JP2007197164A - 垂直搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クリーンルームスペースの有効活用を図るとともに被搬送物の搬送を円滑且つ安全に行う。
【解決手段】カルーセル型リフタ５は、同一構成の２つのチェーンユニット４ａ、４ｂと搬送台１７とで構成されるチェーン手段２、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６に備えられＦＯＵＰ１０を搬送台１７に搬入出する移載アーム１０７、リフタカバー１０８で構成される。チェーンユニット４ａ、４ｂは同一構成で平行にずらして配置される１組のチェーンモジュール６ａ及び６ｂ、６ｃ及び６ｄで構成され、搬送台１７はスプロケットに懸架されるチェーン２１ａ及び２１ｂ、２２ａ及び２２ｂに備えられる前方リンク、後方リンクに回動自在に支持される前方連結部材、後方連結部材に両端を回動自在に支持される。
【選択図】図１

Description

本発明は、複数階層において被搬送物を垂直方向に連続搬送する垂直連続搬送装置に関するものである。

半導体製造工場、液晶表示パネル製造工場等の製造工場では、製造過程の品物（例えば、半導体製造工場の場合、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物）を収納したキャリア（被搬送物）を、搬送コンベア等を用いた搬送システムにより、プロセスに従って搬送する。搬送システムを用いた製造工場では、生産規模の拡大、製造工場の大規模化が図られ、これに伴い、製造装置台数の増加、搬送システムの規模拡大がなされ、製造工程が複数の階層にまたがって構成されている場合がある。

そして、階層間を貫通して異層階間に配置された製造ラインを繋いで、被搬送物を垂直方向に連続搬送する垂直連続搬送装置には、例えば、図１３に示すＡ）エレベータ方式のリフタ搬送装置や、Ｂ）カルーセル方式のリフタ搬送装置がある。図１３中のＡ）のエレベータ型リフタ１１０は、エレベータ昇降スペース１１２内をワイヤ巻取り装置１１４に牽引されて被積載物が搭載されたボックス１１１が昇降する。ボックスは通常１つで、１ボックスに搭載可能なキャリア１０９は１〜２個であるため、搬送能力は低く、多量搬送には対応できない。ただし、エレベータの昇降速度は高いため、搬送時間は短い。一方、図１３中のＢ）のカルーセル型リフタ１００は、スプロケット１０２に勘合駆動され垂直方向に循環するチェーン１０１に複数の搬送台１０３が吊されて循環する方式で、キャリア１０９は搬送台１０３に載置されて異層階に搬送される。この方式は搬送台１０３が複数設置され、搬送台１０３が次々に巡ってくるので搬送台１０３の待ちが短く、搬送能力が究めて高い。ただし、通常、循環速度はエレベータ並の高速化は難しく、目的地に着くまでの時間は長い。これら、Ａ）エレベータ方式のリフタ搬送装置と、Ｂ）カルーセル方式のリフタ搬送装置の関係は、ビルの昇降設備であるエレベータとエスカレータに例えることができる。一気に最上階まで行きたい人はエレベータに乗るが、エレベータは待たなければならない。エスカレータは待たずに乗れ、同時に多数の人を乗せ輸送できるが、目的階に着くまでに時間がかかる。そして、最近、製造工場の効率化のために垂直連続搬送装置の搬送能力の向上が要求されており、需要が高まりつつあるのは、搬送能力が高いカルーセル方式のリフタ搬送装置である。

カルーセル方式のリフタ搬送装置（以下、「カルーセル型リフタ」と称する）として、例えば、図１４に示すような従来技術が開示されている（特許文献１参照）。図１４に示すように、カルーセル型リフタ１００は垂直方向上下端に配置されたスプロケット１０２に繋合して垂直方向に循環する左右両側に配置されたチェーン１０１、チェーン１０１に支持ピン１２２（後述する図１５参照）により回転自在に支持されて循環動作中常に重力方向に姿勢が維持される搬送台１０３、左右２つのスプロケット１０２を連結する上下に配置された２つの回転軸１１５、ＦＯＵＰ（被搬送物）１０９を搬送台１０３に搬入出する移載アーム１０７、リフタカバー１０８等で構成される。

この図１４に示す従来技術に於けるＦＯＵＰ１０の搬送台１０３への移載アーム１０７による搬入、搬出動作について図１４及び図１５を用い説明する。
搬入の場合：カルーセル型リフタ１００へのＦＯＵＰ１０９の搬入は、搬送台１０３が上昇する側の入庫ポート１０５の開口部で実行される。例えば、移載アーム１０７が２段目アーム１２１に設けられた３つのキネマティックピン１２６をＦＯＵＰ１０９の底面に設けられた内周側の３つの窪みに勘合させ、移載アーム１０７上に載置させた状態で、２つの回転軸１２３、１２５を回転させ、２段目アーム１２１を搬送台１０３のハンド侵入スペース１１９内に侵入させる。この時、２段目アーム１２１は搬送台１０３に設けられたキネマティックピン１２０がＦＯＵＰ１０９の底面に設けられた外周側窪みに勘合する位置に位置合わせされる。カルーセル型リフタ１００は停止すること無く常時一定方向に循環しているので、位置合わせ後、間もなく搬送台１０３は上昇し、搬送台１０３のＦＯＵＰ載置面がＦＯＵＰ１０９の底面に当接し、キネマティックピン１２０をＦＯＵＰ１０の底面に勘合させてＦＯＵＰ１０を移載アーム１０７からすくい取る。ＦＯＵＰ１０９がすくい取られた直後、瞬時のうちに移載アーム１０７はリフタ領域に侵入しているアームを退避させ、搬送台１０３との干渉を避ける。
搬出の場合：カルーセル型リフタ１００からのＦＯＵＰ１０９の搬出は、搬送台１０３が下降する側の出庫ポート１０６の開口部で実施される。搬出動作は搬入動作と逆動作である。移載アーム１０７は搬出すべきＦＯＵＰ１０９の載置された搬送台１０３が降下するタイミングを合わせ、リフタ領域にアームを侵入させる。移載アーム１０７は２段目アーム１２１のキネマティックピン１２０がＦＯＵＰ１０９の底面に設けられた内周側の３つの窪みに勘合できる位置に待機させられる。アーム侵入後間もなく、搬送台１０３は下降しＦＯＵＰ載置面が２段目アーム１２１のキネマティックピンに位置合わされて当接し、ＦＯＵＰ１０９はアーム１２１にすくい取られる。すくい取り完了後、移載アーム１０７はリフタ領域に侵入しているアームをリフタ領域外に退避させ、搬出を完了させる。

なお、搬送台１０３のチェーン１０１への取付構造の従来技術には、特許文献２の図２に開示される方法もある。特許文献２の図２に示すように、リフタの左右両側に配置される無端チェーンはそれぞれ２本のチェーン、即ち合計４本で構成され、棚は左右両側に配置された無端チェーンの中間に位置するよう回動自在なピンで前記４本の無端チェーンに取り付けられる。４本のチェーンを使用する効果として、棚は無端チェーンの循環動作に影響されず一定姿勢が保持される。

実公昭４０−２９５４８号公報 特開２００４−５９２２３号公報

以上で説明したカルーセル型リフタの従来技術において、ＦＯＵＰ搬入出用ポートを含めた全体領域の装置レイアウトは、図１６のようになる。図１６において、カルーセル型リフタ１００のチェーン１０１に設置された搬送台１０３の循環面方向の寸法を装置長さＬと定義し、これに直交する方向（回転軸１１５の軸方向）の寸法長さを装置幅Ｗと定義している。即ち、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６のそれぞれに設けられた開口部１０５ａ及び開口部１０６ａからＦＯＵＰ１０９を搬入出する移載アーム１０７は、リフタ本体１００の長さ方向に配置され、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６はリフタ本体１００の幅方向に配置される。ここで、リフタ設置場所間口をＭとし、Ｍを図１６に示す寸法として定義すると、従来技術に係るカルーセル型リフタではリフタ本体１００と２つの移載アーム１０７が直列に並ぶため寸法Ｍは小さく出来ないのが実状であった。しかしながら、リフタ設置場所間口Ｍは、クリーンルームスペースの有効活用を図る上で重要なパラメータであるが、従来技術に係るカルーセル型リフタは需要者の納得できるものではなく、Ｍ寸法を小さくできるカルーセル型リフタの技術が切望されている。即ち、図１６に示す従来技術に係るカルーセル型リフタと比較して、図１７に示すように、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６のそれぞれに設けられた開口部１０５ａ及び開口部１０６ａからＦＯＵＰ１０９を搬入出する移載アーム１０７が、リフタ本体１００の幅方向（即ち、カルーセル型リフタ１００のチェーン１０１に設置された搬送台１０３の循環面方向に直交する方向（回転軸１１５の軸方向））に配置され、リフタ設置間口Ｍの大幅な縮小化を図ることができるカルーセル型リフタが求められているが、図１５で説明した従来技術に係るカルーセル型リフタ１００では前面側に配置されるチェーンがＦＯＵＰ搬入出の障害となり、図１７に示す装置レイアウトでは、搬入、搬出作業を実質的に不可能としている。

また、図１４で説明したカルーセル型リフタの従来技術において、スプロケット１０２に勘合駆動され垂直方向に循環するチェーン１０１に支持ピン１２２を介して回転自在に支持される複数の搬送台１０３が重力方向に常に姿勢が維持されるように吊されて循環する方式であり、移載アーム１０７により搬送台１０３に対してＦＯＵＰ１０９を搬入及び搬出する際に、搬送台１０３に伴ってチェーン１０１が揺動して、ＦＯＵＰ１０９の搬送が円滑且つ安全に行えないという課題がある。

そこで、本発明は、複数階層において被搬送物を垂直方向に連続搬送する垂直連続搬送装置であって、クリーンルームスペースの有効活用を図るとともに、被搬送物の搬送を円滑且つ安全に行うことができる垂直連続搬送装置を提供するものである。

課題を解決するための手段及び効果

本発明に係る垂直連続搬送装置は、複数階層において被搬送物を垂直方向に連続搬送する垂直連続搬送装置であって、前記被搬送物を搬入及び搬出する搬入ポート及び搬出ポートにおいて、前記被搬送物の搬入方向と搬出方向が平行となるように隣接設置され、前記被搬送物を搬入及び搬出する際に前記搬送台に前記被搬送物を移載する一組の移載手段と、垂直方向上下に配置された一対の懸架軸と前記懸架軸に懸架されて前記懸架軸を駆動させる駆動手段の駆動に伴い垂直方向に循環するチェーンとからなる１つまたは複数のチェーンモジュールと、前記チェーンの外周面に所定間隔毎に固定設置されたリンク部材を介して前記チェーンの外周面に回動自在に支持されて前記チェーンに連動して前記チェーンの外周に沿って垂直方向に循環し、被搬送物を載置する複数の搬送台と、により構成されるチェーン手段と、を備え、前記懸架軸の軸方向に対して前記被搬送物の搬入方向及び搬出方向が平行となり、且つ、循環する前記搬送台に対して前記被搬送物を移載できるように前記移載手段が設置されることを特徴とする。

これにより、チェーン手段のチェーンの外周に設置された搬送台の循環面方向と直交する懸架軸の軸方向と被搬送物の搬入出方向とが平行となり、搬送台に対して被搬送物が移載できるように、被搬送物を搬送台に対して搬入出する一組の移載手段が隣接設置されている。従って、垂直連続搬送装置の幅方向の間口（図１６及び図１７に基づいて上述したリフタ設置場所間口Ｍ）が縮小され、クリーンルームスペースの有効活用を図ることができる。また、被搬送物を載置する搬送台を、リンク部材を介してチェーンモジュールのチェーンの外周面に回動自在に支持することから、チェーンの揺動を抑えて、被搬送物の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。更に、チェーンモジュールを複数設置することにより、複数のチェーンで強固に搬送台を支持するとともにチェーンの揺動を抑えることができ、被搬送物の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。

ここで、本発明に係る垂直連続搬送装置は、軸方向及び垂直方向に所定寸法の段違いで設置された略同一寸法の２つの前記チェーンモジュールの２つの前記リンク部材が連結部材を介して回動自在に連結されて構成されたチェーンユニットが、前記懸架軸の軸方向に所定間隔隔てて２つ平行設置されるとともに、２つの前記チェーンユニットのそれぞれの前記連結部材が垂直方向に同一高さになるように設置されて、前記搬送台が２つの前記チェーンユニットのそれぞれの前記連結部材にその両端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されて良い。

これにより、搬送台の両端が、それぞれ一対のチェーンモジュールから構成されるチェーンユニットで回動自在に支持されることから、垂直連続搬送装置の設置可能高さが高い場合、搬送台の設置個数が多い場合、被搬送物の重量が大きい場合における搬送物の垂直連続搬送に適する構成である。

また、本発明に係る垂直連続搬送装置は、軸方向及び垂直方向に所定寸法の段違いで設置された略同一寸法の２つの前記チェーンモジュールの２つの前記リンク部材が連結部材を介して回動自在に連結されて構成された１つのチェーンユニットと、１つの前記チェーンモジュールが、前記懸架軸の軸方向に所定間隔隔てて平行設置されるとともに、１つの前記チェーンユニットの前記連結部材と１つの前記チェーンモジュールの前記リンク部材が垂直方向に同一高さになるように設置されて、前記搬送台が１つの前記チェーンユニットの前記連結部材と１つの前記チェーンモジュールの前記リンク部材にその両端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されて良い。

これにより、垂直連続搬送装置の構成が簡略化されて、搬送台の一端が一対のチェーンモジュールから構成されるチェーンユニットで回動自在に支持され、搬送台の他端がチェーンモジュールで支持されることから、垂直連続搬送装置の設置可能高さが低い場合、搬送台の設置個数が少ない場合、被搬送物の重量が小さい場合における被搬送物の垂直連続搬送に適する構成であるとともに、垂直連続搬送装置の奥行きを狭めて設置面積を縮小することができる。

また、本発明に係る垂直連続搬送装置は、２つの前記チェーンモジュールが前記懸架軸の軸方向に所定間隔隔てて平行設置されるとともに、２つの前記チェーンモジュールのそれぞれの前記リンク部材が垂直方向に同一高さになるように設置されて、前記搬送台が２つの前記チェーンモジュールのそれぞれの前記リンク部材にその両端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されて良い。

これにより、垂直連続搬送装置の構成がより簡略化されて、搬送台の両端がチェーンモジュールで回動自在に支持されることから、垂直連続搬送装置の設置可能高さがより低い場合、搬送台の設置個数がより少ない場合、被搬送物の重量がより小さい場合における被搬送物の垂直連続搬送に適する構成であるとともに、垂直連続搬送装置の奥行きを狭めて設置面積をより縮小することができる。

また、本発明に係る垂直連続搬送装置は、軸方向及び垂直方向に所定寸法の段違いで設置された略同一寸法の２つの前記チェーンモジュールの２つの前記リンク部材が連結部材を介して回動自在に連結されて構成された１つのチェーンユニットが設置されて、前記搬送台が１つの前記チェーンユニットの前記連結部材にその一端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されて良い。

これにより、垂直連続搬送装置の構成が更に簡略化されて、搬送台の一端が一対のチェーンモジュールから構成されるチェーンユニットで回動自在に支持されることから、垂直連続搬送装置の設置可能高さが更に低い場合、搬送台の設置個数が更に少ない場合、被搬送物の重量が更に小さい場合における被搬送物の垂直連続搬送に適する構成であるとともに、垂直連続搬送装置の奥行きを更に狭めて設置面積を大幅に縮小することができる。

尚、２つの前記チェーンモジュールのそれぞれの前記チェーンの側面に対向して前記チェーンと同一軌道で形成される２つの軌道平板が前記チェーンユニットの両側に設置され、２つの前記リンク部材のそれぞれに支持されるとともに、それぞれ２つの前記軌道平板の対向する面に回転自在に当接する従動輪が備えられることが好ましい。

これにより、搬送台の一端が連結されて支持されるチェーンユニットの２つのリンク部材が、従動輪を介して軌道平板に当接して循環することから、チェーンユニットのチェーンの揺動は最小限に抑えられて、被搬送物の搬送を円滑に行うことができる。

ここで、本発明に係る垂直連続搬送装置は、前記搬送台が、下方に凸のコの字形状に形成されても良い。

これにより、搬送台が吊下げ方の構造になるため、搬送台に載置する被搬送物を保護して、被搬送物の搬送を安全に行うことができる。

また、前記チェーンモジュールが、前記搬送台及び前記搬送台を支持する前記リンク部材の循環軌道を除いてカバーで覆われても良い。

これにより、本発明に係る垂直連続搬送装置において発塵源となる可能性が高いチェーンモジュールの発塵箇所（特に、チェーン及び駆動手段）を可能な限りカバーで覆い、塵埃が外部に漏洩しない構造とすることにより、被搬送物への汚染を遮断して、防塵対策を施すことができる。

また、前記チェーンモジュールが、回転自在な複数の当接輪と前記当接輪を支持するフレームとで構成され、前記移載手段に対向して前記チェーンの内周面に設置されて、前記チェーンが前記当接輪に当接した状態で回転する矯正部材を更に備えても良い。

これにより、移載手段による搬送台に対する被搬送物の搬入出時において、チェーンモジュールにおけるチェーンの搬送台支持点（即ち、チェーンにおいて、リンク部材を介して搬送台が支持される点）が支える被搬送物等の重量に起因するモーメントにより、チェーンが変位するのを矯正部材が矯正し、搬送台を水平に維持して、被搬送物の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。尚、チェーンとの当接で回転する矯正部材の当接輪は、駆動源を設けずにチェーンとの当接により従動するように構成して良いし、矯正部材への負荷が大きくチェーンとの当接により回転が困難な場合は、駆動源を設けてチェーンの循環速度に同期する速度で駆動させるように構成しても良い。

また、前記チェーンモジュールが、前記チェーンの側面に設けられて前記チェーンを検知し、前記チェーンを検知しない場合に前記チェーンの切断を判断するチェーン切断検知センサを更に備えても良い。

これにより、チェーンモジュールにおけるチェーンの切断を判断して、垂直連続搬送装置の駆動を停止することにより、被搬送物の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。

以下、図面を参照しつつ、本発明に係る垂直連続搬送装置を実施するための最良の形態について具体的な一例に即して説明する。

［第一の実施形態］
第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ（垂直連続搬送装置）について、図１〜図３に基づいて以下に説明する。図１は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタを示す斜視図である。図２は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーンユニット及び搬送台の構造を示す正面図である。図３は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタの連結部材及び搬送台の構造を示す斜視図である。

図１に示すように、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５は、開口部（入庫ポート（搬入ポート）１０５及び出庫ポート（搬出ポート）１０６のそれぞれの開口部）に対して前方及び後方に存在する２つのチェーンユニット４ａ、４ｂと当該２つのチェーンユニット４ａ、４ｂのそれぞれに備えられる前方連結部材１４及び後方連結部材１５（図３参照）に両端を回動自在に支持される搬送台１７とで構成されるチェーン手段２、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６のそれぞれの開口部に隣接設置されてＦＯＵＰ（被搬送物）１０を搬送台１７に搬入出する移載アーム１０７、リフタカバー１０８等で構成される。

２つのチェーンユニット４ａ、４ｂは同一構成をなし、図２は、図１に示す開口部に対して前方に存在する１つのチェーンユニット４ａを示す。図２に示すように、チェーンユニット４ａは同一構成の１組（２つ）のチェーンモジュール６ａ、６ｂから構成される。
チェーンモジュール６ａは、チェーン２１ａを懸架させて上下に配置された２つのスプロケット（懸架軸）１９ａと、チェーン支持点１１ａ及びチェーン支持点１２ａにおいてチェーン２１ａに回動自在に支持される一対の前方リンク（リンク部材）７ａ、７ｂで構成され、前方リンク７ａ、７ｂの端部は搬送台支持点１３ａで前方連結部材１４に回動自在に支持される。
また、チェーンモジュール６ｂは、チェーンモジュール６ａと平行で垂直方向に寸法ｂ、水平方向に寸法ａずらした位置に配置され、チェーン２１ｂを懸架させて上下に配置された２つのスプロケット（懸架軸）１９ｂと、チェーン支持点１１ｂ及びチェーン支持点１２ｂにおいてチェーン２１ｂに回動自在に支持される一対の前方リンク（リンク部材）７ｃ、７ｄで構成され、前方リンク７ｃ、７ｄの端部は搬送台支持点１３ｂで前方連結部材１４に回動自在に支持される。

一方、図１に示す開口部に対して後方に存在する他のチェーンユニット４ｂも、チェーンユニット４ａと同一構成をなし、同一構成の１組（２つ）チェーンモジュール６ｃ、６ｄからなる（図３参照）。
チェーンモジュール６ｃ及び６ｄは、図２に示すチェーンモジュール６ａ及び６ｂと同様に、チェーン２２ａ及び２２ｂのそれぞれを懸架させて上下に配置された２つのスプロケット（懸架軸）１９ｃ及び１９ｄ（図２に示すスプロケット１９ａ及び１９ｂと置き換えて考えてよく、図示を省略する。）と、チェーン支持点１１ｃ、１２ｃ及びチェーン支持点１１ｄ、１２ｄ（図２に示すチェーン支持点１１ａ、１２ａ及びチェーン支持点１１ｂ、１２ｂと置き換えて考えてよく、図示を省略する。）においてそれぞれチェーン２２ａ及び２２ｂにそれぞれ回動自在に支持される一対の後方リンク（リンク部材）８ａ、８ｂ及び後方リンク（リンク部材）８ｃ、８ｄで構成され、後方リンク８ａ、８ｂ及び後方リンク８ｃ、８ｄの端部は、搬送台支持点１３ｃ及び搬送台支持点１３ｄで、後方連結部材１５に回動自在に支持される（図３参照）。尚、図２に示すチェーンモジュール６ａ及び６ｂと同様に、チェーンモジュール６ｄは、チェーンモジュール６ｃと平行で垂直方向に寸法ｂ、水平方向に寸法ａずらした位置に配置される。また、チェーンユニット４ａ及びチェーンユニット４ｂの前方連結部材１４及び後方連結部材１５が同じ高さになるように、後方リンク８ａ〜８ｄが設置される。

また、図２に示すように、チェーンユニット４ａでは、チェーンモジュール６ａを構成するスプロケット１９ａの回転軸１６ａは、駆動モータ（駆動手段）１８の回転軸に結合し、駆動モータ１８の回転によりチェーン２１ａが上下に配置されたスプロケット１９ａの周囲を循環する。また、チェーンモジュール６ｂのスプロケット１９ｂの回転軸１６ｂも回転軸１６ａに連動して同期回転する。従って、結果的にチェーンモジュール６ａ及び６ｂの前方リンク７（７ａ〜７ｄ）に支持される前方連結部材１４は、駆動モータ１８の回転軸の回転に伴い（図２中の矢印の向き）、搬送台支持点１３ａ及び１３ｂがそれぞれ軌跡２０ａ及び２０ｂを描くようにして（図２中の矢印の向き）、チェーンモジュール６ａ及び６ｂと一体に循環する。

尚、チェーンユニット４ｂも、チェーンユニット４ａと同様にして、駆動モータ１８に結合され、駆動モータ１８の回転によりチェーンモジュール６ｃ及び６ｄのスプロケット１９ｃ及び１９ｄの回転軸１６ｃ及び１６ｄ（図２に示すスプロケット１９ａ及び１９ｂの回転軸１６ａ及び１６ｂと置き換えて考えてよく、図示を省略する。）も同期回転する。そして、チェーンモジュール６ｃ及び６ｄの後方リンク８（８ａ〜８ｄ）に支持される後方連結部材１５は、前方連結部材１４に同期した循環速度で、前方連結部材１４と同様に、搬送台支持点１３ｃ及び１３ｄがそれぞれ軌跡２０ｃ及び２０ｄ（図２に示す搬送台支持点１３ａ及び１３ｂと、軌跡２０ａ及び２０ｂと置き換えて考えてよく、図示を省略する。）を描くようにして、チェーンモジュール６ｃ及び６ｄと一体に循環する。

搬送台１７は、図３に示すように、その両端部側面を前方連結部材１４と後方連結部材１５に回動自在に支持され、循環位置に関係なく常に水平が維持される。従って、搬送台１７の上面に載置されるＦＯＵＰ１０も、循環中、常に水平が維持され、搬送台１７から滑り落ちる懸念は無い。
尚、搬送台１７は、図３に示す形状に限定されるものではない。例えば、図９に示すような吊下げ型の形状であってもよい。図９は、吊下げ型の搬送台を備える第一の実施形態に係るカルーセル型リフタの局部拡大斜視図である。図３では上方に凸のコの字形状の搬送台１７の両端が、それぞれ前方連結部材１４と後方連結部材１５に支持されるが、図９では下方に凸のコの字形状の搬送台２３の両端が、それぞれ支持軸２７ａと２７ｂを介して前方連結部材１４と後方連結部材１５に支持される。このように、図９に示す形状の搬送台を備えるカルーセル型リフタ５では搬送台２３の吊り枠がＦＯＵＰ１０の保護機能を兼ねるので、ＦＯＵＰ１０の搬送をより安全に行うことができる。

移載アーム１０７は、各階層に配置される入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６のそれぞれにおいて、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６の開口部を介して、搬送台１７に対してＦＯＵＰ１０を搬入出できる位置に配置される。

次に、図１及び図３に基づいて、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５における移載アーム１０７による搬送台１７へのＦＯＵＰ１０の搬入出動作について説明する。
第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５へのＦＯＵＰ１０の搬入出動作は、図１５で説明した従来技術に係るカルーセル型リフタ１００の搬入動作に類似する。相違点は、図１５では入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部がカルーセル型リフタ１００の両側面に備えられており、移載アーム１０７のカルーセル型リフタ１００内部への侵入位置がカルーセル型リフタ１００の両側面であるのに対し、図１では入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部がカルーセル型リフタ５の前面に備えられており、移載アーム１０７のカルーセル型リフタ５内部への侵入位置が搬入、搬出共にカルーセル型リフタ５の前面で実施される。
尚、移載アーム１０７による搬送台１７へのＦＯＵＰ１０の載置とＦＯＵＰ１０の搬送台１７からのすくい取りは、図１５に示す従来技術と同じであり、その説明を省略する。

次に、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタの防塵対策構造について、図４に基づいて説明する。図４は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタの防塵対策構造を示す上面図である。
第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５では、２つのチェーンユニット４ａ及び４ｂの循環するチェーン２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２２ｂと、チェーン駆動部（即ち、回転軸１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ及び駆動モータ１８）が発塵源となる可能性が高い。防塵はこれら発塵箇所を可能な限りカバーで被い、塵埃が外部に漏洩しない構造とするものである。
図４に示すように、防塵対策構造は、具体的に前面カバー３０，３１，３２及び背面カバー３３とから構成されている。前面カバー３０は、チェーンモジュール６ａのチェーン２１ａの可動軸部と前方リンク７及び前方連結部材１４を除き、チェーン２１ａと回転軸１６ａ及び駆動モータ１８とを覆うように可能な範囲で全面を被服する。前面カバー３１，３２は、チェーンモジュール６ｂのチェーン２１ｂの前面と背面について可動軸部と前方リンク７及び前方連結部材１４に支持される搬送台１７の可動軸部を除き、チェーン２１ｂと回転軸１６ｂを覆うように可能な範囲で全面を被服する。また、背面カバー３３は、チェーンモジュール６ａのチェーン２２ａの前面について可動軸部と後方連結部材１５に支持される搬送台１７の可動軸部を除き、回転軸１６ｃ、１６ｄ及びチェーン２２ａ、２２ｂを含めたチェーンモジュール６ｃ、６ｄ全体で発生する塵埃を閉じこめ、ＦＯＵＰ１０への汚染を遮断する。

次に、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのＦＯＵＰ搬入、搬出部における姿勢矯正部材について、図５に基づいて説明する。図５は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーンモジュールと姿勢矯正部材とを示す側面図である。
図が複雑になるため図１には割愛されているが、移載アーム１０７（即ち、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６）の正面に位置するチェーンユニット４ａのチェーンモジュール６ａ、６ｂのチェーン２１ａ、２１ｂ及びチェーンユニット４ｂのチェーンモジュール６ｃ、６ｄのチェーン２２ａ、２２ｂにはそれぞれ、図５に示す姿勢矯正部材３が設置される。ここで、図５においては、チェーンユニット４ａを構成するチェーンモジュール６ａのチェーン２１ａを例にして姿勢矯正部材３を示している。尚、チェーンユニット４ａを構成するチェーンモジュール６ｂのチェーン２１ｂ及びチェーンユニット４ｂを構成するチェーンモジュール６ｃ、６ｄのチェーン２２ａ、２２ｂも、図５に示すチェーンユニット４ａを構成するチェーンモジュール６ａのチェーン２１ａと同様の構成であり、その説明を省略する。

図５に示すように、姿勢矯正部材３は複数の当接ローラ（当接輪）２８とこれらを転動容易に軸止するローラフレーム（フレーム）２９から構成されている。そして、スプロケット１９ａに懸架されるチェーン２１ａとの相対位置をチェーン２１ａにたるみ等の無い場合の正規のチェーン循環軌道に沿わせて姿勢矯正部材３を設置することで、チェーンユニット４ａを構成するチェーンモジュール６ａに当接してチェーン２１ａの姿勢を矯正する。
具体的には、図５において点線は姿勢矯正部材３が無かった場合のチェーン２１ａと前方連結部材１４を支持する搬送台支持点１３ａの姿勢を示す。即ち、姿勢矯正部材３が無い場合、移載アーム１０７による搬送台１７に対するＦＯＵＰ１０の搬入出時において、前方連結部材１４に支持される搬送台１７が支えるＦＯＵＰ１０等の重量に起因するモーメントにより、チェーン２１ａは点線のチェーン２１ａ’のように、また、端部が搬送台支持点１３ａに支持されるリンク７ａ、７ｂによりチェーン２１ａに支持されるチェーン支持点１１ａ、１２ａがそれぞれ１１ａ’、１２ａ’のように、更に、搬送台支持点１３ａが１３ａ’のように（図５における矢印方向）変位するため、搬送台１７を水平に維持するのが困難となる。そこで、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５では姿勢矯正部材３を用いることにより、移載アーム１０７による搬送台１７に対するＦＯＵＰ１０の搬入出時において、チェーンユニット４の姿勢を実線のように矯正し、搬送台支持点１３ａを介して前方連結部材１４で回転自在に支持される搬送台１７を水平に維持する。

尚、図５の例では、当接ローラ２８に駆動源を設けずにチェーン２１ａとの当接で従動するローラとしているが、姿勢矯正部材３への負荷が大きく当接ローラ２８の回転が困難な場合、当接ローラ２８に駆動源を設けてチェーン２１ａの循環速度に同期する速度で駆動させてもよい。

このように、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５では、姿勢強制部材３を設置することにより、２つのチェーンユニット４ａ及び４ｂが備えるチェーンモジュール６ａ、６ｂ及び６ｃ、６ｄのチェーン２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２２ｂの前方連結部材１４及び後方連結部材１５に支持される搬送台１７が支えるＦＯＵＰ１０等の重量に起因するモーメントにより、チェーン２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２２ｂが変位するのを矯正部材３が矯正し、搬送台１７を水平に維持して、ＦＯＵＰ１０の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。また、入庫ポート１０５および出庫ポート１０６において、ＦＯＵＰ１０が傾斜することなく水平姿勢が維持されるので、移載手段である移載アーム１０７に対するＦＯＵＰ１０の位置決めが確実となり、移載アーム１０７による移載動作が支障なく実行される。

次に、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタに於けるチェーン切断に対する安全確保の方策について、図６〜図８に基づいて説明する。図６は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーン切断検知センサを示す斜視図である。図７は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーンの切断モードを示す正面図である。図８は、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーン切断検知センサのチェーン切断時におけるセンシングの状況を説明する斜視図である。
チェーン切断検出センサ２５、２６は、図６に示すように、各チェーン２１、２２に対応して下方に配置されるスプロケット１９の付近で、各チェーン２１、２２の対向面に、チェーン１本につき１つのセンサが設置される。図１では４本のチェーン２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂが設置されるので、４つのチェーン切断検出センサ２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが図６に示す位置に取付けられる。

図１に示す第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５の場合、チェーンが切断されるモードには図７に示すＣ１〜Ｃ４の４種類の切断ポイントがあり、チェーン切断後のチェーン状態は互いに異なる。ここで、図７においては、チェーンユニット４ｂを構成するチェーンモジュール６ｃのチェーン２２ａを例にして切断ポイントを示している。尚、チェーンユニット４ａを構成するチェーンモジュール６ａ、６ｂのチェーン２１ａ、２１ｂ及びチェーンユニット４ｂを構成するチェーンモジュール６ｄのチェーン２２ｂも、図７に示すチェーンユニット４ｂを構成するチェーンモジュール６ｃのチェーン２２ａと同様であり、その説明を省略する。

一例として、ポイントＣ４においてチェーン２２ａが切断した場合のチェーン切断後の状態を図８に示す。ポイントＣ４とチェーン支持点１２ｃ間のチェーン２２ａは符号Ｄで示されるように、チェーン支持点１１ｃの下に垂れ下がり、同時にチェーン切断検出センサ２６ａとの対向位置にあったチェーン２２ａはリンク８ａ、８ｂが開放状態で自由垂下するので、図のようにチェーン切断検出センサ２６ａの対向面からはずれ、チェーン切断検出センサ２６ａが検出できるチェーン２２ａからの反射光は無くなる。これによりチェーン切断検出センサ２６ａはチェーン２２ａの切断を検出できる。
他のポイントＣ１〜Ｃ３においてチェーン２２ａが切断した場合も、ポイントＣ４の場合と同様に、チェーン切断検出センサ２６ａはチェーン２２ａからの反射光が検出されず、チェーン２２ａの切断が検出される。

尚、図６に示す下方に配置されるスプロケット１９付近は、前記４種類のチェーン切断ポイントの全てについてチェーン切断検出を可能とするチェーン切断検出センサ設置位置であるので、チェーン切断検出センサ２５、２６は、下方に配置されるスプロケット１９付近に設置することが好ましい。

このように、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５では、チェーン切断検出センサ２５、２６を設置することにより、２つのチェーンユニット４ａ及び４ｂを構成する一組のチェーンモジュール６ａ、６ｂ及び６ｃ、６ｄについてのチェーン２１ａ及び２１ｂ、２２ａ及び２２ｂの切断を判断して、カルーセル型リフタ５の駆動を停止することにより、ＦＯＵＰ１０の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。

このように、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５によると、スプロケット１９ａ、１９ｂ及びスプロケット１９ｃ、１９ｄの軸方向とＦＯＵＰ１０の搬入出方向とが平行となるように、搬送台１７に対してＦＯＵＰ１０が移載できるように、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６における移載アーム１０７が隣接設置されている。従って、カルーセル型リフタ５の幅方向の間口（図１６及び図１７に基づいて上述したリフタ設置場所間口Ｍ）が縮小され、クリーンルームスペースの有効活用を図ることができる。また、ＦＯＵＰ１０を載置する搬送台１７を、前方リンク７及び後方リンク８を介してチェーンモジュール６ａ、６ｂ及び６ｃ、６ｄのチェーン２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２２ｂの外周面に回動自在に支持することから、チェーン２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２２ｂの揺動を抑えて、ＦＯＵＰ１０の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。更に、チェーンモジュールを４つ（チェーンユニット４ａ及び４ｂの一対のチェーンモジュール６ａ、６ｂ及び６ｃ、６ｄ）設置することにより、４つのチェーン２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２２ｂで強固に搬送台１７を支持するとともにチェーン２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２２ｂの揺動を抑えることができ、ＦＯＵＰ１０の搬送を安全且つ円滑に行うことができる。

また、第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５は、搬送台１７の両端が、それぞれ一対のチェーンモジュール６ａ、６ｂ及び６ｃ、６ｄから構成されるチェーンユニット４ａ、４ｂで回動自在に支持されることから、カルーセル型リフタ５の設置可能高さが高い場合、搬送台１７の設置個数が多い場合、ＦＯＵＰ１０の重量が大きい場合におけるＦＯＵＰ１０の垂直連続搬送に適する構成である。

［第二の実施形態］
次に、第二の実施形態に係るカルーセル型リフタについて、図１０に基づいて以下に説明する。図１０は、第二の実施形態に係るカルーセル型リフタを示す斜視図である。尚、第一の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付してその説明を省略する。

第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５は、チェーン手段２として開口部（入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部）に対して前方及び後方に２つのチェーンユニット４ａ、４ｂを備えるが、第二の実施形態に係るカルーセル型リフタ５ｂのチェーン手段２ｂは、図１０に示すように、開口部（入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部）に対して後方のみにチェーンユニット４ｂを備え、前方には１本のチェーン２１ａからなるチェーンモジュール６ａを備える。従って、搬送台１７は、前方において前方連結部材１４が省略されて、チェーン支持点１１ａ、１１ｂおいてチェーンモジュール６ａのチェーン２１ａに回動自在に支持される前方リンク７ａ、７ｂの端部の搬送台支持点１３ａに直接支持され、後方においては後方連結部材１５において支持される。

このように、第二の実施形態に係るカルーセル型リフタ５ｂによると、構成が簡略化されて、搬送台１７の一端が一対のチェーンモジュール６ｃ、６ｄから構成されるチェーンユニット４ｂで回動自在に支持され、搬送台１７の他端がチェーンモジュール６ａで支持されることから、カルーセル型リフタ５ｂの設置可能高さが低い場合、搬送台１７の設置個数が少ない場合、ＦＯＵＰ１０の重量が小さい場合におけるＦＯＵＰ１０の垂直連続搬送に適する構成であるとともに、カルーセル型リフタ５ｂの奥行きを狭めて設置面積を縮小することができる。

尚、図１０では、第二の実施形態に係るカルーセル型リフタ５ｂのチェーン手段２ｂは、開口部（入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部）に対して、後方にチェーンユニット４ｂ、前方に１本のチェーンからなるチェーンモジュール６ａを備えるが、前方にチェーンユニット４ａ、後方に１本のチェーン２２ａからなるチェーンモジュール６ｃを備えてもよい。

また、第二の実施形態に係るカルーセル型リフタ５ｂのチェーン手段２ｂが、開口部（入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部）に対して、前方に１本のチェーン２１ａからなるチェーンモジュール６ａ、後方に１本のチェーン２２ａからなるチェーンモジュール６ｃを備えてもよい。この場合、搬送台１７は、前方において前方連結部材１４が省略されて、チェーン支持点１１ａ、１１ｂおいてチェーンモジュール６ａのチェーン２１ａに回動自在に支持される前方リンク７ａ、７ｂの端部の搬送台支持点１３ａに直接支持され、後方においては前方連結部材１５が省略されて、チェーン支持点１１ｃ、１１ｄおいてチェーンモジュール６ｃのチェーン２３ａに回動自在に支持される後方リンク８ａ、８ｂの端部の搬送台支持点１３ｃに直接支持される。

かかる場合、構成がより簡略化されて、搬送台１７の両端がチェーンモジュール６ａ及び６ｃで回動自在に支持されることから、カルーセル型リフタ５ｃの設置可能高さが更に低い場合、搬送台１７の設置個数が更に少ない場合、ＦＯＵＰ１０の重量が更に小さい場合におけるＦＯＵＰ１０の垂直連続搬送に適する構成であるとともに、カルーセル型リフタ５ｃの奥行きをより狭めて設置面積をより縮小することができる。

［第三の実施形態］
次に、第三の実施形態に係るカルーセル型リフタについて、図１１に基づいて以下に説明する。図１１は、第三の実施形態に係るカルーセル型リフタを示す斜視図である。尚、第一の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付してその説明を省略する。

第一の実施形態に係るカルーセル型リフタ５は、チェーン手段２として、開口部（入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部）に対して前方及び後方に２つのチェーンユニット４ａ、４ｂを備えるが、第三の実施形態に係るカルーセル型リフタ５ｃのチェーン手段２ｃは、図１１に示すように、開口部（入庫ポート１０５の開口部及び出庫ポート１０６の開口部）に対して後方のみにチェーンユニット４ｂを備え、前方のチェーンユニット４ａが省略されている。従って、搬送台１７は、後方において後方連結部材１５のみに支持される。

このように、第三の実施形態に係るカルーセル型リフタ５ｃによると、構成が更に簡略化されて、搬送台１７の一端が一対のチェーンモジュール６ｃ、６ｄから構成されるチェーンユニット４ｂで回動自在に支持されることから、カルーセル型リフタ５ｃの設置可能高さが更に低い場合、搬送台１７の設置個数が更に少ない場合、ＦＯＵＰ１０の重量が更に小さい場合におけるＦＯＵＰ１０の垂直連続搬送に適する構成であるとともに、カルーセル型リフタ５ｃの奥行きを更に狭めて設置面積を大幅に縮小することができる。

尚、第三の実施形態に係るカルーセル型リフタ５ｃにおいて、図１２に示すように、一対のチェーンモジュール６ｃ、６ｄからなるチェーンユニット４ｂを挟んで両側に一対のガイド板（軌道平板）３５ａ、３５ｂを配置することが好ましい。そして、チェーンモジュール６ｃの後方リンク８ａにガイドローラ（従動輪）３６ａを、チェーンモジュール６ｄの後方リンク８ｃにガイドローラ（従動輪）３６ｂを取り付け、２個のガイドローラ３６ａ、３６ｂはそれぞれ対応するガイド板３５ａ、３５ｂに当接し、チェーン２２ａ、２２ｂが循環する間、常にガイド板３５ａ、３５ｂの表面を習いガイドする。これにより、スムースな循環が得られることにより、チェーンユニット４ｂのチェーン２２ａ、２２ｂの揺動は最小限に抑えられて、ＦＯＵＰ１０の搬送を円滑に行うことができる。

以上、本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされる。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。また、具体例は、本発明の構成を例示したものであり、本発明を限定するものではない。

第一の実施形態に係るカルーセル型リフタを示す斜視図である。 第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーンユニット及び搬送台の構造を示す正面図である。 第一の実施形態に係るカルーセル型リフタの連結部材及び搬送台の構造を示す斜視図である。 第一の実施形態に係るカルーセル型リフタの防塵対策構造を示す上面図である。 第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーンモジュールと姿勢矯正部材とを示す側面図である。 第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーン切断検知センサを示す斜視図である。 第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーンの切断モードを示す正面図である。 第一の実施形態に係るカルーセル型リフタのチェーン切断検知センサのチェーン切断時におけるセンシングの状況を説明する斜視図である。 吊下げ型の搬送台を備える第一の実施形態に係るカルーセル型リフタの局部拡大斜視図である。 第二の実施形態に係るカルーセル型リフタを示す斜視図である。 第三の実施形態に係るカルーセル型リフタを示す斜視図である。 第三の実施形態に係るカルーセル型リフタの変形例を示す一部拡大斜視図である。 従来技術に係る垂直連続搬送装置の一例を示す断面側面図であり、図中Ａ）はエレベータ方式のリフタ搬送装置であり、Ｂ）はカルーセル方式のリフタ搬送装置である。 従来技術に係るカルーセル方式のリフタ搬送装置を示す斜視図である。 従来技術に係るカルーセル方式のリフタ搬送装置の搬送台及びＦＯＵＰを搬入出する移載アームの構造を示す斜視図である。 従来技術に係るカルーセル型リフタのＦＯＵＰ搬入出用ポートを含めた全体領域の装置レイアウトを示す図である。 従来技術と比較して開発が求められるカルーセル型リフタのＦＯＵＰ搬入出用ポートを含めた全体領域の装置レイアウトを示す図である。

符号の説明

２ チェーン手段
３ 姿勢矯正部材
４ チェーンユニット
５ カルーセル型リフタ（垂直連続搬送装置）
６ チェーンモジュール
７ 前方リンク（リンク部材）
８ 後方リンク（リンク部材）
１０ ＦＯＵＰ（被搬送物）
１４ 前方連結部材
１５ 後方連結部材
１７ 搬送台
１８ 駆動モータ（駆動手段）
１９ スプロケット（懸架軸）
２１ チェーン
２２ チェーン
２３ 搬送台
２５ チェーン切断検出センサ
２６ チェーン切断検出センサ
２８ 当接ローラ（当接輪）
２９ ローラフレーム（フレーム）
３０ 前面カバー
３１ 前面カバー
３２ 前面カバー
３３ 背面カバー
３５ ガイド板（軌道平板）
３６ ガイドローラ（従動輪）
１０５ 入庫ポート（搬入ポート）
１０６ 出庫ポート（搬出ポート）
１０７ 移載アーム（移載手段）

Claims (10)

1. 複数階層において被搬送物を垂直方向に連続搬送する垂直連続搬送装置であって、
   前記被搬送物を搬入及び搬出する搬入ポート及び搬出ポートにおいて、前記被搬送物の搬入方向と搬出方向が平行となるように隣接設置され、前記被搬送物を搬入及び搬出する際に前記搬送台に前記被搬送物を移載する一組の移載手段と、
   垂直方向上下に配置された一対の懸架軸と前記懸架軸に懸架されて前記懸架軸を駆動させる駆動手段の駆動に伴い垂直方向に循環するチェーンとからなる１つまたは複数のチェーンモジュールと、前記チェーンの外周面に所定間隔毎に固定設置されたリンク部材を介して前記チェーンの外周面に回動自在に支持されて前記チェーンに連動して前記チェーンの外周に沿って垂直方向に循環し、被搬送物を載置する複数の搬送台と、により構成されるチェーン手段と、
   を備え、前記懸架軸の軸方向に対して前記被搬送物の搬入方向及び搬出方向が平行となり、且つ、循環する前記搬送台に対して前記被搬送物を移載できるように前記移載手段が設置されることを特徴とする垂直連続搬送装置。
2. 軸方向及び垂直方向に所定寸法の段違いで設置された略同一寸法の２つの前記チェーンモジュールの２つの前記リンク部材が連結部材を介して回動自在に連結されて構成されたチェーンユニットが、前記懸架軸の軸方向に所定間隔隔てて２つ平行設置されるとともに、２つの前記チェーンユニットのそれぞれの前記連結部材が垂直方向に同一高さになるように設置されて、前記搬送台が２つの前記チェーンユニットのそれぞれの前記連結部材にその両端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されることを特徴とする請求項１に記載の垂直連続搬送装置。
3. 軸方向及び垂直方向に所定寸法の段違いで設置された略同一寸法の２つの前記チェーンモジュールの２つの前記リンク部材が連結部材を介して回動自在に連結されて構成された１つのチェーンユニットと、１つの前記チェーンモジュールが、前記懸架軸の軸方向に所定間隔隔てて平行設置されるとともに、１つの前記チェーンユニットの前記連結部材と１つの前記チェーンモジュールの前記リンク部材が垂直方向に同一高さになるように設置されて、前記搬送台が１つの前記チェーンユニットの前記連結部材と１つの前記チェーンモジュールの前記リンク部材にその両端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されることを特徴とする請求項１に記載の垂直連続搬送装置。
4. ２つの前記チェーンモジュールが前記懸架軸の軸方向に所定間隔隔てて平行設置されるとともに、２つの前記チェーンモジュールのそれぞれの前記リンク部材が垂直方向に同一高さになるように設置されて、前記搬送台が２つの前記チェーンモジュールのそれぞれの前記リンク部材にその両端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されることを特徴とする請求項１に記載の垂直連続搬送装置。
5. 軸方向及び垂直方向に所定寸法の段違いで設置された略同一寸法の２つの前記チェーンモジュールの２つの前記リンク部材が連結部材を介して回動自在に連結されて構成された１つのチェーンユニットが設置されて、前記搬送台が１つの前記チェーンユニットの前記連結部材にその一端が回動自在に支持されて前記チェーン手段が構成されることを特徴とする請求項１に記載の垂直連続搬送装置。
6. ２つの前記チェーンモジュールのそれぞれの前記チェーンの側面に対向して前記チェーンと同一軌道で形成される２つの軌道平板が前記チェーンユニットの両側に設置され、
   ２つの前記リンク部材のそれぞれに支持されるとともに、それぞれ２つの前記軌道平板の対向する面に回転自在に当接する従動輪が備えられることを特徴とする請求項５に記載の垂直連続搬送装置。
7. 前記搬送台が、下方に凸のコの字形状に形成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の垂直連続搬送装置。
8. 前記チェーンモジュールが、前記搬送台及び前記搬送台を支持する前記リンク部材の循環軌道を除いてカバーで覆われることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の垂直連続搬送装置。
9. 前記チェーンモジュールが、回転自在な複数の当接輪と前記当接輪を支持するフレームとで構成され、前記移載手段に対向して前記チェーンの内周面に設置されて、前記チェーンが前記当接輪に当接した状態で回転する矯正部材を更に備えることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の垂直連続搬送装置。
10. 前記チェーンモジュールが、前記チェーンの側面に設けられて前記チェーンを検知し、前記チェーンを検知しない場合に前記チェーンの切断を判断するチェーン切断検知センサを更に備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の垂直連続搬送装置。

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