에서, 병진이동식 스테이지는 오버헤드 호이스트가 카세트 포드를 오버헤드 운송 차량(705)의 측면 중 하나에 장착하도록 구성된다. 일단 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(710)가 호이스트 집게부(730)에 의해 유지되면, 오버헤드 운송 차량(705)은 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 IC 칩 제조 바닥 상의 작업대 또는 공정 기계에 운송한다.
도 6 은 입수한 재료를 컨베이어(895) 상에 저장하거나 이동시키는 병진이동식 호이스트 차량 시스템(800)을 도시한다. 특히, 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(804)은 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(810)를 오버헤드 레일-기반형(rail-based) 컨베이어(895)에서 직접 집거나 또는 이 컨베이어(895)에 배치시키도록 이용된다. 예시적인 실시예에서, 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템(804)은 현수식 트랙(808), 및 이 현수식 트랙(808) 상에서 이동하도록 구성된 오버헤드 호이스트 운송 차량(805)을 포함한다. 예를 들면, 오버헤드 운송 차량(805)은 현수식 트랙(808) 아래로 거리(836)(대략 0.9m)를 연장할 수 있고 레일-기반형 컨베이어(895) 위로 거리(892)(대략 2.6m)에 위치할 수 있다. 또한, 오버헤드 레일(898)은 IC 칩 제조용 상승된 바닥 위로 거리(838)(대략 2.6m)에 있을 수 있다. 오버헤드 레일(898)은 도면 평면에 수직한 방향으로 연장된다. 병진이동식 호이스트 운송 시스템(800)은 또한 처리 도구 로드 포트(process tool load port; 899)를 포함한다.
오버헤드 운송 차량(805)은 레일-기반형 컨베이어(895)의 상부-적재 또는 하역을 수행하도록 이용될 수 있다. 이를 위해, 오버헤드 운송 차량(805)은 방향 화살표들(870 및 871)로 각각 표시된 바와 같이 수평 및 수직 작동하도록 구성된 병진이동식 스테이지(833)에 장착된 호이스트 집게부(835)를 갖는 오버헤드 호이스트(831)를 포함한다. 예시적인 작동 모드에서, 레일-기반형 컨베이어(895)는 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(810)가 오버헤드 호이스트(831) 바로 아래에 위치하도록 이동된다. 이어, 호이스트 집게부(835)는 병진이동식 스테이지(833)에 의해 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(810)를 향해서 하향 이동되고, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(810)를 컨베이어(895)로부터 직접 들어 올리도록 작동된다. 다음, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(810)를 운송하는 호이스트 집게부(835)는 병진이동식 스테이지(833)에 의해 상승되어 회수됨으로써, 오버헤드 운송 차량(805) 안으로 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(810)를 이동시킨다. 이어, 운송 차량(805)은 전면 개방 일체형 포드(FOUP)(810)를 IC 칩 제조용 상승된 바닥 상의 작업대 또는 공정 기계로 운송한다.
현재 개시된 자동식 재료 처리 시스템을 작동시키는 방법이 도 7 을 참조하여 설명된다. 단계(902)에 도시된 것처럼, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 포함한 선택된 저장소가 오버헤드 호이스트에 의해 입수하도록 수직형 회전저장선반 스토커 내에 위치한다. 예를 들면, 선택된 회전저장선반 저장소는 수직형 회전저장선반 스토커(도 2-3 참조)의 상부 또는 측면에 위치할 수 있다. 다음, 오버헤드 호이스트 운송 차량은 단계(904)에 도시된 것처럼, 선택된 저장소에 인접한 위치까지 트랙을 따라서 이동된다. 선택된 저장소가 수직형 회전저장선반 스토커의 상부에 위치할 경우, 오버헤드 운송 차량은 저장소 위에 위치한다. 선택된 저장소가 수직형 회전저장선반 스토커의 측면에 위치할 경우, 오버헤드 운송 차량은 저장소의 측면에 위치한다. 이어, 오버헤드 호이스트는 운송 차량으로부터 연장되고 단계(906)에 도시된 것처럼, 호이스트 집게부가 선택된 저장소에서 전면 개방 일체형 포드(FOUP)와 접촉하도록 하향 이동된다. 다음, 호이스트 집게부는 단계(908)에 도시된 것처럼, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 저장소로부터 직접 들어 올리도록 작동된다. 이어, 오버헤드 호이스트는 단계(910)에 도시된 것처럼, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 오버헤드 운송 차량 안으로 이동시키도록 상승되고 회수된다. 이러한 방법으로, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)는 선택된 저장소로부터 오버헤드 운송 차량으로 상부-적재된다. 마지막으로, 오버헤드 운송 차량은 단계(912)에 도시된 것처럼, 전면 개방 일체형 포드(FOUP)를 IC 칩 제조용 상승된 바닥 상의 작업대 또는 공정 기계들에 운송한다.
당업자들은 상기 자동식 재료 처리 시스템의 개조 및 변경들이 본 발명의 개념을 벗어나지 않고서 가능하다는 것을 인식할 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부된 청구항들의 범위 및 개념을 제외하고는, 상기 설명들로만 제한되는 것은 아니다.

Claims (46)

  1. 제품 제조 설비 내의 다양한 위치들 사이에서 재료를 운송하기 위한 자동식 재료 처리 장치로서:
    하나 이상의 재료 유닛을 유지하도록 각각 구성되는 복수의 저장소를 저장하도록 구성되는 하나 이상의 저장 유닛과; 그리고
    오버헤드 호이스트 운송 하위시스템;을 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템이,
    병진이동식 스테이지, 및 상기 병진이동식 스테이지에 연결되며 상기 하나 이상의 재료 유닛을 집도록 구성되는 집게부를 포함하는 하나 이상의 오버헤드 호이스트, 및
    상기 저장 유닛에 인접하게 연장하는 하나 이상의 미리결정된 루트를 형성하며 상기 저장 유닛의 외부에 배치되는 현수식 트랙을 따라 이동하도록 구성되는 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운송 차량을 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량은 상기 병진이동식 스테이지 및 상기 집게부를 포함하는 상기 오버헤드 호이스트를 상기 현수식 트랙을 따라 상기 복수의 저장소 중 하나의 저장소에 인접한 제1 트랙 위치로 운반하도록 작동하며,
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량이 상기 제1 트랙 위치에 있는 동안, 상기 병진이동식 스테이지는 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 근접한 제1 위치로부터 상기 복수의 저장소 중 상기 하나의 저장소에 근접한 제2 위치로 측방향으로 상기 집게부를 이동시키도록 구성되고,
    상기 저장 유닛의 일부분은 상기 오버헤드 호이스트가 상기 저장 유닛 내부에 저장된 상기 복수의 저장소 중 선택된 하나의 저장소로부터 직접 하나 이상의 재료 유닛을 입수하도록 적어도 부분적으로 개방되며,
    상기 오버헤드 호이스트의 집게부는 후속의 운송을 위해 상기 복수의 저장소 중 상기 선택된 하나의 저장소로부터 상기 현수식 트랙을 따라 상기 제품 제조 설비 내부의 미리정해진 위치로 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하도록 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부는 상기 저장 유닛 내에서 후속의 저장을 위해 상기 복수의 저장소 중 상기 하나의 저장소에 직접 하나 이상의 재료 유닛을 제공하도록 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 저장소 중 상기 하나의 저장소는 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 근접한 상기 제1 위치에서 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부로 직접 하나 이상의 재료 유닛을 이동시키도록 구성되는 이동식 선반을 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 저장소의 상기 하나의 저장소는 상기 재료 유닛을 직각(X, Y, Z) 좌표계의 하나 이상의 축 방향으로 이동시키도록 구성되는 장치를 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 저장소의 상기 하나의 저장소는 상기 저장 유닛 내에 배치된 고정식 선반을 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 저장 유닛은 수직형 회전저장선반 스토커를 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 수직형 회전저장선반 스토커는, 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부가 상기 선택된 저장소 위의 위치로부터 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하도록 하기 위해, 상기 수직형 회전저장선반 스토커의 상부 영역으로 상기 복수의 저장소 중 상기 하나의 저장소를 이동시키도록 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 현수식 트랙의 적어도 일부분은 상기 수직형 회전저장선반 스토커의 상부 영역에서 상기 선택된 저장소의 바로 위에 배치되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 수직형 회전저장선반 스토커는, 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부가 상기 선택된 저장소의 옆의 제2 위치로부터 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하도록 하기 위해, 상기 수직형 회전저장선반 스토커의 일측을 따라 상기 복수의 저장소 중 상기 하나의 저장소를 제1 위치로 이동시키도록 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 현수식 트랙의 적어도 일부분은 상기 수직형 회전저장선반 스토커의 옆의 상기 제1 위치에 인접한 상기 수직형 회전저장선반 스토커의 길이방향 축선에 평행하게 배치되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  13. 삭제
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 재료 유닛은 카세트 포드를 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  15. 제품 제조 설비 내의 여러 위치들 사이에서 재료를 운송하기 위한 자동식 재료 처리 장치를 작동시키는 방법으로서:
    하나 이상의 재료 유닛을 각각 유지하는 복수의 저장소를 하나 이상의 저장 유닛에 저장하는 단계로서, 상기 저장 유닛의 일부분이, 상기 저장 유닛의 내부에 저장된 상기 복수의 저장소 중 선택된 하나의 저장소로부터 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛이 입수되도록 적어도 부분적으로 개방되는, 복수의 저장소를 하나 이상의 저장 유닛에 저장하는 단계와;
    오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해, 현수식 트랙을 따라 상기 저장소와 인접하는 제1 트랙 위치로 오버헤드 호이스트를 운반하는 단계로서, 상기 오버헤드 호이스트가 병진이동식 스테이지 및 상기 병진이동식 스테이지에 연결되는 집게부를 포함하는, 오버헤드 호이스트를 운반하는 단계와;
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량이 상기 제1 트랙 위치에 위치해 있는 동안, 상기 병진이동식 스테이지에 의해, 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 근접한 제1 위치로부터 상기 저장소에 근접한 제2 위치로 측방향으로 상기 집게부를 이동시키는 단계와;
    상기 오버헤드 호이스트의 집게부에 의해, 상기 선택된 저장소로부터 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하는 단계와; 그리고
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해 상기 제품 제조 설비 내의 미리정해진 위치로 하나 이상의 재료 유닛을 운송하는 단계;를 포함하며,
    상기 하나 이상의 재료 유닛을 운송하는 단계는, 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해 현수식 트랙을 따라 상기 미리정해진 위치로 상기 하나 이상의 재료 유닛을 운송하는 단계를 포함하며, 상기 현수식 트랙은 상기 저장 유닛에 인접하여 연장하는 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성하며 상기 저장 유닛의 외부에 배치되는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 저장 유닛 내에서의 후속되는 저장을 위해서 상기 오버헤드 호이스트의 집게부에 의해 상기 선택된 저장소에 직접 하나 이상의 재료 유닛을 제공하는 단계를 더 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    이동식 선반을 포함하는 상기 선택된 저장소에 의해 상기 오버헤드 운송 차량에 근접한 상기 제1 위치에서 상기 오버헤드 호이스트에 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛을 제공하는 단계를 더 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 저장 유닛에 포함된 장치에 의해 직교(X, Y, Z) 좌표계의 하나 이상의 축방향으로 상기 이동식 선반을 이동시키는 단계를 더 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트가 상기 선택된 저장소로부터 직접 하나 이상의 재료 유닛을 입수하도록, 병진이동식 스테이지에 의해 상기 오버헤드 호이스트를 제1 위치로 이동시키는 단계를 더 포함하고, 상기 선택된 저장소가 고정식 선반을 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부가 상기 저장 유닛으로부터 상기 하나 이상의 재료 유닛을 하역하도록, 상기 병진이동식 스테이지에 의해 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부를 제2 위치로 이동시키는 단계를 더 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  21. 제 15 항에 있어서,
    상기 저장 유닛 내에 포함되는 회전저장선반 장치에 의해 상기 저장 유닛의 상부 영역으로 상기 선택된 저장소를 이동시켜서, 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부가 상기 선택된 저장소 위의 위치로부터 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하게 되는 단계를 더 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 트랙의 적어도 일부는 상기 저장 유닛의 상부 영역에서, 상기 선택된 저장소의 바로 위에 배치되는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  23. 제 15 항에 있어서,
    상기 저장 유닛에 포함된 회전저장선반 장치에 의해, 상기 선택된 저장소를 상기 저장 유닛의 일측을 따라 제1 위치로 이동시키는 단계를 더 포함하고, 상기 이동 단계에 의해 상기 오버헤드 호이스트의 집게부가 상기 선택된 저장소 옆의 제2 위치로부터 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하게 되는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 트랙의 적어도 일부는 상기 저장 유닛 옆에 상기 제1 위치에 인접한 상기 저장 유닛의 길이방향 축선에 대해 평행하게 배치되는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  25. 삭제
  26. 제 15 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부에 의해 상기 하나 이상의 재료 유닛을 집는 단계를 더 포함하고, 상기 재료 유닛은 카세트 포드를 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  27. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 저장 유닛은 하나 이상의 고정된 저장 위치로써 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 고정된 저장 위치는 하나 이상의 고정식 선반을 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  29. 제 15 항에 있어서,
    상기 복수의 저장소를 상기 하나 이상의 저장 유닛에 저장하는 단계를 포함하고, 상기 하나 이상의 저장 유닛은 하나 이상의 고정된 저장 위치로서 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 복수의 저장소를 상기 하나 이상의 저장 유닛에 저장하는 단계를 포함하고, 상기 하나 이상의 저장 유닛은 하나 이상의 고정된 저장 위치로서 구성되며, 상기 하나 이상의 고정된 저장 위치는 하나 이상의 고정식 선반을 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  31. 자동식 재료 처리 장치로서:
    하나 이상의 재료 유닛을 유지하도록 구성되는 하나 이상의 저장소를 포함하는 하나 이상의 저장 유닛과; 그리고
    상기 저장 유닛에 인접하여 연장되는 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성하는 현수식 트랙을 따라 이동하도록 구성되는 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운송 차량, 및 상기 하나 이상의 재료 유닛을 집도록 구성된 집게부 및 병진이동식 스테이지를 포함하는 하나 이상의 오버헤드 호이스트를 포함하는 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템;을 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량은 상기 병진이동식 스테이지 및 상기 집게부를 포함하는 상기 오버헤드 호이스트를 상기 현수식 트랙을 따라 상기 저장소에 인접한 제1 트랙 위치로 운반하도록 작동하며,
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량이 상기 제1 트랙 위치에 있는 동안, 상기 병진이동식 스테이지는 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 근접한 제1 위치로부터 상기 저장소에 근접한 제2 위치로 측방향으로 상기 집게부를 이동시키도록 구성되고,
    상기 저장 유닛은, 제품 제조 설비 내의 다양한 위치들 사이에서 상기 현수식 트랙을 따라 후속되는 운송을 위해 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부가 상기 하나 이상의 저장소로부터 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하도록 적어도 부분적으로 개방되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트의 집게부는 하나 이상의 재료 유닛을 상기 하나 이상의 저장소에 직접 제공하도록 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  33. 제 31 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 저장소는 고정된 저장 위치로서 구성되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 고정된 저장 위치는 고정식 선반을 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  35. 삭제
  36. 삭제
  37. 제 31 항에 있어서,
    상기 병진이동식 스테이지는 상기 집게부를 상기 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템에 인접한 제1 위치로부터 제2 위치 및 제3 위치 중 선택된 위치로 이동시키도록 구성되고, 상기 제2 위치 및 상기 제3 위치는 상기 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템의 대향 측면들 상에 위치되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  38. 제 31 항에 있어서,
    상기 재료 유닛은 카세트 포드를 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치.
  39. 자동식 재료 처리 장치를 작동시키는 방법으로서:
    저장 유닛의 하나 이상의 저장소에 의해 하나 이상의 재료 유닛을 유지하는 단계와;
    오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해, 병진이동식 스테이지 및 상기 병진이동식 스테이지에 결합된 집게부를 포함하는 오버헤드 호이스트를 현수식 트랙을 따라 상기 저장소에 인접한 제1 트랙 위치로 운반하는 단계와;
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량이 상기 제1 트랙 위치에 있는 동안, 상기 병진이동식 스테이지에 의해, 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 근접한 제1 위치로부터 상기 저장소에 근접한 제2 위치로 측방향으로 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부를 이동시키는 단계와;
    상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부에 의해 상기 하나 이상의 저장소로부터 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하는 단계와; 그리고
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해, 제품 제조 설비 내의 다양한 위치들 사이에서 상기 하나 이상의 재료 유닛을 운송하는 단계;를 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트와 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량은 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템에 포함되고,
    상기 하나 이상의 재료 유닛을 운송하는 단계는, 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해 현수식 트랙을 따라 다양한 위치들로 상기 하나 이상의 재료 유닛을 이동시키는 단계를 포함하고, 상기 현수식 트랙은 상기 저장 유닛에 인접하게 연장되는 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  40. 제 39 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트의 집게부에 의해 상기 하나 이상의 재료 유닛을 상기 하나 이상의 저장소에 직접 제공하는 단계를 더 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  41. 삭제
  42. 삭제
  43. 제 39 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트의 상기 병진이동식 스테이지에 의해, 상기 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템에 인접한 제1 위치로부터 제2 위치 및 제3 위치 중 선택된 위치로 상기 오버헤드 호이스트의 집게부를 이동시키는 단계를 더 포함하고, 상기 제2 위치 및 상기 제3 위치는 상기 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템의 대향 측면들 상에 배치되는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  44. 제 39 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 저장소에 의해 상기 하나 이상의 재료 유닛을 유지하는 단계를 포함하고, 상기 재료 유닛은 카세트 포드를 포함하는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
  45. 자동식 재료 처리 장치로서:
    하나 이상의 재료 유닛을 유지하도록 구성되는 하나 이상의 저장소를 포함하는 하나 이상의 저장 유닛으로서, 상기 하나 이상의 저장소 중 하나 이상이 이동식 선반을 포함하는, 하나 이상의 저장 유닛과; 그리고
    상기 저장 유닛에 인접하여 연장되는 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성하는 현수식 트랙을 따라 이동하도록 구성되는 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운송 차량, 및 상기 하나 이상의 재료 유닛을 집도록 구성된 집게부를 포함하는 하나 이상의 오버헤드 호이스트를 포함하는 오버헤드 호이스트 운송 하위시스템;을 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량은 상기 집게부를 포함하는 상기 오버헤드 호이스트를 상기 현수식 트랙을 따라 상기 이동식 선반에 인접한 제1 트랙 위치로 운반하도록 작동되며,
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량이 상기 제1 트랙 위치에 있는 동안, 상기 이동식 선반은 상기 저장소에 근접한 제1 위치로부터 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 근접한 제2 위치로 측방향으로 이동하도록 구성되고,
    상기 저장 유닛은 상기 이동식 선반이 상기 제2 위치로 이동하도록 적어도 부분적으로 개방됨으로써, 상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부가 제품 제조 설비 내의 다양한 위치들 사이에서 상기 현수식 트랙을 따라 후속되는 운송을 위해 상기 이동식 선반으로부터 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하게 되는,
    자동식 재료 처리 장치.
  46. 자동식 재료 처리의 작동 방법으로서:
    저장 유닛 내에 포함되는 하나 이상의 저장소에 의해 하나 이상의 재료 유닛을 유지하는 단계로서, 상기 하나 이상의 저장소 중 하나 이상이 이동식 선반을 포함하는, 하나 이상의 재료 유닛의 유지 단계와;
    오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해, 집게부를 포함하는 오버헤드 호이스트를, 상기 저장 유닛에 인접하게 연장되는 하나 이상의 미리정해진 루트를 형성하는 현수식 트랙을 따라 상기 이동식 선반에 인접한 제1 트랙 위치로 운반하는 단계와;
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량이 상기 제1 트랙 위치에 있는 동안, 상기 저장소에 근접한 제1 위치로부터 상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 근접한 제2 위치로 측방향으로 상기 이동식 선반을 이동시키는 단계와;
    상기 오버헤드 호이스트의 상기 집게부에 의해 상기 이동식 선반으로부터 직접 상기 하나 이상의 재료 유닛을 입수하는 단계와; 그리고
    상기 오버헤드 호이스트 운송 차량에 의해, 제품 제조 설비 내의 다양한 위치들 사이에서 상기 현수식 트랙을 따라 상기 하나 이상의 재료 유닛을 운송하는 단계;를 포함하고,
    상기 저장 유닛은 상기 이동식 선반이 상기 제2 위치로 이동할 수 있도록 적어도 부분적으로 개방되는,
    자동식 재료 처리 장치의 작동 방법.
KR1020047020530A 2002-06-19 2003-03-20 수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템 KR100882376B1 (ko)

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Families Citing this family (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6540466B2 (en) * 1996-12-11 2003-04-01 Applied Materials, Inc. Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers
US20020153578A1 (en) * 2001-03-01 2002-10-24 Ravinder Aggarwal Wafer buffering system
EP1535143A4 (en) 2002-06-19 2010-05-05 Brooks Automation Inc AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS
KR100880291B1 (ko) 2002-10-11 2009-01-23 브룩스 오토메이션, 인크. 자동 재료 핸들링 시스템
US20040101386A1 (en) * 2002-11-22 2004-05-27 Bellheimer Metallwerk Gmbh Vertical carousel with top and side access stations
US6990721B2 (en) * 2003-03-21 2006-01-31 Brooks Automation, Inc. Growth model automated material handling system
US20050038561A1 (en) * 2003-08-12 2005-02-17 Kai-Chi Lin Method, system and computer-readable medium for operating a robot in an AMHS
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4123383B2 (ja) * 2004-08-12 2008-07-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4296601B2 (ja) * 2005-01-20 2009-07-15 村田機械株式会社 搬送台車システム
US7410340B2 (en) * 2005-02-24 2008-08-12 Asyst Technologies, Inc. Direct tool loading
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
TWI328854B (en) * 2005-09-14 2010-08-11 Applied Materials Inc Methods and apparatus for a transfer station
KR100793094B1 (ko) * 2005-09-23 2008-01-10 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 장치 및 그의 구동 방법
US7780392B2 (en) * 2005-10-27 2010-08-24 Muratec Automation Co., Ltd. Horizontal array stocker
WO2007056443A2 (en) * 2005-11-07 2007-05-18 Brooks Automation, Inc. Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
CN100435310C (zh) * 2005-12-19 2008-11-19 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体制造用自动化物料运输系统
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
US20070289843A1 (en) * 2006-04-18 2007-12-20 Barry Kitazumi Conveyor System Including Offset Section
US8308418B2 (en) * 2006-05-09 2012-11-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. High efficiency buffer stocker
JP4697879B2 (ja) * 2006-05-09 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 サーバ装置、およびプログラム
JP4643495B2 (ja) * 2006-06-06 2011-03-02 芝浦メカトロニクス株式会社 電子部品の実装装置
KR20140069354A (ko) * 2006-08-18 2014-06-09 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템
US20080050208A1 (en) * 2006-08-25 2008-02-28 Barry Kitazumi High speed transporter including horizontal belt
TW200909318A (en) * 2006-08-25 2009-03-01 Aquest Systems Corp Conveyor transfer system
JP4904995B2 (ja) * 2006-08-28 2012-03-28 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート装置
US7740437B2 (en) * 2006-09-22 2010-06-22 Asm International N.V. Processing system with increased cassette storage capacity
JP4378655B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP4389181B2 (ja) 2007-03-07 2009-12-24 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP5088468B2 (ja) 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
US7585142B2 (en) 2007-03-16 2009-09-08 Asm America, Inc. Substrate handling chamber with movable substrate carrier loading platform
TWI481539B (zh) * 2007-12-25 2015-04-21 Murata Machinery Ltd 保管庫以及出入庫方法
JP2010111476A (ja) * 2008-11-06 2010-05-20 Muratec Automation Co Ltd 保管庫及び入出庫方法
US9048274B2 (en) * 2008-12-08 2015-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Portable stocker and method of using same
CN102460675B (zh) * 2009-05-18 2015-04-29 布鲁克斯自动化公司 与基片容器存储系统交接的集成系统
KR101716524B1 (ko) * 2009-05-18 2017-03-14 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드 기판 컨테이너 보관 시스템
US8882433B2 (en) 2009-05-18 2014-11-11 Brooks Automation, Inc. Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems
JP5391882B2 (ja) * 2009-07-08 2014-01-15 株式会社Ｉｈｉ 搬送装置及び搬送装置制御方法
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
US8459922B2 (en) 2009-11-13 2013-06-11 Brooks Automation, Inc. Manipulator auto-teach and position correction system
JP5682835B2 (ja) * 2010-06-10 2015-03-11 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送システム内での通信方法
KR101533366B1 (ko) * 2010-11-04 2015-07-02 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
US9190304B2 (en) * 2011-05-19 2015-11-17 Brooks Automation, Inc. Dynamic storage and transfer system integrated with autonomous guided/roving vehicle
JP5472209B2 (ja) * 2011-05-31 2014-04-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5674041B2 (ja) 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US8888434B2 (en) * 2011-09-05 2014-11-18 Dynamic Micro System Container storage add-on for bare workpiece stocker
US9105760B2 (en) * 2011-11-07 2015-08-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Pick-and-place tool for packaging process
JP5617868B2 (ja) * 2012-04-11 2014-11-05 村田機械株式会社 搬送装置
US9558978B2 (en) * 2012-05-04 2017-01-31 Kla-Tencor Corporation Material handling with dedicated automated material handling system
US9520313B2 (en) * 2012-06-08 2016-12-13 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system and temporary storage method of articles in conveyance system
CN103274215A (zh) * 2013-05-09 2013-09-04 上海集成电路研发中心有限公司 设备前端装置和硅片盒的储运方法
TWI560125B (en) * 2013-10-15 2016-12-01 Inotera Memories Inc Overhead hoist transport system
US9444004B1 (en) * 2014-05-02 2016-09-13 Deployable Space Systems, Inc. System and method for producing modular photovoltaic panel assemblies for space solar arrays
US10479601B2 (en) * 2014-08-26 2019-11-19 Murata Machinery, Ltd. Sorting system and sorting method
US10332770B2 (en) 2014-09-24 2019-06-25 Sandisk Technologies Llc Wafer transfer system
US10177020B2 (en) 2015-02-07 2019-01-08 Kla-Tencor Corporation System and method for high throughput work-in-process buffer
US9617075B2 (en) 2015-03-24 2017-04-11 Joseph Porat System and method for overhead warehousing
DE102015009004A1 (de) 2015-06-05 2016-12-08 Solaero Technologies Corp. Automatisierte Anordnung und Befestigung von Solarzellen auf Paneelen für Weltraumanwendungen
CN105035717B (zh) * 2015-06-23 2019-09-06 合肥鑫晟光电科技有限公司 装卸卡匣的系统和装卸卡匣的方法
US10276742B2 (en) 2015-07-09 2019-04-30 Solaero Technologies Corp. Assembly and mounting of solar cells on space vehicles or satellites
NO340577B1 (en) * 2015-09-04 2017-05-15 Jakob Hatteland Logistics As Method for fetching a target bin stored in a storage system and a storage system which includes a control device operating in accordance with the method
CN106200574B (zh) * 2016-07-01 2019-02-22 武汉华星光电技术有限公司 一种自动派送方法及系统
WO2018055883A1 (ja) 2016-09-26 2018-03-29 村田機械株式会社 天井搬送システム、及び天井搬送車
US10497596B2 (en) * 2016-10-24 2019-12-03 Murata Machinery, Ltd. Overhead manufacturing, processing and storage system
JP6819224B2 (ja) * 2016-10-31 2021-01-27 株式会社ダイフク 搬送車
CN106444781A (zh) * 2016-11-15 2017-02-22 江苏智石科技有限公司 一种自主避障的料盒运输车
CN106406318A (zh) * 2016-11-15 2017-02-15 江苏智石科技有限公司 一种基于射频信号的智能料盒运输车
US9988216B1 (en) 2016-12-16 2018-06-05 Amazon Technologies, Inc. Parallel vertical recirculating gantry system
US10029865B1 (en) * 2016-12-16 2018-07-24 Amazon Technologies, Inc. Parallel recirculating gantry system on a rollercoaster-style track
CN106697698A (zh) * 2017-01-18 2017-05-24 李伟民 一种循环回转仓库
CN106743024B (zh) * 2017-01-23 2023-03-14 厦门积硕科技有限公司 一种多发多收工作站
EP3636562B1 (en) 2017-06-06 2023-05-03 Murata Machinery, Ltd. Floor-to-floor transport system and floor-to-floor transport method
NO344464B1 (en) * 2017-10-19 2019-12-23 Autostore Tech As Vehicle for an automated storage and retrieval system and method of operating an automated storage and retrieval system
US11515186B2 (en) * 2017-11-02 2022-11-29 Murata Machinery, Ltd. Ceiling conveyance vehicle system and temporary storage method for articles in ceiling conveyance vehicle system
AU2018371726B2 (en) 2017-11-21 2023-11-02 Fulfil Solutions, Inc. Product handling and packaging system
US10418263B2 (en) 2018-01-20 2019-09-17 Boris Kesil Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations
CN108298317A (zh) * 2018-03-22 2018-07-20 苏州紫翔电子科技有限公司 一种自动上料装置、储料车、自动上料设备及自动上料方法
CN108820921B (zh) * 2018-07-11 2023-10-13 合肥水泥研究设计院有限公司 一种用于散装物料多层存储运输的重载机器人
JP7040638B2 (ja) * 2018-10-29 2022-03-23 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送車システム
SG11202106551XA (en) * 2018-12-26 2021-07-29 Murata Machinery Ltd Storage system
JP7003945B2 (ja) * 2019-02-22 2022-02-10 村田機械株式会社 移載装置及びスタッカクレーン
WO2020195240A1 (ja) * 2019-03-22 2020-10-01 村田機械株式会社 搬送車システム
TWI741274B (zh) * 2019-03-29 2021-10-01 鴻勁精密股份有限公司 轉運裝置及其應用之電子元件作業設備
CN110065748B (zh) * 2019-03-29 2021-02-09 杭州电子科技大学 一种机械手辅助的货物旋转式自动存取方法及立体货柜
US11912608B2 (en) 2019-10-01 2024-02-27 Owens-Brockway Glass Container Inc. Glass manufacturing
US11551959B2 (en) 2019-10-29 2023-01-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. System and method for automated wafer carrier handling
CN111646075B (zh) * 2020-05-20 2021-09-21 天津马赫科技有限公司 一种多工位转轮式小料半自动配料系统
CN111824659B (zh) * 2020-07-13 2021-12-07 国网江苏省电力有限公司无锡供电分公司 一种电力金具用货架
KR20220060261A (ko) * 2020-11-04 2022-05-11 세메스 주식회사 인터페이스 장치 및 이를 구비하는 컨테이너 이송 시스템
JP7294309B2 (ja) * 2020-12-18 2023-06-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN112678397B (zh) * 2020-12-30 2021-12-07 深圳市顺达成后勤管理有限公司 一种自动化立体物流仓库及其运行方法
TWI764560B (zh) * 2021-02-05 2022-05-11 國璽幹細胞應用技術股份有限公司 智能科技生物產品單根提取低溫儲存設備
CN115027820B (zh) * 2021-03-03 2023-08-15 国玺干细胞应用技术股份有限公司 智能科技生物产品单根提取低温储存设备
CN113060458A (zh) * 2021-03-12 2021-07-02 北京华兴长泰物联网技术研究院有限责任公司 一种自动取药机构及出药、售药机及其控制方法
US11830750B2 (en) 2021-08-11 2023-11-28 Changxin Memory Technologies, Inc. Storage apparatus, transporting device and transporting method for front opening unified pod
CN115939001A (zh) * 2021-08-11 2023-04-07 长鑫存储技术有限公司 晶圆载体的储存装置、搬送设备和方法
CN114348869B (zh) * 2022-03-11 2022-05-24 太原矿机电气股份有限公司 一种用于煤矿单轨吊机车的旋转式起吊梁
CN114628046B (zh) * 2022-03-14 2023-04-28 青岛市中心医院 一种基于智慧社区的智慧医疗系统及实现方法
CN114772120B (zh) * 2022-03-30 2023-05-23 弥费科技(上海)股份有限公司 一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法
CN116487309B (zh) * 2023-06-26 2023-08-22 中国电子科技集团公司第二十九研究所 一种多层轨道的多芯片组件多工位自动生产线及控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4624017A (en) 1983-12-20 1986-11-25 Foletta John D Automatic flushing system
US4697239A (en) 1984-12-27 1987-09-29 Institut De Recherches De La Construction Navale Automated installation for processing large objects
US4979360A (en) 1989-03-03 1990-12-25 Palitex Project Company Gmbh Transport and handling system for multi-position textile machines
US5980183A (en) 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system

Family Cites Families (212)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US328408A (en) 1885-10-13 isbell
US343293A (en) 1886-06-08 bowen
US1352947A (en) 1917-10-29 1920-09-14 Jonathan P B Fiske Process for handling clay products
US2317689A (en) 1941-04-21 1943-04-27 Earl B Spencer Underdrive for traveling cranes, monorails, and the like
US2827189A (en) * 1955-10-27 1958-03-18 Robert N Sergeant Lift truck attachment for handling drums
US3049247A (en) 1956-04-10 1962-08-14 Jerome H Lemelson Automated storage
US3042227A (en) 1958-09-26 1962-07-03 Sea Land Service Shipboard freight container transferring apparatus
US3119501A (en) 1961-10-10 1964-01-28 Jerome H Lemelson Automatic warehousing system
US3422967A (en) 1965-10-24 1969-01-21 Peter A Aron Automatic manipulator and positioning system
US3467264A (en) * 1966-07-19 1969-09-16 Euclid Crane & Hoist Co The Load transfer and storage mechanism
US3499554A (en) 1968-02-21 1970-03-10 Commercial Affiliates Stacker crane and warehouse system and method for stacking and storing rolls of material
JPS4831521B1 (ko) 1968-05-07 1973-09-29
US3750804A (en) 1969-03-07 1973-08-07 Triax Co Load handling mechanism and automatic storage system
US3531002A (en) 1969-07-15 1970-09-29 Triax Co Automatic storage apparatus
US3583584A (en) 1969-08-18 1971-06-08 Mcneil Corp Warehousing
US3701442A (en) 1970-09-25 1972-10-31 Mcneil Corp Storage and retrieval apparatus
US3700121A (en) * 1971-02-22 1972-10-24 Baker Perkins Inc Rack loading and unloading apparatus
US3762531A (en) 1971-08-26 1973-10-02 Eaton Corp Load stacker
CH542137A (de) * 1972-04-19 1973-09-30 Sperry Rand Corp Einrichtung zur Verriegelung und Kontrolle der Verriegelung von Behältern für den Transport auf Trägern in einer Artikelaufbewahrungsanlage
US3770137A (en) 1972-09-01 1973-11-06 I Slutsky Overhead transporter and reloader
US3968885A (en) * 1973-06-29 1976-07-13 International Business Machines Corporation Method and apparatus for handling workpieces
US4088232A (en) 1974-04-01 1978-05-09 Clark Equipment Co. Apparatus with storage cells disposed adjacent vertical shafts having covers and a lift means movable thereabove
US4190013A (en) 1977-03-22 1980-02-26 Otis Roger W Floating dry storage facility for small boats
US4398630A (en) 1978-07-17 1983-08-16 Brems John Henry Workpiece vertical conveyor system
US4243147A (en) 1979-03-12 1981-01-06 Twitchell Brent L Three-dimensional lift
US4311427A (en) 1979-12-21 1982-01-19 Varian Associates, Inc. Wafer transfer system
JPS5763292A (en) 1980-10-04 1982-04-16 Nisshin Steel Co Ltd Original printing plate holding member and manufacture thereof
US4457661A (en) 1981-12-07 1984-07-03 Applied Materials, Inc. Wafer loading apparatus
US4540326A (en) 1982-09-17 1985-09-10 Nacom Industries, Inc. Semiconductor wafer transport system
US4682927A (en) 1982-09-17 1987-07-28 Nacom Industries, Incorporated Conveyor system
US4642017A (en) 1982-09-30 1987-02-10 Amca International Corporation Automated in-process pipe storage and retrieval system
JPS5974905A (ja) 1982-10-25 1984-04-27 株式会社クボタ 走行車輌
US4541769A (en) 1983-07-18 1985-09-17 Twin City Monorail Stacker crane fork mounting system
US4668484A (en) 1984-02-13 1987-05-26 Elliott David J Transport containers for semiconductor wafers
DE3504751A1 (de) * 1985-02-08 1986-08-14 Bellheimer Metallwerk GmbH, 6729 Bellheim Umlaufregal
US4801236A (en) * 1985-04-06 1989-01-31 Karl Mengele & Sohne Gmbh & Co. Mechanical inventory storage and delivery cabinet
JPH0227838Y2 (ko) 1985-08-23 1990-07-26
US4776744A (en) 1985-09-09 1988-10-11 Applied Materials, Inc. Systems and methods for wafer handling in semiconductor process equipment
US4816116A (en) 1985-10-24 1989-03-28 Texas Instruments Incorporated Semiconductor wafer transfer method and arm mechanism
JPS62131536A (ja) 1985-12-03 1987-06-13 Nec Corp 素子分離領域の形成方法
JPS62136098A (ja) 1985-12-09 1987-06-19 富士通株式会社 高密度配線基板
SU1326512A1 (ru) 1986-03-25 1987-07-30 Предприятие П/Я М-5588 Устройство дл перемещени и перегрузки
US4756657A (en) 1986-04-04 1988-07-12 Interlake, Inc. Stacker bin shuttle
US5083262A (en) 1986-04-28 1992-01-21 International Business Machines Corporation Language bindings for graphics functions to enable one application program to be used in different processing environments
US4934767A (en) 1986-05-16 1990-06-19 Thermco Systems, Inc. Semiconductor wafer carrier input/output drawer
JPH06104554B2 (ja) 1986-06-13 1994-12-21 村田機械株式会社 天井自走車
US5380139A (en) 1986-06-30 1995-01-10 Kone Oy Load handling method and system
JPH0834235B2 (ja) 1986-07-31 1996-03-29 清水建設株式会社 ウエハの天吊移送ロボット
US4886412A (en) 1986-10-28 1989-12-12 Tetron, Inc. Method and system for loading wafers
US4741109A (en) * 1986-11-07 1988-05-03 Sentrol Systems, Ltd. Roller caliper gauge
GB2198406B (en) 1986-11-26 1990-12-12 Shinko Electric Co Ltd Railway carrier apparatus for semiconductor wafers
US4775281A (en) 1986-12-02 1988-10-04 Teradyne, Inc. Apparatus and method for loading and unloading wafers
US5080549A (en) 1987-05-11 1992-01-14 Epsilon Technology, Inc. Wafer handling system with Bernoulli pick-up
JPH0620388B2 (ja) 1987-08-11 1994-03-23 株式会社クボタ 脱穀機の選別搬送装置
IT1222730B (it) 1987-09-25 1990-09-12 Savio Spa Metodo ed apparecchio per la rimozione di bobine di filato e loro deposito in un carrello a pioli
US4802080A (en) 1988-03-18 1989-01-31 American Telephone And Telegraph Company, At&T Information Systems Power transfer circuit including a sympathetic resonator
JPH0653578B2 (ja) 1988-04-01 1994-07-20 松下電器産業株式会社 光学ガラス素子の成形方法
JPH01285512A (ja) 1988-05-12 1989-11-16 Murata Mach Ltd 自動倉庫の在庫管理システム
US5128912A (en) 1988-07-14 1992-07-07 Cygnet Systems Incorporated Apparatus including dual carriages for storing and retrieving information containing discs, and method
US5064337A (en) 1988-07-19 1991-11-12 Tokyo Electron Limited Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers
DE3825401A1 (de) * 1988-07-22 1990-01-25 Bellheimer Metallwerk Gmbh Umlaufregal
JPH0227838U (ko) * 1988-08-10 1990-02-22
JP3212087B2 (ja) * 1988-10-21 2001-09-25 株式会社日立製作所 多品種搬送方法及び装置
US5536128A (en) * 1988-10-21 1996-07-16 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for carrying a variety of products
JPH02117506A (ja) 1988-10-24 1990-05-02 Itoki Kosakusho Co Ltd 自動保管検索装置
JPH0331103A (ja) * 1989-06-28 1991-02-08 Murata Mach Ltd 物品収納庫
JPH0818648B2 (ja) * 1989-12-06 1996-02-28 日立造船株式会社 トンネルセグメントの一時保管・搬入設備
JPH03225847A (ja) * 1990-01-30 1991-10-04 Mitsubishi Electric Corp ウエハカセツトストツカ
JP2616212B2 (ja) * 1990-10-31 1997-06-04 日本電気株式会社 搬送システム
SE9004006L (sv) * 1990-12-14 1992-01-20 Volvo Ab Anordning foer oeverfoering av arbetsstycken fraan en maskin till en annan, foeretraedesvis pressar
JPH0577183A (ja) 1991-09-24 1993-03-30 Toshiba Corp ロボツトの制御装置
JP2548081Y2 (ja) 1992-01-13 1997-09-17 村田機械株式会社 クリーン搬送システム
JPH05186050A (ja) 1992-01-14 1993-07-27 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 版材の吊り上げ移載装置
JPH0577183U (ja) * 1992-03-25 1993-10-19 禎宏 城 天井走行型ホイスト
JPH05278853A (ja) 1992-03-31 1993-10-26 Murata Mach Ltd 天井走行台車
JP2810592B2 (ja) 1992-07-06 1998-10-15 シャープ株式会社 ディジタル情報再生装置
JPH0653578A (ja) 1992-07-30 1994-02-25 I N R Kenkyusho:Kk レーザー装置
JPH0653835A (ja) 1992-08-03 1994-02-25 Mitsubishi Electric Corp Ｄ／ａ変換装置
JPH0661487A (ja) 1992-08-05 1994-03-04 Fuji Xerox Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
DE4237437A1 (de) 1992-11-06 1994-05-11 Signode Bernpak Gmbh Maschine zum Umreifen von Packstücken
JPH06156621A (ja) * 1992-11-13 1994-06-03 Daifuku Co Ltd 自動倉庫
JPH0653578U (ja) 1992-12-22 1994-07-22 近藤 彰宏 荷役装置
JP2593348Y2 (ja) 1992-12-26 1999-04-05 株式会社ショーワ 油圧緩衝器のサブタンク構造
JPH0661487U (ja) * 1993-01-29 1994-08-30 株式会社工研 キャリヤロボット
DE4397243T1 (de) 1993-03-01 1997-07-31 Kawasaki Steel Co Gabelstapelvorrichtung bei einem Stapelkran und Verfahren zum Ansteuern derselben, sowie Steuerung zur Durchführung dieses Verfahrens
US5417537A (en) 1993-05-07 1995-05-23 Miller; Kenneth C. Wafer transport device
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
JP3246642B2 (ja) 1994-05-16 2002-01-15 特種製紙株式会社 段積みしたシート状包装体の自動ピッキング方法及び装置
JP3331746B2 (ja) 1994-05-17 2002-10-07 神鋼電機株式会社 搬送システム
JPH0817894A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板表面処理装置
JPH08181184A (ja) * 1994-12-22 1996-07-12 Hitachi Ltd 半導体製造ラインの構成方法
US5615988A (en) 1995-07-07 1997-04-01 Pri Automation, Inc. Wafer transfer system having rotational capability
US5647718A (en) 1995-07-07 1997-07-15 Pri Automation, Inc. Straight line wafer transfer system
US5741109A (en) 1995-07-07 1998-04-21 Pri Automation, Inc. Wafer transfer system having vertical lifting capability
JPH0936196A (ja) * 1995-07-17 1997-02-07 Mitsubishi Electric Corp クリーンルーム内の製品搬送機構
JP3019247B2 (ja) * 1995-09-08 2000-03-13 村田機械株式会社 天井走行車
US5738574A (en) 1995-10-27 1998-04-14 Applied Materials, Inc. Continuous processing system for chemical mechanical polishing
US5836662A (en) * 1995-10-27 1998-11-17 Bellheimer Metallwerk Gmbh Vertical stacking system using controlled access method
US5751581A (en) 1995-11-13 1998-05-12 Advanced Micro Devices Material movement server
JP3887837B2 (ja) * 1996-01-24 2007-02-28 アシスト シンコー株式会社 密閉コンテナの開閉システム
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP3436334B2 (ja) * 1996-08-06 2003-08-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP3225847B2 (ja) 1996-08-30 2001-11-05 株式会社日立製作所 半導体モジュール
JP3067682B2 (ja) 1997-03-13 2000-07-17 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP3067656B2 (ja) * 1996-09-30 2000-07-17 村田機械株式会社 ワーク搬送システム
TW348162B (en) 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
US6078845A (en) 1996-11-25 2000-06-20 Schlumberger Technologies, Inc. Apparatus for carrying semiconductor devices
JP2968742B2 (ja) * 1997-01-24 1999-11-02 山形日本電気株式会社 自動保管棚及び自動保管方法
US6092978A (en) 1997-03-12 2000-07-25 Fishchersips, Inc. Alignment device used to manufacture a plurality of structural insulated panels
JP3622101B2 (ja) * 1997-03-13 2005-02-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
JPH1116981A (ja) * 1997-06-20 1999-01-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
US6579052B1 (en) 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US5893795A (en) 1997-07-11 1999-04-13 Applied Materials, Inc. Apparatus for moving a cassette
US5993148A (en) 1997-07-22 1999-11-30 Micron Technology, Inc. Article transfer methods
JPH1159829A (ja) 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
WO1999013495A2 (en) 1997-09-12 1999-03-18 Novus Corporation Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers
US6002840A (en) 1997-09-30 1999-12-14 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus
JP3637947B2 (ja) 1997-09-30 2005-04-13 株式会社ダイフク 搬送設備
JPH11121582A (ja) * 1997-10-15 1999-04-30 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備
US5947802A (en) 1997-11-05 1999-09-07 Aplex, Inc. Wafer shuttle system
JP2002504744A (ja) 1997-11-28 2002-02-12 マットソン テクノロジイ インコーポレイテッド 真空処理を行う非加工物を、低汚染かつ高処理能力で取扱うためのシステムおよび方法
JPH11180505A (ja) * 1997-12-22 1999-07-06 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
JP4100585B2 (ja) * 1998-01-20 2008-06-11 株式会社石川製作所 半導体製造装置におけるポッド供給装置
JPH11222122A (ja) 1998-02-03 1999-08-17 Shinko Electric Co Ltd 分岐軌道を備えた搬送設備
US6035245A (en) 1998-03-24 2000-03-07 Advanced Micro Devices, Inc. Automated material handling system method and arrangement
TW568879B (en) 1998-04-01 2004-01-01 Asyst Shinko Inc Suspension type hoist
JPH11320471A (ja) * 1998-05-20 1999-11-24 Murata Mach Ltd 移載装置
JPH11349280A (ja) * 1998-06-05 1999-12-21 Shinko Electric Co Ltd 懸垂式搬送装置
US6102647A (en) * 1998-06-26 2000-08-15 Intel Corporation Cart for transferring objects
JP2000016521A (ja) 1998-07-02 2000-01-18 Murata Mach Ltd 自動倉庫
JP2000053237A (ja) * 1998-08-07 2000-02-22 Shinko Electric Co Ltd 搬送設備
JP4229497B2 (ja) * 1998-09-07 2009-02-25 株式会社日立国際電気 基板処理装置および基板の処理方法
US7023440B1 (en) 1998-09-14 2006-04-04 Fisher Rosemount Systems, Inc. Methods and apparatus for integrated display of process events and trend data
US6604624B2 (en) 1998-09-22 2003-08-12 Hirata Corporation Work conveying system
KR100646906B1 (ko) * 1998-09-22 2006-11-17 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법
US20010014268A1 (en) 1998-10-28 2001-08-16 Charles S. Bryson Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage
JP4221789B2 (ja) 1998-11-12 2009-02-12 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 ホイスト付天井走行搬送装置
US6068437A (en) * 1998-11-24 2000-05-30 Lab-Interlink Automated laboratory specimen organizer and storage unit
JP2000161457A (ja) * 1998-11-30 2000-06-16 Shinko Electric Co Ltd 直進／回転機構
US6283692B1 (en) * 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
JP3375907B2 (ja) * 1998-12-02 2003-02-10 神鋼電機株式会社 天井走行搬送装置
US6240335B1 (en) 1998-12-14 2001-05-29 Palo Alto Technologies, Inc. Distributed control system architecture and method for a material transport system
US6481558B1 (en) 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
JP2000188316A (ja) * 1998-12-24 2000-07-04 Hitachi Ltd 搬送方法および装置ならびにそれを用いた半導体装置の製造方法
DE19900804C2 (de) 1999-01-12 2000-10-19 Siemens Ag Fördersystem
US6356256B1 (en) 1999-01-19 2002-03-12 Vina Technologies, Inc. Graphical user interface for display of statistical data
JP4267742B2 (ja) * 1999-03-12 2009-05-27 平田機工株式会社 天井搬送装置及びこれを用いた物流ラインシステム
US6304051B1 (en) 1999-03-15 2001-10-16 Berkeley Process Control, Inc. Self teaching robotic carrier handling system
JP4288747B2 (ja) 1999-04-01 2009-07-01 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送装置
US6361422B1 (en) 1999-06-15 2002-03-26 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for transferring semiconductor substrates using an input module
TW466153B (en) 1999-06-22 2001-12-01 Applied Materials Inc Method and apparatus for measuring a pad profile and closed loop control of a pad conditioning process
JP2001031216A (ja) 1999-07-26 2001-02-06 Murata Mach Ltd 搬送システム
US6308818B1 (en) 1999-08-02 2001-10-30 Asyst Technologies, Inc. Transport system with integrated transport carrier and directors
EP1079421A1 (en) 1999-08-12 2001-02-28 Semiconductor 300 GmbH & Co. KG Overhead transport system for open cassette transport
JP3769425B2 (ja) 1999-09-21 2006-04-26 シャープ株式会社 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法
US7330886B2 (en) 1999-10-27 2008-02-12 American Power Conversion Corporation Network appliance management
JP3458083B2 (ja) * 1999-11-17 2003-10-20 株式会社半導体先端テクノロジーズ 基板収納治具搬送システム
JP3716693B2 (ja) 1999-12-06 2005-11-16 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP2001171970A (ja) 1999-12-20 2001-06-26 Tsubakimoto Chain Co 天井走行搬送車におけるワーク旋回方法
EP1113214A1 (en) * 1999-12-28 2001-07-04 Infineon Technologies AG Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool
ES2235835T3 (es) 2000-01-29 2005-07-16 Abb Research Ltd. Sistema y procedimiento para determinar la efectividad de unidades de produccion, acontecimientos de errores y el motivo de los indicados errores.
US6421571B1 (en) 2000-02-29 2002-07-16 Bently Nevada Corporation Industrial plant asset management system: apparatus and method
JP2001242978A (ja) 2000-03-02 2001-09-07 Yokogawa Electric Corp グラフ上のデータの属性を表示する方法および装置
US20020025244A1 (en) 2000-04-12 2002-02-28 Kim Ki-Sang Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
TW514618B (en) 2000-04-12 2002-12-21 Samsung Electronics Co Ltd A transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
US6303398B1 (en) 2000-05-04 2001-10-16 Advanced Micro Devices, Inc. Method and system of managing wafers in a semiconductor device production facility
US6564120B1 (en) 2000-05-11 2003-05-13 Cryo-Cell International, Inc. Storage system, particularly with automatic insertion and retrieval
US6364593B1 (en) 2000-06-06 2002-04-02 Brooks Automation Material transport system
US6450318B1 (en) * 2000-06-16 2002-09-17 Tec Engineering Corporation Overhead monorail system
US6530735B1 (en) * 2000-06-22 2003-03-11 Amkor Technology, Inc. Gripper assembly
US6695120B1 (en) 2000-06-22 2004-02-24 Amkor Technology, Inc. Assembly for transporting material
US20020018203A1 (en) * 2000-08-11 2002-02-14 Battle David R. Spectrophotometer system having active pixel array
EP1202325A1 (en) 2000-10-25 2002-05-02 Semiconductor300 GmbH & Co KG Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier
US6677690B2 (en) 2001-02-02 2004-01-13 Asyst Technologies, Inc. System for safeguarding integrated intrabay pod delivery and storage system
TW522292B (en) 2001-02-06 2003-03-01 Asml Us Inc Inertial temperature control system and method
JP2002270662A (ja) 2001-03-09 2002-09-20 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法
US6519502B2 (en) 2001-03-28 2003-02-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Apparatus and method for positioning a cassette pod onto a loadport by an overhead hoist transport system
US6453574B1 (en) 2001-03-28 2002-09-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method for aligning a cassette pod to an overhead hoist transport system
US20020187024A1 (en) 2001-06-12 2002-12-12 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a carrier
US20020197136A1 (en) * 2001-06-21 2002-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method and apparatus for aligning the loading/unloading of a wafer cassette to/from a loadport by an overhead hoist transport system
US6904561B1 (en) 2001-07-19 2005-06-07 Microsoft Corp. Integrated timeline and logically-related list view
JP2003188229A (ja) 2001-12-18 2003-07-04 Hitachi Kasado Eng Co Ltd ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法
US6775918B2 (en) * 2002-02-06 2004-08-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Wafer cassette pod equipped with position sensing device
US6726429B2 (en) 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
US6812926B1 (en) 2002-02-26 2004-11-02 Microsoft Corporation Displaying data containing outlying data items
US6715978B2 (en) 2002-04-22 2004-04-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker
US6881020B2 (en) 2002-04-26 2005-04-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist
EP1535143A4 (en) 2002-06-19 2010-05-05 Brooks Automation Inc AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS
US20040191032A1 (en) 2002-07-19 2004-09-30 R. Foulke Development Company, Llc Bi-directional arm and storage system
US7570262B2 (en) 2002-08-08 2009-08-04 Reuters Limited Method and system for displaying time-series data and correlated events derived from text mining
US6748282B2 (en) * 2002-08-22 2004-06-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Flexible dispatching system and method for coordinating between a manual automated dispatching mode
KR100880291B1 (ko) * 2002-10-11 2009-01-23 브룩스 오토메이션, 인크. 자동 재료 핸들링 시스템
US20040101386A1 (en) * 2002-11-22 2004-05-27 Bellheimer Metallwerk Gmbh Vertical carousel with top and side access stations
SE524799C2 (sv) 2002-11-29 2004-10-05 Zealcore Embedded Solutions Ab Förfarande och dataprogram för debuggning av en programkod
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
US7292245B2 (en) 2004-01-20 2007-11-06 Sensitron, Inc. Method and apparatus for time series graph display
US7446769B2 (en) 2004-02-10 2008-11-04 International Business Machines Corporation Tightly-coupled synchronized selection, filtering, and sorting between log tables and log charts
US7565417B2 (en) 2004-05-20 2009-07-21 Rowady Jr E Paul Event-driven financial analysis interface and system
US20060074598A1 (en) 2004-09-10 2006-04-06 Emigholz Kenneth F Application of abnormal event detection technology to hydrocracking units
US7689918B2 (en) 2005-07-19 2010-03-30 Cisco Technology, Inc. Graphical indicator for the multiplexed display of line graph information
US20080313560A1 (en) 2005-09-16 2008-12-18 Dalal Pankaj B Financial Decision Systems
US7746887B2 (en) 2006-04-12 2010-06-29 Siemens Industry, Inc. Dynamic value reporting for wireless automated systems
US8113844B2 (en) 2006-12-15 2012-02-14 Atellis, Inc. Method, system, and computer-readable recording medium for synchronous multi-media recording and playback with end user control of time, data, and event visualization for playback control over a network
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
US7767767B2 (en) 2007-10-01 2010-08-03 Equistar Chemicals, Lp Modification of polyethylene with ozone
US7805320B2 (en) 2008-01-10 2010-09-28 General Electric Company Methods and systems for navigating a large longitudinal dataset using a miniature representation in a flowsheet
US8271892B2 (en) 2008-07-02 2012-09-18 Icharts, Inc. Creation, sharing and embedding of interactive charts
US8269620B2 (en) 2008-12-19 2012-09-18 Honeywell Internatonal Inc. Alarm trend summary display system and method
JP2011115010A (ja) 2009-11-30 2011-06-09 Sinfonia Technology Co Ltd 電気機器
JP5537245B2 (ja) 2010-04-28 2014-07-02 株式会社ミクニ 冷却液調整弁
JP2014003564A (ja) 2012-06-21 2014-01-09 Panasonic Corp 電子機器と、それを搭載した移動装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4624017A (en) 1983-12-20 1986-11-25 Foletta John D Automatic flushing system
US4697239A (en) 1984-12-27 1987-09-29 Institut De Recherches De La Construction Navale Automated installation for processing large objects
US4979360A (en) 1989-03-03 1990-12-25 Palitex Project Company Gmbh Transport and handling system for multi-position textile machines
US5980183A (en) 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system

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Publication number Publication date
JP2011166176A (ja) 2011-08-25
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