CN103803230B - 基板搬送设备 - Google Patents

Abstract

基板搬送设备具备：顶部搬送车，其沿行驶轨道行驶移动而将容器搬送至容器搬送部位；基板搬送装置，其从位于基板取出部位的容器取出基板并将其搬送至基板处理装置；以及中转搬送装置，其使载置容器的载置部沿水平方向移动而在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送容器。将基板搬送装置构成为：从在载置于载置部的状态下位于基板取出部位的容器取出基板，并将该基板自如地搬送至基板处理装置。

Description

基板搬送设备

技术领域

本发明涉及设有顶部搬送车的基板搬送设备，该顶部搬送车在被配设于顶部的行驶轨道引导支撑的状态下沿所述行驶轨道行驶移动而将容纳有多块基板的容器搬送至容器搬送部位。

背景技术

作为上述那样的基板搬送设备的一个示例，存在构成为由顶部搬送车将容纳有基板的容器搬送至容器搬送部位的设备(例如，参照日本特开2010-137961号公报(专利文献1))。

在该专利文献1记载的基板搬送设备中，设有：第一搬送装置，其通过使载置容器的第一载置部沿水平方向移动而在容器搬送部位与中转部位之间搬送容器；以及第二搬送装置，其通过使载置容器的第二载置部沿水平方向和上下方向移动而在中转部位与物品容纳架的容纳部之间搬送容器，构成为由这些第一搬送装置和第二搬送装置将容器搬送部位的容器搬送至物品容纳架的容纳部。

而且，存在如下构成的设备：在物品容纳架的附近设定基板取出部位，在该基板取出部位设置载置支撑容器的载置台，并且设置从载置于载置台的容器取出基板并将该基板搬送至基板处理装置的基板搬送装置(例如，参照日本特开2008-068963号公报(专利文献2))。在该专利文献2记载的基板搬送设备中，构成为：利用第二搬送装置在物品容纳架的容纳部与基板取出部位的载置台之间搬送容器，利用基板搬送装置从载置台上的容器取出基板并将该基板搬送至基板处理装置而将基板搬送至基板处理装置。

根据上述专利文献1中记载的基板搬送设备以及专利文献2中记载的基板搬送设备，可考虑如以下这样构成基板搬送设备。即，用顶部搬送车将容纳有基板的容器搬送至容器搬送部位，用第一搬送装置将位于该容器搬送部位的容器搬送至中转部位，用第二搬送装置将位于中转部位的容器搬送至物品容纳架的容纳部，并且根据需要将容纳于物品容纳架的容纳部的容器搬送至基板取出部位的载置台上。然后，用基板搬送装置从在载置于载置台上的状态下位于基板取出部位的容器取出基板，将该基板4搬送至基板处理装置。

然而，在如上述那样构成的基板搬送设备中，为了在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送容器，设有使第一载置部沿水平方向移动的第一搬送装置和使第二载置部沿水平方向和上下方向移动的第二搬送装置，设有暂时容纳容器的物品容纳架，且在基板取出部位设有载置台，由于这些方面，基板搬送设备的构成变得复杂。另外，由于将容器从第一搬送装置转交给第二搬送装置这点和将容器从第二搬送装置转交给载置台这点，难以高效地将基板搬送至基板处理装置。

发明内容

鉴于上述背景，希望实现谋求构成的简单化同时能够将基板高效地搬送至基板处理装置的基板搬送设备。

根据本发明的基板搬送设备，具备以下：

顶部搬送车，其在被配设于顶部的行驶轨道引导支撑的状态下沿所述行驶轨道行驶移动，将容纳有多块基板的容器搬送至容器搬送部位；

中转搬送装置，其在所述容器搬送部位与基板取出部位之间自如地搬送所述容器；

基板搬送装置，其从位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，将取出的所述基板搬送至对所述基板进行处理的基板处理装置；

在此，所述中转搬送装置构成为：具备载置所述容器的单一载置部，使所述载置部沿水平方向移动而在所述容器搬送部位与所述基板取出部位之间自如地搬送所述容器，

所述基板搬送装置构成为：从在载置于所述载置部的状态下位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，将该基板自如地搬送至所述基板处理装置。

即，中转搬送装置通过使载置容器的单一载置部沿水平方向移动，从而不使该载置部上的容器转移于另一载置部就能够在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送载置于载置部的容器。基板搬送装置能够从在载置于载置部的状态下位于基板取出部位的容器取出基板，将该基板搬送至所述基板处理装置。

因此，作为在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送容器的搬送装置，可以只设置使载置部沿水平方向移动的中转搬送装置，另外，不需要暂时容纳容器的物品容纳架，也不必另外设置用于在基板取出部位载置支撑容器的载置台。因此，能够谋求基板搬送设备的构成的简单化。再者，由于基板搬送装置构成为在基板取出部位从载置于中转搬送装置的载置部的容器直接取出基板并将该基板搬送至基板处理装置，因而不必将容器从中转搬送装置的载置部转交给另一部位，易于将基板高效地搬送至基板处理装置。

以下，说明本发明的优选实施方式的示例。

在根据本发明的基板搬送设备的实施方式中，优选地，所述基板是被形成为矩形状的板状体。

即，基板是玻璃基板等被形成为矩形状的板状体，能够将该被形成为矩形状的板状体高效地从容器取出而搬送至基板处理装置。

在根据本发明的基板搬送设备的实施方式中，优选地，所述中转搬送装置构成为：使所述载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动，在所述容器搬送部位与所述基板取出部位之间搬送所述容器。

即，在使容器被载置于载置部的状态下，能够通过使载置部旋转移动而在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送容器。

而且，载置部的旋转移动例如能够以将载置部连结至围绕沿铅垂方向的旋转轴心旋转自如的连结部并用电动马达使该连结部旋转等简单的构成来实现，因而能够谋求中转搬送装置的构成的简单化。

在根据本发明的基板搬送设备的实施方式中，优选地，所述基板取出部位被设定多个，所述中转搬送装置以将所述容器分别搬送至多个所述基板取出部位的状态被设有多个，所述基板搬送装置构成为在所述容器位于多个所述基板取出部位中任何一个的状态下均从该容器自如地取出所述基板。

即，由于设置多个中转搬送装置，能够分别将容器搬送至多处基板取出部位，因而即使在容器存在于一块基板取出部位的情况下，也能够将容器搬送至另外的基板取出部位。而且，能够将多个基板取出部位中的、用基板搬送装置取出基板的容器所存在的基板取出部位以外的基板取出部位用作暂时保存容器的缓冲区。

在根据本发明的基板搬送设备的实施方式中，优选地，所述顶部搬送车升降自如地具备悬挂支撑所述容器的支撑体，构成为在使所述支撑体上升移动至上升位置的行驶用状态下行驶移动自如，并且构成为以使所述支撑体从所述上升位置下降移动而将所述容器卸于所述载置部上的形态将所述容器搬送至所述容器搬送部位；所述容器搬送部位被设定于以下部位：在载置于所述载置部上的状态下位于所述容器搬送部位的所述容器的上端比所述行驶用状态的所述顶部搬送车的所述支撑体的下端更位于下方，且比被所述行驶用状态的所述顶部搬送车支撑的所述容器的下端更位于上方。

即，容器搬送部位被设定成：在载置于载置部上的状态下位于容器搬送部位的容器的上端比行驶用状态的顶部搬送车的支撑体的下端更位于下方，且比被行驶用状态的顶部搬送车支撑的容器的下端更位于上方。因此，使载置支撑位于容器搬送部位的容器的载置部的位置接近位于容器搬送部位正上方的顶部搬送车，能够减少顶部搬送车在搬送至容器搬送部位时的支撑体的下降量，能够快速地将容器搬送至容器搬送部位。

另外，由于容器搬送部位处于在载置于载置部上的状态下位于容器搬送部位的容器的上端比行驶用状态的顶部搬送车的支撑体的下端更位于下方的部位，因而即使容器存在于容器搬送部位，也能够使未支撑容器的行驶用状态的顶部搬送车行驶于容器搬送部位正上方。

在根据本发明的基板搬送设备的实施方式中，优选地，作为所述容器搬送部位，设定有低位置容器搬送部位和被设定于比该低位置容器搬送部位更高的位置的高位置容器搬送部位；作为所述基板取出部位，设定有低位置基板取出部位和被设定于比该低位置容器取出部位更高的位置的高位置基板取出部位；作为所述中转搬送装置，设有在所述低位置容器搬送部位与所述低位置基板取出部位之间搬送所述容器的低位置搬送装置、以及在所述高位置容器搬送部位与所述高位置基板取出部位之间搬送所述容器的高位置搬送装置；所述高位置搬送装置所具备的高位置用所述载置部被设定在比所述低位置搬送装置所具备的低位置用所述载置部中的载置所述容器的载置面的高度更高且比载置于所述低位置用载置部的所述容器的上端更低的高度；所述低位置用载置部在该低位置用载置部的移动轨迹与载置于所述高位置用载置部的所述容器的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分和不重复的部分的状态下设置，所述高位置用载置部在该高位置用载置部的移动轨迹与载置于所述低位置用载置部的所述容器的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分和不重复的部分的状态下设置。

即，在低位置用载置部的移动轨迹与载置于高位置用载置部的容器的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分而且高位置用载置部的移动轨迹与载置于低位置用载置部的容器的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分的状态下，设置低位置用载置部以及高位置用载置部。因此，能够谋求低位置搬送装置和高位置搬送装置在水平方向上的设置空间的节省空间化。

另外，由于高位置用载置部被设置在比低位置用载置部中的载置容器的载置面的高度更高且比载置于低位置用载置部的容器的上端更低的高度，因而能够谋求低位置搬送装置和高位置搬送装置在上下方向上的设置空间的节省空间化。

而且，在高位置用载置部和载置于该高位置用载置部的容器与低位置用载置部的移动轨迹从上下方向看不重复的状态下，当使低位置用载置部移动而搬送容器时，高位置用载置部或载置于该高位置用载置部的容器不会变为妨碍。因此，如上述那样，通过在使高位置用载置部和载置于该高位置用载置部的容器位于与低位置用载置部的移动轨迹从上下方向看不重复的部位的状态下，使低位置用载置部移动至对应于低位置容器搬送部位的位置和对应于低位置基板取出部位的位置，从而能够在低位置容器搬送部位与低位置基板取出部位之间搬送容器。

另外，通过在载置于低位置用载置部的容器与高位置用载置部的移动轨迹从上下方向看不重复的状态下，使高位置用载置部移动至对应于高位置容器搬送部位的位置和对应于高位置基板搬送部位的位置，从而能够在高位置容器搬送部位与高位置基板搬送部位之间搬送容器。

这样，谋求了低位置搬送装置和高位置搬送装置在水平方向和上下方向上的设置空间的节省空间化，同时能够不干扰被载置在高位置搬送装置中的高位置用载置部上的容器而用低位置搬送装置将容器搬送至低位置容器搬送部位或低位置基板取出部位。

附图说明

图1是基板搬送设备的立体图。

图2是基板搬送设备的俯视图。

图3是基板搬送设备的侧视图。

图4是显示低位置搬送装置与高位置搬送装置的立体图。

图5是显示低位置搬送装置与高位置搬送装置的俯视图。

图6是显示载置于低位置用载置部的容器的移动轨迹与高位置用载置部和载置于该载置部的容器的移动轨迹的俯视图。

图7是显示载置于高位置用载置部的容器的移动轨迹与低位置用载置部和载置于该载置部上的容器的移动轨迹的俯视图。

图8是显示载置部的支撑结构的图。

图9是控制方框图。

图10是流程图。

符号说明：

1 容器搬送部位

1L 低位置容器搬送部位

1H 高位置容器搬送部位

2 基板取出部位

2L 低位置基板取出部位

2H 高位置基板取出部位

3 容器

4 基板

5 中转搬送装置

5L 低位置搬送装置

5H 高位置搬送装置

6 顶部搬送车

7 基板处理装置

8 基板搬送装置

11 载置部

11L 低位置用载置部

11H 高位置用载置部

20 行驶轨道

21 支撑体

P 轴心。

具体实施方式

以下，基于附图说明本发明的实施方式。

如图1至图3所示，在基板搬送设备上设有：搬送装置5，其在第一搬送部位1(参照图2和图3)与第二搬送部位2(参照图2和图3)之间搬送自如地容纳多块基板4的容器3；顶部搬送车6，其在第一搬送部位1与自身之间搬送容器3；基板处理装置7，其对基板4进行处理；以及基板搬送装置8，其在位于第二搬送部位2的容器3与基板处理装置7之间搬送基板4。在本例中，顶部搬送车6具有在第一搬送部位1与自身之间搬送容器3的机构，并且构成为沿水平方向移动自如。

而且，基板搬送设备构成为：由顶部搬送车6将容器3搬送至第一搬送部位1，由搬送装置5将容器3从第一搬送部位1搬送至第二搬送部位2，由基板搬送装置8从位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并将该基板4向基板处理装置7搬送。

另外，基板搬送设备构成为：由基板搬送装置8将由基板处理装置7进行的处理完成后的基板4从基板处理装置7向位于第二搬送部位2的容器3搬送并将该基板4容纳于容器3，由搬送装置5将容器3从第二搬送部位2搬送至第一搬送部位1，由顶部搬送车6从第一搬送部位1搬送容器3。

基板搬送设备被设置于洁净室内，作为基板4，用于液晶面板等的、形成为矩形状的玻璃基板被容纳于容器3中。容器3在横侧面上形成有用于放入取出基板4的开口，被顶部搬送车6的支撑体21支撑的凸缘部被设于上表面。另外，虽然图示省略，但基板4以水平姿势且在沿上下方向邻接的基板4彼此之间形成有间隙的状态下被容纳于容器3。

此外，在基板处理装置7中，对基板4进行涂布、曝光以及显影等规定的处理。

如图3所示，设有顶部搬送车6而由该顶部搬送车6搬送容器3的容器搬送区域E1和设有基板处理装置7和基板搬送装置8而由该基板搬送装置8搬送基板4的基板搬送区域E2由分隔壁9分隔。而且，搬送装置5构成为：以向容器搬送区域E1突出自如的状态设于基板搬送区域E2，在容器搬送区域E1与基板搬送区域E2之间搬送容器3。

此外，第一搬送部位1被设定于容器搬送区域E1，第二搬送部位2被设定于基板搬送区域E2。

如图4和图5所示，作为第一搬送部位1，设定有低位置第一搬送部位1L和被设定于比该低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位1H；作为第二搬送部位2，设定有低位置第二搬送部位2L和被设定于比该低位置第二搬送部位2L更高的位置的高位置第二搬送部位2H。

而且，搬送装置5构成为：通过使载置容器3的单一载置部11沿水平方向移动，从而在第一搬送部位1与第二搬送部位2之间搬送容器3。单一载置部11由从上下方向看形成为コ字状(成方形的U字状)的板状部件构成。

作为搬送装置5，设有：低位置搬送装置5L，使载置容器3的低位置用载置部11L沿水平方向移动，在低位置第一搬送部位1L与所述低位置第二搬送部位2L之间搬送容器3；以及高位置搬送装置5H，使载置容器3的高位置用载置部11H沿水平方向移动，在高位置第一搬送部位1H与高位置第二搬送部位2H之间搬送容器3。

此外，第一搬送部位1相当于容器搬送部位，第二搬送部位2相当于基板取出部位。低位置第一搬送部位1L相当于低位置容器搬送部位，高位置第一搬送部位1H相当于高位置容器搬送部位。低位置第二搬送部位2L相当于低位置基板取出部位，高位置第二搬送部位2H相当于高位置基板取出部位。这样，第二搬送部位2设定有多个。

另外，搬送装置5相当于使载置容器3的载置部11沿水平方向移动而在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送容器3的中转搬送装置。搬送装置5以将容器3分别搬送至多个第二搬送部位2的状态设置多个。

如图1和图3所示，低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H这一对搬送装置5的组以沿上下方向并排的状态设置两组。这些上侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H与下侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H除高度不同外同样地构成。另外，上侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H与下侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H被相同支撑框支撑于上下方向上不同的高度。

低位置搬送装置5L设置成使低位置用载置部11L围绕沿铅垂方向的轴心P旋转移动自如。

如果施加说明，则如图8所示，低位置连结部14L围绕轴心P旋转自如地被连结至低位置电动马达13L的输出轴，低位置用载置部11L悬臂状地被连结至该低位置连结部14L。而且构成为：通过用低位置电动马达13L使低位置连结部14L围绕轴心P旋转驱动，从而使低位置用载置部11L围绕轴心P旋转移动而在低位置第一搬送部位1L与低位置第二搬送部位2L之间搬送容器3。

另外，同样地，高位置搬送装置5H也被设置成使高位置用载置部11H围绕沿铅垂方向的轴心P旋转移动自如，构成为：通过用高位置电动马达13H使高位置连结部14H围绕轴心P旋转驱动，从而使高位置用载置部11H围绕轴心P旋转移动而在高位置第一搬送部位1H与高位置第二搬送部位2H之间搬送容器3。

这样，低位置用载置部11L和高位置用载置部11H被设置成围绕同一轴心旋转自如。

低位置电动马达13L和高位置电动马达13H在低位置电动马达13L位于高位置电动马达13H更上方的状态下被支撑框12支撑。

低位置电动马达13L以输出轴向上方突出的姿势被设置，从低位置连结部14L的上侧连结部分14a向上方突出的上突部分14c以一体旋转的状态连结至该低位置电动马达13L的输出轴。

另外，高位置电动马达13H以输出轴向下方突出的姿势被设置，从高位置连结部14H的下侧连结部分14b向下方突出的下突部分14d以一体旋转的状态连结至该高位置电动马达13H的输出轴。

而且，低位置连结部14L的下侧连结部分14b以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至高位置连结部14H的下突出部分14d，高位置连结部14H的上侧连结部分14a以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至低位置连结部14L的上突出部分14c。

另外，在低位置连结部14L的上侧连结部分14a与高位置连结部14H的下侧连结部分14b之间，介入有被支撑框12支撑的部件15，低位置连结部14L的上侧连结部分14a以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至部件15的上端部，高位置连结部14H的下侧连结部分14b以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至部件15的下端部。

这样，低位置连结部14L和高位置连结部14H以沿上下方向被夹持于低位置电动马达13L与高位置电动马达13H之间的状态设置。而且，从上起按高位置连结部14H的上侧连结部分14a、低位置连结部14L的上侧连结部分14a、高位置连结部14H的下侧连结部分14b、低位置连结部14L的下侧连结部分14b的顺序排列，使低位置连结部14L的上侧连结部分14a位于高位置连结部14H的上侧连结部分14a与下侧连结部分14b之间，使高位置连结部14H的下侧连结部分14b位于低位置连结部14L的上侧连结部分14a与下侧连结部分14b之间。由此，能够将低位置连结部14L和高位置连结部14H中的每一个以沿上下方向较宽的间隔连结至支撑框12侧，同时谋求低位置连结部14L和高位置连结部14H在上下方向上的设置空间的节省空间化。

而且，连结至低位置连结部14L的低位置用载置部11L和连结至高位置连结部14H的高位置用载置部11H以如下状态设置：高位置用载置部11H位于比低位置用载置部11L中的载置容器3的载置面(载置部11H的上表面)的高度更高且比载置于低位置用载置部11L的容器3的上端更低的高度。

接下来，说明低位置用载置部11L和高位置用载置部11H的旋转移动以及从上下方向看的位置关系。此外，将容器搬送区域E1与基板搬送区域E2并排的方向称为设备前后方向(图2和图5中由箭头X所示的方向)且将与设备前后方向正交的方向称为设备左右方向(图2和图5中由箭头Y所示的方向)来说明。在本例中，设备前后方向和设备左右方向中的每一个为平行于水平面的方向。

如图5所示，支撑框12被设置于基板搬送区域E2，轴心P位于基板搬送区域E2。

低位置用载置部11L构成为：通过使其以轴心P为中心从上下方向看逆时针方向旋转移动而向容器搬送区域E1突出移动，从而旋转移动至对应于低位置第一搬送部位1L的位置(图5(a)中由实线所示的位置)。此时，低位置用载置部11L相对于轴心P位于设备前后方向的容器搬送区域E1所位于的一侧。

另外，低位置用载置部11L构成为：通过使其以轴心P为中心从上下方向看顺时针方向旋转移动而向基板搬送区域E2退出移动，从而旋转移动至对应于低位置第二搬送部位2L的位置(图5(a)中由假想线所示的位置)。此时，低位置用载置部11L相对于轴心P位于设备左右方向的一侧(顶部搬送车6的行驶方向上游侧)。

而且，高位置用载置部11H构成为：通过使其以轴心P为中心从上下方向看顺时针方向旋转移动而向容器搬送区域E1突出移动，从而旋转移动至对应于高位置第一搬送部位1H的位置(图5(b)中由实线所示的位置)。此时，高位置用载置部11H相对于轴心P位于设备前后方向的容器搬送区域E1所位于的一侧。

另外，高位置用载置部11H构成为：通过使其以轴心P为中心从上下方向看逆时针方向旋转移动而向基板搬送区域E2退出移动，从而旋转移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置(图5(b)中由假想线所示的位置)。此时，高位置用载置部11H相对于轴心P位于设备左右方向的另一侧(顶部搬送车6的行驶方向下游侧)。

此外，对应于搬送部位(低位置第一搬送部位1L等)的位置是指在容器3位于搬送部位时载置该容器3的载置部11所存在的位置。另外，低位置用载置部11L和高位置用载置部11H中的每一个的摆动角度被设定为90°。

顺便提及，位于图3中上侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H的组成为图5(b)所示的位置关系，位于图3中下侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H的组成为图5(a)所示的位置关系。

如图5所示，低位置第一搬送部位1L和高位置第一搬送部位1H都被设定在相对于轴心P而设备前后方向的容器搬送区域E1所位于的一侧，低位置第一搬送部位1L和高位置第一搬送部位1H被设定于从上下方向看相同的位置。于是，旋转移动至对应于低位置第一搬送部位1L的位置的低位置用载置部11L和旋转移动至对应于高位置第一搬送部位1H的位置的高位置用载置部11H都移动至相对于轴心P而设备前后方向的容器搬送区域E1所位于的一侧，这些低位置用载置部11L和高位置用载置部11H位于从上下方向看相同的位置。

另外，低位置第二搬送部位2L相对于轴心P被设定在设备左右方向的一侧，高位置第二搬送部位2H相对于轴心P被设定在设备左右方向的另一侧，低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H被设定在从上下方向看不同的位置。于是，旋转移动至对应于低位置第一搬送部位1L的位置的低位置用载置部11L相对于轴心P移动到设备左右方向的一侧，旋转移动至对应于高位置第一搬送部位1H的位置的高位置用载置部11H相对于轴心P移动到设备左右方向的另一侧，低位置用载置部11L和高位置用载置部11H位于从上下方向看不同的位置。

而且，如图5至图7所示，低位置用载置部11L设置成：在使其移动至对应于低位置第一搬送部位1L的位置的状态下，与高位置用载置部11H的移动轨迹和载置于该高位置用载置部11H的容器3的移动轨迹从上下方向看重复，在使其移动至对应于低位置第二搬送部位2L的位置的状态下，与高位置用载置部11H的移动轨迹和载置于该高位置用载置部11H的容器3的移动轨迹从上下方向看不重复。

另外，高位置用载置部11H设置成：在使其移动至对应于高位置第一搬送部位1H的位置的状态下，与低位置用载置部11L的移动轨迹和载置于该低位置用载置部11L的容器3的移动轨迹从上下方向看重复，在使其移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置的状态下，与低位置用载置部11L的移动轨迹和载置于该低位置用载置部11L的容器3的移动轨迹从上下方向看不重复。

此外，在图6中，由一点划线3LT表示载置于低位置用载置部11L的容器3的移动轨迹，由一点划线11HT表示高位置用载置部11H的移动轨迹和载置于该高位置用载置部11H的容器3的移动轨迹。另外，在图7中，由一点划线3HT表示载置于高位置用载置部11H的容器3的移动轨迹，由一点划线11LT表示低位置用载置部11L的移动轨迹和载置于该低位置用载置部11L的容器3的移动轨迹。

这样，低位置用载置部11L中，该低位置用载置部11L的移动轨迹和载置于该低位置用载置部11L的容器3的移动轨迹与高位置用载置部11H的移动轨迹和载置于该高位置用载置部11H的容器3的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，该重复部分和该非重复部分以沿着低位置用载置部11L的移动方向并排的状态设置。另外，高位置用载置部11H中，该高位置用载置部11H的移动轨迹和载置于该高位置用载置部11H的容器3的移动轨迹与低位置用载置部11L的移动轨迹和载置于该低位置用载置部11L的容器3的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，该重复部分和该非重复部分以沿着高位置用载置部11L的移动方向并排的状态设置。

而且，高位置用载置部11H和低位置用载置部11L中的每一个构成为：在另一方的载置部11L、11H位于不重复部位的状态下，在第一搬送部位1与第二搬送部位2之间自如地搬送容器3。

即，如图5(a)所示，在高位置用载置部11H位于对应于高位置第二搬送部位2H的位置的状态下，能够不接触高位置用载置部11H或载置于该高位置用载置部11H的容器3而使低位置用载置部11L移动至对应于低位置第一搬送部位1L的位置或对应于低位置第二搬送部位2L的位置，将容器3搬送至低位置第一搬送部位1L或低位置第二搬送部位2L。

另外，如图5(b)所示，在低位置用载置部11L位于对应于低位置第二搬送部位2L的位置的状态下，能够不接触低位置用载置部11L或载置于该低位置用载置部11L的容器3而使高位置用载置部11H移动至对应于高位置第一搬送部位1H的位置或对应于高位置第二搬送部位2H的位置，将容器3搬送至高位置第一搬送部位1H或高位置第二搬送部位2H。

基板搬送装置8具备在设备前后方向上设置于搬送装置5与基板处理装置7之间的升降移动自如的升降台17和沿设备左右方向自如地移动该升降台17的移动机械手18而被构成。在移动机械手18上，升降移动自如、围绕铅垂轴心旋转移动自如以及沿水平方向退出移动自如地具备叉状的支撑部18a。

该基板搬送装置8构成为：通过升降台17的升降移动和移动机械手18沿设备左右方向的移动以及支撑部18a的升降、旋转和退出，从而如以下这样动作。即，基板搬送装置8构成为：从在载置于低位置用载置部11L的状态下位于低位置第二搬送部位2L的容器3逐一取出基板4并将该基板4搬送至基板处理装置7，从在载置于高位置用载置部11H的状态下位于高位置第二搬送部位2H的容器3逐一取出基板4并将该基板4搬送至基板处理装置7，并且将由基板处理装置7结束处理后的基板4逐一搬送至在载置于高位置用或低位置用载置部11的状态下位于第二搬送部位2的容器3并将该基板4容纳于容器3。

基板搬送装置8构成为：在容器3位于四处第二搬送部位2(两处低位置第二搬送部位2L和两处高位置第二搬送部位2H)中任何一处的状态下，都从容器3自如地放入取出基板4。而且，能够将四处第二搬送部位2中的、由基板搬送装置8放入取出基板4的容器3所存在的第二搬送部位2以外的第二搬送部位2用作暂时保存容器3的缓冲区。

如图1至图3所示，顶部搬送车6构成为：在被配设于顶部的行驶轨道20引导支撑的状态下，沿行驶轨道20行驶自如。另外，顶部搬送车6升降自如且围绕沿上下方向的轴心旋转自如地具备支撑容器3的支撑体21而被构成。顺便提及，顶部搬送车6在搬送装置5的附近沿着设备左右方向而向一个方向(在图1中从左上到右下)行驶。

而且，如图3所示，顶部搬送车6构成为在使支撑体21上升移动至上升位置的状态下行驶移动自如。另外，顶部搬送车6构成为：以使支撑体21从上升位置下降移动而将容器3卸于载置部11的形态将容器3搬送至第一搬送部位1，以使支撑体21上升移动至上升位置而将容器3从载置部11上拉起的形态从第一搬送部位1搬送容器3。通过这样，顶部搬送车6进行将第一搬送部位1作为搬送对象部位的容器3的搬送，在第一搬送部位1与自身之间转移(交接)容器3。

如果施加说明，则顶部搬送车6构成为：在停止于第一搬送部位1正上方的停止位置的状态下，使支撑容器3的支撑体21下降移动，解除支撑体21对容器3的支撑而将容器3卸于载置部11，容器3被搬送至第一搬送部位1。

另外，顶部搬送车6构成为：在停止于第一搬送部位1正上方的停止位置的状态下，使未支撑容器3的支撑体21下降移动，由支撑体21支撑位于第一搬送部位1的容器3，使支撑容器3的支撑体21上升移动，由此从第一搬送部位1搬送容器3。

而且，顶部搬送车6构成为：在停止于对低位置第一搬送部位1L和高位置第一搬送部位1H通用设定的停止位置的状态下，在低位置第一搬送部位1L或高位置第一搬送部位1H与自身之间自如地搬送(转移自如)容器3。

顺便提及，在使顶部搬送车6停止于停止位置的状态下，当低位置用载置部11L位于对应于第一搬送部位1的位置时，在顶部搬送车6与低位置第一搬送部位1L之间搬送容器3；当高位置用载置部11H位于对应于第一搬送部位1的位置时，在顶部搬送车6与高位置第一搬送部位1H之间搬送容器3。

第一搬送部位1(低位置第一搬送部位1L和高位置第一搬送部位1H)被设定在以下部位：在载置于载置部11的状态下位于第一搬送部位1的容器3的上端比行驶用状态的顶部搬送车6的支撑体21的下端更位于下方，并且比被行驶用状态的顶部搬送车6支撑的容器3的下端更位于上方。

由于能够将第一搬送部位1设定在接近顶部搬送车6的部位，因而能够减少在顶部搬送车6将容器3搬送至第一搬送部位1时的支撑体21的下降量，能够快速地将容器3搬送至第一搬送部位1。另外，即使容器3存在于第一搬送部位1，也能够使未支撑容器3的行驶用状态的顶部搬送车6自由地行驶移动。

如图9所示，在物品搬送设备上，设有控制搬送装置5、顶部搬送车6以及基板搬送装置8的动作的搬送控制装置H。

搬送控制装置H构成为为了执行以下处理而控制顶部搬送车6的动作：交接前行驶处理，使顶部搬送车6行驶移动至位于第一搬送部位1正上方的停止位置；交接后行驶处理，使顶部搬送车6从第一搬送部位1正上方的停止位置行驶移动；卸下处理，由顶部搬送车6将容器3搬送至第一搬送部位1；捞取处理，由顶部搬送车6从第一搬送部位1搬送容器3。

另外，搬送控制装置H构成为为了执行以下处理而控制搬送装置5的动作：退出处理，使载置部11从对应于第一搬送部位1的位置移动至对应于第二搬送部位2的位置；突出处理，使载置部11从对应于第二搬送部位2的位置移动至对应于第一搬送部位1的位置。

接下来，基于图10所示的流程图列举了以下情况：通过搬送控制装置H执行卸下处理，由顶部搬送车6将容器3搬送至低位置第一搬送部位1L，通过搬送控制装置H执行捞取处理，由顶部搬送车6从高位置第一搬送部位1H搬送容器3；说明了在顶部搬送车6与搬送装置5之间搬送容器3的搬送控制。此外，通常，载置部11移动至对应于第二搬送部位2的位置。

如果将容器3搬送至低位置第二搬送部位2L的搬入指令被指示，则搬送控制装置H首先执行交接前行驶处理和突出处理。在交接前行驶处理和突出处理中，为了使支撑搬入对象容器3的顶部搬送车6行驶至第一搬送部位1正上方的停止位置且使低位置用载置部11L突出移动至对应于低位置第一搬送部位L1的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。此后，搬送控制装置H在执行了卸下处理之后执行退出处理。在卸下处理中，为了将容器3卸在低位置用载置部11L上而使容器3被搬送至低位置第一搬送部位1L，控制顶部搬送车6的动作。另外，在退出处理中，为了使低位置用载置部11L移动至对应于低位置第二搬送部位2L的位置而将容器3搬送至低位置第二搬送部位2L，控制搬送装置5的动作。

顺便提及，在交接前行驶处理和突出处理中，通常，交接前行驶处理一方需要长的时间，在顶部搬送车6移动至第一搬送部位1正上方的停止位置之前，载置部11已完成向对应于第一搬送部位1的位置的移动。因此，在使顶部搬送车6行驶至第一搬送部位1的正上方之后，不必使卸下处理的开始伺机直到载置部11突出移动至第一搬送部位1，能够快速地将容器3搬送至第一搬送部位1。

如上所述，为了在执行退出处理而将容器3搬送至低位置第二搬送部位2L之后，如果搬出指令没有被指示，则执行交接后行驶处理而使未支撑容器3的顶部搬送车6从第一搬送部位1正上方的停止位置行驶，搬送控制装置H控制顶部搬送车6的动作。

另外，如果有搬出指令，则搬送控制装置H执行突出处理。在突出处理中，为了使高位置用载置部11H突出移动至对应于高位置第一搬送部位1H的位置，控制搬送装置5的动作。此后，搬送控制装置H在执行了捞取处理之后执行交接后行驶处理和退出处理。在捞取处理中，为了由顶部搬送车6支撑搬出对象容器3，控制顶部搬送车6的动作。另外，在交接后行驶处理和退出处理中，为了使支撑搬出对象容器3的顶部搬送车6从第一搬送部位1正上方的停止位置行驶且使高位置用载置部11H退出移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。

而且，在搬入指令没有被指示而只有搬出指令被指示的情况下，搬送控制装置H首先执行交接前行驶处理和突出处理。在交接前行驶处理和突出处理中，为了使未支撑容器3的顶部搬送车6行驶至第一搬送部位1正上方的停止位置且使高位置用载置部11突出移动至对应于高位置第一搬送部位1H的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。此后，搬送控制装置H在执行了捞取处理之后执行交接后行驶处理和退出处理。在捞取处理中，为了由顶部搬送车6支撑搬出对象容器3，控制顶部搬送车6的动作。另外，在交接后行驶处理和退出处理中，为了使支撑搬出对象容器3的顶部搬送车6从第一搬送部位1正上方的停止位置行驶且使高位置用载置部11H退出移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。

这样，通过使载置容器3的载置部11沿水平方向移动，从而在第一搬送部位1与第二搬送部位2之间搬送载置于载置部11的容器3，用基板搬送装置8从在载置于载置部11的状态下位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并将该基板4搬送至基板处理装置7。结果，能够谋求基板搬送设备的构成的简单化，同时易于将基板4高效地搬送至基板处理装置7。

[其它实施方式]

(1) 在上述实施方式中，作为中转搬送装置，设置了低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H，但是作为中转搬送装置，也可以只设置低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H中的任意一个。

(2) 在上述实施方式中，构成为通过使载置部11围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动而使其移动至对应于容器搬送部位的位置和对应于基板取出部位的位置，但是也可构成为通过使载置部11沿水平方向直线移动而使其移动至对应于容器搬送部位的位置和对应于基板取出部位的位置。

另外，也可以由具备载置支撑容器3的链条或皮带等的输送装置构成中转搬送装置。在如此由输送装置构成中转搬送装置的情况下，链条或皮带等载置支撑容器3的部分相当于载置部11，通过使链条或皮带被旋转驱动而使载置支撑的部分(载置部11)沿水平方向移动。

此外，单一载置部11除了如上述实施方式那样的コ字状(成方形的U字状)的板状部件那样由一个部件构成以外，也可以以分别支撑容器3的设备横宽方向的两端部的方式由一对部件(例如环形皮带)构成。

(3) 在上述实施方式中，将容器搬送部位设定于以下部位：在载置于载置部11的状态下位于容器搬送部位的容器3的上端比行驶用状态的顶部搬送车6的下端更位于下方，并且比被行驶用状态的顶部搬送车6支撑的容器3的下端更位于上方。但是也可构成为：将容器搬送部位设定于在载置于载置部11的状态下位于容器搬送部位的容器3的上端比行驶用状态的顶部搬送车6的下端更位于下方且比被行驶用状态的顶部搬送车6支撑的容器3的下端更位于下方的部位，即使容器3存在于容器搬送部位，也能够使支撑容器3的行驶用状态的顶部搬送车6自由地行使移动。

(4) 在上述实施方式中，将低位置用载置部11L在该低位置用载置部11L的移动轨迹与高位置用载置部11H的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分和非重复的部分的状态下设置，将高位置用载置部11H在该高位置用载置部11H的移动轨迹与低位置用载置部11H的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分和非重复的部分的状态下设置，但是也可以在各自的移动轨迹沿上下方向不重复的状态下设置这些低位置用载置部11L和高位置用载置部11H。

具体而言，例如，在上述实施方式中，也可以构成为通过将载置部11的俯视形状形成为梳齿状等而使对应于第一搬送部位1L的位置的低位置用载置部11L与对应于高位置第一搬送部位1H的位置的高位置用载置部11H从上下方向看不重叠，以各自的移动轨迹沿上下方向不重复的状态设置低位置用载置部11L和高位置用载置部11H。

此外，也可以是，低位置用载置部11L的移动轨迹整体和高位置用载置部11H的移动轨迹整体以沿上下方向重复的状态设置。

(5) 在上述实施方式中，将基板4作为被形成为矩形状的板状体，但是也可以将基板4作为晶片等被形成为圆形或大致圆形的板状体。另外，容器3也可以作为晶片容纳用的FOUP。

Claims (5)

1.一种基板搬送设备，具备以下：

顶部搬送车，其在被配设于顶部的行驶轨道引导支撑的状态下沿所述行驶轨道行驶移动，将容纳有多块基板的容器搬送至容器搬送部位；

具有以下特征：

中转搬送装置，在所述容器搬送部位与基板取出部位之间自如地搬送所述容器；

基板搬送装置，从位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，将取出的所述基板搬送至对所述基板进行处理的基板处理装置，

在此，所述中转搬送装置构成为：具备载置所述容器的载置部，使所述载置部沿水平方向移动而在所述容器搬送部位与所述基板取出部位之间自如地搬送所述容器，

所述基板搬送装置构成为：从在载置于所述载置部的状态下位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，将该基板自如地搬送至所述基板处理装置，

作为所述容器搬送部位，设定有低位置容器搬送部位和被设定于比该低位置容器搬送部位更高的位置的高位置容器搬送部位；

作为所述基板取出部位，设定有低位置基板取出部位和被设定于比该低位置容器取出部位更高的位置的高位置基板取出部位；

作为所述中转搬送装置，设有在所述低位置容器搬送部位与所述低位置基板取出部位之间搬送所述容器的低位置搬送装置、以及在所述高位置容器搬送部位与所述高位置基板取出部位之间搬送所述容器的高位置搬送装置，

所述高位置搬送装置所具备的高位置用所述载置部被设置在比所述低位置搬送装置所具备的低位置用所述载置部中的载置所述容器的载置面的高度更高且比载置于所述低位置用载置部的所述容器的上端更低的高度；

所述低位置用载置部以如下状态设置：该低位置用载置部的移动轨迹与载置于所述高位置用载置部的所述容器的移动轨迹从上下方向看，具有重复的部分和不重复的部分，

所述高位置用载置部以如下状态设置：该高位置用载置部的移动轨迹与载置于所述低位置用载置部的所述容器的移动轨迹从上下方向看，具有重复的部分和不重复的部分。

2.根据权利要求1所述的基板搬送设备，其特征在于：

所述中转搬送装置构成为：使所述载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动，在所述容器搬送部位与所述基板取出部位之间搬送所述容器。

3.根据权利要求1所述的基板搬送设备，其特征在于：

所述基板是被形成为矩形状的板状体。

4.根据权利要求1所述的基板搬送设备，其特征在于：

所述容器搬送部位和所述基板取出部位由分隔壁分隔。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板搬送设备，其特征在于：

所述顶部搬送车升降自如地具备悬挂支撑所述容器的支撑体，构成为在使所述支撑体上升移动至上升位置的行驶用状态下行驶移动自如，并且构成为以使所述支撑体从所述上升位置下降移动而将所述容器卸于所述载置部上的方式将所述容器搬送至所述容器搬送部位，

所述容器搬送部位被设定在以下部位：在载置于所述载置部上的状态下位于所述容器搬送部位的所述容器的上端比所述行驶用状态的所述顶部搬送车的所述支撑体的下端更位于下方，并且比被所述行驶用状态的所述顶部搬送车支撑的所述容器的下端更位于上方。