TWI594935B - 物品搬送設備 - Google Patents

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TWI594935B TW102137490A TW102137490A TWI594935B TW I594935 B TWI594935 B TW I594935B TW 102137490 A TW102137490 A TW 102137490A TW 102137490 A TW102137490 A TW 102137490A TW I594935 B TWI594935 B TW I594935B
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村山繁人
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大福股份有限公司
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Description

物品搬送設備 發明領域
本發明是與物品搬送設備相關，該物品搬送設備設置有將物品在第1搬送部位與第2搬送部位之間搬送之搬送裝置；設定有低位置第1搬送部位、及設定在比該低位置第1搬送部位更高之位置的高位置第1搬送部位，來作為前述第1搬送部位；設定有低位置第2搬送部位、及設定在比該低位置第2搬送部位更高之位置的高位置第2搬送部位，來作為前述第2搬送部位；設置有令用於載置物品之低位置用之載置部沿著水平方向移動而將物品在前述低位置第1搬送部位與前述低位置第2搬送部位之間搬送之低位置搬送裝置、令用於載置物品之高位置用之載置部沿著水平方向移動而將物品在前述高位置第1搬送部位與前述高位置第2搬送部位之間搬送之高位置搬送裝置，來作為前述搬送裝置。
發明背景
如上述之物品搬送設備舉例來說是設置有可將物品在第1搬送部位與自己之間授受之頂部搬送車，由該 頂部搬送車將物品在低位置第1搬送部位或高位置第1搬送部位與自己之間搬送，設置有可將物品在第2搬送部位與自己之間授受之堆高式起重機，由該堆高式起重機將物品在低位置第2搬送部位或高位置第2搬送部位與自己之間搬送。然後，其構成是使低位置搬送裝置之低位置用之載置部移動而將物品在低位置第1搬送部位與低位置第2搬送部位之間搬送，使高位置搬送裝置之高位置用之載置部移動而將物品在高位置第1搬送部位與高位置第2搬送部位之間搬送。藉由如此地將在第1搬送部位與第2搬送部位之間搬送物品之路徑設置2路徑，而有效率地將物品搬送。
作為物品搬送設備之一例，有一種物品搬送設備是高位置用之載置部及低位置用之載置部分別以與另一方之載置部的移動軌跡及載置於另一方之載置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中重複之狀態來設置，謀求高位置搬送裝置與低位置搬送裝置之在水平方向之設置空間之省空間化(例如，參考日本特開2010-137961號公報(專利文獻1)。)。
然後，上述專利文獻1之物品搬送設備之構成是將高位置搬送裝置設置在比載置於低位置用之載置部之物品的上端更高之高度，當用低位置搬送裝置來搬送物品，該物品不干涉高位置搬送裝置。
然而，上述之專利文獻1之物品搬送設備是藉由將低位置搬送裝置與高位置搬送裝置以在上下方向視點中重複之狀態來設置，而謀求在水平方向之設置空間之省空 間化，其為了避免當用低位置搬送裝置來搬送物品時低位置用之載置部或載置於該低位置用之載置部之物品與高位置搬送裝置發生干涉的情況，高位置搬送裝置是設置在比載置於低位置用之載置部之物品的上端更高之高度。因此，高位置搬送裝置與低位置搬送裝是以於上下方向離開很大之狀態來設置，為了設置高位置搬送裝置與低位置搬送裝置，於上下方向需要大的設置空間。
發明概要
鑑於上述背景，希望能實現可設置高位置搬送裝置與低位置搬送裝置而將搬送效率提高、並謀求高位置搬送裝置與低位置搬送裝置之設置空間之省空間化的物品搬送設備。
與本發明相關之物品搬送設備是具有以下：搬送裝置，將物品在第1搬送部位與第2搬送部位之間搬送；在此，設定有低位置第1搬送部位、及設定在比該低位置第1搬送部位更高之位置的高位置第1搬送部位，來作為前述第1搬送部位；設定有低位置第2搬送部位、及設定在比該低位置第2搬送部位更高之位置的高位置第2搬送部位，來作為前述第2搬送部位；設置有令用於載置物品之低位置用之載置部沿著水平方向移動而將物品在前述低位置第1搬送部位與前述低位置第2搬送部位之間搬送之低位 置搬送裝置、令用於載置物品之高位置用之載置部沿著水平方向移動而將物品在前述高位置第1搬送部位與前述高位置第2搬送部位之間搬送之高位置搬送裝置，來作為前述搬送裝置；前述高位置用之載置部是設置在比前述低位置用之載置部中之用於載置物品之載置面的高度更高、且比載置於前述低位置用之載置部之物品的上端更低的高度；前述低位置用之載置部是以如下狀態來設置：載置於該低位置用之載置部之物品的移動軌跡具有與前述高位置用之載置部的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，且該重複部分與該非重複部分沿著前述低位置用之載置部之移動方向排列；前述高位置用之載置部是以如下狀態來設置：該高位置用之載置部的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部之物品的移動軌跡具有與載置於前述低位置用之載置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，且該重複部分與該非重複部分沿著前述高位置用之載置部之移動方向排列。
亦即，低位置用之載置部及高位置用之載置部是以如下狀態來設置：低位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於高位置用之載置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分，另外，高位置用之載置部的移動軌跡具有與載置於低位置用之載置部之物品的移動軌跡在上下 方向視點中重複之部分。
因此，在高位置用之載置部及載置於該高位置用之載置部之物品是與低位置用之載置部的移動軌跡在上下方向視點中不重複之狀態下，當使載置有物品之低位置用之載置部移動時，高位置用之載置部或載置於該高位置用之載置部之物品不會妨礙，可藉由使低位置用之載置部朝與低位置第1搬送部位對應之位置、與低位置第2搬送部位對應之位置移動，而將物品在低位置第1搬送部位與低位置第2搬送部位之間搬送。
另外，在載置於低位置用之載置部之物品是與高位置用之載置部的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中不重複之狀態下，當使載置有物品之高位置用之載置部移動時，載置於低位置用之載置部之物品不會妨礙，可藉由使高位置用之載置部朝與高位置第1搬送部位對應之位置、與高位置第2搬送部位對應之位置移動，而將物品在高位置第1搬送部位與高位置第2搬送部位之間搬送。
因為設置有使低位置用之載置部移動而將物品搬送之路徑、使高位置用之載置部移動而將物品搬送之路徑的2路徑，來作為在第1搬送部位與第2搬送部位之間將物品搬送之路徑，故可有效率地將物品在第1搬送部位與第2搬送部位之間搬送。
然後，可藉由使低位置用之載置部的移動軌跡與高位置用之載置部的移動軌跡及載置於該高位置用之載 置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中一部分重複，而謀求低位置搬送裝置與高位置搬送裝置之在水平方向之設置空間之省空間化。
另外，因為高位置用之載置部是設置於比低位置用之載置部中之用於載置物品之載置面的高度更高且比載置於低位置用之載置部之物品的上端更低的高度，故可謀求低位置搬送裝置與高位置搬送裝置之在上下方向之設置空間之省空間化。
如此，可設置高位置搬送裝置與低位置搬送裝置而將搬送效率提高、並謀求高位置搬送裝置與低位置搬送裝置之在水平方向及上下方向之設置空間之省空間化。
以下，針對適合本發明之實施形態之例進行說明。
在與本發明相關之物品搬送設備之實施形態中，宜為：前述低位置搬送裝置設置成將前述低位置用之載置部繞沿著鉛直方向之軸心環繞移動自如，前述高位置搬送裝置設置成將前述高位置用之載置部繞沿著鉛直方向之軸心環繞移動自如。
亦即，可在物品已載置於低位置用之載置部的狀態下，藉由使低位置用之載置部環繞移動而將物品在低位置第1搬送部位與低位置第2搬送部位之間搬送，另外，可在物品已載置於高位置用之載置部的狀態下，藉由使高位置用之載置部環繞移動而將物品在高位置第1搬送部位與高位置第2搬送部位之間搬送。
然後，因為載置部之環繞移動可藉由例如將載置部連結至繞沿著鉛直方向之旋轉軸心旋轉自如之連結部而用電動馬達使該連結部旋轉等之簡單構成來實現，故可謀求搬送裝置之構成之簡潔化。
在與本發明相關之物品搬送設備之實施形態中，宜為：設置成前述低位置用之載置部與前述高位置用之載置部繞同一軸心環繞移動自如。
亦即，因為設置成低位置用之載置部與高位置用載置部繞同一軸心環繞自如，故與設置成該等載置部繞不同軸心環繞自如的情況相比，由於軸心未分離，可謀求在水平方向之設置空間之省空間化。
在與本發明相關之物品搬送設備之實施形態中，宜為：前述搬送裝置之構成是將對複數枚基板收納自如之容器作為物品來搬送；設置有對前述基板進行處理之基板處理裝置；設置有從以載置於前述載置部之狀態位於前述第2搬送部位之前述容器取出前述基板而將該基板朝前述基板處理裝置搬送之基板搬送裝置。
亦即，由於高位置用之載置部是設置於比低位置用之載置部中之用於載置物品之載置面的高度更高、且比載置於低位置用之載置部之物品的上端更低的高度，故高位置用之載置部與低位置用之載置部的高低差小。因此，當基板搬送裝置將基板在載置於低位置用之載置部之容器或載置於高位置用之載置部之容器與基板處理裝置之間搬送時，可抑制為了取出基板所需要之基板搬送裝置的 昇降移動量，可令基板搬送裝置之構成是於上下方向小巧緊密。
另外，因為可在使容器載置於搬送裝置之載置部的狀態下由基板搬送裝置取出基板，故不需要將容器從搬送裝置之載置部上搬送至設定成用於取出基板之基板取出部位等之別的部位，可有效率地搬送基板。
在與本發明相關之物品搬送設備之實施形態中，宜為：前述低位置第1搬送部位與前述高位置第1搬送部位設定成在上下方向視點中為相同位置。
亦即，低位置第1搬送部位與高位置第1搬送部位是設定成在上下方向視中為相同位置。因此，因為不論物品之搬送對象部位是低位置第1搬送部位的情況、或物品之搬送對象部位是高位置第1搬送部位的情況，物品之搬送對象部位之位置在水平方向為相同位置，故易於進行以低位置第1搬送部位或高位置第1搬送部位為搬送對象部位之物品搬送。
在與本發明相關之物品搬送設備之實施形態中，宜為：設置有具有將物品在前述第1搬送部位與自己之間搬送之機構且朝水平方向移動自如之搬送車；前述搬送車之構成是：以停止於對前述低位置第1搬送部位及前述高位置第1搬送部位共通設定之停止位置之狀態，在前述低位置第1搬送部位或前述高位置第1搬送部位與自己之間將物品搬送自如。
亦即，低位置第1搬送部位與高位置第1搬送部 位設定成在上下方向視點中為相同位置，搬送車不論將物品在低位置第1搬送部位與自己之間搬送時、或將物品在高位置第1搬送部位與自己之間搬送時，皆能以停止於共通之停止位置的狀態來搬送物品。因此，舉例來說，可在由搬送車將容器卸下至低位置第1搬送部位後，沒有使該搬送車朝水平方向移動就從高位置第1搬送部位將物品提起等，可有效率地用搬送車搬送物品。
在與本發明相關之物品搬送設備之實施形態中，宜為：設置有在受配置於頂部之行進軌道所導引支撐之狀態下沿著前述行進軌道行進自如、且具有將物品支撐之昇降自如之支撐體的頂部搬送車；前述頂部搬送車之構成是為了將物品卸下至前述載置部而使前述支撐體下降移動、將物品朝前述第1搬送部位搬送，且為了將物品自前述載置部提起而使前述支撐體上昇移動、將物品自前述第1搬送部位搬送。
亦即，由於高位置用之載置部是設置於比低位置用之載置部中之用於載置物品之載置面的高度更高且比載置於低位置用之載置部之物品的上端更低的高度，故高位置用之載置部與低位置用之載置部之高低差小。因此，可將低位置用之載置部的高度設置於高的位置，可抑制將物品在頂部搬送車與低位置第1搬送部位之間搬送時之昇降體的昇降量，可有效率地將物品在頂部搬送車與低位置第1搬送部位之間搬送。
1‧‧‧第1搬送部位(容器搬送部位)
1L‧‧‧低位置第1搬送部位
1H‧‧‧高位置第1搬送部位
2‧‧‧第2搬送部位
2L‧‧‧低位置第2搬送部位
2H‧‧‧高位置第2搬送部位
3‧‧‧容器(物品)
3LT‧‧‧移動軌跡
3HT‧‧‧移動軌跡
4‧‧‧基板
5‧‧‧搬送裝置
5L‧‧‧低位置搬送裝置
5H‧‧‧高位置搬送裝置
6‧‧‧頂部搬送車(搬送車)
7‧‧‧基板處理裝置
8‧‧‧基板搬送裝置
9‧‧‧區隔壁
11‧‧‧載置部
11L‧‧‧低位置用之載置部
11H‧‧‧高位置用之載置部
11LT‧‧‧移動軌跡
11HT‧‧‧移動軌跡
12‧‧‧支撐框
13L‧‧‧低位置電動馬達
13H‧‧‧高位置電動馬達
14a‧‧‧上側連結部分
14b‧‧‧下側連結部分
14c‧‧‧上突出部分
14d‧‧‧下突出部分
14L‧‧‧低位置連結部
14H‧‧‧高位置連結部
15‧‧‧構件
17‧‧‧昇降台
18‧‧‧移動機器人
18a‧‧‧支撐部
20‧‧‧行進軌道
21‧‧‧支撐體
E1‧‧‧容器搬送領域
E2‧‧‧基板搬送領域
H‧‧‧搬送控制裝置
P‧‧‧軸心
圖1是物品搬送設備的立體圖，圖2是物品搬送設備的平面圖，圖3是物品搬送設備的側面圖，圖4(a)、(b)是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的立體圖，圖5(a)、(b)是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的平面圖，圖6是顯示載置於低位置用之載置部之容器的移動軌跡與高位置用之載置部及載置於該載置部之容器的移動軌跡的平面圖，圖7是顯示載置於高位置用之載置部之容器的移動軌跡與低位置用之載置部及載置於該載置部之容器的移動軌跡的平面圖，圖8是顯示載置部之支撐構造的圖，圖9是控制方塊圖，圖10是流程圖。
用以實施發明之形態
以下，基於圖面來說明本發明之實施形態。
如圖1~圖3所示，於物品搬送設備設置有：搬送裝置5，在第1搬送部位1(參考圖2及圖3)與第2搬送部位2(參考圖2及圖3)之間搬送將複數枚之基板4收納自如之容器3；頂部搬送車6，在第1搬送部位1與自己之間搬送容器3；基板處理裝置7，對基板4進行處理；基板搬送裝置8，在位 於第2搬送部位2之容器3與基板處理裝置7之間搬送基板4。在本例中，頂部搬送車6之構成是具有在第1搬送部位1與自己之間搬送容器3之機構，並於水平方向移動自如。
然後，物品搬送設備之構成是用頂部搬送車6將容器3朝第1搬送部位1搬送，用搬送裝置5將容器3從第1搬送部位1朝第2搬送部位2搬送，用基板搬送裝置8從位於第2搬送部位2之容器3取出基板4而將該基板4往基板處理裝置7搬送。
另外，物品搬送設備之構成是用基板搬送裝置8將基板處理裝置7之處理已結束之基板4從基板處理裝置7往位於第2搬送部位2之容器3搬送而將該基板4收納於容器3，用搬送裝置5將容器3從第2搬送部位2朝第1搬送部位1搬送，用頂部搬送車6將容器3從第1搬送部位1搬送。
物品搬送設備是設置於無塵室內，於容器3收納有作為基板4之用於液晶面板等之形成矩形狀之玻璃基板。容器3相當於由搬送裝置5來搬送之物品，於橫側面形成用於讓基板4出入之開口，且於上面設置有受頂部搬送車6之支撐體21支撐之凸緣部。另外，圖示雖然省略，但基板4是以水平姿勢且在上下方向鄰接之基板4之間形成有間隙之狀態收納於容器3。
附帶一提，在基板處理裝置7是對基板4進行塗佈、曝光及顯影等預定之處理。
如圖3所示，設置有頂部搬送車6而由該頂部搬送車搬送容器3之容器搬送領域E1、設置有基板處理裝置7 與基板搬送裝置8而由該基板搬送裝置8搬送基板4之基板搬送領域E2是由區隔壁9區隔。然後，搬送裝置5之構成是以朝容器搬送領域E1突出自如之狀態設置於基板搬送領域E2，在容器搬送領域E1與基板搬送領域E2之間搬送容器3。
附帶一提，第1搬送部位1是設定於容器搬送領域E1，第2搬送部位2是設定於基板搬送領域E2。
如圖4及圖5所示，設定有低位置第1搬送部位1L、及設定在比該低位置第1搬送部位更高之位置的高位置第1搬送部位1H來作為第1搬送部位1，設定有低位置第2搬送部位2L、及設定在比該低位置第2搬送部位2L更高之位置的高位置第2搬送部位2H來作為第2搬送部位2。
然後，搬送裝置5之構成是令用於載置容器3之單一之載置部11沿著水平方向移動，藉此，將容器3在第1搬送部位1與第2搬送部位2之間搬送。單一之載置部11是由在上下方向視點中形成ㄈ字狀(有角之U字狀)之板狀構件所構成。
設置有令用於載置容器3之低位置用之載置部11L沿著水平方向移動而將容器3在低位置第1搬送部位1L與低位置第2搬送部位2L之間搬送之低位置搬送裝置5L、及令用於載置容器3之高位置用之載置部11H沿著水平方向移動而將容器3在高位置第1搬送部位1H與高位置第2搬送部位2H之間搬送之高位置搬送裝置5H，來作為搬送裝置5。
如圖1及圖3所示，低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之一對之搬送裝置5之組是以於上下方向排列之狀態設置有2組。該等上側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H、下側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H除了高度不同之外是相同地構成。另外，上側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H、下側之低位置搬送裝置5L及高位置搬送裝置5H是受相同之支撐框12在上下方向支撐於不同之高度。
低位置搬送裝置5L是設置成將低位置用之載置部11L繞沿著鉛直方向之軸心P環繞移動自如。
再加以說明，則如圖8所示，低位置連結部14L是繞軸心P旋轉自如地連結於低位置電動馬達13L之輸出軸，低位置用之載置部11L是單邊支持狀地連結於該低位置連結部14L。然後，其構成是用低位置電動馬達13L將低位置連結部14L繞軸心P旋轉驅動，藉此，使低位置用之載置部11L繞軸心P環繞移動而將容器3在低位置第1搬送部位1L與低位置第2搬送部位2L之間搬送。
另外，同樣地，高位置搬送裝置5H亦是設置成將高位置用之載置部11H繞沿著鉛直方向之軸心P環繞移動自如，其構成是用高位置電動馬達13H將高位置連結部14H繞軸心P旋轉驅動，藉此，使高位置用之載置部11H繞軸心P環繞移動而將容器3在高位置第1搬送部位1H與高位置第2搬送部位2H之間搬送。
如此，低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H 設置成繞同一軸心地環繞移動自如。
低位置電動馬達13L及高位置電動馬達13H是以低位置電動馬達13L比高位置電動馬達13H位於上方之狀態支撐於支撐框12。
低位置電動馬達13L是以輸出軸往上方突出之姿勢設置，低位置連結部14L之從上側連結部分14a朝上方突出之上突出部分14c以一體旋轉之狀態連結於該低位置電動馬達13L之輸出軸。
另外，高位置電動馬達13H是以輸出軸往下方突出之姿勢設置，高位置連結部14H之從下側連結部分14b朝下方突出之下突出部分14d以一體旋轉之狀態連結於該高位置電動馬達13H之輸出軸。
然後，低位置連結部14L之下側連結部分14b是以繞軸心P旋轉自如之狀態連結於高位置連結部14H之下突出部分14d，高位置連結部14H之上側連結部分14a是以繞軸心P旋轉自如之狀態連結於低位置連結部14L之上突出部分14c。
另外，於低位置連結部14L之上側連結部分14a與高位置連結部14H之下側連結部分14b之間具有受支撐框12所支撐之構件15，低位置連結部14L之上側連結部分14a是以繞軸心P旋轉自如之狀態連結於構件15之上端部，高位置連結部14H之下側連結部分14b是以繞軸心P旋轉自如之狀態連結於構件15之下端部。
如此，低位置連結部14L及高位置連結部14H是 以在低位置電動馬達13L與高位置電動馬達13H之間於上下方向被包夾之狀態設置。然後，從上以高位置連結部14H之上側連結部分14a、低位置連結部14L之上側連結部分14a、高位置連結部14H之下側連結部分14b、低位置連結部14L之下側連結部分14b之順序排列，使低位置連結部14L之上側連結部分14a位於高位置連結部14H之上側連結部分14a與下側連結部分14b之間，使高位置連結部14H之下側連結部分14b位於低位置連結部14L之上側連結部分14a與下側連結部分14b之間。藉此，可將低位置連結部14L及高位置連結部14H分別於上下方向以廣間隔連結於支撐框12側，並謀求低位置連結部14L與高位置連結部14H之在上下方向之設置空間之省空間化。
然後，連結至低位置連結部14L之低位置用之載置部11L及連結至高位置連結部14H之高位置用之載置部11H是以高位置用之載置部11H位於比低位置用之載置部11L中之載置容器3之載置面(載置部11H之上表面)的高度更高、且比載置於低位置用之載置部11L之容器3的上端更低之高度的狀態來設置。
接著，針對低位置用之載置部11L及高位置用之載置部11H之環繞移動及在上下方向視點中之位置關係進行說明。附帶一提，將容器搬送領域E1與基板搬送領域E2所排列之方向稱作設備前後方向(於圖2及圖5以箭頭X顯示之方向)，將與設備前後方向正交之方向稱作設備左右方向(於圖2及圖5以箭頭Y顯示之方向)，而進行說明。在本例， 設備前後方向及設備左右方向是分別與水平面平行之方向。
如圖5所示，支撐框12是設置於基板搬送領域E2，軸心P是位於基板搬送領域E2。
低位置用之載置部11L之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中逆時針環繞移動而朝容器搬送領域E1突出移動，藉此朝與低位置第1搬送部位1L對應之位置(於圖5(a)以實線顯示之位置)環繞移動。此時，低位置用之載置部11L是相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側。
另外，低位置用之載置部11L之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中順時針環繞移動而朝基板搬送領域E2退回移動，藉此朝與低位置第2搬送部位2L對應之位置(於圖5(a)以假想線顯示之位置)環繞移動。此時，低位置用之載置部11L是相對於軸心P位於設備左右方向之一側(頂部搬送車6之行進方向上游側)。
然後，高位置用之載置部11H之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中順時針環繞移動而朝容器搬送領域E1突出移動，藉此朝與高位置第1搬送部位1H對應之位置(於圖5(b)以實線顯示之位置)環繞移動。此時，高位置用之載置部11H是相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側。
另外，高位置用之載置部11H之構成是以軸心P為中心在上下方向視點中逆時針環繞移動而朝基板搬送領域E2退 回移動，藉此朝與高位置第2搬送部位2H對應之位置(於圖5(b)以假想線顯示之位置)環繞移動。此時，高位置用之載置部11H是相對於軸心P位於設備左右方向之另一側(頂部搬送車6之行進方向下游側)。
附帶一提，與搬送部位(低位置第1搬送部位1L等)對應之位置是當容器3位於搬送部位時載置著該容器3之載置部11所在之位置。另外，低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H之擺動角度分別設定為90°。
話說，圖3中位於上側之低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之組是圖5(b)所示之位置關係，圖3中位於下側之低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之組是圖5(a)所示之位置關係。
如圖5所示，低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H皆是設定成相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側，低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H設定成在上下方向視點中位於相同位置。然後，環繞移動至與低位置第1搬送部位1L對應之位置的低位置用之載置部11L、環繞移動至與高位置第1搬送部位1H對應之位置的高位置用之載置部11H皆是朝相對於軸心P位於設備前後方向之容器搬送領域E1所位在之側移動，該等低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H在上下方向視點中位於相同位置。
另外，低位置第2搬送部位2L是設定成相對於軸心P位於設備左右方向之一側，高位置第2搬送部位2H是設 定成相對於軸心P位於設備左右方向之另一側，低位置第2搬送部位2L與高位置第2搬送部位2H設定成在上下方向視點中位於不同之位置。然後，環繞移動至與低位置第1搬送部位1L對應之位置的低位置用之載置部11L是朝相對於軸心P位於設備左右方向之一側移動，環繞移動至與高位置第1搬送部位1H對應之位置的高位置用之載置部11H是朝相對於軸心P位於設備左右方向之另一側移動，低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H在上下方向視點中位於不同之位置。
然後，如圖5~圖7所示，低位置用之載置部11L是設置成：在移動至與低位置第1搬送部位1L對應之位置的狀態下，在上下方向視點中與高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡重複；在移動至與低位置第2搬送部位2L對應之位置的狀態下，在上下方向視點中不與高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡重複。
另外，高位置用之載置部11H是設置成：在移動至與高位置第1搬送部位1H對應之位置的狀態下，在上下方向視點中與低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡重複；在移動至與高位置第2搬送部位2H對應之位置的狀態下，在上下方向視點中不與低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡重複。
附帶一提，在圖6中，以鏈線3LT來表示載置於低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡，以鏈線11HT來表示高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡。另外，在圖7中，以鏈線3HT來表示載置於高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡，以鏈線11LT來表示低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡。
如此，低位置用之載置部11L是以如下狀態設置：該低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡具有與高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，該重複部分與該非重複部分是沿著低位置用之載置部11L之移動方向排列。另外，高位置用之載置部11H是以如下狀態設置：該高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡具有與低位置用之載置部11L的移動軌跡及載置於該低位置用之載置部11L之容器3的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，該重複部分與該非重複部分是沿著高位置用之載置部11L之移動方向排列。
然後，高位置用之載置部11H及低位置用之載置部11L分別是在另一載置部11L、11H位於不重複之部位 之狀態下，將容器3在第1搬送部位1與第2搬送部位2之間搬送自如。
亦即，如圖5(a)所示，在高位置用之載置部11H位於與高位置第2搬送部位2H對應之位置的狀態下，可將低位置用之載置部11L朝與低位置第1搬送部位1L對應之位置或與低位置第2搬送部位2L對應之位置移動，而將容器3朝低位置第1搬送部位1L或低位置第2搬送部位2L搬送，且不接觸高位置用之載置部11H與載置於該高位置用之載置部11H之容器3。
另外，如圖5(b)所示，在低位置用之載置部11L位於與低位置第2搬送部位2L對應之位置的狀態下，可將高位置用之載置部11H朝與高位置第1搬送部位1H對應之位置或與高位置第2搬送部位2H對應之位置移動，而將容器3朝高位置第1搬送部位1H或高位置第2搬送部位2H搬送，且不接觸低位置用之載置部11L與載置於該低位置用之載置部11L之容器3。
基板搬送裝置8是具有昇降台17與移動機器人18而構成，昇降台17是在設備前後方向設置於搬送裝置5與基板處理裝置7之間且昇降移動自如，移動機器人18是將該昇降台17上朝設備左右方向移動自如。於移動機器人18具有昇降移動自如、繞鉛直軸心旋轉移動自如、及於水平方向進出移動自如之叉子狀之支撐部18a。
該基板搬送裝置8之構成是藉由昇降台17之昇降移動及移動機器人18之沿著設備左右方向之移動、以及支撐部 18a之昇降、旋轉及進出，而如以下般地作動。亦即，基板搬送裝置8之構成是從以載置於低位置用之載置部11L之狀態位於低位置第2搬送部位2L之容器3取出基板4而將該基板4朝基板處理裝置7搬送，從以載置於高位置用之載置部11H之狀態位於高位置第2搬送部位2H之容器3取出基板4而將該基板4朝基板處理裝置7搬送，而且，將用基板處理裝置7處理結束之基板4朝以載置於高位置用或低位置用之載置部11之狀態位於第2搬送部位2之容器3搬送而將該基板4收納於容器3。
基板搬送裝置8之構成是不論容器3位於四部位之第2搬送部位2(兩部位之低位置第2搬送部位2L及兩部位之高位置第2搬送部位2H)之任一者之狀態皆可從容器3將基板4出入自如。然後，四部位之第2搬送部位2中，除了正在由基板搬送裝置8將基板4出入之容器3所在之第2搬送部位2，其他之第2搬送部位2可以作為將容器3暫時保管之緩衝區來利用。
如圖1~圖3所示，頂部搬送車6之構成是在受配置於頂部之行進軌道20所導引支撐之狀態下沿著行進軌道20行進自如。另外，頂部搬送車6是具有昇降自如且繞沿著上下方向之軸心旋轉自如之用於支撐容器3之支撐體21而構成。話說，頂部搬送車6在搬送裝置5之附近是沿著設備左右方向朝一方向(在圖1中是從左上朝右下)行進。另外，頂部搬送車6相當於具有將物品在第1搬送部位1與自己之間搬送之機構且朝水平方向移動自如之搬送車。附帶 一提，在本例中，支撐體21構成將物品在第1搬送部位1與頂部搬送車6(搬送車)之間搬送之機構。
然後，頂部搬送車6之構成是如圖3所示，在使支撐體21上昇移動至上昇位置之狀態下行進移動自如。另外，頂部搬送車6之構成是以使支撐體21從上昇位置下降移動而將容器3卸下至載置部11上之形態將容器3朝第1搬送部位1搬送，以使支撐體21上昇移動至上昇位置而將容器3從載置部11拉起之形態自第1搬送部位1將容器3搬送。如此，頂部搬送車6進行以第1搬送部位1作為搬送對象部位之容器3之搬送，在第1搬送部位1與自己之間將容器3移載(授受)。
再加以說明，頂部搬送車6之構成是在停止於第1搬送部位1之正上之停止位置之狀態下使支撐著容器3之支撐體21下降移動，將支撐體21對容器3之支撐解除而將容器3卸下至載置部11，令容器3搬送至第1搬送部位1。
另外，頂部搬送車6之構成是在停止於第1搬送部位1之正上之停止位置之狀態下使未支撐容器3之支撐體21下降移動，藉由支撐體21來支撐位於第1搬送部位1之容器3，使支撐著容器3之支撐體21上昇移動，藉此，自第1搬送部位1搬送容器3。
然後，頂部搬送車6之構成是在停止於對低位置第1搬送部位1L及高位置第1搬送部位1H共通設定之停止位置之狀態下，將容器3在低位置第1搬送部位1L或高位置第1搬送部位1H與自己之間搬送自如(移載自如)。
話說，在使頂部搬送車6停止於停止位置之狀態中，當低位置用之載置部11L位於與第1搬送部位1對應之位置時，是在頂部搬送車6與低位置第1搬送部位1L之間搬送容器3，當高位置用之載置部11H位於與第1搬送部位1對應之位置時，是在頂部搬送車6與高位置第1搬送部位1H之間搬送容器3。
第1搬送部位1(低位置第1搬送部位1L及高位置第1搬送部位1H)是設定於如下之部位：以載置於載置部11之狀態位於第1搬送部位1之容器3的上端是比行進用狀態之頂部搬送車6之支撐體21的下端還要位於下方、且比受行進用狀態之頂部搬送車6所支撐之容器3的下端還要位於上方。
因為可將第1搬送部位1設定於接近頂部搬送車6之部位，故可令頂部搬送車6將容器3朝第1搬送部位1搬送時之支撐體21之下降量少，可迅速地將容器3搬送至第1搬送部位1。另外，即便於第1搬送部位1有容器3，亦可使未支撐容器3之行進用狀態之頂部搬送車6自由地行進移動。
如圖9所示，於物品搬送設備設置有控制搬送裝置5、頂部搬送車6、及基板搬送裝置8之作動的搬送控制裝置H。
搬送控制裝置H之構成是控制頂部搬送車6之作動以執行使頂部搬送車6行進移動至位於第1搬送部位1之正上之停止位置的授受前行進處理、使頂部搬送車6從第1搬送部位1之正上之停止位置行進移動的授受後行進處理、由頂 部搬送車6將容器3朝第1搬送部位1搬送的卸下處理、由頂部搬送車6將容器3自第1搬送部位1搬送的舀起處理。
另外，搬送控制裝置H之構成是控制搬送裝置5之作動以執行使載置部11從與第1搬送部位1對應之位置移動至與第2搬送部位2對應之位置的退回處理、使載置部11從與第2搬送部位2對應之位置移動至與第1搬送部位1對應之位置的突出處理。
接著，基於圖10所示之流程圖，舉搬送控制裝置H執行卸下處理而用頂部搬送車6將容器3朝低位置第1搬送部位1L搬送、搬送控制裝置H執行舀起處理而用頂部搬送車6將容器3自高位置第1搬送部位1H搬送的情況為例，說明將容器3在頂部搬送車6與搬送裝置5之間搬送之搬送控制。附帶一提，載置部11平常是移動到與第2搬送部位2對應之位置。
搬送控制裝置H是於將容器3朝低位置第2搬送部位2L搬送之搬入指令下達後，首先，執行授受前行進處理與突出處理。在授受前行進處理及突出處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使支撐著搬入對象之容器3的頂部搬送車6行進至第1搬送部位1之正上之停止位置且使低位置用之載置部11L突出移動至與低位置第1搬送部位1L對應之位置。之後，搬送控制裝置H是在執行卸下處理後，執行退回處理。在卸下處理是控制頂部搬送車6之作動，以將容器3朝低位置用之載置部11L上卸下而使容器3搬送至低位置第1搬送部位1L。另外，在退回處理是控制 搬送裝置5之作動，以使低位置用之載置部11L移動至與低位置第2搬送部位2L對應之位置而將容器3朝低位置第2搬送部位2L搬送。
話說，關於授受前行進處理與突出處理，通常是授受前行進處理需要較長之時間，在頂部搬送車6移動至第1搬送部位1之正上之停止位置前，載置部11已完成往與第1搬送部位1對應之位置之移動。因此，在使頂部搬送車6行進至第1搬送部位1之正上後，不需要使卸下處理之開始待機來等待載置部11突出移動至第1搬送部位1，可迅速地將容器3搬送至第1搬送部位1。
如上述，執行退回處理而將容器3搬送至低位置第2搬送部位2L後，若無搬出指令下達，則搬送控制裝置H是執行授受後行進處理，控制頂部搬送車6之作動，以使未支撐容器3之頂部搬送車6自第1搬送部位1之正上之停止位置行進。
另外，若有搬出指令，則搬送控制裝置H是執行突出處理。在突出處理是控制搬送裝置5之作動，以使高位置用之載置部11H突出移動至與高位置第1搬送部位1H對應之位置。之後，搬送控制裝置H是在執行舀起處理後，執行授受後行進處理與退回處理。在舀起處理是控制頂部搬送車6之作動，以用頂部搬送車6支撐搬出對象之容器3。另外，在授受後行進處理及退回處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使支撐著搬出對象之容器3之頂部搬送車6自第1搬送部位1之正上之停止位置行進且使高位 置用之載置部11H退回移動至與高位置第2搬送部位2H對應之位置。
然後，在未下達搬入指令而只有下達搬出指令的情況下，搬送控制裝置H首先是執行授受前行進處理與突出處理。在授受前行進處理及突出處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使未支撐容器3之頂部搬送車6行進至第1搬送部位1之正上之停止位置且使高位置用之載置部11朝與高位置第1搬送部位1H對應之位置突出移動。之後，搬送控制裝置H是在執行舀起處理後，執行授受後行進處理與退回處理。在舀起處理是控制頂部搬送車6之作動，以用頂部搬送車6支撐搬出對象之容器3。另外，在授受後行進處理及退回處理是控制頂部搬送車6及搬送裝置5之作動，以使支撐著搬出對象之容器3之頂部搬送車6自第1搬送部位1之正上之停止位置行進且使高位置用之載置部11H退回移動至與高位置第2搬送部位2H對應之位置。
如此，因為低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H設定成在上下方向視點中為相同位置，故在頂部搬送車6將容器3傳遞至低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H之其中一方之第1搬送部位1後，該頂部搬送車6可在沒有行進移動的情況下就從另一方之第1搬送部位1接收容器3。
另外，因為高位置用之載置部11H是設置於比低位置用之載置部11L中之用於載置容器3之載置面的高度更高且 比載置於低位置用之載置部11L之容器3的上端更低的高度，故可謀求低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之在上下方向之設置空間之省空間化。另外，可藉由使低位置用之載置部11L的移動軌跡與高位置用之載置部11H的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部11H之容器3的移動軌跡在上下方向視點中一部分重複，而謀求低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之在水平方向之設置空間之省空間化。
再者，在高位置用之載置部11H位於與高位置第2搬送部位2H對應之位置的狀態下，即便使低位置用之載置部11L移動，受低位置用之載置部11L所支撐之容器3亦不會與高位置用之載置部11H或受該高位置用之載置部11H所支撐之容器3干涉，可將容器3在低位置第1搬送部位1L與低位置第2搬送部位2L之間搬送。
另外，在低位置用之載置部11L位於與低位置第2搬送部位2L對應之位置的狀態下，即便使高位置用之載置部11H移動，高位置用之載置部11H或受該高位置用之載置部11H所支撐之容器3亦不會與受低位置用之載置部11L所支撐之容器3干涉，可將容器3在高位置第1搬送部位1H與高位置第2搬送部位2H之間搬送。
因此，可謀求低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H之在水平方向及上下方向之設置空間之省空間化，並可用低位置搬送裝置5L將容器3在低位置第1搬送部位1L與低位置第2搬送部位2L之間搬送，另外，可用高位置搬送裝置 5H將容器3在高位置第1搬送部位1H與高位置第2搬送部位2H之間搬送。
[別實施形態]
(1)上述實施形態雖然是將低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H設置成繞同一軸心環繞移動自如，但亦可設置成低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H互相繞不同之軸心環繞移動自如。
另外，其構成雖然是藉由使低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H分別繞沿著鉛直方向之軸心環繞移動而使其移動至與第1搬送部位1對應之位置、與第2搬送部位2對應之位置，但亦可是藉由使低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H分別沿著水平方向直線移動而使其移動至與第1搬送部位1對應之位置、與第2搬送部位2對應之位置。
(2)上述實施形態之構成雖然是頂部搬送車6將物品在第1搬送部位1與自己之間搬送，但亦可是例如具備有昇降自如之載置部11且在地面上行進移動自如之移動台車等別的形態的裝置將物品在第1搬送部位1與自己之間搬送。
另外，上述實施形態之構成雖然是用基板搬送裝置8對位於第2搬送部位2之容器3進行基板4之出入，但亦可是設置物品搬送裝置且物品搬送裝置將容器3(物品)在第2搬送部位2與自己之間搬送。
(3)上述實施形態雖然是將低位置第2搬送部位 2L與高位置第2搬送部位2H設定成在上下方向視點是不同位置，但亦可將低位置第2搬送部位2L與高位置第2搬送部位2H設定成在上下方向視點中是相同位置。
話說，將低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H設定成在上下方向視點是相同位置、將低位置第2搬送部位2L與高位置第2搬送部位2H設定成在上下方向視點中是相同位置的情況下，可以想到的是將低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H設置成由該等載置部11在上下方向視點中形成圓形狀的移動軌跡。
(4)上述實施形態雖然是將低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H設定成在上下方向視點中是相同位置，但亦可將低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H設定成在上下方向視點中是不同位置。
話說，將低位置第1搬送部位1L與高位置第1搬送部位1H設定成在上下方向視點是不同位置、將低位置第2搬送部位2L與高位置第2搬送部位2H設定成在上下方向視點是不同位置的情況下，可以想到的是將低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H設置成由該等載置部11在上下方向視點中形成X狀的移動軌跡。
(5)上述實施形態雖然是將收納有複數枚基板4之容器3作為物品來搬送，但亦可是將托板及載置於其之貨物作為物品來搬送、或是將紙箱(carton case)作為物品來搬送等適當地變更物品的形態。
另外，亦可用搬送裝置5搬送高度不同之複數種類的 物品，此情況下，將高位置用之載置部11H設置在當最高之種類的物品載置於低位置用之載置部11L的情況下比該物品的上端更低的高度即可。
(6)上述實施形態雖然是將低位置用之載置部11L以該低位置用之載置部11L的移動軌跡具有與高位置用之載置部11H的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分的狀態來設置，將高位置用之載置部11H以該高位置用之載置部11H的移動軌跡具有與低位置用之載置部11H的移動軌跡在上下方向視點中重複之部分、不重複之部分的狀態來設置，但亦可將該等低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H以各自之移動軌跡在上下方向視點中不重複之狀態來設置。
具體而言，例如，亦可在上述實施形態中，藉由將載置部11之俯視形狀形成為梳齒狀等方法，而以與低位置第1搬送部位1L對應之位置之低位置用之載置部11L、與高位置第1搬送部位1H對應之位置之高位置用之載置部11H在上下方向視點中不重疊的方式構成，將低位置用之載置部11L與高位置用之載置部11H以各自之移動軌跡在上下方向視點中不重複之狀態來設置。
(7)上述實施形態之構成雖然是用頂部搬送車6來構成搬送車，藉由在使頂部搬送車6停止於第1搬送部位1之正上的狀態下使支撐體21昇降移動，而將物品在頂部搬送車6與第1搬送部位1之間搬送，但亦可是藉由在使頂部搬送車停止於第1搬送部位1之橫側方的狀態下使支撐體水平 移動及昇降移動，而將物品在頂部搬送車與第1搬送部位之間搬送。
1‧‧‧第1搬送部位
1L‧‧‧低位置第1搬送部位
1H‧‧‧高位置第1搬送部位
2‧‧‧第2搬送部位
2L‧‧‧低位置第2搬送部位
2H‧‧‧高位置第2搬送部位
3‧‧‧容器
5‧‧‧搬送裝置
5L‧‧‧低位置搬送裝置
5H‧‧‧高位置搬送裝置
9‧‧‧區隔壁
11‧‧‧載置部
11L‧‧‧低位置用之載置部
11H‧‧‧高位置用之載置部
12‧‧‧支撐框
14L‧‧‧低位置連結部
14H‧‧‧高位置連結部
E1‧‧‧容器搬送領域
E2‧‧‧基板搬送領域
P‧‧‧軸心

Claims (7)

  1. 一種物品搬送設備，是具有以下：搬送裝置，將物品在第1搬送部位與第2搬送部位之間搬送；在此，設定有低位置第1搬送部位、及設定在比該低位置第1搬送部位更高之位置的高位置第1搬送部位，來作為前述第1搬送部位；設定有低位置第2搬送部位、及設定在比該低位置第2搬送部位更高之位置的高位置第2搬送部位，來作為前述第2搬送部位；設置有令用於載置物品之低位置用之載置部沿著水平方向移動而將物品在前述低位置第1搬送部位與前述低位置第2搬送部位之間搬送之低位置搬送裝置、令用於載置物品之高位置用之載置部沿著水平方向移動而將物品在前述高位置第1搬送部位與前述高位置第2搬送部位之間搬送之高位置搬送裝置，來作為前述搬送裝置；其特徵在於：前述高位置用之載置部是設置在比前述低位置用之載置部中之用於載置物品之載置面的高度更高、且比載置於前述低位置用之載置部之物品的上端更低的高度；前述低位置用之載置部是以如下狀態來設置：載置於該低位置用之載置部之物品的移動軌跡具有與前述 高位置用之載置部的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，且該重複部分與該非重複部分沿著前述低位置用之載置部之移動方向排列；前述高位置用之載置部是以如下狀態來設置：該高位置用之載置部的移動軌跡及載置於該高位置用之載置部之物品的移動軌跡具有與載置於前述低位置用之載置部之物品的移動軌跡在上下方向視點中重複之重複部分、不重複之非重複部分，且該重複部分與該非重複部分沿著前述高位置用之載置部之移動方向排列。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中前述低位置搬送裝置設置成將前述低位置用之載置部繞沿著鉛直方向之軸心環繞移動自如，前述高位置搬送裝置設置成將前述高位置用之載置部繞沿著鉛直方向之軸心環繞移動自如。
  3. 如請求項2之物品搬送設備，是設置成前述低位置用之載置部與前述高位置用之載置部繞同一軸心環繞移動自如。
  4. 如請求項1~3之任一項之物品搬送設備，其中前述搬送裝置之構成是將對複數枚基板收納自如之容器作為物品來搬送；設置有對前述基板進行處理之基板處理裝置；設置有從以載置於前述載置部之狀態位於前述第2搬送部位之前述容器取出前述基板而將該基板朝前述基板處理裝置搬送之基板搬送裝置。
  5. 如請求項1~3之任一項之物品搬送設備，其中前述低位 置第1搬送部位與前述高位置第1搬送部位設定成在上下方向視點中為相同位置。
  6. 如請求項5之物品搬送設備，其中設置有具有將物品在前述第1搬送部位與自己之間搬送之機構且朝水平方向移動自如之搬送車；前述搬送車之構成是：以停止於對前述低位置第1搬送部位及前述高位置第1搬送部位共通設定之停止位置之狀態，在前述低位置第1搬送部位或前述高位置第1搬送部位與自己之間將物品搬送自如。
  7. 如請求項1~3之任一項之物品搬送設備，其中設置有在受配置於頂部之行進軌道所導引支撐之狀態下沿著前述行進軌道行進自如、且具有將物品支撐之昇降自如之支撐體的頂部搬送車；前述頂部搬送車之構成是：為了將物品卸下至前述載置部而使前述支撐體下降移動、將物品朝前述第1搬送部位搬送，且為了將物品自前述載置部提起而使前述支撐體上昇移動、將物品自前述第1搬送部位搬送。
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