JP2006515256A5 - - Google Patents

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  1. 以下を具備する自動資材処理システム:
    高架軌道、高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を具備する少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、高架ホイストは並進部材を含み;および
    少なくとも一つの資材収納場所であって、該資材収納場所は少なくとも一つの資材ユニットを収納するようになっていて、これは前記高架軌道の第1の側に配置されてなるものであり、
    ここで、前記高架ホイスト搬送機関は、前記高架ホイストを第1の位置へ前記資材収納場所に隣接する高架軌道に沿って移動させるようになっていて、そして前記資材収納場所が高架ホイストのレベルよりも低いレベルに配置される場合には、並進部材を含む高架ホイストを資材収納場所の略当該レベルにまで降下させるものであり、
    ここで、並進部材を含む高架ホイストは、資材収納場所の略当該レベルにまで低下される間、高架ホイスト搬送機関から降りるようになっており、そして
    ここで、前記並進部材は、高架軌道に対して横に伸びる構造で、そうしてそれ自身が資材収納場所に隣接する位置取りをして、そして資材ユニットを資材収納場所から取るかまたは、資材ユニットを高架軌道に沿って前記第1の位置から資材収納場所へ載置するものである前記自動資材搬送システム。
  2. 前記少なくとも一つの資材収納場所が、複数の資材収納場所であり、これは複数の列と複数の行を含む配列で配列されることを特徴とする請求項1記載のシステム。
  3. 前記複数の資材収納場所が、軌道の第1の側にそれぞれ複数の列と行をなして配列してなる第1の複数の資材収納場所と、軌道の第2の側にそれぞれ複数の列と行をなして配列してなる第2の複数の資材収納場所からなることを特徴とする請求項2のシステム。
  4. 前記第1の複数の収納場所は軌道の第1の側に懸架され、そして第2の複数の収納場所は軌道の第2の側に懸架されることを特徴とする請求項3記載のシステム。
  5. 第1と第2の複数の収納場所は天井から懸架されることを特徴とする請求項4記載のシステム。
  6. 少なくとも一つの資材収納場所が軌道の第1の側から懸架されることを特徴とする請求項1記載のシステム。
  7. 少なくとも1つの資材収納場所が天井から懸架されることを特徴とする請求項6記載のシステム。
  8. 資材ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項1記載のシステム。
  9. 資材ユニットは、少なくとも一つの製造部分からなることを特徴とする請求項1記載のシステム。
  10. 少なくとも一つの資材収納場所が複数の資材収納場所からなり、該複数の資材収納場所は軌道の第2の側に配置される少なくとも一つの資材収納場所を含み、前記軌道の第2の側は軌道の第1の側の反対であることを特徴とする請求項1記載のシステム。
  11. 前記高架ホイスト搬送機関は、前記高架ホイストを第2の位置へ軌道の第2の側に位置する資材収納場所に隣接する高架軌道に沿って移動させる構造となっており、そして前記並進部材は、高架軌道に対して横に伸びる構造で、そうしてそれ自身が軌道の第2の側に配置される資材収納場所に隣接する位置取りをして、そして資材ユニットを前記軌道の第2の側に配置される資材収納場所から吊持するかまたはそれへ載置するものである請求項10記載のシステム。
  12. 前記システムが、さらに、少なくとも一つの資材ユニットを移動させる構造のコンベヤ・サブシステムを具備し、前記サブシステムは軌道の第1の側に配置され、ここで、高架ホイスト搬送機関はコンベアサブシステムに隣接する高架軌道に沿って第2の位置まで高架ホイストを搬送する働きをし、そして、ここで、前記並進部材は、高架軌道に対して横に伸びる構造で、そしてそれ自身がコンベヤ・サブシステムに隣接する位置取りをして、そして資材ユニットを前記コンベヤ・サブシステムから吊持するかまたはそれへ載置するものである請求項1記載のシステム。
  13. コンベヤ・サブシステムが、少なくとも一つのレールを具備し、前記コンベヤ・サブシステムが前記レールに沿って資材ユニットを搬送する構造であることを特徴とする請求項12記載のシステム。
  14. 自動資材搬送システムを運用する方法であって、以下の工程からなる前記方法;
    高架軌道、並進部材を有する高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を具備する少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムを用意し;
    少なくとも一つの資材ユニットを収納する、前記高架軌道の第1の側に配置される少なくとも一つの資材収納場所を用意し;
    前記高架ホイスト搬送機関により、前記高架ホイストを第1の位置へ前記資材収納場所に隣接する高架軌道に沿って移動させ;
    併進部材を含む前記資材収納場所が高架ホイストのレベルよりも低いレベルに配置される場合には、並進部材を含む高架ホイストを資材収納場所の略当該レベルにまで降下させ;
    ここで、並進部材を含む高架ホイストは、高架ホイスト搬送機関から降りる一方で、資材収納場所の略当該レベルにまで低下するものであり;
    並進部材を働かして、これを高架ホイストに対して横に伸ばし、そうしてそれ自身が資材収納場所に隣接する位置取りをさせ;そして
    資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたは、資材ユニットを高架軌道に沿って前記第1の位置から資材収納場所へ載置するものである前記方法。
  15. 第2の用意する工程は、複数の収納場所を用意し、前記複数の収納場所は複数の列と複数の行からなる配列で配列されることを特徴とする請求14記載の方法。
  16. 第2の用意する工程は、軌道の第1の側の複数のそれぞれの列と行に配列した資材収納場所の第1の複数と、軌道の第2の側の複数のそれぞれの列と行に配列した資材収納場所の第2の複数を用意する工程を含み、前記軌道の第2の側は、軌道の第1の側の反対である、請求項15記載の方法。
  17. 第2の用意する工程は、軌道の第1の側で第1の複数の資材収納場所および軌道の第2の側で第2の複数の資材収納場所を用意する工程を含み、第1の複数の資材収納場所は軌道の第1の側で懸垂され、そして資材収納場所の第2の複数は軌道の第2の側で懸垂されてなる請求項16記載の方法。
  18. 第2の用意する工程は、軌道の第1の側で第1の複数の資材収納場所および軌道の第2の側で第2の複数の資材収納場所を用意する工程を含み、第1と第2の複数の資材収納場所は天井から懸垂されてなる請求項16記載の方法。
  19. 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は軌道の第1の側で懸垂されてなることを特徴とする請求14記載の方法。
  20. 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は天井から懸垂されてなることを特徴とする請求14記載の方法。
  21. 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は、少なくともひとつの資材ユニットの収納するものであり、資材ユニットは前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項14記載の方法。
  22. 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は、少なくともひとつの資材ユニットの収納するものであり、資材ユニットは少なくとも一つの製造部分からなることを特徴とする請求項14記載の方法。
  23. 第2の用意する工程は、複数の資材収納場所を用意する工程を含み、各資材収納場所は少なくとも一つの資材ユニットを収納するためであり、複数の資材収納場所は軌道の第2の側に配置される少なくともひとつの資材収納場所を含み、軌道の前記第2の側は、軌道の第1の側の反対である請求項14記載の方法。
  24. 搬送工程は、ホイスト並進部材とその上に装着された高架ホイストを軌道の第2の側に配置された資材収納場所に隣接する軌道に沿って第2の位置へ搬送する工程を含み、更にホイスト並進部材を軌道に対して横に延ばす工程を更に含み、高架ホイストがホイスト搬送機関の傍で軌道の第2の側に配置される資材収納場所に隣接する位置となり、そして資材ユニットを高架ホイストにより軌道の第2の側に配置される資材収納場所から吊持するまたは軌道の第2の側に配置される資材収納場所へ載置する請求項23記載の方法。
  25. 以下を具備する自動資材処理システム:
    高架軌道、並進部材を有する高架ホイストおよび把持部を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、前記並進部材は、それに装着されるホイスト把持具と高架ホイスト搬送機関を有し、該機関は高架ホイストを高架軌道に沿って複数の位置へ搬送し、高架ホイストを複数のレベルへ上昇または降下させ、該各レベルは軌道の位置の少なくとも一つに対応するものであり;および
    少なくともひとつの資材ユニットを収納する少なくとも一つの資材収納場所であって、前記少なくとも一つの資材収納場所は軌道の第1の側の所定のレベルに配置されてなり、
    ここで、前記高架ホイスト搬送機関は並進部材を含む高架ホイストとホイスト把持具を高架軌道に沿って資材収納場所に隣接する第1の軌道位置へ搬送し、そして並進部材とホイスト把持具を資材収納場所の略所定のレベルに位置させるために高架ホイストを降下または上昇させることの少なくとも一つをなさしめるものであり、
    ここで、並進部材は、少なくともホイスト把持具が資材収納場所の略レベルに位置する間は、ホイスト把持具を高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から資材収納場所の直ぐ近くの第2の位置に高架軌道の第1の側に向かって横に伸びることにより移動させるものであり、かくしてホイスト把持具は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる前記システム。
  26. 少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側の所定レベルに配置された第1の資材収納場所と、高架軌道の第2の側の所定レベルに配置された第2の資材収納場所を含み、前記高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対である請求項25に記載のシステム。
  27. 並進部材は、さらに、横に高架軌道の第2の側に向かって延びることにより、ホイスト把持具を、高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から第2の資材収納場所の直ぐ近くの第3の位置へ移動させるものであり、そうしてホイスト把持具が少なくとも一つの資材ユニットを、第2の資材収納場所から吊時するかまたはそれへ載置することが可能となる請求項26に記載のシステム。
  28. 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に一つの列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項25記載のシステム。
  29. 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に多重列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項25記載のシステム。
  30. 前記複数の資材収納場所が、複数の列と複数の行を含む配列で整列する請求項29記載のシステム。
  31. 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側に列で配置される第1の複数の資材収納場所と、高架軌道の第2の側に列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である、請求項25のシステム。
  32. 第1の複数の資材収納場所は高架軌道の第1の側で懸架され、そして第2の複数の資材収納場所は高架軌道の第2の側で懸架される請求項31記載のシステム。
  33. 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項32記載のシステム。
  34. 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側で多重列で配置される第1の複数の資材収納場所と高架軌道の第2の側で多重列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対側である請求項25記載のシステム。
  35. 前記第1と第2の複数の資材収納場所がそれぞれ列に配列し、それぞれは複数の列と複数の行を含む請求項34記載のシステム。
  36. 前記第1の複数の資材収納場所が高架軌道の第1の側で懸架され、前記第2の複数の資材収納場所が高架軌道の第2の側で懸架される請求項34記載のシステム。
  37. 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項36記載のシステム。
  38. 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架ホイストの第1の側で懸架される請求項25記載のシステム。
  39. 少なくとも一つの資材収納場所が天井から懸架される請求項38記載のシステム。
  40. 資材ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項25記載のシステム。
  41. 資材ユニットは、少なくとも一つの製造部分を具備することを特徴とする請求項25記載のシステム。
  42. 自動資材取り扱いシステムの運用方法であって、該方法は以下の工程からなる:
    高架軌道、並進部材を有する高架ホイストおよび把持具部分を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムを用意し、ここで前記並進部材はそれに装着されるホイスト把持具および高架ホイスト搬送機関を有するものであり;
    少なくとも一つの資材ユニットを収納する少なくとも一つの資材収納場所を用意し、前記少なくとも一つの資材収納場所は高架軌道の第1の側の所定レベルに配置され;
    並進部材とホイスト把持具を含む高架ホイストを降下させるかまたは上昇させることの少なくとも一つを遂行して、前記資材収納場所の略所定のレベルにホイスト把持具を位置させ;そして
    ここで、少なくともホイスト把持具が資材収納場所の略レベルに位置する間は、並進部材を高架軌道の第1の側に向かって横に伸ばすことによりホイスト把持具を高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から資材収納場所の直ぐ近くの第2の位置に移動させるものであり、
    かくしてホイスト把持具は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる、前記システム。
  43. 第2の準備工程が、高架軌道の第1の側の所定レベルに配列される第1の資材収納場所と高架軌道の第2の側の所定レベルに配列される第2の資材収納場所を用意する工程を含み、高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である請求項42記載の方法。
  44. 並進部材を横に高架軌道の第2の側へ向かって延ばすことによりホイスト把持具を高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から第2の資材収納場所の直ぐ近くの第3の位置へ移動させ、かくして、ホイスト把持具が少なくとも一つの資材ユニットを第2の資材収納場所から吊持するかまたはそれへ載置することを可能とする工程をさらに含む請求項43の方法。
  45. 以下を具備する自動資材処理システム:
    高架軌道、把持部部分を有する高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、該高架ホイスト搬送機関は、高架ホイストを高架軌道に沿って複数の位置へ搬送し、そして高架ホイストを複数のレベルへ上昇または降下させ、該各レベルは軌道の位置の少なくとも一つに対応するものであり;および、
    少なくともひとつの資材ユニットを収納する少なくとも一つの資材収納場所であって、該少なくとも一つの資材収納場所は軌道の第1の側の所定のレベルに配置されてなり、
    ここで、前記高架ホイスト搬送機関は、把持具部分を含む高架ホイストを高架軌道に沿って資材収納場所に隣接する第1の軌道位置へ搬送し、そして把持具部分を資材収納場所の略所定のレベルに位置させるために高架ホイストを降下または上昇させることの少なくとも一つをなさしめるものであり、そして
    ここで、資材収納場所は、少なくとも把持具部分が資材収納場所の凡そのレベルに位置する間は、高架軌道の第1の側の第1の位置から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に移動するようになっており、かくして把持具部分は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる前記システム。
  46. 少なくとも一つの資材収納場所が、高架軌道の第1の側の所定レベルに配置された第1の資材収納場所と、高架軌道の第2の側の所定レベルに配置された第2の資材収納場所を含み、前記高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対である請求項45に記載のシステム。
  47. 第2の資材収納場所が、さらに、少なくとも保持具部分が第2の資材収納場所の凡そのレベルに位置する間は、高架軌道の第2の側の第3の位置から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に移動するようになっており、かくして把持具部分は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる請求項46に記載のシステム。
  48. 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に一つの列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項45記載のシステム。
  49. 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に多重列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項45に記載のシステム。
  50. 前記複数の資材収納場所が、複数の列と複数の行を含む配列で整列する請求項49記載のシステム。
  51. 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側に列で配置される第1の複数の資材収納場所と、高架軌道の第2の側に列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である、請求項45のシステム。
  52. 第1の複数の資材収納場所は高架軌道の第1の側で懸架され、そして第2の複数の資材収納場所は高架軌道の第2の側で懸架される請求項51記載のシステム。
  53. 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項52に記載のシステム。
  54. 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側で多重列で配置される第1の複数の資材収納場所と、高架軌道の第2の側で多重列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対側である請求項25記載のシステム。
  55. 前記第1と第2の複数の資材収納場所がそれぞれ列に配列し、それぞれは複数の列と複数の行を含む請求項54記載のシステム。
  56. 前記第1の複数の資材収納場所が高架軌道の第1の側で懸架され、前記第2の複数の資材収納場所が高架軌道の第2の側で懸架される請求項54記載のシステム。
  57. 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項56記載のシステム。
  58. 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架ホイストの第1の側で懸架される請求項55に記載のシステム。
  59. 少なくとも一つの資材収納場所が天井から懸架される請求項に58記載のシステム。
  60. 資材ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項45記載のシステム。
  61. 資材ユニットは、少なくとも一つの製造部分を具備することを特徴とする請求項45記載のシステム。
  62. 自動資材取り扱いシステムの運用方法であって、該方法は以下の工程からなる:
    高架軌道、把持具部分を有する高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムを準備し;
    少なくとも一つの資材ユニットを収納するための少なくとも一つの資材収納場所を準備し、前記少なくとも一つの資材収納場所は高架軌道の第1の側の所定レベルに配置されるものであり;
    高架ホイスト搬送機関により資材収納場所に隣接する第1の軌道位置へ軌道に沿って高架ホイストを搬送し;
    把持具部分を資材収納場所の略所定のレベルに位置させるために把持具部分を含む高架ホイストを降下または上昇させることの少なくとも一つをなさしめるものであり;
    少なくとも把持具部分が資材収納場所の凡そのレベルに位置する間は、高架軌道の第1の側から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に資材収納場所を移動させ;および、
    把持具部分により少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置する。
  63. 第2の準備工程が、高架軌道の第1の側の所定レベルに配列される第1の資材収納場所と高架軌道の第2の側の所定レベルに配列される第2の資材収納場所を用意する工程を含み、ここで高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である請求項62記載の方法。
  64. 少なくとも把持具部分が第2の資材収納場所の凡その位置に位置する間、第2の資材収納場所を、高架軌道の第3の位置から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に移動させ、
    そして、把持具部分によりが少なくとも一つの資材ユニットを第2の資材収納場所から吊持するかまたはそれへ載置することの少なくとも一つをなす工程をさらに含む請求項63の方法。
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