JP2006515256A5 - - Google Patents
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- 以下を具備する自動資材処理システム:
高架軌道、高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を具備する少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、高架ホイストは並進部材を含み;および
少なくとも一つの資材収納場所であって、該資材収納場所は少なくとも一つの資材ユニットを収納するようになっていて、これは前記高架軌道の第1の側に配置されてなるものであり、
ここで、前記高架ホイスト搬送機関は、前記高架ホイストを第1の位置へ前記資材収納場所に隣接する高架軌道に沿って移動させるようになっていて、そして前記資材収納場所が高架ホイストのレベルよりも低いレベルに配置される場合には、並進部材を含む高架ホイストを資材収納場所の略当該レベルにまで降下させるものであり、
ここで、並進部材を含む高架ホイストは、資材収納場所の略当該レベルにまで低下される間、高架ホイスト搬送機関から降りるようになっており、そして
ここで、前記並進部材は、高架軌道に対して横に伸びる構造で、そうしてそれ自身が資材収納場所に隣接する位置取りをして、そして資材ユニットを資材収納場所から取るかまたは、資材ユニットを高架軌道に沿って前記第1の位置から資材収納場所へ載置するものである前記自動資材搬送システム。 - 前記少なくとも一つの資材収納場所が、複数の資材収納場所であり、これは複数の列と複数の行を含む配列で配列されることを特徴とする請求項1記載のシステム。
- 前記複数の資材収納場所が、軌道の第1の側にそれぞれ複数の列と行をなして配列してなる第1の複数の資材収納場所と、軌道の第2の側にそれぞれ複数の列と行をなして配列してなる第2の複数の資材収納場所からなることを特徴とする請求項2のシステム。
- 前記第1の複数の収納場所は軌道の第1の側に懸架され、そして第2の複数の収納場所は軌道の第2の側に懸架されることを特徴とする請求項3記載のシステム。
- 第1と第2の複数の収納場所は天井から懸架されることを特徴とする請求項4記載のシステム。
- 少なくとも一つの資材収納場所が軌道の第1の側から懸架されることを特徴とする請求項1記載のシステム。
- 少なくとも1つの資材収納場所が天井から懸架されることを特徴とする請求項6記載のシステム。
- 資材ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項1記載のシステム。
- 資材ユニットは、少なくとも一つの製造部分からなることを特徴とする請求項1記載のシステム。
- 少なくとも一つの資材収納場所が複数の資材収納場所からなり、該複数の資材収納場所は軌道の第2の側に配置される少なくとも一つの資材収納場所を含み、前記軌道の第2の側は軌道の第1の側の反対であることを特徴とする請求項1記載のシステム。
- 前記高架ホイスト搬送機関は、前記高架ホイストを第2の位置へ軌道の第2の側に位置する資材収納場所に隣接する高架軌道に沿って移動させる構造となっており、そして前記並進部材は、高架軌道に対して横に伸びる構造で、そうしてそれ自身が軌道の第2の側に配置される資材収納場所に隣接する位置取りをして、そして資材ユニットを前記軌道の第2の側に配置される資材収納場所から吊持するかまたはそれへ載置するものである請求項10記載のシステム。
- 前記システムが、さらに、少なくとも一つの資材ユニットを移動させる構造のコンベヤ・サブシステムを具備し、前記サブシステムは軌道の第1の側に配置され、ここで、高架ホイスト搬送機関はコンベアサブシステムに隣接する高架軌道に沿って第2の位置まで高架ホイストを搬送する働きをし、そして、ここで、前記並進部材は、高架軌道に対して横に伸びる構造で、そしてそれ自身がコンベヤ・サブシステムに隣接する位置取りをして、そして資材ユニットを前記コンベヤ・サブシステムから吊持するかまたはそれへ載置するものである請求項1記載のシステム。
- コンベヤ・サブシステムが、少なくとも一つのレールを具備し、前記コンベヤ・サブシステムが前記レールに沿って資材ユニットを搬送する構造であることを特徴とする請求項12記載のシステム。
- 自動資材搬送システムを運用する方法であって、以下の工程からなる前記方法;
高架軌道、並進部材を有する高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を具備する少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムを用意し;
少なくとも一つの資材ユニットを収納する、前記高架軌道の第1の側に配置される少なくとも一つの資材収納場所を用意し;
前記高架ホイスト搬送機関により、前記高架ホイストを第1の位置へ前記資材収納場所に隣接する高架軌道に沿って移動させ;
併進部材を含む前記資材収納場所が高架ホイストのレベルよりも低いレベルに配置される場合には、並進部材を含む高架ホイストを資材収納場所の略当該レベルにまで降下させ;
ここで、並進部材を含む高架ホイストは、高架ホイスト搬送機関から降りる一方で、資材収納場所の略当該レベルにまで低下するものであり;
並進部材を働かして、これを高架ホイストに対して横に伸ばし、そうしてそれ自身が資材収納場所に隣接する位置取りをさせ;そして
資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたは、資材ユニットを高架軌道に沿って前記第1の位置から資材収納場所へ載置するものである前記方法。 - 第2の用意する工程は、複数の収納場所を用意し、前記複数の収納場所は複数の列と複数の行からなる配列で配列されることを特徴とする請求14記載の方法。
- 第2の用意する工程は、軌道の第1の側の複数のそれぞれの列と行に配列した資材収納場所の第1の複数と、軌道の第2の側の複数のそれぞれの列と行に配列した資材収納場所の第2の複数を用意する工程を含み、前記軌道の第2の側は、軌道の第1の側の反対である、請求項15記載の方法。
- 第2の用意する工程は、軌道の第1の側で第1の複数の資材収納場所および軌道の第2の側で第2の複数の資材収納場所を用意する工程を含み、第1の複数の資材収納場所は軌道の第1の側で懸垂され、そして資材収納場所の第2の複数は軌道の第2の側で懸垂されてなる請求項16記載の方法。
- 第2の用意する工程は、軌道の第1の側で第1の複数の資材収納場所および軌道の第2の側で第2の複数の資材収納場所を用意する工程を含み、第1と第2の複数の資材収納場所は天井から懸垂されてなる請求項16記載の方法。
- 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は軌道の第1の側で懸垂されてなることを特徴とする請求14記載の方法。
- 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は天井から懸垂されてなることを特徴とする請求14記載の方法。
- 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は、少なくともひとつの資材ユニットの収納するものであり、資材ユニットは前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項14記載の方法。
- 第2の用意する工程は、少なくとも一つの資材収納場所を用意する工程を含み、前記少なくとも一つの資材収納場所は、少なくともひとつの資材ユニットの収納するものであり、資材ユニットは少なくとも一つの製造部分からなることを特徴とする請求項14記載の方法。
- 第2の用意する工程は、複数の資材収納場所を用意する工程を含み、各資材収納場所は少なくとも一つの資材ユニットを収納するためであり、複数の資材収納場所は軌道の第2の側に配置される少なくともひとつの資材収納場所を含み、軌道の前記第2の側は、軌道の第1の側の反対である請求項14記載の方法。
- 搬送工程は、ホイスト並進部材とその上に装着された高架ホイストを軌道の第2の側に配置された資材収納場所に隣接する軌道に沿って第2の位置へ搬送する工程を含み、更にホイスト並進部材を軌道に対して横に延ばす工程を更に含み、高架ホイストがホイスト搬送機関の傍で軌道の第2の側に配置される資材収納場所に隣接する位置となり、そして資材ユニットを高架ホイストにより軌道の第2の側に配置される資材収納場所から吊持するまたは軌道の第2の側に配置される資材収納場所へ載置する請求項23記載の方法。
- 以下を具備する自動資材処理システム:
高架軌道、並進部材を有する高架ホイストおよび把持部を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、前記並進部材は、それに装着されるホイスト把持具と高架ホイスト搬送機関を有し、該機関は高架ホイストを高架軌道に沿って複数の位置へ搬送し、高架ホイストを複数のレベルへ上昇または降下させ、該各レベルは軌道の位置の少なくとも一つに対応するものであり;および
少なくともひとつの資材ユニットを収納する少なくとも一つの資材収納場所であって、前記少なくとも一つの資材収納場所は軌道の第1の側の所定のレベルに配置されてなり、
ここで、前記高架ホイスト搬送機関は並進部材を含む高架ホイストとホイスト把持具を高架軌道に沿って資材収納場所に隣接する第1の軌道位置へ搬送し、そして並進部材とホイスト把持具を資材収納場所の略所定のレベルに位置させるために高架ホイストを降下または上昇させることの少なくとも一つをなさしめるものであり、
ここで、並進部材は、少なくともホイスト把持具が資材収納場所の略レベルに位置する間は、ホイスト把持具を高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から資材収納場所の直ぐ近くの第2の位置に高架軌道の第1の側に向かって横に伸びることにより移動させるものであり、かくしてホイスト把持具は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる前記システム。 - 少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側の所定レベルに配置された第1の資材収納場所と、高架軌道の第2の側の所定レベルに配置された第2の資材収納場所を含み、前記高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対である請求項25に記載のシステム。
- 並進部材は、さらに、横に高架軌道の第2の側に向かって延びることにより、ホイスト把持具を、高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から第2の資材収納場所の直ぐ近くの第3の位置へ移動させるものであり、そうしてホイスト把持具が少なくとも一つの資材ユニットを、第2の資材収納場所から吊時するかまたはそれへ載置することが可能となる請求項26に記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に一つの列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項25記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に多重列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項25記載のシステム。
- 前記複数の資材収納場所が、複数の列と複数の行を含む配列で整列する請求項29記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側に列で配置される第1の複数の資材収納場所と、高架軌道の第2の側に列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である、請求項25のシステム。
- 第1の複数の資材収納場所は高架軌道の第1の側で懸架され、そして第2の複数の資材収納場所は高架軌道の第2の側で懸架される請求項31記載のシステム。
- 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項32記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側で多重列で配置される第1の複数の資材収納場所と高架軌道の第2の側で多重列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対側である請求項25記載のシステム。
- 前記第1と第2の複数の資材収納場所がそれぞれ列に配列し、それぞれは複数の列と複数の行を含む請求項34記載のシステム。
- 前記第1の複数の資材収納場所が高架軌道の第1の側で懸架され、前記第2の複数の資材収納場所が高架軌道の第2の側で懸架される請求項34記載のシステム。
- 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項36記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架ホイストの第1の側で懸架される請求項25記載のシステム。
- 少なくとも一つの資材収納場所が天井から懸架される請求項38記載のシステム。
- 資材ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項25記載のシステム。
- 資材ユニットは、少なくとも一つの製造部分を具備することを特徴とする請求項25記載のシステム。
- 自動資材取り扱いシステムの運用方法であって、該方法は以下の工程からなる:
高架軌道、並進部材を有する高架ホイストおよび把持具部分を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムを用意し、ここで前記並進部材はそれに装着されるホイスト把持具および高架ホイスト搬送機関を有するものであり;
少なくとも一つの資材ユニットを収納する少なくとも一つの資材収納場所を用意し、前記少なくとも一つの資材収納場所は高架軌道の第1の側の所定レベルに配置され;
並進部材とホイスト把持具を含む高架ホイストを降下させるかまたは上昇させることの少なくとも一つを遂行して、前記資材収納場所の略所定のレベルにホイスト把持具を位置させ;そして
ここで、少なくともホイスト把持具が資材収納場所の略レベルに位置する間は、並進部材を高架軌道の第1の側に向かって横に伸ばすことによりホイスト把持具を高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から資材収納場所の直ぐ近くの第2の位置に移動させるものであり、
かくしてホイスト把持具は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる、前記システム。 - 第2の準備工程が、高架軌道の第1の側の所定レベルに配列される第1の資材収納場所と高架軌道の第2の側の所定レベルに配列される第2の資材収納場所を用意する工程を含み、高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である請求項42記載の方法。
- 並進部材を横に高架軌道の第2の側へ向かって延ばすことによりホイスト把持具を高架ホイスト搬送機関の直ぐ近くの第1の位置から第2の資材収納場所の直ぐ近くの第3の位置へ移動させ、かくして、ホイスト把持具が少なくとも一つの資材ユニットを第2の資材収納場所から吊持するかまたはそれへ載置することを可能とする工程をさらに含む請求項43の方法。
- 以下を具備する自動資材処理システム:
高架軌道、把持部部分を有する高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムであって、該高架ホイスト搬送機関は、高架ホイストを高架軌道に沿って複数の位置へ搬送し、そして高架ホイストを複数のレベルへ上昇または降下させ、該各レベルは軌道の位置の少なくとも一つに対応するものであり;および、
少なくともひとつの資材ユニットを収納する少なくとも一つの資材収納場所であって、該少なくとも一つの資材収納場所は軌道の第1の側の所定のレベルに配置されてなり、
ここで、前記高架ホイスト搬送機関は、把持具部分を含む高架ホイストを高架軌道に沿って資材収納場所に隣接する第1の軌道位置へ搬送し、そして把持具部分を資材収納場所の略所定のレベルに位置させるために高架ホイストを降下または上昇させることの少なくとも一つをなさしめるものであり、そして
ここで、資材収納場所は、少なくとも把持具部分が資材収納場所の凡そのレベルに位置する間は、高架軌道の第1の側の第1の位置から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に移動するようになっており、かくして把持具部分は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる前記システム。 - 少なくとも一つの資材収納場所が、高架軌道の第1の側の所定レベルに配置された第1の資材収納場所と、高架軌道の第2の側の所定レベルに配置された第2の資材収納場所を含み、前記高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対である請求項45に記載のシステム。
- 第2の資材収納場所が、さらに、少なくとも保持具部分が第2の資材収納場所の凡そのレベルに位置する間は、高架軌道の第2の側の第3の位置から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に移動するようになっており、かくして把持具部分は少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置することが可能となる請求項46に記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に一つの列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項45記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架軌道の傍で実質的に並行に多重列となって配列される複数の資材収納場所からなる請求項45に記載のシステム。
- 前記複数の資材収納場所が、複数の列と複数の行を含む配列で整列する請求項49記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側に列で配置される第1の複数の資材収納場所と、高架軌道の第2の側に列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である、請求項45のシステム。
- 第1の複数の資材収納場所は高架軌道の第1の側で懸架され、そして第2の複数の資材収納場所は高架軌道の第2の側で懸架される請求項51記載のシステム。
- 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項52に記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所は、高架軌道の第1の側で多重列で配置される第1の複数の資材収納場所と、高架軌道の第2の側で多重列で配置される第2の複数の資材収納場所からなり、高架軌道の第2の側は高架軌道の第1の側の反対側である請求項25記載のシステム。
- 前記第1と第2の複数の資材収納場所がそれぞれ列に配列し、それぞれは複数の列と複数の行を含む請求項54記載のシステム。
- 前記第1の複数の資材収納場所が高架軌道の第1の側で懸架され、前記第2の複数の資材収納場所が高架軌道の第2の側で懸架される請求項54記載のシステム。
- 第1と第2の複数の資材収納場所が天井から懸架される請求項56記載のシステム。
- 前記少なくとも一つの資材収納場所が高架ホイストの第1の側で懸架される請求項55に記載のシステム。
- 少なくとも一つの資材収納場所が天井から懸架される請求項に58記載のシステム。
- 資材ユニットは、前開き一体型ポッド(FOUP)からなることを特徴とする請求項45記載のシステム。
- 資材ユニットは、少なくとも一つの製造部分を具備することを特徴とする請求項45記載のシステム。
- 自動資材取り扱いシステムの運用方法であって、該方法は以下の工程からなる:
高架軌道、把持具部分を有する高架ホイストおよび高架ホイスト搬送機関を含む少なくとも一つの高架ホイスト搬送サブシステムを準備し;
少なくとも一つの資材ユニットを収納するための少なくとも一つの資材収納場所を準備し、前記少なくとも一つの資材収納場所は高架軌道の第1の側の所定レベルに配置されるものであり;
高架ホイスト搬送機関により資材収納場所に隣接する第1の軌道位置へ軌道に沿って高架ホイストを搬送し;
把持具部分を資材収納場所の略所定のレベルに位置させるために把持具部分を含む高架ホイストを降下または上昇させることの少なくとも一つをなさしめるものであり;
少なくとも把持具部分が資材収納場所の凡そのレベルに位置する間は、高架軌道の第1の側から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に資材収納場所を移動させ;および、
把持具部分により少なくとも一つの資材ユニットを資材収納場所から吊持するかまたはそこへ載置する。 - 第2の準備工程が、高架軌道の第1の側の所定レベルに配列される第1の資材収納場所と高架軌道の第2の側の所定レベルに配列される第2の資材収納場所を用意する工程を含み、ここで高架軌道の第2の側は、高架軌道の第1の側の向かい側である請求項62記載の方法。
- 少なくとも把持具部分が第2の資材収納場所の凡その位置に位置する間、第2の資材収納場所を、高架軌道の第3の位置から高架ホイストの実質的に直ぐ下の第2の位置へ横に移動させ、
そして、把持具部分によりが少なくとも一つの資材ユニットを第2の資材収納場所から吊持するかまたはそれへ載置することの少なくとも一つをなす工程をさらに含む請求項63の方法。
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US7661919B2 (en) | 2005-09-28 | 2010-02-16 | Muratec Automation Co., Ltd. | Discontinuous conveyor system |
JP2009514235A (ja) * | 2005-10-27 | 2009-04-02 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 水平方向配列ストッカ |
US20080107507A1 (en) * | 2005-11-07 | 2008-05-08 | Bufano Michael L | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
WO2007056443A2 (en) * | 2005-11-07 | 2007-05-18 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
US8267634B2 (en) * | 2005-11-07 | 2012-09-18 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
CN100435310C (zh) * | 2005-12-19 | 2008-11-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体制造用自动化物料运输系统 |
JP2007191235A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
WO2008024225A2 (en) | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
JP4849331B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-01-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5041207B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-10-03 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP4277287B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2009-06-10 | 村田機械株式会社 | 天井走行車 |
JP2008195471A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
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US20090067957A1 (en) * | 2007-09-06 | 2009-03-12 | Mitsuhiro Ando | Transport system with buffering |
JP4543338B2 (ja) | 2007-11-13 | 2010-09-15 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システムとそのバッファの施工方法 |
US7992734B2 (en) * | 2008-01-11 | 2011-08-09 | International Business Machines Corporation | Semiconductor automation buffer storage identification system and method |
US9633881B2 (en) * | 2008-02-05 | 2017-04-25 | Brooks Automation, Inc. | Automatic handling buffer for bare stocker |
US9048274B2 (en) * | 2008-12-08 | 2015-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Portable stocker and method of using same |
KR100959505B1 (ko) * | 2009-08-12 | 2010-05-27 | (주) 엠에스피 | 반도체 웨이퍼 운송용 자동 로드버퍼 |
JP5445015B2 (ja) * | 2009-10-14 | 2014-03-19 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | キャリア移載促進装置 |
US8977387B2 (en) * | 2009-10-29 | 2015-03-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method for overhead cross-system transportation |
JP5273118B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2013-08-28 | 村田機械株式会社 | 搬送車及び搬送システム |
JP5648983B2 (ja) * | 2010-11-04 | 2015-01-07 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
JP5750926B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-07-22 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
JP5472209B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2014-04-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US8888434B2 (en) | 2011-09-05 | 2014-11-18 | Dynamic Micro System | Container storage add-on for bare workpiece stocker |
KR20130098688A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 삼성전자주식회사 | 호이스트 장치 및 이를 갖는 호이스트 시스템 |
US9558978B2 (en) * | 2012-05-04 | 2017-01-31 | Kla-Tencor Corporation | Material handling with dedicated automated material handling system |
EP2754357B1 (de) * | 2013-01-09 | 2018-07-18 | Hauni Maschinenbau GmbH | Verfahren zur bedarfsgesteuerten Versorgung und Entsorgung mindestens zweier Produktionsstationen der Tabak verarbeitenden Industrie mit vollen und/oder leeren Transporteinheiten |
US9852934B2 (en) | 2014-02-14 | 2017-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor wafer transportation |
US10332770B2 (en) | 2014-09-24 | 2019-06-25 | Sandisk Technologies Llc | Wafer transfer system |
JP6048686B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-21 | 村田機械株式会社 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
EP3286781A1 (de) * | 2015-04-22 | 2018-02-28 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Serviceeinrichtung |
WO2017029871A1 (ja) * | 2015-08-14 | 2017-02-23 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
CN105173504A (zh) * | 2015-09-29 | 2015-12-23 | 扬中中科维康智能科技有限公司 | 一种自动仓储机器人系统 |
CN105564442B (zh) * | 2016-01-15 | 2018-03-02 | 彭红廷 | 空铁运输系统及空铁运输方法 |
KR102326782B1 (ko) * | 2016-06-28 | 2021-11-17 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 오버헤드 제조, 프로세싱 및 스토리지 시스템 |
CN106743016B (zh) * | 2016-12-29 | 2018-10-09 | 库控(上海)实业有限公司 | 一种机械化存取仓库 |
KR102037950B1 (ko) * | 2017-08-17 | 2019-10-29 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 공급 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 |
US11027944B2 (en) * | 2017-09-08 | 2021-06-08 | Otis Elevator Company | Climbing elevator transfer system and methods |
CN111212797B (zh) * | 2017-11-02 | 2021-07-20 | 村田机械株式会社 | 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法 |
US11465840B2 (en) | 2017-11-14 | 2022-10-11 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
US11794996B2 (en) * | 2017-11-14 | 2023-10-24 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
US11396424B2 (en) | 2017-11-14 | 2022-07-26 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
NZ765310A (en) * | 2017-11-14 | 2022-04-29 | Hai Robotics Co Ltd | Automated guided vehicle designed for warehouse |
CN108423352A (zh) * | 2017-12-16 | 2018-08-21 | 楚天科技股份有限公司 | 车间隐蔽式智能转运系统 |
US11437258B2 (en) | 2018-08-30 | 2022-09-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Workpiece storage system, method of storing workpiece, and method of transferring workpiece using the same |
JP6814412B2 (ja) * | 2018-10-23 | 2021-01-20 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
US11597598B2 (en) | 2019-02-01 | 2023-03-07 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
US11542135B2 (en) | 2019-02-01 | 2023-01-03 | Hai Robotics Co., Ltd. | Handling robot |
CN113573991B (zh) * | 2019-03-22 | 2022-10-21 | 村田机械株式会社 | 搬送车系统 |
KR102242361B1 (ko) | 2019-12-10 | 2021-04-20 | 제닉스주식회사 | 이송 시스템 및 이것의 제어 방법 |
KR20230023301A (ko) | 2021-08-10 | 2023-02-17 | 삼성전자주식회사 | 선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템 |
CN113467199B (zh) * | 2021-09-06 | 2021-11-12 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置 |
WO2023218757A1 (ja) * | 2022-05-10 | 2023-11-16 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
Family Cites Families (194)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US343293A (en) | 1886-06-08 | bowen | ||
US328408A (en) | 1885-10-13 | isbell | ||
US618318A (en) * | 1899-01-24 | Coin-case | ||
US1352947A (en) * | 1917-10-29 | 1920-09-14 | Jonathan P B Fiske | Process for handling clay products |
US2317689A (en) | 1941-04-21 | 1943-04-27 | Earl B Spencer | Underdrive for traveling cranes, monorails, and the like |
US2827189A (en) | 1955-10-27 | 1958-03-18 | Robert N Sergeant | Lift truck attachment for handling drums |
US3049247A (en) | 1956-04-10 | 1962-08-14 | Jerome H Lemelson | Automated storage |
US3042227A (en) | 1958-09-26 | 1962-07-03 | Sea Land Service | Shipboard freight container transferring apparatus |
US3119501A (en) | 1961-10-10 | 1964-01-28 | Jerome H Lemelson | Automatic warehousing system |
US3422967A (en) | 1965-10-24 | 1969-01-21 | Peter A Aron | Automatic manipulator and positioning system |
US3467264A (en) | 1966-07-19 | 1969-09-16 | Euclid Crane & Hoist Co The | Load transfer and storage mechanism |
US3499554A (en) * | 1968-02-21 | 1970-03-10 | Commercial Affiliates | Stacker crane and warehouse system and method for stacking and storing rolls of material |
JPS4831521B1 (ja) | 1968-05-07 | 1973-09-29 | ||
US3750804A (en) * | 1969-03-07 | 1973-08-07 | Triax Co | Load handling mechanism and automatic storage system |
US3531002A (en) * | 1969-07-15 | 1970-09-29 | Triax Co | Automatic storage apparatus |
US3583584A (en) * | 1969-08-18 | 1971-06-08 | Mcneil Corp | Warehousing |
US3701442A (en) | 1970-09-25 | 1972-10-31 | Mcneil Corp | Storage and retrieval apparatus |
US3700121A (en) | 1971-02-22 | 1972-10-24 | Baker Perkins Inc | Rack loading and unloading apparatus |
US3762531A (en) * | 1971-08-26 | 1973-10-02 | Eaton Corp | Load stacker |
CH542137A (de) | 1972-04-19 | 1973-09-30 | Sperry Rand Corp | Einrichtung zur Verriegelung und Kontrolle der Verriegelung von Behältern für den Transport auf Trägern in einer Artikelaufbewahrungsanlage |
US3770137A (en) | 1972-09-01 | 1973-11-06 | I Slutsky | Overhead transporter and reloader |
US3968885A (en) | 1973-06-29 | 1976-07-13 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for handling workpieces |
US4088232A (en) * | 1974-04-01 | 1978-05-09 | Clark Equipment Co. | Apparatus with storage cells disposed adjacent vertical shafts having covers and a lift means movable thereabove |
US4190013A (en) * | 1977-03-22 | 1980-02-26 | Otis Roger W | Floating dry storage facility for small boats |
US4398630A (en) | 1978-07-17 | 1983-08-16 | Brems John Henry | Workpiece vertical conveyor system |
US4243147A (en) | 1979-03-12 | 1981-01-06 | Twitchell Brent L | Three-dimensional lift |
US4311427A (en) * | 1979-12-21 | 1982-01-19 | Varian Associates, Inc. | Wafer transfer system |
US4457661A (en) * | 1981-12-07 | 1984-07-03 | Applied Materials, Inc. | Wafer loading apparatus |
JPS5937205A (ja) | 1982-08-25 | 1984-02-29 | Hitachi Ltd | 車室シ−ル装置 |
JPS5937205U (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-08 | 株式会社ダイフク | 棚設備 |
US4682927A (en) * | 1982-09-17 | 1987-07-28 | Nacom Industries, Incorporated | Conveyor system |
US4540326A (en) * | 1982-09-17 | 1985-09-10 | Nacom Industries, Inc. | Semiconductor wafer transport system |
US4642017A (en) | 1982-09-30 | 1987-02-10 | Amca International Corporation | Automated in-process pipe storage and retrieval system |
US4541769A (en) * | 1983-07-18 | 1985-09-17 | Twin City Monorail | Stacker crane fork mounting system |
US4668484A (en) * | 1984-02-13 | 1987-05-26 | Elliott David J | Transport containers for semiconductor wafers |
DE3485800T2 (de) | 1984-12-27 | 1993-02-11 | Inst Rech De La Construction N | Verfahren zur behandlung grosser objekte. |
DE3504751A1 (de) | 1985-02-08 | 1986-08-14 | Bellheimer Metallwerk GmbH, 6729 Bellheim | Umlaufregal |
US4801236A (en) | 1985-04-06 | 1989-01-31 | Karl Mengele & Sohne Gmbh & Co. | Mechanical inventory storage and delivery cabinet |
JPH0227838Y2 (ja) | 1985-08-23 | 1990-07-26 | ||
US4776744A (en) * | 1985-09-09 | 1988-10-11 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for wafer handling in semiconductor process equipment |
US4816116A (en) * | 1985-10-24 | 1989-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor wafer transfer method and arm mechanism |
SU1326512A1 (ru) | 1986-03-25 | 1987-07-30 | Предприятие П/Я М-5588 | Устройство дл перемещени и перегрузки |
US4756657A (en) * | 1986-04-04 | 1988-07-12 | Interlake, Inc. | Stacker bin shuttle |
US5083262A (en) | 1986-04-28 | 1992-01-21 | International Business Machines Corporation | Language bindings for graphics functions to enable one application program to be used in different processing environments |
US4934767A (en) * | 1986-05-16 | 1990-06-19 | Thermco Systems, Inc. | Semiconductor wafer carrier input/output drawer |
JPH06104554B2 (ja) | 1986-06-13 | 1994-12-21 | 村田機械株式会社 | 天井自走車 |
US5380139A (en) * | 1986-06-30 | 1995-01-10 | Kone Oy | Load handling method and system |
JPH0834235B2 (ja) | 1986-07-31 | 1996-03-29 | 清水建設株式会社 | ウエハの天吊移送ロボット |
US4886412A (en) * | 1986-10-28 | 1989-12-12 | Tetron, Inc. | Method and system for loading wafers |
GB2198406B (en) * | 1986-11-26 | 1990-12-12 | Shinko Electric Co Ltd | Railway carrier apparatus for semiconductor wafers |
US4775281A (en) * | 1986-12-02 | 1988-10-04 | Teradyne, Inc. | Apparatus and method for loading and unloading wafers |
US5080549A (en) * | 1987-05-11 | 1992-01-14 | Epsilon Technology, Inc. | Wafer handling system with Bernoulli pick-up |
IT1222730B (it) * | 1987-09-25 | 1990-09-12 | Savio Spa | Metodo ed apparecchio per la rimozione di bobine di filato e loro deposito in un carrello a pioli |
JPH01285512A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-16 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫の在庫管理システム |
US5128912A (en) * | 1988-07-14 | 1992-07-07 | Cygnet Systems Incorporated | Apparatus including dual carriages for storing and retrieving information containing discs, and method |
US5064337A (en) * | 1988-07-19 | 1991-11-12 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers |
DE3825401A1 (de) | 1988-07-22 | 1990-01-25 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Umlaufregal |
US5536128A (en) | 1988-10-21 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for carrying a variety of products |
JPH02117506A (ja) | 1988-10-24 | 1990-05-02 | Itoki Kosakusho Co Ltd | 自動保管検索装置 |
DE3906718A1 (de) * | 1989-03-03 | 1990-09-06 | Palitex Project Co Gmbh | Transport- und handhabungssystem fuer vielstellen-textilmaschinen insbesondere zwirnmaschinen |
JPH0818648B2 (ja) | 1989-12-06 | 1996-02-28 | 日立造船株式会社 | トンネルセグメントの一時保管・搬入設備 |
JPH03225847A (ja) | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハカセツトストツカ |
SE466246B (sv) | 1990-12-14 | 1992-01-20 | Volvo Ab | Anordning foer oeverfoering av arbetsstycken fraan en maskin till en annan, foeretraedesvis pressar |
JPH0577183A (ja) | 1991-09-24 | 1993-03-30 | Toshiba Corp | ロボツトの制御装置 |
JP2548081Y2 (ja) | 1992-01-13 | 1997-09-17 | 村田機械株式会社 | クリーン搬送システム |
JPH05186050A (ja) | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 版材の吊り上げ移載装置 |
JP2576398Y2 (ja) † | 1992-01-29 | 1998-07-09 | 川鉄マシナリー株式会社 | 橋形クレーン |
JPH05278853A (ja) | 1992-03-31 | 1993-10-26 | Murata Mach Ltd | 天井走行台車 |
JP2810592B2 (ja) | 1992-07-06 | 1998-10-15 | シャープ株式会社 | ディジタル情報再生装置 |
JPH0653578A (ja) | 1992-07-30 | 1994-02-25 | I N R Kenkyusho:Kk | レーザー装置 |
JPH0653835A (ja) | 1992-08-03 | 1994-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | D/a変換装置 |
JPH0661487A (ja) | 1992-08-05 | 1994-03-04 | Fuji Xerox Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH0653578U (ja) † | 1992-12-22 | 1994-07-22 | 近藤 彰宏 | 荷役装置 |
GB2293590B (en) * | 1993-03-01 | 1997-03-26 | Kawasaki Steel Co | A Stacker Crane having a Fork-lift Apparatus |
US5417537A (en) * | 1993-05-07 | 1995-05-23 | Miller; Kenneth C. | Wafer transport device |
US5570990A (en) | 1993-11-05 | 1996-11-05 | Asyst Technologies, Inc. | Human guided mobile loader stocker |
JP3246642B2 (ja) * | 1994-05-16 | 2002-01-15 | 特種製紙株式会社 | 段積みしたシート状包装体の自動ピッキング方法及び装置 |
JP3331746B2 (ja) * | 1994-05-17 | 2002-10-07 | 神鋼電機株式会社 | 搬送システム |
JPH0817894A (ja) | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板表面処理装置 |
US5615988A (en) * | 1995-07-07 | 1997-04-01 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having rotational capability |
US5647718A (en) * | 1995-07-07 | 1997-07-15 | Pri Automation, Inc. | Straight line wafer transfer system |
US5741109A (en) * | 1995-07-07 | 1998-04-21 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having vertical lifting capability |
US5738574A (en) * | 1995-10-27 | 1998-04-14 | Applied Materials, Inc. | Continuous processing system for chemical mechanical polishing |
US5820237A (en) | 1995-10-27 | 1998-10-13 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Vertical stacking system using controlled access method |
US5751581A (en) * | 1995-11-13 | 1998-05-12 | Advanced Micro Devices | Material movement server |
JP3669057B2 (ja) | 1996-06-03 | 2005-07-06 | アシスト シンコー株式会社 | ストッカへの搬送システム |
JP3436334B2 (ja) | 1996-08-06 | 2003-08-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP3067656B2 (ja) * | 1996-09-30 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | ワーク搬送システム |
JP3067682B2 (ja) | 1997-03-13 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
TW348162B (en) * | 1996-09-30 | 1998-12-21 | Murada Kikai Kk | Work carrying system |
US6078845A (en) * | 1996-11-25 | 2000-06-20 | Schlumberger Technologies, Inc. | Apparatus for carrying semiconductor devices |
JP2968742B2 (ja) | 1997-01-24 | 1999-11-02 | 山形日本電気株式会社 | 自動保管棚及び自動保管方法 |
US6092978A (en) | 1997-03-12 | 2000-07-25 | Fishchersips, Inc. | Alignment device used to manufacture a plurality of structural insulated panels |
US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
JPH1116981A (ja) | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US5893795A (en) * | 1997-07-11 | 1999-04-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for moving a cassette |
US6579052B1 (en) | 1997-07-11 | 2003-06-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF pod storage, delivery and retrieval system |
US5993148A (en) * | 1997-07-22 | 1999-11-30 | Micron Technology, Inc. | Article transfer methods |
JPH1159829A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法 |
WO1999013495A2 (en) * | 1997-09-12 | 1999-03-18 | Novus Corporation | Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers |
US6002840A (en) * | 1997-09-30 | 1999-12-14 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus |
JP3637947B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2005-04-13 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
JPH11121582A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備 |
US5947802A (en) * | 1997-11-05 | 1999-09-07 | Aplex, Inc. | Wafer shuttle system |
JP2002504744A (ja) * | 1997-11-28 | 2002-02-12 | マットソン テクノロジイ インコーポレイテッド | 真空処理を行う非加工物を、低汚染かつ高処理能力で取扱うためのシステムおよび方法 |
JPH11180505A (ja) | 1997-12-22 | 1999-07-06 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JPH11222122A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 分岐軌道を備えた搬送設備 |
US6035245A (en) * | 1998-03-24 | 2000-03-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Automated material handling system method and arrangement |
TW568879B (en) | 1998-04-01 | 2004-01-01 | Asyst Shinko Inc | Suspension type hoist |
JPH11349280A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
US6102647A (en) | 1998-06-26 | 2000-08-15 | Intel Corporation | Cart for transferring objects |
JP2000016521A (ja) | 1998-07-02 | 2000-01-18 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
JP2000053237A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-22 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送設備 |
US7023440B1 (en) | 1998-09-14 | 2006-04-04 | Fisher Rosemount Systems, Inc. | Methods and apparatus for integrated display of process events and trend data |
US6604624B2 (en) * | 1998-09-22 | 2003-08-12 | Hirata Corporation | Work conveying system |
KR100646906B1 (ko) | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
US20010014268A1 (en) * | 1998-10-28 | 2001-08-16 | Charles S. Bryson | Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage |
JP4221789B2 (ja) | 1998-11-12 | 2009-02-12 | アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 | ホイスト付天井走行搬送装置 |
US6068437A (en) * | 1998-11-24 | 2000-05-30 | Lab-Interlink | Automated laboratory specimen organizer and storage unit |
JP2000161457A (ja) † | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Shinko Electric Co Ltd | 直進/回転機構 |
US6283692B1 (en) | 1998-12-01 | 2001-09-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
JP3375907B2 (ja) | 1998-12-02 | 2003-02-10 | 神鋼電機株式会社 | 天井走行搬送装置 |
US6240335B1 (en) * | 1998-12-14 | 2001-05-29 | Palo Alto Technologies, Inc. | Distributed control system architecture and method for a material transport system |
US6435330B1 (en) | 1998-12-18 | 2002-08-20 | Asyai Technologies, Inc. | In/out load port transfer mechanism |
JP2000188316A (ja) | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Hitachi Ltd | 搬送方法および装置ならびにそれを用いた半導体装置の製造方法 |
DE19900804C2 (de) | 1999-01-12 | 2000-10-19 | Siemens Ag | Fördersystem |
US6356256B1 (en) | 1999-01-19 | 2002-03-12 | Vina Technologies, Inc. | Graphical user interface for display of statistical data |
JP4267742B2 (ja) | 1999-03-12 | 2009-05-27 | 平田機工株式会社 | 天井搬送装置及びこれを用いた物流ラインシステム |
US6304051B1 (en) | 1999-03-15 | 2001-10-16 | Berkeley Process Control, Inc. | Self teaching robotic carrier handling system |
JP4288747B2 (ja) | 1999-04-01 | 2009-07-01 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送装置 |
DE19921072A1 (de) * | 1999-05-08 | 2000-11-09 | Acr Automation In Cleanroom | Einrichtung zum Handhaben von Substraten innerhalb und außerhalb eines Reinstarbeitsraumes |
US6361422B1 (en) * | 1999-06-15 | 2002-03-26 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for transferring semiconductor substrates using an input module |
TW466153B (en) | 1999-06-22 | 2001-12-01 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for measuring a pad profile and closed loop control of a pad conditioning process |
JP2001031216A (ja) | 1999-07-26 | 2001-02-06 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
US6308818B1 (en) * | 1999-08-02 | 2001-10-30 | Asyst Technologies, Inc. | Transport system with integrated transport carrier and directors |
EP1079421A1 (en) | 1999-08-12 | 2001-02-28 | Semiconductor 300 GmbH & Co. KG | Overhead transport system for open cassette transport |
JP3769425B2 (ja) | 1999-09-21 | 2006-04-26 | シャープ株式会社 | 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 |
US7330886B2 (en) | 1999-10-27 | 2008-02-12 | American Power Conversion Corporation | Network appliance management |
JP3458083B2 (ja) | 1999-11-17 | 2003-10-20 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ | 基板収納治具搬送システム |
JP3716693B2 (ja) * | 1999-12-06 | 2005-11-16 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
JP2001171970A (ja) | 1999-12-20 | 2001-06-26 | Tsubakimoto Chain Co | 天井走行搬送車におけるワーク旋回方法 |
WO2001055805A1 (de) | 2000-01-29 | 2001-08-02 | Abb Research Ltd. | System und verfahren zur ermittlung der produktionsanlagen-effektivität, von fehlerereignissen und der fehlerursachen |
US6421571B1 (en) | 2000-02-29 | 2002-07-16 | Bently Nevada Corporation | Industrial plant asset management system: apparatus and method |
JP2001242978A (ja) | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Yokogawa Electric Corp | グラフ上のデータの属性を表示する方法および装置 |
US20020025244A1 (en) * | 2000-04-12 | 2002-02-28 | Kim Ki-Sang | Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
TW514618B (en) | 2000-04-12 | 2002-12-21 | Samsung Electronics Co Ltd | A transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
US6303398B1 (en) * | 2000-05-04 | 2001-10-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system of managing wafers in a semiconductor device production facility |
US6564120B1 (en) * | 2000-05-11 | 2003-05-13 | Cryo-Cell International, Inc. | Storage system, particularly with automatic insertion and retrieval |
US6364593B1 (en) * | 2000-06-06 | 2002-04-02 | Brooks Automation | Material transport system |
US6450318B1 (en) | 2000-06-16 | 2002-09-17 | Tec Engineering Corporation | Overhead monorail system |
US6530735B1 (en) | 2000-06-22 | 2003-03-11 | Amkor Technology, Inc. | Gripper assembly |
US6695120B1 (en) * | 2000-06-22 | 2004-02-24 | Amkor Technology, Inc. | Assembly for transporting material |
EP1202325A1 (en) | 2000-10-25 | 2002-05-02 | Semiconductor300 GmbH & Co KG | Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier |
US6677690B2 (en) * | 2001-02-02 | 2004-01-13 | Asyst Technologies, Inc. | System for safeguarding integrated intrabay pod delivery and storage system |
TW522292B (en) | 2001-02-06 | 2003-03-01 | Asml Us Inc | Inertial temperature control system and method |
JP3514312B2 (ja) * | 2001-03-07 | 2004-03-31 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ | ウェハ搬送装置 |
JP2002270662A (ja) | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法 |
US6453574B1 (en) * | 2001-03-28 | 2002-09-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Method for aligning a cassette pod to an overhead hoist transport system |
US6519502B2 (en) | 2001-03-28 | 2003-02-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Apparatus and method for positioning a cassette pod onto a loadport by an overhead hoist transport system |
US20020187024A1 (en) * | 2001-06-12 | 2002-12-12 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a carrier |
US20020197136A1 (en) | 2001-06-21 | 2002-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for aligning the loading/unloading of a wafer cassette to/from a loadport by an overhead hoist transport system |
US6904561B1 (en) | 2001-07-19 | 2005-06-07 | Microsoft Corp. | Integrated timeline and logically-related list view |
JP2003188229A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Hitachi Kasado Eng Co Ltd | ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法 |
US6775918B2 (en) | 2002-02-06 | 2004-08-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Wafer cassette pod equipped with position sensing device |
US6726429B2 (en) * | 2002-02-19 | 2004-04-27 | Vertical Solutions, Inc. | Local store for a wafer processing station |
US6812926B1 (en) | 2002-02-26 | 2004-11-02 | Microsoft Corporation | Displaying data containing outlying data items |
US6923612B2 (en) * | 2002-03-29 | 2005-08-02 | TGW Transportgeräte GmbH & Co. KG | Load-handling system and telescopic arm therefor |
US6715978B2 (en) * | 2002-04-22 | 2004-04-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker |
US6881020B2 (en) * | 2002-04-26 | 2005-04-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist |
EP1535143A4 (en) | 2002-06-19 | 2010-05-05 | Brooks Automation Inc | AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS |
US20040191032A1 (en) | 2002-07-19 | 2004-09-30 | R. Foulke Development Company, Llc | Bi-directional arm and storage system |
US7570262B2 (en) | 2002-08-08 | 2009-08-04 | Reuters Limited | Method and system for displaying time-series data and correlated events derived from text mining |
US6748282B2 (en) | 2002-08-22 | 2004-06-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Flexible dispatching system and method for coordinating between a manual automated dispatching mode |
KR101446511B1 (ko) | 2002-10-11 | 2014-10-07 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 자동 재료 핸들링 시스템 |
US20040101386A1 (en) | 2002-11-22 | 2004-05-27 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Vertical carousel with top and side access stations |
SE524799C2 (sv) | 2002-11-29 | 2004-10-05 | Zealcore Embedded Solutions Ab | Förfarande och dataprogram för debuggning av en programkod |
JP3991852B2 (ja) | 2002-12-09 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
JP4045451B2 (ja) | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
US7292245B2 (en) | 2004-01-20 | 2007-11-06 | Sensitron, Inc. | Method and apparatus for time series graph display |
US7446769B2 (en) | 2004-02-10 | 2008-11-04 | International Business Machines Corporation | Tightly-coupled synchronized selection, filtering, and sorting between log tables and log charts |
US7565417B2 (en) | 2004-05-20 | 2009-07-21 | Rowady Jr E Paul | Event-driven financial analysis interface and system |
US20060074598A1 (en) | 2004-09-10 | 2006-04-06 | Emigholz Kenneth F | Application of abnormal event detection technology to hydrocracking units |
US7689918B2 (en) | 2005-07-19 | 2010-03-30 | Cisco Technology, Inc. | Graphical indicator for the multiplexed display of line graph information |
US20080313560A1 (en) | 2005-09-16 | 2008-12-18 | Dalal Pankaj B | Financial Decision Systems |
US7746887B2 (en) | 2006-04-12 | 2010-06-29 | Siemens Industry, Inc. | Dynamic value reporting for wireless automated systems |
US8113844B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-02-14 | Atellis, Inc. | Method, system, and computer-readable recording medium for synchronous multi-media recording and playback with end user control of time, data, and event visualization for playback control over a network |
JP5088468B2 (ja) | 2007-03-09 | 2012-12-05 | 村田機械株式会社 | 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム |
US7767767B2 (en) | 2007-10-01 | 2010-08-03 | Equistar Chemicals, Lp | Modification of polyethylene with ozone |
US7805320B2 (en) | 2008-01-10 | 2010-09-28 | General Electric Company | Methods and systems for navigating a large longitudinal dataset using a miniature representation in a flowsheet |
US8271892B2 (en) | 2008-07-02 | 2012-09-18 | Icharts, Inc. | Creation, sharing and embedding of interactive charts |
US8269620B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-09-18 | Honeywell Internatonal Inc. | Alarm trend summary display system and method |
JP2011115010A (ja) | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Sinfonia Technology Co Ltd | 電気機器 |
JP5537245B2 (ja) | 2010-04-28 | 2014-07-02 | 株式会社ミクニ | 冷却液調整弁 |
JP2014003564A (ja) | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Panasonic Corp | 電子機器と、それを搭載した移動装置 |
-
2003
- 2003-10-09 KR KR1020137013825A patent/KR101446511B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-09 KR KR1020127001230A patent/KR20120026129A/ko not_active Application Discontinuation
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- 2003-10-09 JP JP2004543686A patent/JP4626302B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 EP EP03776281.2A patent/EP1573778B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 KR KR1020107004083A patent/KR20100040746A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-10-09 WO PCT/US2003/032200 patent/WO2004034438A2/en active Search and Examination
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