KR20140059716A - 기판 반송 설비 - Google Patents

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KR20140059716A
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Abstract

기판 반송 설비는, 주행 레일을 따라 주행 이동하여 용기를 용기 반송 개소에 반송하는 천정 반송차와, 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터 기판을 인출하여 기판 처리 장치에 반송하는 기판 반송 장치와, 용기를 탑재하는 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 중계 반송 장치를 구비한다. 기판 반송 장치를, 탑재부에 탑재된 상태로 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터, 기판을 인출하여, 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송 가능하게 구성한다.

Description

기판 반송 설비{SUBSTRATE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 천정에 설치된 주행 레일에 안내 지지된 상태로 상기 주행 레일을 따라 주행 이동하여, 복수 개의 기판을 수납한 용기를 용기 반송 개소(箇所)에 반송하는 천정 반송차(搬送車)가 설치되어 있는 기판 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 기판 반송 설비의 일례로서, 기판을 수납한 용기를 천정 반송차에 의해 용기 반송 개소에 반송하도록 구성되어 있는 것이 있다[예를 들면, 일본공개특허 제2010―137961호 공보(특허 문헌 1 참조)].
이 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 설비에서는, 용기를 탑재하는 제1 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기를 용기 반송 개소와 중계 개소와의 사이에서 반송하는 제1 반송 장치와, 용기를 탑재하는 제2 탑재부를 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시켜 용기를 중계 개소와 물품 수납 선반의 수납부와의 사이에서 반송하는 제2 반송 장치를 설치하여, 이들 제1 반송 장치와 제2 반송 장치에 의해, 용기 반송 개소의 용기를 물품 수납 선반의 수납부에 반송하도록 구성되어 있다.
그리고, 물품 수납 선반의 근방에 기판 인출 개소를 설정하고, 상기 기판 인출 개소에 용기를 탑재 지지하는 탑재대를 설치하는 동시에, 탑재대에 탑재된 용기로부터 기판을 인출하여 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송하는 기판 반송 장치를 설치하도록 구성되어 있는 것이 있다[예를 들면, 일본공개특허 제2008―068963호 공보(특허 문헌 2 참조)]. 이 특허 문헌 2에 기재된 기판 반송 설비에서는, 제2 반송 장치를 이용하여 용기를 물품 수납 선반의 수납부와 기판 인출 개소의 탑재대와의 사이에서 반송하고, 기판 반송 장치에 의해 탑재대 위의 용기로부터 기판을 인출하여 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송하여, 기판을 기판 처리 장치에 반송하도록 구성되어 있다.
상기한 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 설비 및 특허 문헌 2에 기재된 기판 반송 설비로부터, 기판 반송 설비를 다음과 같이 구성하는 것이 고려된다. 즉, 기판을 수납한 용기를 천정 반송차에 의해 용기 반송 개소에 반송하고, 이 용기 반송 개소에 위치하는 용기를 제1 반송 장치에 의해 중계 개소에 반송하고, 제2 반송 장치에 의해, 중계 개소에 위치하는 용기를 물품 수납 선반의 수납부에 반송하는 동시에, 필요에 따라 물품 수납 선반의 수납부에 수납되어 있는 용기를 기판 인출 개소의 탑재대 상으로 반송한다. 그리고, 기판 반송 장치에 의해, 탑재대에 탑재된 상태로 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터, 기판을 인출하여, 상기 기판(4)을 기판 처리 장치에 반송한다.
일본공개특허 제2010―137961호 공보 일본공개특허 제2008―068963호 공보
그러나, 상기한 바와 같이 구성한 기판 반송 설비에서는, 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하기 위해, 제1 탑재부를 수평 방향으로 이동시키는 제1 반송 장치와, 제2 탑재부를 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시키는 제2 반송 장치를 설치하고 있는 점이나, 용기를 일시적으로 수납하는 물품 수납 선반을 설치하고 있는 점이나, 기판 인출 개소에 탑재대를 설치하고 있는 점에 의해, 기판 반송 설비의 구성이 복잡한 것으로 되어 있었다. 또한, 제1 반송 장치로부터 제2 반송 장치에 용기를 받아건네는 점이나, 제2 반송 장치로부터 탑재대에 용기를 받아건네는 점에 의해, 기판을 기판 처리 장치에 효율적으로 반송하기 어려웠다.
상기 문제점을 해결하기 위해, 구성의 간소화를 도모하면서 기판을 효율적으로 기판 처리 장치에 반송할 수 있는 기판 반송 설비의 실현이 요구된다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비는,
천정에 설치된 주행 레일에 안내 지지된 상태로 상기 주행 레일을 따라 주행 이동하여, 복수 개의 기판을 수납한 용기를 용기 반송 개소에 반송하는 천정 반송차;
상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송 가능한 중계 반송 장치; 및
상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터 상기 기판을 인출하여, 상기 기판에 대하여 처리를 행하는 기판 처리 장치에, 인출한 상기 기판을 반송하는 기판 반송 장치;
를 포함하고,
여기서, 상기 중계 반송 장치가, 상기 용기를 탑재하는 단일의 탑재부를 구비하여, 상기 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소와의 사이에서 반송 가능하게 구성되며,
상기 기판 반송 장치가, 상기 탑재부에 탑재된 상태로 상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터, 상기 기판을 인출하여, 상기 기판을 상기 기판 처리 장치에 반송 가능하게 구성되어 있다.
즉, 중계 반송 장치는, 용기를 탑재하는 단일의 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 탑재부 상의 용기를 다른 탑재부에 이송탑재(transfer)시키지 않고, 탑재부에 탑재한 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송할 수 있다. 기판 반송 장치는, 탑재부에 탑재된 상태로 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터, 기판을 인출하여, 상기 기판을 상기 기판 처리 장치에 반송할 수 있다.
그러므로, 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 용기를 반송하는 반송 장치로서, 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시키는 중계 반송 장치를 설치하는 것만으로 되고, 또한 일시적으로 용기를 수납하는 물품 수납 선반이 필요하지 않고, 또한 기판 인출 개소에 있어서 용기를 탑재 지지하기 위한 탑재대를 별도 설치할 필요가 없다. 그러므로, 기판 반송 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 기판 반송 장치가, 기판 인출 개소에 있어서 중계 반송 장치의 탑재부에 탑재된 용기로부터 직접 기판을 인출하고, 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송하도록 구성되므로, 중계 반송 장치의 탑재부로부터 다른 개소에 용기를 받아건넬 필요가 없어, 기판을 기판 처리 장치에 효율적으로 반송하기 용이해진다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 기판이, 직사각형으로 형성된 판상체인 것이 바람직하다.
즉, 기판이, 유리 기판 등의 직사각형으로 형성된 판상체이며, 그 직사각형으로 형성된 판상체를 효율적으로 용기로부터 인출하여 기판 처리 장치에 반송할 수 있다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 중계 반송 장치가, 상기 탑재부를 연직(鉛直) 방향을 따른 축심 주위로 선회(旋回) 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 탑재부에 용기를 탑재시킨 상태로, 탑재부를 선회 이동시킴으로써 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송할 수 있다.
그리고, 탑재부의 선회 이동은, 예를 들면, 연직 방향을 따른 회전 축심 주위로 회전 가능한 연결부에 탑재부를 연결하여 그 연결부를 전동 모터에 의해 회전시키는 등의 간단한 구성으로 실현할 수 있으므로, 중계 반송 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 기판 인출 개소가, 복수 설정되고, 상기 중계 반송 장치가, 복수의 상기 기판 인출 개소에 별개로 상기 용기를 반송하는 상태로 복수 설치되고, 상기 기판 반송 장치가, 상기 용기가 복수의 상기 기판 인출 개소의 어디에 위치하는 상태에 있더라도, 상기 용기로부터 상기 기판을 인출 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 중계 반송 장치를 복수 설치하여, 복수 개소의 기판 인출 개소에 별개로 용기를 반송할 수 있으므로, 1개의 기판 인출 개소에 용기가 존재하고 있는 경우라도, 다른 기판 인출 개소에 용기를 반송할 수 있다. 그리고, 복수의 기판 인출 개소 중, 기판 반송 장치에 의해 기판을 인출하고 있는 용기가 존재하고 있는 기판 인출 개소 이외의 기판 인출 개소를, 용기를 일시적으로 보관하는 버퍼로서 이용할 수 있다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 천정 반송차가, 상기 용기를 매달아 지지하는 지지체를 승강 가능하게 구비하여, 상기 지지체를 상승 위치로 상승 이동시킨 주행용 상태에서 주행 이동 가능하게 구성되며, 또한 상기 지지체를 상기 상승 위치로부터 하강 이동시켜 상기 탑재부 상에 상기 용기를 내려놓는 형태로 상기 용기를 상기 용기 반송 개소에 반송하도록 구성되며, 상기 용기 반송 개소는, 상기 탑재부 상에 탑재된 상태로 상기 용기 반송 개소에 위치하는 상기 용기의 상단이, 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차의 상기 지지체의 하단보다 아래쪽이며 또한 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차에 지지된 상기 용기의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 용기 반송 개소는, 탑재부 상에 탑재된 상태로 용기 반송 개소에 위치하는 용기의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차의 지지체의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차에 지지된 용기의 하단보다 위쪽에 위치하도록 설정되어 있다. 그러므로, 용기 반송 개소에 위치하는 용기를 탑재 지지하는 탑재부의 위치를, 용기 반송 개소의 바로 위에 위치하는 천정 반송차에 접근하여, 천정 반송차가 용기 반송 개소에 반송할 때의 지지체의 하강량을 적게 할 수 있어, 용기를 용기 반송 개소로 신속히 반송할 수 있다.
또한, 용기 반송 개소는, 탑재부 상에 탑재된 상태로 용기 반송 개소에 위치하는 용기의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차의 지지체의 하단보다 아래쪽에 위치하는 개소이므로, 용기 반송 개소에 용기가 존재하고 있었다고 해도, 용기를 지지하지 않는 주행용 상태의 천정 반송차를 용기 반송 개소의 바로 위로 주행시킬 수 있다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 용기 반송 개소로서, 저위치(低位置) 용기 반송 개소와 상기 저위치 용기 반송 개소보다 고위치(高位置)로 설정된 고위치 용기 반송 개소가 설정되고, 상기 기판 인출 개소로서, 저위치 기판 인출 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소보다 고위치로 설정된 고위치 기판 인출 개소가 설정되고, 상기 중계 반송 장치로서, 상기 용기를 상기 저위치 용기 반송 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 저위치 반송 장치와, 상기 용기를 상기 고위치 용기 반송 개소와 상기 고위치 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 고위치 반송 장치가 설치되고, 상기 고위치 반송 장치에 구비된 고위치용의 상기 탑재부가, 상기 저위치 반송 장치에 구비된 저위치용의 상기 탑재부에서의 상기 용기를 탑재하는 탑재면의 높이보다 높고 또한 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 상단보다 낮은 높이에 설치되고, 상기 저위치용의 탑재부는, 상기 저위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 고위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되고, 상기 고위치용의 탑재부는, 상기 고위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 저위치용의 탑재부의 이동 궤적이, 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분을 가지고, 또한 고위치용의 탑재부의 이동 궤적이, 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분을 가지는 상태로, 저위치용의 탑재부 및 고위치용의 탑재부가 설치되어 있다. 그러므로, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치와의 수평 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화를 도모할 수 있다.
또한, 고위치용의 탑재부가, 저위치용의 탑재부에서의 용기를 탑재하는 탑재면의 높이보다 높고 또한 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 상단보다 낮은 높이에 설치되어 있으므로, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치와의 상하 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화를 도모할 수 있다.
또한, 고위치용의 탑재부 및 그 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기가, 저위치용의 탑재부의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않는 상태에서는, 저위치용의 탑재부를 이동시켜 용기를 반송할 때, 고위치용의 탑재부나 그 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기가 방해가 되지 않는다. 그러므로, 전술한 바와 같이, 고위치용의 탑재부 및 그 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기를, 저위치용의 탑재부의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않는 개소에 위치시킨 상태에서, 저위치용의 탑재부를 저위치 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 저위치 기판 인출 개소에 대응하는 위치로 이동시킴으로써, 용기를 저위치 용기 반송 개소와 저위치 기판 인출 개소와의 사이에서 반송할 수 있다.
또한, 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기가 고위치용의 탑재부의 이동 궤적과 상하 방향으로 중복되지 않는 상태에서는, 고위치용의 탑재부를 고위치 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 고위치 기판 반송 개소에 대응하는 위치로 이동시킴으로써, 용기를 고위치 용기 반송 개소와 고위치 기판 반송 개소와의 사이에서 반송할 수 있다.
이와 같이, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치와의 수평 방향 및 상하 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화를 도모하면서, 고위치 반송 장치에 있어서의 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기에 간섭하지 않고, 저위치 반송 장치에 의해 용기를 저위치 용기 반송 개소나 저위치 기판 인출 개소에 반송할 수 있다.
도 1은, 기판 반송 설비의 사시도이다.
도 2는, 기판 반송 설비의 평면도이다.
도 3은, 기판 반송 설비의 측면도이다.
도 4는, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 5는, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치를 나타낸 평면도이다.
도 6은, 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 고위치용의 탑재부 및 그 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적을 나타낸 평면도이다.
도 7은, 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 저위치용의 탑재부 및 그 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적을 나타낸 평면도이다.
도 8은, 탑재부의 지지 구조를 나타낸 도면이다.
도 9는, 제어 블록도이다.
도 10은, 플로우차트이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비에는, 제1 반송 개소(1)(도 2 및 도 3 참조)와 제2 반송 개소(2)(도 2 및 도 3 참조)와의 사이에서 복수 개의 기판(4)을 수납 가능한 용기(3)를 반송하는 반송 장치(5)와, 제1 반송 개소(1)와 자체 사이에서 용기(3)를 반송하는 천정 반송차(6)와, 기판(4)에 대하여 처리를 행하는 기판 처리 장치(7)와, 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)와 기판 처리 장치(7)와의 사이에서 기판(4)을 반송하는 기판 반송 장치(8)가 설치되어 있다. 본 예에서는, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)와 자체 사이에서 용기(3)를 반송하는 기구(機構)를 가지는 동시에, 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된다.
그리고, 기판 반송 설비는, 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)에 반송하고, 반송 장치(5)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로부터 제2 반송 개소(2)에 반송하고, 기판 반송 장치(8)에 의해, 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)로부터 기판(4)을 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하도록 구성되어 있다.
또한, 기판 반송 설비는, 기판 반송 장치(8)에 의해, 기판 처리 장치(7)에 의한 처리가 완료된 기판(4)을 기판 처리 장치(7)로부터 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)에 반송하여 상기 기판(4)을 용기(3)에 수납하고, 반송 장치(5)에 의해 용기(3)를 제2 반송 개소(2)로부터 제1 반송 개소(1)에 반송하고, 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로부터 반송하도록 구성되어 있다.
기판 반송 설비는, 청정실 내에 설치되어 있고, 기판(4)으로서, 액정 패널 등에 사용되는 직사각형으로 형성된 유리 기판이 용기(3)에 수납되어 있다. 용기(3)는, 가로측 면에는 기판(4)을 출입시키기 위한 개구가 형성되고, 천정 반송차(6)의 지지체(21)에 지지되는 플랜지부가 상면에 설치되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 기판(4)은, 수평 자세로 또한 상하 방향으로 인접하는 기판(4)끼리의 사이에 간극이 형성된 상태로 용기(3)에 수납되어 있다.
그리고, 기판 처리 장치(7)에서는, 기판(4)에 대하여 도포, 노광 및 현상 등의 소정의 처리가 행해지고 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(6)가 설치되어 상기 천정 반송차에 의해 용기(3)가 반송되는 용기 반송 영역(E1)과, 기판 처리 장치(7)나 기판 반송 장치(8)가 설치되어 상기 기판 반송 장치(8)에 의해 기판(4)이 반송되는 기판 반송 영역(E2)이, 칸막이벽(9)에 의해 구획되어 있다. 그리고, 반송 장치(5)는, 용기 반송 영역(E1)으로 돌출 가능한 상태로 기판 반송 영역(E2)에 설치되어 있고, 용기 반송 영역(E1)과 기판 반송 영역(E2)과의 사이에서 용기(3)를 반송하도록 구성되어 있다.
그리고, 제1 반송 개소(1)는 용기 반송 영역(E1)에 설정되고, 제2 반송 개소(2)는, 기판 반송 영역(E2)에 설정되어 있다.
도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 반송 개소(1)로서, 저위치 제1 반송 개소(1L)와, 상기 저위치 제1 반송 개소보다 고위치로 설정된 고위치 제1 반송 개소(1H)가 설정되고, 제2 반송 개소(2)로서, 저위치 제2 반송 개소(2L)와, 상기 저위치 제2 반송 개소(2L)보다 고위치로 설정된 고위치 제2 반송 개소(2H)가 설정되어 있다.
그리고, 반송 장치(5)는, 용기(3)를 탑재하는 단일의 탑재부(11)를 수평 방향을 따라 이동시킴으로써, 용기(3)를 제1 반송 개소(1)와 제2 반송 개소(2)와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있다. 단일의 탑재부(11)는, 상하 방향에서 볼 때 ㄷ자형(각이 진 U자형)으로 형성된 판형 부재에 의해 구성되어 있다.
반송 장치(5)로서, 용기(3)를 탑재하는 저위치용의 탑재부(11L)를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)와 저위치 제2 반송 개소(2L)와의 사이에서 반송하는 저위치 반송 장치(5L)와, 용기(3)를 탑재하는 고위치용의 탑재부(11H)를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기(3)를 고위치 제1 반송 개소(1H)와 고위치 제2 반송 개소(2H)와의 사이에서 반송하는 고위치 반송 장치(5H)가 설치되어 있다.
그리고, 제1 반송 개소(1)가, 용기 반송 개소에 상당하고, 제2 반송 개소(2)가, 기판 인출 개소에 상당한다. 저위치 제1 반송 개소(1L)가, 저위치 용기 반송 개소에 상당하고, 고위치 제1 반송 개소(1H)가, 고위치 용기 반송 개소에 상당한다. 저위치 제2 반송 개소(2L)가, 저위치 기판 인출 개소에 상당하고, 고위치 제2 반송 개소(2H)가, 고위치 기판 인출 개소에 상당한다. 이와 같이, 제2 반송 개소(2)는, 복수 설정되어 있다.
또한, 반송 장치(5)가, 용기(3)를 탑재하는 탑재부(11)를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기(3)를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 중계 반송 장치에 상당한다. 반송 장치(5)는, 복수의 제2 반송 개소(2)에 별개로 용기(3)를 반송하는 상태로 복수 설치되어 있다.
도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)와의 한 쌍의 반송 장치(5)의 조(組)는, 상하 방향으로 배열된 상태로 2조 설치되어 있다. 이들, 위쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)와, 아래쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)는, 높이가 상이한 것 이외에는 마찬가지로 구성되어 있다. 또한, 위쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)와, 아래쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)는, 같은 지지 프레임(12)에 상하 방향에서 상이한 높이로 지지되어 있다.
저위치 반송 장치(5L)는, 저위치용의 탑재부(11L)를 연직 방향을 따른 축심(P) 주위로 선회 이동 가능하게 설치되어 있다.
설명을 추가하면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 저위치 전동 모터(13L)의 출력축에 저위치 연결부(14L)가 축심(P) 주위로 회전 가능하게 연결되어 있고, 그 저위치 연결부(14L)에 저위치용의 탑재부(11L)가 캔틸레버형(cantilever type)으로 연결되어 있다. 그리고, 저위치 전동 모터(13L)에 의해 저위치 연결부(14L)가 축심(P) 주위로 회전 구동함으로써, 저위치용의 탑재부(11L)를 축심(P) 주위로 선회 이동시켜 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)와 저위치 제2 반송 개소(2L)와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있다.
또한, 마찬가지로, 고위치 반송 장치(5H)도, 고위치용의 탑재부(11H)를 연직 방향을 따른 축심(P) 주위로 선회 이동 가능하게 설치되어 있고, 고위치 전동 모터(13H)에 의해 고위치 연결부(14H)가 축심(P) 주위로 회전 구동함으로써, 고위치용의 탑재부(11H)를 축심(P) 주위로 선회 이동시켜 용기(3)를 고위치 제1 반송 개소(1H)와 고위치 제2 반송 개소(2H)와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있다.
이와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)는 동일 축심 주위로 선회 이동 가능하게 설치되어 있다.
저위치 전동 모터(13L) 및 고위치 전동 모터(13H)는, 저위치 전동 모터(13L)가 고위치 전동 모터(13H)보다 위쪽에 위치하는 상태로 지지 프레임(12)에 지지되어 있다.
저위치 전동 모터(13L)는, 출력축이 위쪽을 향해 돌출하는 자세로 형성되어 있고, 그 저위치 전동 모터(13L)의 출력축에, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)으로부터 위쪽으로 돌출된 상측 돌출 부분(14c)이 일체로 회전하는 상태로 연결되어 있다.
또한, 고위치 전동 모터(13H)는, 출력축이 아래쪽을 향해 돌출하는 자세로 형성되어 있고, 그 고위치 전동 모터(13H)의 출력축에, 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)으로부터 아래쪽으로 돌출된 하측 돌출 부분(14d)이 일체로 회전하는 상태로 연결되어 있다.
그리고, 저위치 연결부(14L)의 하측 연결 부분(14b)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 고위치 연결부(14H)의 하측 돌출 부분(14d)에 연결되어 있고, 고위치 연결부(14H)의 상측 연결 부분(14a)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 저위치 연결부(14L)의 상측 돌출 부분(14c)에 연결되어 있다.
또한, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)과 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)과의 사이에는 지지 프레임(12)에 지지된 부재(15)가 개재되어 있고, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 부재(15)의 상단부에 연결되고, 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 부재(15)의 하단부에 연결되어 있다.
이와 같이, 저위치 연결부(14L) 및 고위치 연결부(14H)는, 저위치 전동 모터(13L)와 고위치 전동 모터(13H)와의 사이에 상하 방향으로 협지되는 상태로 설치되어 있다. 그리고, 위로부터, 고위치 연결부(14H)의 상측 연결 부분(14a), 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a), 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b), 저위치 연결부(14L)의 하측 연결 부분(14b)의 순으로 배열하여, 고위치 연결부(14H)의 상측 연결 부분(14a)과 하측 연결 부분(14b)과의 사이에 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)을 위치시키고, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)과 하측 연결 부분(14b)과의 사이에 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)을 위치하게 하고 있다. 이로써, 저위치 연결부(14L) 및 고위치 연결부(14H)의 각각을 상하 방향으로 넓은 간격으로 지지 프레임(12) 측으로 연결할 수 있으면서, 저위치 연결부(14L)와 고위치 연결부(14H)와의 상하 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화가 도모되어 있다.
그리고, 저위치 연결부(14L)에 연결된 저위치용의 탑재부(11L) 및 고위치 연결부(14H)에 연결된 고위치용의 탑재부(11H)는, 고위치용의 탑재부(11H)가, 저위치용의 탑재부(11L)에서의 용기(3)를 탑재하는 탑재면[탑재부(11H)의 상면]의 높이보다 높고 또한 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 상단보다 낮은 높이에 위치하는 상태로 설치되어 있다.
다음에, 저위치용의 탑재부(11L) 및 고위치용의 탑재부(11H)의 선회 이동 및 상하 방향에서 볼 때의 위치 관계에 대하여 설명한다. 그리고, 용기 반송 영역(E1)과 기판 반송 영역(E2)이 배열된 방향을 설비 전후 방향(도 2 및 도 5에 의해 화살표 X로 나타내는 방향)이라고 하고, 설비 전후 방향과 직교하는 방향을 설비 좌우 방향(도 2 및 도 5에 의해 화살표 Y로 나타내는 방향)이라고 하여 설명한다. 본 예에서는, 설비 전후 방향 및 설비 좌우 방향의 각각이, 수평면에 평행한 방향으로 된다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 지지 프레임(12)은 기판 반송 영역(E2)에 설치되어 있고, 축심(P)은 기판 반송 영역(E2)에 위치하고 있다.
저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 반시계 방향으로 선회 이동시켜 용기 반송 영역(E1)으로 돌출 이동시킴으로써, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치[도 5의 (a)에 실선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측에 위치하고 있다.
또한, 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 시계 방향으로 선회 이동시켜 기판 반송 영역(E2)으로 퇴피 이동시킴으로써, 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치[도 5의 (a)에 가상선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 한쪽[천정 반송차(6)의 주행 방향 상류측]에 위치하고 있다.
그리고, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 시계 방향으로 선회 이동시켜 용기 반송 영역(E1)으로 돌출 이동시킴으로써, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치[도 5의 (b)에 실선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측에 위치하고 있다.
또한, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 반시계 방향으로 선회 이동시켜 기판 반송 영역(E2)으로 퇴피 이동시킴으로써, 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치[도 5의 (b)에 가상선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 다른 쪽[천정 반송차(6)의 주행 방향 하류측]에 위치하고 있다.
그리고, 반송 개소[저위치 제1 반송 개소(1L) 등]에 대응하는 위치란, 용기(3)가 반송 개소에 위치할 때 상기 용기(3)를 탑재하고 있는 탑재부(11)가 존재하고 있는 위치이다. 또한, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)와의 각각의 요동(搖動) 각도는 90°로 설정되어 있다.
또한, 도 3에서의 위쪽에 위치하는 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)와의 조는, 도 5의 (b)에 나타낸 위치 관계로 되어 있고, 도 3에서의 아래쪽에 위치하는 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)와의 조는, 도 5의 (a)에 나타낸 위치 관계로 되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 저위치 제1 반송 개소(1L)와 고위치 제1 반송 개소(1H)는, 모두 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측으로 설정되어 있고, 저위치 제1 반송 개소(1L)와 고위치 제1 반송 개소(1H)가 상하 방향에서 볼 때 같은 위치로 설정되어 있다. 그리고, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응한 위치로 선회 이동한 저위치용의 탑재부(11L)와, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응한 위치로 선회 이동한 고위치용의 탑재부(11H)는, 모두 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측으로 이동하고 있고, 이들 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)는 상하 방향에서 볼 때 같은 위치에 위치하고 있다.
또한, 저위치 제2 반송 개소(2L)는 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 한쪽으로 설정되고, 고위치 제2 반송 개소(2H)는 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 다른 쪽으로 설정되어 있고, 저위치 제2 반송 개소(2L)와 고위치 제2 반송 개소(2H)가 상하 방향에서 볼 때 상이한 위치로 설정되어 있다. 그리고, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응한 위치로 선회 이동한 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 한쪽으로 이동하고, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응한 위치로 선회 이동한 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 다른 쪽으로 이동하고 있고, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)는 상하 방향에서 볼 때 상이한 위치에 위치하고 있다.
그리고, 도 5∼도 7에 나타낸 바와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)는, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되고, 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않도록 설치되어 있다.
또한, 고위치용의 탑재부(11H)는, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되고, 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않도록 설치되어 있다.
그리고, 도 6에 있어서는, 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(3LT)으로 나타내고, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(11HT)으로 나타내고 있다. 또한, 도 7에 있어서는, 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(3HT)으로 나타내고, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(11LT)으로 나타내고 있다.
이와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)는, 상기 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적이, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 중복 부분과 중복되지 않는 비중복 부분을 가지고, 상기 중복 부분과 상기 비중복 부분이 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 방향을 따라 배열된 상태로 설치되어 있다. 또한, 고위치용의 탑재부(11H)는, 상기 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적이, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 중복 부분과 중복되지 않는 비중복 부분을 가지고, 상기 중복 부분과 상기 비중복 부분이 고위치용의 탑재부(11L)의 이동 방향을 따라 배열된 상태로 설치되어 있다.
그리고, 고위치용의 탑재부(11H) 및 저위치용의 탑재부(11L)의 각각은, 다른 쪽의 탑재부(11L, 11H)가 중복되지 않는 개소에 위치하는 상태로, 용기(3)를 제1 반송 개소(1)와 제2 반송 개소(2)와의 사이에서 반송 가능하게 구성되어 있다.
즉, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 고위치용의 탑재부(11H)가 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치에 위치하는 상태에서는, 고위치용의 탑재부(11H)나 이 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)에 접촉하지 않고, 저위치용의 탑재부(11L)를, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치나 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치로 이동시켜, 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)나 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송 가능하게 되어 있다.
또한, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)가 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치에 위치하는 상태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)나 이 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)에 접촉하지 않고, 고위치용의 탑재부(11H)를, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치나 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 이동시켜, 용기(3)를 고위치 제1 반송 개소(1H)나 고위치 제2 반송 개소(2H)에 반송 가능하게 되어 있다.
기판 반송 장치(8)는, 설비 전후 방향에서 반송 장치(5)와 기판 처리 장치(7)와의 사이에 설치된 승강 이동 가능한 승강대(17)와, 그 승강대(17) 상을 설비 좌우 방향으로 이동 가능한 이동 로봇(18)을 구비하여 구성되어 있다. 이동 로봇(18)에는, 승강 이동 가능, 연직 축심 주위로 회전 이동 가능하고, 및 수평 방향으로 출퇴(出退) 이동 가능하게 포크형의 지지부(18a)가 구비되어 있다.
이 기판 반송 장치(8)는, 승강대(17)의 승강 이동 및 이동 로봇(18)의 설비 좌우 방향을 따르는 이동, 및 지지부(18a)의 승강, 회전 및 출퇴에 의해, 다음과 같이 작동하도록 구성되어 있다. 즉, 기판 반송 장치(8)는, 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 상태로 저위치 제2 반송 개소(2L)에 위치하는 용기(3)로부터 1매씩 기판(4)을 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하고, 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 상태로 고위치 제2 반송 개소(2H)에 위치하는 용기(3)로부터 기판(4)을 1매씩 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하고, 또한 기판 처리 장치(7)에 의해 처리를 끝낸 기판(4)을 고위치용 또는 저위치용의 탑재부(11)에 탑재된 상태로 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)에 1매씩 반송하여 상기 기판(4)을 용기(3)에 수납하도록 구성되어 있다.
기판 반송 장치(8)는, 용기(3)가 4개소의 제2 반송 개소(2)[2개소의 저위치 제2 반송 개소(2L) 및 2개소의 고위치 제2 반송 개소(2H)]의 어디에 위치하는 상태에 있더라도, 용기(3)로부터 기판(4)을 출입 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 4개소의 제2 반송 개소(2) 중, 기판 반송 장치(8)에 의해 기판(4)을 출입하고 있는 용기(3)가 존재하고 있는 제2 반송 개소(2) 이외의 제2 반송 개소(2)를, 용기(3)를 일시적으로 보관하는 버퍼로서 이용할 수 있도록 되어 있다.
도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(6)는, 천정에 설치된 주행 레일(20)에 안내 지지된 상태로 주행 레일(20)을 따라 주행 가능하도록 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차(6)는, 용기(3)를 지지하는 지지체(21)를, 승강 가능하고, 또한 상하 방향을 따르는 축심 주위로 회전 가능하게 구비하여 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차(6)는, 반송 장치(5)의 근방에 있어서는, 설비 좌우 방향을 따라 일방향(도 1에 있어서 좌측 위로부터 우측 아래)으로 주행하게 되어 있다.
그리고, 천정 반송차(6)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지체(21)를 상승 위치로 상승 이동시킨 상태로 주행 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차(6)는, 지지체(21)를 상승 위치로부터 하강 이동시켜 탑재부(11) 상에 용기(3)를 내려놓는 형태로 제1 반송 개소(1)에 용기(3)를 반송하고, 지지체(21)를 상승 위치로 상승 이동시켜 탑재부(11) 상으로부터 용기(3)를 끌어올리는 형태로 제1 반송 개소(1)로부터 용기(3)를 반송하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하여, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)를 반송 대상 개소로 하는 용기(3)의 반송을 행하고, 제1 반송 개소(1)와 자체 사이에서 용기(3)를 이송탑재[수수(授受)]한다.
설명을 추가하면, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 정지한 상태에서, 용기(3)를 지지한 지지체(21)를 하강 이동시키고, 지지체(21)에 의한 용기(3)에 대한 지지를 해제하여 용기(3)를 탑재부(11)에 내려놓고, 제1 반송 개소(1)로 용기(3)가 반송되도록 구성되어 있다.
또한, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 정지한 상태에서, 용기(3)를 지지하지 않는 지지체(21)를 하강 이동시키고, 지지체(21)에 의해 제1 반송 개소(1)에 위치하는 용기(3)를 지지하고, 용기(3)를 지지한 지지체(21)를 상승 이동시킴으로써, 제1 반송 개소(1)로부터 용기(3)를 반송하도록 구성되어 있다.
그리고, 천정 반송차(6)가, 저위치 제1 반송 개소(1L) 및 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대하여 공통적으로 설정된 정지 위치에 정지한 상태에서, 저위치 제1 반송 개소(1L) 또는 고위치 제1 반송 개소(1H)와 자체 사이에서 용기(3)를 반송 가능하게(이송탑재 가능하게) 구성되어 있다.
또한, 천정 반송차(6)를 정지 위치에 정지시킨 상태에 있어서, 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치에 저위치용의 탑재부(11L)가 위치하고 있을 때는, 천정 반송차(6)와 저위치 제1 반송 개소(1L)와의 사이에서 용기(3)가 반송되고, 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치에 고위치용의 탑재부(11H)가 위치하고 있을 때는, 천정 반송차(6)와 고위치 제1 반송 개소(1H)와의 사이에서 용기(3)가 반송된다.
제1 반송 개소(1)[저위치 제1 반송 개소(1L) 및 고위치 제1 반송 개소(1H)]는, 탑재부(11)에 탑재된 상태에서 제1 반송 개소(1)에 위치하는 용기(3)의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차(6)의 지지체(21)의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차(6)에 지지된 용기(3)의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정되어 있다.
제1 반송 개소(1)를 천정 반송차(6)에 가까운 개소로 설정할 수 있으므로, 천정 반송차(6)가 제1 반송 개소(1)에 용기(3)를 반송할 때의 지지체(21)의 하강량을 적게 할 수 있어, 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로 신속히 반송할 수 있다. 또한, 제1 반송 개소(1)에 용기(3)가 존재하고 있었다고 해도, 용기(3)를 지지하지 않는 주행용 상태의 천정 반송차(6)를 자유롭게 주행 이동시킬 수 있다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비에는, 반송 장치(5), 천정 반송차(6), 및 기판 반송 장치(8)의 작동을 제어하는 반송 제어 장치(H)가 설치되어 있다.
반송 제어 장치(H)는, 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위에 위치하는 정지 위치까지 주행 이동시키는 수수 전 주행 처리와, 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행 이동시키는 수수 후 주행 처리와, 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)에 반송하는 내려놓는 처리와 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로부터 반송하는 들어올리는 처리를 실행하기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
또한, 반송 제어 장치(H)는, 탑재부(11)를 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치로부터 제2 반송 개소(2)에 대응하는 위치로 이동시키는 퇴피 처리와, 탑재부(11)를 제2 반송 개소(2)에 대응하는 위치로부터 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치로 이동시키는 돌출 처리를 실행하기 위해, 반송 장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
다음에, 도 10에 나타낸 플로우차트에 기초하여, 반송 제어 장치(H)가 내려놓는 처리를 실행함으로써, 천정 반송차(6)에 의해 저위치 제1 반송 개소(1L)로 용기(3)를 반송하고, 반송 제어 장치(H)가 들어올리는 처리를 실행함으로써, 천정 반송차(6)에 의해 고위치 제1 반송 개소(1H)로부터 용기(3)를 반송하는 경우를 예로 들어, 천정 반송차(6)와 반송 장치(5)와의 사이에서 용기(3)를 반송하는 반송 제어에 대하여 설명한다. 그리고, 통상은, 탑재부(11)는 제2 반송 개소(2)에 대응하는 위치로 이동하고 있다.
반송 제어 장치(H)는, 용기(3)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송하는 반입(搬入) 지령이 지령되면, 먼저, 수수 전 주행 처리와 돌출 처리를 실행한다. 수수 전 주행 처리 및 돌출 처리에서는, 반입 대상의 용기(3)를 지지한 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 주행시키고 또한 저위치용의 탑재부(11L)를 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치로 돌출 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어 장치(H)는, 내려놓는 처리를 실행한 후, 퇴피 처리를 실행한다. 내려놓는 처리에서는, 저위치용의 탑재부(11L) 상에 용기(3)를 내려놓아 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)에 반송시키기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다. 또한, 퇴피 처리에서는, 저위치용의 탑재부(11L)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치로 이동시켜 용기(3)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송하기 위해, 반송 장치(5)의 작동을 제어한다.
또한, 수수 전 주행 처리와 돌출 처리에서는, 통상에서는 수수 전 주행 처리 쪽이 긴 시간을 필요로 하고, 천정 반송차(6)가 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치까지 이동하기 전에 탑재부(11)는 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치로의 이동을 완료하고 있다. 그러므로, 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위로 주행시킨 후, 탑재부(11)가 제1 반송 개소(1)로 돌출 이동할 때까지 내려놓는 처리의 개시를 대기시킬 필요 없어, 신속히 제1 반송 개소(1)로 용기(3)를 반송 가능하게 되어 있다.
전술한 바와 같이, 반송 제어 장치(H)는, 퇴피 처리를 실행하여 용기(3)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송한 후, 반출(搬出) 지령이 지령되어 있지 않으면, 수수 후 주행 처리를 실행하여, 용기(3)를 지지하고 있지 않은 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행시키기 위해 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다.
또한, 반송 제어 장치(H)는, 반출 지령이 있으면, 돌출 처리를 실행한다. 돌출 처리에서는, 고위치용의 탑재부(11H)를 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치로 돌출 이동시키기 위해, 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어 장치(H)는, 들어올리는 처리를 실행한 후, 수수 후 주행 처리와 퇴피 처리를 실행한다. 들어올리는 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 천정 반송차(6)에 의해 지지하기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다. 또한, 수수 후 주행 처리 및 퇴피 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 지지한 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행시키고 또한 고위치용의 탑재부(11H)를 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 퇴피 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다.
그리고, 반송 제어 장치(H)는, 반입 지령이 지령되어 있지 않고, 반출 지령만이 지령되고 있는 경우에는, 먼저, 수수 전 주행 처리와 돌출 처리를 실행한다. 수수 전 주행 처리 및 돌출 처리에서는, 용기(3)를 지지하고 있지 않은 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 주행시키고 또한 고위치용의 탑재부(11)를 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치로 돌출 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어 장치(H)는, 들어올리는 처리를 실행한 후, 수수 후 주행 처리와 퇴피 처리를 실행한다. 들어올리는 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 천정 반송차(6)에 의해 지지하기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다. 또한, 수수 후 주행 처리 및 퇴피 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 지지한 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행시키고 또한 고위치용의 탑재부(11H)를 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 퇴피 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다.
이와 같이, 용기(3)를 탑재하는 탑재부(11)를 수평 방향을 따라 이동시킴으로써, 탑재부(11)에 탑재한 용기(3)를 제1 반송 개소(1)와 제2 반송 개소(2)와의 사이에서 반송하고, 기판 반송 장치(8)에 의해, 탑재부(11)에 탑재된 상태로 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)로부터 기판(4)을 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하게 되어 있다. 이 결과, 기판 반송 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있으면서, 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 효율적으에 반송하기 쉬워지고 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 중계 반송 장치로서, 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)를 설치하였으나, 중계 반송 장치로서, 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H) 중 어느 한쪽만을 설치해도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 탑재부(11)를, 연직 방향을 따른 축심 주위로 선회 이동시킴으로써 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 기판 인출 개소에 대응하는 위치로 이동시키도록 구성하였지만, 탑재부(11)를, 수평 방향을 따라 직선 이동시킴으로써 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 기판 인출 개소에 대응하는 위치로 이동시키도록 구성해도 된다.
또한, 중계 반송 장치를, 용기(3)를 탑재 지지하는 체인이나 벨트 등을 구비한 컨베이어 장치에 의해 구성해도 된다. 이와 같이 중계 반송 장치를 컨베이어 장치에 의해 구성한 경우에는, 체인이나 벨트 등의 용기(3)를 탑재 지지하는 부분이 탑재부(11)에 상당하고, 체인이나 벨트를 회전 구동시킴으로써 탑재 지지하는 부분[탑재부(11)]를 수평 방향을 따라 이동시키게 된다.
그리고, 단일의 탑재부(11)는, 상기 실시형태의 같은 ㄷ자형(각이 진 U자형)의 판형 부재와 같이 1개의 부재에 의해 구성하는 외에, 용기(3)의 설비 가로 폭 방향의 양 단부를 별개로 지지하도록 한 쌍의 부재[예를 들면, 무단(無端) 벨트]에 의해 구성해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 용기 반송 개소를, 탑재부(11)에 탑재된 상태로 용기 반송 개소에 위치하는 용기(3)의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차(6)의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차(6)에 지지된 용기(3)의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정하였으나, 용기 반송 개소를, 탑재부(11)에 탑재된 상태에서 용기 반송 개소에 위치하는 용기(3)의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차(6)의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차(6)에 지지된 용기(3)의 하단보다 아래쪽에 위치하는 개소로 설정하여, 용기 반송 개소에 용기(3)가 존재하고 있었다고 해도, 용기(3)를 지지하는 주행용 상태의 천정 반송차(6)를 자유롭게 주행 이동할 수 있도록 구성해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)를, 그 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적이 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치하고, 고위치용의 탑재부(11H)를, 그 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적이 저위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치하였으나, 이들 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)를, 각각의 이동 궤적이 상하 방향으로 중복되지 않는 상태로 설치해도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 상기 실시형태에 있어서, 탑재부(11)의 평면에서 볼 때의 형상을 빗살형으로 형성하는 것 등에 의해, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치의 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치의 고위치용의 탑재부(11H)가, 상하 방향에서 볼 때 중첩되지 않도록 구성하여, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)를, 각각의 이동 궤적이 상하 방향으로 중복되지 않는 상태로 설치해도 된다.
그리고, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적의 전체와 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적의 전체가, 상하 방향으로 중복되는 상태로 설치해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 기판(4)을, 직사각형으로 형성된 판상체로 하였으나, 기판(4)을, 웨이퍼 등의 원형 또는 대략 원형으로 형성된 판상체로 해도 된다. 또한, 용기(3)는, 웨이퍼 수납용의 FOUP로서도 된다.
1: 용기 반송 개소
1L: 저위치 용기 반송 개소
1H: 고위치 용기 반송 개소
2: 기판 인출 개소
2L: 저위치 기판 인출 개소
2H: 고위치 기판 인출 개소
3: 용기
4: 기판
5: 중계 반송 장치
5L: 저위치 반송 장치
5H: 고위치 반송 장치
6: 천정 반송차
7: 기판 처리 장치
8: 기판 반송 장치
11: 탑재부
11L: 저위치용의 탑재부
11H: 고위치용의 탑재부
20: 주행 레일
21: 지지체
P: 축심

Claims (6)

  1. 천정에 설치된 주행 레일에 안내 지지된 상태로 상기 주행 레일을 따라 주행 이동하여, 복수 개의 기판을 수납한 용기를 용기 반송(搬送) 개소에 반송하는 천정 반송차를 구비한 기판 반송 설비로서,
    상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 기판 인출 개소 사이에서 반송 가능한 중계 반송 장치; 및
    상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터 상기 기판을 인출하여, 상기 기판에 대하여 처리를 행하는 기판 처리 장치에, 인출한 상기 기판을 반송하는 기판 반송 장치;
    를 포함하고,
    상기 중계 반송 장치가, 상기 용기를 탑재하는 단일의 탑재부를 구비하여, 상기 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소 사이에서 반송 가능하게 구성되며,
    상기 기판 반송 장치가, 상기 탑재부에 탑재된 상태로 상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터, 상기 기판을 인출하여, 상기 기판을 상기 기판 처리 장치에 반송 가능하게 구성되어 있는,
    기판 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판이, 직사각형으로 형성된 판상체(板狀體)인, 기판 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 중계 반송 장치가, 상기 탑재부를 연직(鉛直) 방향을 따른 축심(軸心) 주위로 선회(旋回) 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소 사이에서 반송하도록 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 인출 개소가, 복수 설정되고,
    상기 중계 반송 장치가, 복수의 상기 기판 인출 개소에 별개로 상기 용기를 반송하는 상태로 복수 설치되고,
    상기 기판 반송 장치가, 상기 용기가 복수의 상기 기판 인출 개소 중 어디에 위치하는 상태에 있더라도, 상기 용기로부터 상기 기판을 인출 가능하게 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 천정 반송차가, 상기 용기를 매달아 지지하는 지지체를 승강 가능하게 구비하여, 상기 지지체를 상승 위치로 상승 이동시킨 주행용 상태에서 주행 이동 가능하게 구성되며, 또한 상기 지지체를 상기 상승 위치로부터 하강 이동시켜 상기 탑재부 상에 상기 용기를 내려놓는 형태로 상기 용기를 상기 용기 반송 개소에 반송하도록 구성되며,
    상기 용기 반송 개소는, 상기 탑재부 상에 탑재된 상태로 상기 용기 반송 개소에 위치하는 상기 용기의 상단이, 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차의 상기 지지체의 하단보다 아래쪽이며 또한 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차에 지지된 상기 용기의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정되어 있는, 기판 반송 설비.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 용기 반송 개소로서, 저위치(低位置) 용기 반송 개소와 상기 저위치 용기 반송 개소보다 고위치(高位置)로 설정된 고위치 용기 반송 개소가 설정되고,
    상기 기판 인출 개소로서, 저위치 기판 인출 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소보다 고위치로 설정된 고위치 기판 인출 개소가 설정되고,
    상기 중계 반송 장치로서, 상기 용기를 상기 저위치 용기 반송 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소 사이에서 반송하는 저위치 반송 장치와, 상기 용기를 상기 고위치 용기 반송 개소와 상기 고위치 기판 인출 개소 사이에서 반송하는 고위치 반송 장치가 설치되고,
    상기 고위치 반송 장치에 구비된 고위치용의 상기 탑재부가, 상기 저위치 반송 장치에 구비된 저위치용의 상기 탑재부에서의 상기 용기를 탑재하는 탑재면의 높이보다 높고 또한 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 상단보다 낮은 높이에 설치되고,
    상기 저위치용의 탑재부는, 상기 저위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 고위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되고,
    상기 고위치용의 탑재부는, 상기 고위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
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