JP2580489B2 - 多関節搬送装置，その制御方法及び半導体製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】〔目次〕産業上の利用分野 従来の技術（図25，26） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図１〜３） 作用 実施例 （１）第１の実施例の説明（図４〜８） （２）第２の実施例の説明（図９〜15） （３）第３の実施例の説明（図16，17） （４）各実施例の応用システムの説明（図18〜24） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、多関節搬送装置，その
制御方法及び半導体製造装置に関するものであり、更に
詳しく言えば、２つの被搬送物を個別に保持して、一方
の被搬送物を一方向に伸縮する装置，方法及びその応用
装置の改善に関するものである。

【０００３】

【従来の技術】図25，26は、従来例に係る説明図であ
る。図25（Ａ）は、従来例に係る第１の多関節搬送装置
の構成図であり、図25（Ｂ）は、それを応用したウエハ
処理システムの平面図である。図26は、従来例に係る問
題点を説明する第２の多関節搬送装置の構成図をそれぞ
れ示している。

【０００４】例えば、搬送部１を水平方向に伸縮するシ
ングルアームの搬送装置（以下第１の多関節搬送ロボッ
トという）は図25（Ａ）において、搬送部１，上部関節
駆動部２，下部関節駆動部３及び駆動制御装置４から成
る。当該ロボットの機能は、例えば、駆動制御装置４か
ら下部関節駆動部３に回転力を与え、上部関節駆動部２
には回転力を与えずに固定すると、搬送部１が水平方向
に伸縮する。また、駆動制御装置４から下部関節駆動部
３と上部関節駆動部２とに同期した回転力を与えると、
駆動制御装置４の駆動軸を中心に多関節搬送部が旋回す
る。ここで、多関節搬送部とは搬送部１，上部関節駆動
部２及び下部関節駆動部３をいい、この旋回状態では見
かけ上，各部の独立した動きはない。

【０００５】次に、多関節搬送ロボットの応用例を説明
する。例えば、半導体ウエハにエッチングやアッシング
をする連続処理システムは、図25（Ｂ）において、セン
ダー側カセットチャンバ５，エッチングチャンバ６，ア
ッシングチャンバ７及びレシーブ側チャンバ８及び多関
節搬送ロボット９から成る。当該システムの機能は、例
えば、センダー側チャンバ５から多関節搬送ロボット９
によりウエハ１０が取り出されると、それがエッチング
チャンバ６に搬入される。また、エッチング処理が終了
すると、当該ロボット９によりウエハ１０が取り出さ
れ、それがアッシングチャンバ７に搬入される。

【０００６】さらに、センダー側チャンバ５からエッチ
ングチャンバ６に新たなウエハ１０が搬入される。アッ
シング処理が終了すると、当該ロボット９によりウエハ
１０が取り出され、それがレシーブ側チャンバ８に搬入
される。このように、新たなウエハ１０が多関節搬送ロ
ボット９により順次，センダー側カセットチャンバ５→
エッチングチャンバ６→アッシングチャンバ７→レシー
ブ側チャンバ８に移動される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例の第
１の多関節搬送ロボットによれば、多関節搬送部が搬送
部１，上部関節駆動部２及び下部関節駆動部３から構成
される。このため、搬送部１を上部関節駆動部２及び
下部関節駆動部３を介して搬送元と搬送先との間で往復
させること、搬送部１に載置された被搬送物を搬送先
に移動して、それを受渡し搬送元に帰還すること、及び
搬送先に搬送部１を移動し、搬送先から被搬送物を受
取り搬送元に帰還すること等の３つの基本動作を行うこ
とができる。

【０００８】しかし、搬送部１に載置された第１の被搬
送物を搬送先に移動して、それを搬送先の第２の被搬送
物と交換し、第２の被搬送物を搬送部１に載置して搬送
元に帰還することは、搬送先の受渡し条件を変えない限
り困難となる。また、従来例に係る第１の多関節搬送ロ
ボットの応用したウエハ処理システムによれば、プロセ
スチャンバからウエハ１０が搬出されてから、次のウエ
ハ１０が搬入される間に無駄な待ち時間を生じる。

【０００９】これにより、エッチングチャンバ６やアッ
シングチャンバ７等のプロセスチャンバのスループット
が低下するという問題がある。なお、第１の多関節搬送
ロボットのスループットを向上すべく、図26に示すよう
な２台の多関節搬送ロボットを組み合わせた勝手違いロ
ボットシステムが考案されている。例えば、２つの角形
状の被搬送物５０を水平方向に伸縮するダブルアームの
搬送装置（以下第２の多関節搬送ロボットという）は、
図26に示すように、第１，第２の搬送部１Ａ，１Ｂ，第
１，第２の上部関節駆動部２Ａ，２Ｂ，及び第１，第２
の下部関節駆動部３Ａ，３Ｂを備える。

【００１０】当該ロボットの機能は、例えば、第１の下
部関節駆動部３Ａに回転力を与え、第２の下部関節駆動
部３Ｂ及び第１，第２の上部関節駆動部２Ａ，２Ｂには
回転力を与えずに固定すると、第１の搬送部１Ａが水平
方向に伸縮する。また、第１，第２の下部関節駆動部３
Ａ，３Ｂが取り付けられた駆動制御部が、それ自身の軸
を中心に旋回される。

【００１１】しかし、第２の多関節搬送ロボットでは第
１，第２の搬送部１Ａ，１Ｂ間に非干渉用の収納角度γ
を設けなくてはならい。この収納角度γは、第１，第２
の下部関節駆動部３Ａ，３Ｂ上に第１，第２の搬送部１
Ａ，１Ｂを収納した際に、両搬送部１Ａ，１Ｂ間がなす
角度である。もしも、この角度γを０にして、被搬送物
５０の伸縮方向を同一に揃えようとすると、第１の搬送
部１Ａに載置された角形状の被搬送物５０の角や、第２
の搬送部１Ｂに載置された角形状の被搬送物５０の角
が、第１，第２の上部関節駆動部２Ａ，２Ｂに当たる。

【００１２】このため、第２の多関節搬送ロボットでは
収納角度γを設けなくてはならい。しかし、多関節搬送
部の旋回半径が大きくなり、ウエハ処理システムの縮小
化の妨げとなったり、被搬送物５０の入れ替え時間や、
第１，第２の搬送部１Ａ，１Ｂの切り換え時間が増加す
るという問題がある。本発明は、かかる従来例の問題点
に鑑み創作されたものであり、多関節搬送部の旋回半径
の縮小化を図りつつ、その構造を工夫し、被搬送物の入
れ替え時間の短縮化を図ること、及び、搬送先の装置の
スループットの向上を図ることが可能となる多関節搬送
装置，制御方法及び半導体製造装置の提供を目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】図１，２は本発明に係る
多関節搬送装置及びその制御方法の原理図（その１，
２）であり、図３は本発明に係る半導体製造装置の原理
図をそれぞれ示している。本発明の第１の多関節搬送装
置は図１に示すように、第１の搬送部１５と、前記第１
の搬送部１５の回転面に対して上又は下側に位置するよ
うに高さを規定した第２の搬送部１６と、前記第１の搬
送部１５を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部１１
と、前記第２の搬送部１６を一方向に伸縮する第２の多
関節駆動部１２と、前記第１の多関節駆動部１１の回動
中心となる第１の固定軸13Ａと前記第２の多関節駆動部
１２の回動中心となる第２の固定軸13Ｂとを有し、か
つ、前記第１の多関節駆動部１１に回転力を与える第１
の駆動軸13Ｃと前記第２の多関節駆動部１２に回転力を
与える第２の駆動軸13Ｄとを有する共通駆動部１３と、
前記第１の多関節駆動部１１、第２の多関節駆動部１２
及び共通駆動部１３を回動制御する駆動制御手段１４と
を備え、前記第１の搬送部１５及び第２の搬送部１６を
前記共通駆動部１３の上部に縮めたとき、前記第１の搬
送部１５と第２の搬送部１６とを高低差をもって重なる
ようにしたことを特徴とする。

【００１４】本発明の第２の多関節搬送装置は、図１に
示すように、前記共通駆動部１３を高さ方向に移動する
高さ調整手段１７が設けられることを特徴とする。本発
明の第３の多関節搬送装置は、図２（Ａ）に示すよう
に、前記第１の搬送部１５及び第２の搬送部１６が共通
駆動部１３上に取り込まれる状態を有し、かつ、前記取
り込まれた第１の搬送部１５の載置面から第２の搬送部
１６の載置面までの間隔が、前記第２の搬送部１６に載
置する被搬送物２０の厚みｔ０と、前記第１の搬送部１
５の厚みｔ１と隙間ｇを加算した載置間距離Ｄｚに規定
されることを特徴とする。

【００１５】本発明の第４の多関節搬送装置は、その実
施例を図４に示すように、前記第１の駆動軸13Ｃ，第２
の駆動軸13Ｄ及び共通駆動部１３を個別に回動制御する
電動機24Ａ，24Ｂ，24Ｃを有する駆動制御装置２４が設
けられ、前記駆動制御装置２４は、前記第１の搬送部１
５と同じ方向に前記第２の搬送部１６を伸縮するように
前記電動機24Ａ，24Ｂ，24Ｃを制御することを特徴とす
る。本発明の第５の多関節搬送装置は、その実施例を図
９に示すように、共通駆動屈曲アーム３３を回動制御す
る電動機34Ａと、前記電動機34Ａの回転力に基づいて第
１の駆動軸23Ｃ及び第２の駆動軸23Ｄを回動制御する動
力伝達制御機34Ｂ，34Ｃとを有する駆動制御装置３４
と、前記駆動制御装置３４を共通駆動屈曲アーム３３の
軸を中心にして回動する電動機４４が設けられることを
特徴とする。

【００１６】本発明の第６の多関節搬送装置は、図２
（Ｂ）に示すように、前記共通駆動部１３の回転軸を概
略垂線とする平面において、該共通駆動部１３が「く」
の字型に屈曲されたアーム状を構成することを特徴す
る。本発明の多関節搬送装置の第１の制御方法は、前記
第１の駆動軸13Ｃを固定し、前記第２の駆動軸13Ｄ及び
共通駆動部１３を同期させて回動することを特徴とす
る。

【００１７】本発明の多関節搬送装置の第２の制御方法
は、前記第２の駆動軸13Ｄを固定し、前記第１の駆動軸
13Ｃ及び共通駆動部１３を同期させて回動することを特
徴とする。本発明の多関節搬送装置の第３の制御方法
は、前記第１の駆動軸13Ｃ，第２の駆動軸13Ｄ及び共通
駆動部１３を同期させて回動することを特徴とする。

【００１８】本発明の半導体製造装置は、図３に示すよ
うに、被加工基板１９を各種加工処理するｎ個のプロセ
スチャンバＰｎ，〔ｎ＝１，２，…ｎ〕と、前記プロセ
スチャンバＰｎに被加工基板１９を出し入れする基板搬
送手段１８とを備え、前記基板搬送手段１８が本発明の
第１〜第６の多関節搬送装置から成ることを特徴とし、
上記目的を達成する。

【００１９】

【作用】本発明の第１の多関節搬送装置の動作を説明す
る。例えば、駆動制御手段１４により第１の駆動軸13Ｃ
が固定され、第２の駆動軸13Ｄ及び共通駆動部１３が同
期して回動される（第１の制御方法）と、第２の駆動軸
13Ｄから第２の多関節駆動部１２に回転力が与えられ、
第２の多関節駆動部１２が第２の固定軸13Ｂを中心とし
て回動する。

【００２０】この際に、共通駆動部１３の回転方向を打
ち消す方向に第２の多関節駆動部１２が回動する。これ
により、第２の多関節駆動部１２は静止状態を保持し、
第２の搬送部１６は共通駆動部１３上（ホームポジショ
ン）に取り込まれる状態となる。また、第１の搬送部１
５が第１の多関節駆動部１１により一方向に伸縮され
る。次に、駆動制御手段１４により第２の駆動軸13Ｄが
固定され、第１の駆動軸13Ｃ及び共通駆動部１３が同期
して回動される（第２の制御方法）と、第１の駆動軸13
Ｃから第１の多関節駆動部１１に回転力が与えられ、第
１の多関節駆動部１１が第１の固定軸13Ａを中心として
回動する。

【００２１】この際に、共通駆動部１３の回転方向を打
ち消す方向に第１の多関節駆動部１１が回動する。これ
により、第１の多関節駆動部１１は静止状態を保持し、
第１の搬送部１５は共通駆動部１３上に取り込まれる状
態となる。また、第１の搬送部１５と独立した第２の搬
送部１６が第２の多関節駆動部１２により一方向に伸縮
される。

【００２２】さらに、駆動制御手段１４により第１の駆
動軸13Ｃ，第２の駆動軸13Ｄ及び共通駆動部１３が同期
して回動される（第３の制御方法）と、第１の駆動軸13
Ｃから第１の多関節駆動部１１に回転力が与えられ、第
１の多関節駆動部１１が第１の固定軸13Ａを中心として
回動する。また、第２の駆動軸13Ｄから第２の多関節駆
動部１２に回転力が与えられ、第２の多関節駆動部１２
が第２の固定軸13Ｂを中心として回動する。この際に、
共通駆動部１３の回転方向を打ち消す方向に第１の多関
節駆動部１１及び第２の多関節駆動部１２が回動する。

【００２３】これにより、第１の搬送部１５，第２の搬
送部１６，第１の多関節駆動部１１及び第２の多関節駆
動部１２が静止している状態になる。また、第１の搬送
部１５及び第２の搬送部１６が取り込まれた状態で共通
駆動部１３が旋回する。このように本発明の多関節搬送
装置では、第１の搬送部１５の回転面に対して上又は下
側に位置するように第２の搬送部１６の高さを規定して
いるので、第１及び第２の搬送部１５，１６を共通駆動
部１３の上部に縮めたとき、第１の搬送部１５と第２の
搬送部１６との間に、被搬送物が入り込めるような高低
差を生じさせることができる。このため、ホームボジシ
ョン上において、被搬送物を載置した２つの搬送部１
５，１６を重ねることができるので、本発明では従来技
術に比べて、より大きな被搬送物を第１及び第２の搬送
部１５，１６に載置することができる。また、共通駆動
部１３を回転するときの被搬送物の旋回半径（被搬送物
の先端の軌跡）を従来技術に比べて小さくすることがで
きる。これにより、本発明に係る多関節搬送装置を内蔵
した半導体製造装置のコンパクト化が図れる。本発明の
第２の多関節搬送装置によれば、高さ調整手段１７によ
り、共通駆動部１３が高さ方向，例えば、被搬送物を載
置した状態の共通駆動部１３が垂直方向に移動される。

【００２４】このため、第１〜第３の制御方法や高さ調
整方法を利用することにより、従来例の３つの基本動作
に加えて、搬送先の受渡し条件を変えることなく、第１
の搬送部１５に載置された第１の被搬送物を搬送先に移
動して、それを搬送先の第２の被搬送物と交換し、第２
の被搬送物を第２の搬送部１６に載置して搬送元に帰還
させることが可能となる。

【００２５】本発明の第３の多関節搬送装置によれば、
図２（Ａ）に示すように、第１の搬送部１５の載置面と
第２の搬送部１６の載置面との間が載置間距離Ｄｚに規
定される。このため、共通駆動部１３上に第１の搬送部
１５及び第２の搬送部１６を取り込んだ状態ときに、被
搬送物２０の厚みｔ０と、第１の搬送部１５の厚みｔ１
と隙間ｇを加算した載置間距離Ｄｚが小さくなるよう
に、第１の搬送部１５の載置面を，例えば、クランク状
に下げる等工夫をすることにより、高さ方向の制御（Ｚ
動作）を省くことができ、本発明の第２の多関節搬送装
置のような高さ調整手段１７を省略することが可能とな
る。

【００２６】本発明の第４の多関節搬送装置によれば、
その実施例を図４に示すように、駆動制御装置２４に電
動機24Ａ，24Ｂ，24Ｃが設けられ、駆動制御装置２４
は、第１の搬送部１５と同じ方向に第２の搬送部１６を
伸縮するように、電動機24Ａ，24Ｂ，24Ｃを制御する。
これにより、駆動制御はやや複雑になるが、多回転アブ
ソリュートエンコーダ等を併用することにより、第１の
駆動軸13Ｃ，第２の駆動軸13Ｄ及び共通駆動部１３を高
精度に、かつ、個別に回動制御することが可能となる。
特に、第１の搬送部１５と第２の搬送部１６とが同一方
向で干渉することなく、往復させることができるので、
被搬送物の交換作業が高速にできる。

【００２７】本発明の第５の多関節搬送装置によれば、
その実施例を図９に示すように、駆動制御装置３４に電
動機34Ａ及び動力伝達制御機34Ｂ，34Ｃが設けられる。
このため、電動機34Ａの回転力に基づいて共通駆動部１
３を回動制御すること、及び、その回転力に基づいて，
例えば、クラッチや変速機等の動力伝達制御機34Ｂ，34
Ｃにより、第１の駆動軸13Ｃ及び第２の駆動軸13Ｄを容
易に回動制御することができる。

【００２８】これにより、本発明の第４の多関節搬送装
置に比べて、第１の駆動軸13Ｃ，第２の駆動軸13Ｄ及び
共通駆動部１３の同期制御等を容易に実行することが可
能となる。本発明の第６の多関節搬送装置によれば、図
２（Ｂ）に示すように、共通駆動部１３が「く」の字型
に屈曲されたアーム状を構成する。

【００２９】このため、本発明の第１の多関節搬送装置
に比べて、旋回半径は多少増加するが、共通駆動部１３
上に第１の搬送部１５及び第２の搬送部１６を取り込ん
だ状態において、従来例のような収納角度γを生じるこ
となく、両搬送部１５及び１６を揃えることが可能とな
る。このことで、被搬送物を同一方向に伸縮させること
が可能となる。

【００３０】これにより、本発明の第１の多関節搬送装
置に比べて、第１，第２の搬送部１５，１６の切り換え
旋回時間が無用となり、被搬送物の入れ替え時間の短縮
化を図ることが可能となる。さらに、本発明の半導体製
造装置は、図３に示すように基板搬送手段１８が本発明
の第１〜第６の多関節搬送装置から成る。

【００３１】このため、ｎ個のプロセスチャンバＰ１〜
Ｐｎにより被加工基板１９が各種加工処理される際に、
基板搬送手段１８により円滑かつ迅速に被加工基板１９
がプロセスチャンバＰｎに出し入れされる。これによ
り、各プロセスチャンバＰ１〜Ｐｎのスループットの向
上を図ることができ、半導体ウエハや液晶表示パネル等
を加工する半導体製造装置の機能向上に寄与するところ
が大きい。

【００３２】

【実施例】次に、図を参照しながら本発明の実施例につ
いて説明をする。図４〜24は、本発明の実施例に係る多
関節搬送装置, その制御方法及び半導体製造装置を説明
する図である。 （１）第１の実施例の説明 図４は、本発明の第１の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの構成を説明する断面図であり、図５は、本発明の第
１の実施例に係る多関節搬送ロボットの多関節搬送部の
平面図である。図６〜８は、多関節搬送ロボットの動作
説明図（その１〜３）である。

【００３３】例えば、液晶パネル処理システムに適用可
能な２アーム型の多関節搬送ロボットは、図４におい
て、搬送アーム２１，２２，共通駆動アーム２３，駆動
制御装置２４，フラットフォーク２５，２６及びＺ軸調
整装置２７から成る。当該装置は、本発明の第１，第２
及び第４の多関節搬送装置を組み合わせたものである。
すなわち、搬送アーム２１は第１の多関節駆動部１１の
一例であり、フラットフォーク２５を一方向に伸縮する
ものである。搬送アーム２１はアルミニウムやステンレ
ス等の耐熱耐酸性軽量金属から成り、その一方の側は第
１の固定軸13Ａに嵌合され、当該軸13Ａを中心に回転す
る。搬送アーム２１の他方の側には、自由に可動するフ
ラットフォーク２５が設けられる。なお、当該フォーク
２５と固定軸13Ａとが動力伝達ベルト21Ａにより接続さ
れる。動力伝達ベルト21Ａにはタイミングベルトやスチ
ールワイヤを用いる。

【００３４】搬送アーム２２は第２の多関節駆動部１２
の一例であり、フラットフォーク２５と独立したフラッ
トフォーク２６を一方向に伸縮するものである。搬送ア
ーム２２の一方の側は第２の固定軸13Ｂに嵌合され、同
軸13Ｂを中心に回転する。搬送アーム２２の他方の側に
は、自由に可動するフラットフォーク２６が設けられ
る。なお、当該フォーク２６と固定軸13Ｂとが動力伝達
ベルト22Ａにより接続される。

【００３５】搬送アーム２２の高さは、本発明の第１の
実施例では搬送アーム２１の高さより低く設計される。
これは、液晶表示パネルをフラットフォーク（以下単に
フォークという）２５及び２６に載置した状態で、これ
らを共通駆動アーム２３上に取り込むためである。共通
駆動アーム２３は共通駆動部１３の一例であり、搬送ア
ーム２１，２２に回転力を与えたり、ホームポジション
にある多関節搬送部を旋回させるものである。ここで、
ホームポジションとはフォーク２５及び２６を共通駆動
アーム２３上に取り込んだ状態であって、システムの基
準位置にある場合をいうものとする。なお、多関節搬送
部の最小旋回半径については図５において詳述する。

【００３６】共通駆動アーム２３は耐熱耐酸性軽量金属
から成り、その中心部分には搬送アーム２１に回転力を
与える第１の駆動軸13Ｃと搬送アーム２２に回転力を与
える第２の駆動軸13Ｄとを有する。なお、共通駆動アー
ム２３の回転中心は、第１，第２の駆動軸13Ｃ，13Ｄの
回転中心と同じである。また、その一方の側には、搬送
アーム２１の回動中心となる第１の固定軸13Ａが設けら
れ、その他方の側には、搬送アーム２２の回動中心とな
る第２の固定軸13Ｂがそれぞれ設けられる。

【００３７】搬送アーム２１は第１の駆動軸13Ｃと動力
伝達ベルト23Ａにより接続され、同様に、搬送アーム２
２と第２の駆動軸13Ｄとが動力伝達ベルト23Ｂにより接
続される。駆動制御装置２４は駆動制御手段１４の一例
であり、第１の駆動軸13Ｃ，第２の駆動軸13Ｄ及び共通
駆動アーム２３を個別に回動制御するものである。例え
ば、駆動制御装置２４は多回転アブソリュートエンコー
ダ付きのサーボモータ24Ａ〜24Ｃ及びら成り、モータ24
Ａはエンコーダから出力される回転検出信号に基づいて
第１の駆動軸13Ｃに回転力を供給する。モータ24Ｂも回
転検出信号に基づいて同様に第２の駆動軸13Ｄに回転力
を供給する。モータ24Ｃも同様に共通駆動アーム２３に
回転力を供給する。

【００３８】これにより、駆動制御装置２４は次の制御
を行うことができる。例えば、第１の駆動軸13Ｃを固定
し、第２の駆動軸13Ｄ及び共通駆動アーム２３を同期さ
せて回動する（第１の制御方法）。第２の駆動軸13Ｄを
固定し、第１の駆動軸13Ｃ及び共通駆動アーム２３を同
期させて回動する（第２の制御方法）。第１の駆動軸13
Ｃ，第２の駆動軸13Ｄ及び共通駆動アーム２３を同期さ
せて回動する（第３の制御方法）。

【００３９】なお、本発明の実施例では共通駆動アーム
２３の回転中心が、第１，第２の駆動軸13Ｃ，13Ｄの回
転中心とが同じであることから、それらに対してサーボ
モータ24Ａ〜24Ｃを装置本体内に固定することができ、
メンテナンス面及びモータ配線等において有利である。
フォーク２５は第１の搬送部１５の一例であり、例え
ば、450 〔ｍｍ〕×450〔ｍｍ〕の液晶表示パネルを載
置するものである。フォーク２６は第２の搬送部１６の
一例であり、同様なサイズの他の液晶表示パネルを載置
するものである。

【００４０】Ｚ軸調整装置２７は高さ調整手段１７の一
例であり、共通駆動アーム２３を高さ方向に移動するも
のである。Ｚ軸調整装置２７は、例えば、リフト用ナッ
ト，全ネジボルト及びモータ等から成る。リフト用ナッ
トは駆動制御装置２４に係合される。全ネジボルトはモ
ータに接続され、当該ボルトの回転によりリフト用ナッ
トを上下に移動する。モータは全ネジボルトを回転す
る。これにより、駆動制御装置２４を高さ方向に移動す
ることにより、搬送先の受渡し条件，例えば、処理済み
の液晶表示パネルの受取位置の高さを合わせることが可
能となる。

【００４１】ここで、図５の平面図を参照しながらフォ
ーク２５及び２６を共通駆動アーム２３上に取り込んだ
状態（ホームポジション）の多関節搬送部の旋回半径Ｒ
１について説明をする。本発明の第１の実施例では、 4
50〔ｍｍ〕× 450〔ｍｍ〕の液晶表示パネルを被搬送物
とした場合に、本発明者の計算結果によれば、多関節搬
送部の最小旋回半径Ｒ１を 376〔ｍｍ〕とすることがで
きる。但し、図５において、試料（液晶表示パネル）の
一辺の長さＳを 450〔ｍｍ〕とし、搬送アーム２１や２
２の関節間距離Ａを 316〔ｍｍ〕とし、収納時の搬送ア
ーム２１や２２の回転半径Ｒ２を286.5〔ｍｍ〕とし、
試料の軌跡半径Ｒ３を 374〔ｍｍ〕とし、フォーク２５
及び２６の交差角αを４２°とし、試料と各方向との載
置間隙ａ，ｃをそれぞれａ＝15，ｃ＝10〔ｍｍ〕とした
場合である。なお、搬送アーム２１や２２の関節部の駆
動半径ｄは６０〔ｍｍ〕であり、共通駆動アーム２３の
固定軸間距離は 632〔ｍｍ〕である。

【００４２】次に、本発明の第１の実施例に係る多関節
搬送ロボットの動作について説明をする。例えば、図６
（Ａ）に示すようなホームポジションにあるフォーク２
５を水平方向に移動させる場合、まず、駆動制御装置２
４により第１の駆動軸13Ｃが固定され、第２の駆動軸13
Ｄ及び共通駆動アーム２３が同期して回動される（第１
の制御方法）。

【００４３】これにより、第２の駆動軸13Ｄから搬送ア
ーム２２に回転力が与えられ、搬送アーム２２が第２の
固定軸13Ｂを中心として回動する。この際に、図６
（Ｂ）に示すように共通駆動アーム２３が時計方向に回
転し、この回転方向を打ち消す方向に搬送アーム２２が
回動する。これにより、見かけ上搬送アーム２２は静止
状態を保持し、フォーク２６が共通駆動アーム２３上に
取り込まれた状態で共通駆動アーム２３と同様に旋回す
る。

【００４４】また、共通駆動アーム２３が時計方向に回
転し、その最大回動時には、図６（Ｃ）に示すようにフ
ォーク２５，搬送アーム２１及び共通駆動アーム２３が
一直線上に並んだ状態になる。なお、フォーク２５をホ
ームポジションに収納する場合には、第１の駆動軸13Ｃ
が固定されたまま、共通駆動アーム２３及び第２の駆動
軸13Ｄが反時計方向に回動される。

【００４５】次に、図７（Ａ）に示すようなホームポジ
ションにあるフォーク２６を水平方向に移動させる場
合、まず、駆動制御装置２４により第２の駆動軸13Ｄが
固定され、第１の駆動軸13Ｃ及び共通駆動アーム２３が
同期して回動される（第２の制御方法）。これにより、
第１の駆動軸13Ｃから搬送アーム２１に回転力が与えら
れ、搬送アーム２１が第１の固定軸13Ａを中心として回
動する。この際に、図７（Ｂ）に示すように共通駆動ア
ーム２３が反時計方向に回転し、この回転方向を打ち消
す方向に搬送アーム２１が回動する。これにより、見か
け上搬送アーム２１は静止状態を保持し、フォーク２５
が共通駆動アーム２３上に取り込まれた状態で共通駆動
アーム２３と同様に旋回する。

【００４６】また、共通駆動アーム２３が反時計方向に
回転し、その最大回動時には、図７（Ｃ）に示すように
フォーク２６，搬送アーム２２及び共通駆動アーム２３
が一直線上に並んだ状態になる。なお、フォーク２６を
ホームポジションに収納する場合には、第２の駆動軸13
Ｄが固定されたまま、共通駆動アーム２３及び第１の駆
動軸13Ｃが時計方向に回動される。

【００４７】さらに、図８（Ａ）に示すようなホームポ
ジションにあるフォーク２５及び２６を９０°，180
°，270 °及び360 °に旋回させる場合、まず、駆動制
御装置２４により第１の駆動軸13Ｃ，第２の駆動軸13Ｄ
及び共通駆動アーム２３が同期して回動される（第３の
制御方法）。これにより、第１の駆動軸13Ｃから搬送ア
ーム２１に角度９０°に相当する回転力が与えられ、搬
送アーム２１が第１の固定軸13Ａを中心として回動す
る。また、第２の駆動軸13Ｄから搬送アーム２２に回転
力が与えられ、搬送アーム２２が第２の固定軸13Ｂを中
心として回動する。

【００４８】この際に、共通駆動アーム２３の回転方向
を打ち消す方向に搬送アーム２１及び搬送アーム２２が
回動する。これにより、図８（Ｂ）に示すようにフォー
ク２５，２６及び搬送アーム２１，２２が見かけ上，静
止した状態で共通駆動アーム２３がホームポジションか
ら９０°だけ旋回する。以下同様に図８（Ｃ）に示すよ
うにフォーク２５，２６及び搬送アーム２１を見かけ
上，静止した状態で180 °に旋回させことができる。

【００４９】なお、本発明の第１の実施例において、必
要に応じてＺ軸調整装置２７により、共通駆動アーム２
３が高さ方向，例えば、液晶表示パネルを載置した状態
の共通駆動アーム２３が垂直方向に移動される。このよ
うにして、本発明の第１の実施例に係る多関節搬送ロボ
ットによれば、図４に示すように、共通駆動アーム２３
及び駆動制御装置２４と、１組の搬送アーム２１，２
２，フォーク２５，２６と、Ｚ軸調整装置２７とを備え
ている。

【００５０】このため、従来例の３つの基本動作，すな
わち、搬送アーム２１，２２を介して搬送元と搬送先
との間で，フォーク２５，２６を往復させること、フ
ォーク２５又はフォーク２６に載置された液晶表示パネ
ルを搬送先に移動して、それを受渡し搬送元に帰還する
こと、搬送先にフォーク２５又はフォーク２６を移動
し、搬送先から液晶表示パネルを受取り搬送元に帰還す
ること、これに加えて、搬送先の受渡し条件を変える
ことなく、フォーク２５に載置された液晶表示パネルを
搬送先に移動して、それを搬送先の他の液晶表示パネル
と交換し、当該液晶表示パネルをフォーク２６に載置し
て搬送元に帰還させることが可能となる。

【００５１】これにより、図26に示したような２台の多
関節搬送ロボットを組み合わせた勝手違いロボットシス
テムに比べて、多関節搬送部の旋回半径を縮小すること
ができる。また、当該多関節搬送ロボットの機能向上が
図られ、それを応用した各機能処理システムを構成する
ことが可能となる。なお、本発明の第１の実施例によれ
ば、共通駆動部を高さ方向に移動するＺ軸調整装置２７
が設けられる。このため、搬送先の受渡し条件を変える
ことなく、被搬送物の受渡し作業を再現性良くかつ正確
に行うことが可能となる。

【００５２】（２）第２の実施例の説明 図９は、本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの構成図であり、図10は、その各アームの構成図であ
る。図11は、そのクラッチの構成図であり、図12は、多
関節搬送ロボットの補足説明図である。図13〜15は、本
発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボットの動作説
明図（その１〜３）である。

【００５３】第２の実施例では第１の実施例と異なり、
搬送アーム３１，３２を係合する共通駆動屈曲アーム３
３が角度β°を有するものであり、本発明の第１，３，
５，６の多関節搬送装置を組合わせたものである。例え
ば、円形状の被搬送物３０を搬送する２アーム型の多関
節搬送ロボットは、図９において、搬送アーム３１，３
２，共通駆動屈曲アーム３３，駆動制御装置３４，フラ
ットフォーク３５，３６及び電動機４４から成る。

【００５４】すなわち、搬送アーム３１は第１の多関節
駆動部１１の他の一例であり、フラットフォーク３５を
一方向に伸縮するものである。搬送アーム３１の一方の
側は第１の固定軸23Ａに嵌合され、同軸23Ａを中心に回
転する。搬送アーム３１の他方の側には、自由に可動す
るフラットフォーク３５が設けられる。搬送アーム３２
は第２の多関節駆動部１２の他の一例であり、フラット
フォーク３５と独立したフラットフォーク３６を一方向
に伸縮するものである。搬送アーム３２の一方の側は図
10に示すような第２の固定軸23Ｂに嵌合され、同軸23Ｂ
を中心に回転する。搬送アーム３２の他方の側には、自
由に可動するフラットフォーク３６が設けられる。

【００５５】搬送アーム３２の高さは、本発明の第２の
実施例では搬送アーム３１の高さより低く設計される。
これは、円形状の被搬送物３０をフラットフォーク（以
下単にフォークという）３５及び３６に載置した状態
で、これらを共通駆動屈曲アーム３３上に取り込むため
である。これにより、図９や図12に示すように、フォー
ク３５及び３６が共通駆動屈曲アーム３３上に取り込ま
れる状態となる。また、フォーク３５の載置面からフォ
ーク３６の載置面までの間隔が、被搬送物３０の厚みｔ
０と、フォーク３５の厚みｔ１と隙間ｇを加算した載置
間距離Ｄｚに規定することができる。例えば、フォーク
３５の載置面をクランク状に下げる。

【００５６】共通駆動屈曲アーム３３は共通駆動部１３
の他の一例であり、搬送アーム３１，３２に回転力を与
えたり、ホームポジションにある多関節搬送部を旋回さ
せるものである。ここで、第１の実施例と異なり第２の
実施例では図10の共通駆動屈曲アーム３３が「く」の字
型に屈曲されたアーム状を構成する。例えば、共通駆動
屈曲アーム３３が角度β°を有する。角度β°は第１の
固定軸23Ａと第２の固定軸23Ｂと第１，第２の駆動軸23
Ｃ，23Ｄの中心とを結ぶ二辺の成す角度である。このよ
うにすることで、当該多関節搬送部の旋回半径を小さく
することができ、また、両フォーク３５及び３６を揃え
ることができる。このことから被搬送物を同一方向に伸
縮させることができる。これについては図13〜15におい
て詳述する。

【００５７】駆動制御装置３４は駆動制御手段１４の他
の一例であり、電動機34Ａ，動力伝達制御機34Ｂ，34Ｃ
を有する。電動機34Ａは、共通駆動屈曲アーム３３を回
動制御するものである。動力伝達制御機34Ｂ，34Ｃは、
電動機34Ａの回転力に基づいて第１の駆動軸23Ｃ及び第
２の駆動軸23Ｄを回動制御する。動力伝達制御機34Ｂ，
34Ｃについては図11において詳述する。

【００５８】電動機４４は、駆動制御装置３４を共通駆
動屈曲アーム３３の軸23Ｄ（23Ｃ）を中心にして回動す
る。すなわち、駆動制御装置３４は電動機34Ａ及び動力
伝達制御機34Ｂ，34Ｃが収納された筐体が、内部の駆動
軸に対して独立に、しかも、当該搬送ロボットの躯体に
対して３６０度回転可能な状態で係合される。例えば、
筐体はベアリング44Ａにより支持される。この筐体に設
けられたプーリーに電動機４４から回転力が伝達され
る。

【００５９】動力伝達制御機（以下単にクラッチともい
う）34Ｂ，34Ｃは図11に示すようなクラッチ400 から成
る。図11において、クラッチ400 は、クラッチ板401,
第１，第２のプーリー402, 403, クラッチ固定／軸受け
部404 ，駆動軸405 ，軸受け部406 ，復元バネ407 及び
エアシリンダ408 を有する。クラッチ板401 は第２のプ
ーリー403 及び駆動軸405 に固定され、かつ、両面に凸
部を有する。凸部はクラッチ板401 の側面であって、周
囲３６０°中一か所設けられる。また、クラッチ板401
はクラッチ固定／軸受け部404 及び軸受け部406 におい
て駆動可能である。クラッチ板401 の機能は、復元バネ
407 及びエアシリンダ408 からの外力により、動力伝達
の断続をする。

【００６０】第１のプーリー402 は駆動軸405 に対して
自由に回転可能な状態で係合され、かつ、片面に凹部を
有する。例えば、電動機34Ａの回転力に基づいて回転さ
れる。第２のプーリー403 は駆動軸405 に固定され、ク
ラッチ板401 を第１のプーリー402 に接続することで、
その回転力に基づいて回転される。クラッチ固定／軸受
け部404 は凹部を有し、エアシリンダ408 の動作に基づ
いてクラッチ板401 の凸部とかみ合って、それを固定す
る。

【００６１】復元バネ407 はクラッチ板401 の凸部をク
ラッチ固定／軸受け部404 の凹部に押し込む力を発生す
る。エアシリンダ408 は、復元バネ407 の押し込み力に
打ち勝つ力を発生し、クラッチ板401 を駆動軸方向に駆
動するものである。これにより、エアシリンダ408 がＯ
FF動作（ａ側）のときには、軸受け部404の凹部にクラ
ッチ板401 の凸部がかみ合って、それが固定され、第１
のプーリー402 が電動機34Ａにより回転されるが、第２
のプーリー403 には回転力が伝達されない。

【００６２】反対に、エアシリンダ408 がＯＮ動作（ｂ
側）のときには、軸受け部404 の凹部からクラッチ板40
1 の一方の凸部が外れ、その反対側の凸部が第１のプー
リー402 の凹部にかみ合い、電動機34Ａの回転力が、第
２のプーリー403 に伝達される。なお、クラッチ板401
に基準マークが設けられ、それを検出する位置センサ50
0 が備えられる。このマークとセンサ500 は、電源投入
時等の制御初期状態を認識するものである。これによ
り、例えば、フォーク３５，３６がホームポジションに
あるか否か等のイニシャライズ動作の制御が容易にな
る。

【００６３】フォーク３５は第１の搬送部１５の他の一
例であり、例えば、直径Ｄ＝450 〔ｍｍ〕の被搬送物３
０を載置するものである。フォーク３６は第２の搬送部
１６の他の一例であり、同様なサイズの被搬送物３０を
載置するものである。フォーク３５，３６は第１の実施
例と異なり第２の実施例では、ホームポジション上で重
なり合う。

【００６４】ここで、図12の平面図を参照しながらフォ
ーク３５及び３６を共通駆動屈曲アーム３３上に取り込
んだ状態（ホームポジション）の多関節搬送部の旋回半
径Ｒ１について説明をする。本発明の第２の実施例で
は、直径Ｄ＝450 〔ｍｍ〕の被搬送物３０を載置試料と
した場合に、本発明者の計算結果によれば、多関節搬送
部の最小旋回半径Ｒ１を 309〔ｍｍ〕とすることができ
る。但し、図12において、搬送アーム３１や３２の関節
間距離Ａを 248.7〔ｍｍ〕とし、収納時の搬送アーム３
１や３２の回転半径Ｒ２を 276.1〔ｍｍ〕とし、試料の
軌跡半径Ｒ３を 308.9〔ｍｍ〕とし、ホームポジション
上の共通駆動屈曲アーム３３と搬送アーム３１や３２と
の交差角αを51.5°とし、試料と各方向との載置間隙
ａ，ｃをそれぞれａ＝15，ｃ＝10〔ｍｍ〕とした場合で
ある。なお、搬送アーム３１や３２の関節部の駆動半径
ｄは６０〔ｍｍ〕であり、共通駆動屈曲アーム３３の角
度β°は 180−α＝128.5 °である。

【００６５】次に、本発明の第２の実施例に係る多関節
搬送ロボットの動作について説明をする。例えば、図13
（Ａ）に示すようなホームポジションにあるフォーク３
５を水平方向に移動させる場合、まず、第１の駆動軸23
Ｃが固定され、第２の駆動軸23Ｄ及び共通駆動屈曲アー
ム３３が同期して回動される（第１の制御方法）。具体
的には、クラッチ34Ｂがａ１側に移動され、クラッチ34
Ｃがｂ２側に移動されることで、共通駆動屈曲アーム３
３及び第２の駆動軸23Ｄが駆動するが、第１の駆動軸23
Ｃが固定される。これにより、第２の駆動軸23Ｄから搬
送アーム３２に回転力が与えられ、搬送アーム３２が第
２の固定軸23Ｂを中心として回動する。この際に、図13
（Ｂ）に示すように共通駆動屈曲アーム３３が時計方向
に回転し、この回転方向を打ち消す方向に搬送アーム３
２が回動する。これにより、見かけ上，搬送アーム３２
は静止状態を保持し、フォーク３６が共通駆動屈曲アー
ム３３上に取り込まれた状態で共通駆動屈曲アーム３３
と同様に旋回する。

【００６６】また、共通駆動屈曲アーム３３が時計方向
に回転し、その最大回動時には、図13（Ｃ）に示すよう
にフォーク３５，搬送アーム３１及び共通駆動屈曲アー
ム３３が並んだ状態になる。なお、フォーク３５をホー
ムポジションに収納する場合には、第１の駆動軸23Ｃが
固定されたまま、共通駆動屈曲アーム３３及び第２の駆
動軸23Ｄが反時計方向に回動される。

【００６７】次に、図14（Ａ）に示すようなホームポジ
ションにあるフォーク３６を水平方向に移動させる場
合、まず、第２の駆動軸23Ｄが固定され、第１の駆動軸
23Ｃ及び共通駆動屈曲アーム３３が同期して回動される
（第２の制御方法）。具体的には、クラッチ34Ｂがｂ１
側に移動され、クラッチ34Ｃがａ２側に移動されること
で、共通駆動屈曲アーム３３及び第１の駆動軸23Ｃが駆
動するが、第２の駆動軸23Ｄが固定される。

【００６８】これにより、第１の駆動軸23Ｃから搬送ア
ーム３１に回転力が与えられ、搬送アーム３１が第１の
固定軸23Ａを中心として回動する。この際に、図14
（Ｂ）に示すように共通駆動屈曲アーム３３が反時計方
向に回転し、この回転方向を打ち消す方向に搬送アーム
３１が回動する。これにより、見かけ上，搬送アーム３
１は静止状態を保持し、フォーク３５が共通駆動屈曲ア
ーム３３上に取り込まれた状態で共通駆動屈曲アーム３
３と同様に旋回する。

【００６９】また、共通駆動屈曲アーム３３が反時計方
向に回転し、その最大回動時には、図14（Ｃ）に示すよ
うにフォーク３６，搬送アーム３２及び共通駆動屈曲ア
ーム３３が並んだ状態になる。なお、フォーク３６をホ
ームポジションに収納する場合には、第２の駆動軸23Ｄ
が固定されたまま、共通駆動屈曲アーム３３及び第１の
駆動軸23Ｃが時計方向に回動される。

【００７０】さらに、図15（Ａ）に示すようなホームポ
ジションにあるフォーク３５及び３６を９０°，180
°，270 °及び360 °に旋回させる場合、まず、第１の
駆動軸23Ｃ，第２の駆動軸23Ｄ及び共通駆動屈曲アーム
３３が同期して回動される（第３の制御方法）。具体的
には、クラッチ34Ｂがａ１側に移動され、クラッチ34Ｃ
がａ２側に移動されることで、共通駆動屈曲アーム３３
及び第１，第２の駆動軸23Ｃ，23Ｄが同期して駆動され
る。この状態で、駆動制御装置３４が電動機４４により
当該アーム３３の軸23Ｃ，23Ｄを中心にして旋回され
る。

【００７１】これにより、第１の駆動軸23Ｃから搬送ア
ーム３１に角度９０°に相当する回転力が与えられ、搬
送アーム３１が第１の固定軸23Ａを中心として回動す
る。また、第２の駆動軸23Ｄから搬送アーム３２に回転
力が与えられ、搬送アーム３２が第２の固定軸23Ｂを中
心として回動する。この際に、共通駆動屈曲アーム３３
の回転方向を打ち消す方向に搬送アーム３１及び搬送ア
ーム３２が回動する。これにより、図15（Ｂ）に示すよ
うにフォーク３５，３６及び搬送アーム３１，３２が見
かけ上，静止した状態で共通駆動屈曲アーム３３がホー
ムポジションから９０°だけ旋回する。

【００７２】以下同様に図15（Ｃ）に示すようにフォー
ク３５，３６及び搬送アーム３１，３２を見かけ上，静
止した状態で180 °に旋回させことができる。このよう
にして、本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トによれば、図10に示すように、共通駆動屈曲アーム３
３，駆動制御装置３４及び１組の搬送アーム３１，３
２，フォーク３５，３６等を備えている。

【００７３】このため、第１の実施例と同様に、搬送
アーム３１，３２を介して搬送元と搬送先との間で，フ
ォーク３５，３６を往復させること、フォーク３５又
はフォーク３６に載置された円形状の被搬送物３０を搬
送先に移動して、それを受渡し搬送元に帰還すること、
搬送先にフォーク３５又はフォーク３６を移動し、搬
送先から被搬送物３０を受取り搬送元に帰還すること、
搬送先の受渡し条件を変えることなく、フォーク３５
に載置された被搬送物３０を搬送先に移動して、それを
搬送先の他の円形状の被搬送物３０と交換し、当該被搬
送物３０をフォーク３６に載置して搬送元に帰還させる
ことが可能となる。

【００７４】さらに、本発明の第２の実施例によれば、
図９に示すように、「く」の字型に屈曲された共通駆動
屈曲アーム３３が採用される。このため、共通駆動屈曲
アーム３３上に両フォーク３５及び３６を取り込んだ状
態において、従来例のような収納角度γを設けれること
なく、両フォーク３５及び３６を重なった状態に揃える
ことが可能となる。このことで、被搬送物３０を同一方
向に伸縮させることが可能となる。

【００７５】これにより、第１の実施例に比べて、各フ
ォーク３５及び３６の伸縮方向を切り換える旋回時間が
無用となり、被搬送物３０の入れ替え時間の短縮化を図
ることが可能となる。さらに、本発明の第２の実施例に
よれば、図10に示すように、フォーク３５の載置面とフ
ォーク３６の載置面との間が載置間距離Ｄｚに規定され
る。

【００７６】このため、共通駆動屈曲アーム３３上に両
フォーク３５及び３６を取り込んだ状態ときに、被搬送
物３０の厚みｔ０と、フォーク３５の厚みｔ１と隙間ｇ
を加算した載置間距離Ｄｚが小さくなるように、フォー
ク３５の載置面がクランク状に下げられることにより、
高さ方向の制御（Ｚ動作）を省くことができ、第１の実
施例のような高さ調整装置２７を省略することが可能と
なる。

【００７７】また、本発明の第２の実施例によれば、図
９や図11に示すように、駆動制御装置３４に電動機34Ａ
及びクラッチ34Ｂ，34Ｃが設けられ、当該装置３４を旋
回する電動機４４が設けられる。このため、電動機34Ａ
の回転力に基づいて共通駆動屈曲アーム３３を回動制御
すること、及び、その回転力に基づいてクラッチ34Ｂ，
34Ｃにより、第１の駆動軸23Ｃ及び第２の駆動軸23Ｄを
容易に、かつ、それらを独立して回動制御することがで
きる。また、フォーク３５，３６がホームポジション上
に収納された状態で、当該装置３４を電動機４４により
旋回することができる。

【００７８】これにより、高価な多回転アブソリュート
エンコーダ等を用いた３電動機制御（第１の実施例）に
比べて、電源投入時等の制御初期状態を容易に認識する
ことができ、第１の駆動軸23Ｃ，第２の駆動軸23Ｄ及び
共通駆動屈曲アーム３３の同期制御等の一連の自動制御
を容易に実行することが可能となる。このように、当該
多関節搬送ロボットの機能向上が図られ、それを応用し
た各機能処理システムのスループットの向上を図ること
が可能となる。

【００７９】（３）第３の実施例の説明 図16は、本発明の第３の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの構成図であり、図17は、そのホームポジションのア
ーム状態図である。第３の実施例では第２の実施例と異
なり、フラットフォーク５５，５６が角形状の被搬送物
５０を搬送するものである。

【００８０】すなわち、第３の実施例の多関節搬送ロボ
ットは、図16において、搬送アーム５１，５２，共通駆
動屈曲アーム５３，駆動制御装置５４及びフラットフォ
ーク５５，５６から成る。すなわち、搬送アーム５１は
第１の多関節駆動部１１の他の一例であり、フラットフ
ォーク５５を一方向に伸縮するものである。搬送アーム
５１の一方の側は第１の固定軸53Ａに嵌合され、同軸53
Ａを中心に回転する。搬送アーム５１の他方の側には、
自由に可動するフラットフォーク５５が設けられる。

【００８１】搬送アーム５２は第２の多関節駆動部１２
の他の一例であり、フラットフォーク５５と独立したフ
ラットフォーク５６を一方向に伸縮するものである。搬
送アーム５２の一方の側は図16に示すような第２の固定
軸53Ｂに嵌合され、同軸53Ｂを中心に回転する。搬送ア
ーム５２の他方の側には、自由に可動するフラットフォ
ーク５６が設けられる。

【００８２】搬送アーム５２の高さは、本発明の第２の
実施例と同様に搬送アーム５１の高さより低く設計され
る。これは、角形状の被搬送物５０をフラットフォーク
（以下単にフォークという）５５及び５６に載置した状
態で、これらを共通駆動屈曲アーム５３上に取り込むた
めである。フォーク５５の載置面を第２の実施例と同様
にクランク状に下げる。

【００８３】これにより、図17に示すように、フォーク
５５及び５６が共通駆動屈曲アーム５３上に取り込まれ
る状態となる。また、フォーク５５の載置面からフォー
ク５６の載置面までの間隔が、第２の実施例と同様に被
搬送物５０の厚みｔ０と、フォーク５５の厚みｔ１と隙
間ｇを加算した載置間距離Ｄｚに規定することができ
る。

【００８４】共通駆動屈曲アーム５３は共通駆動部１３
の他の一例であり、搬送アーム５１，５２に回転力を与
えたり、ホームポジションにある多関節搬送部を旋回さ
せるものである。ここで、共通駆動屈曲アーム５３が第
２の実施例と同様に、「く」の字型に屈曲されたアーム
状を構成する。例えば、共通駆動屈曲アーム５３が角度
β°を有する。角度β°は第１の固定軸53Ａと第２の固
定軸53Ｂと第１，第２の駆動軸53Ｃ，53Ｄの中心とを結
ぶ二辺の成す角度である。このようにすることで、両フ
ォーク５５及び５６を揃えることができ、被搬送物５０
を同一方向に伸縮させることができる。

【００８５】フォーク５５は第１の搬送部１５の他の一
例であり、例えば、450 〔ｍｍ〕×450 〔ｍｍ〕の被搬
送物５０を載置するものである。フォーク５６は第２の
搬送部１６の他の一例であり、同様なサイズの被搬送物
５０を載置するものである。また、フォーク５５，５６
は第２の実施例と同様にホームポジション上で重なり合
う。なお、角形状の被搬送物５０を載置するために、第
２の実施例に比べて、フォーク５５や５６の載置面が長
くなる。このことで、図17の平面図に示すように、フォ
ーク５５及び５６を共通駆動屈曲アーム５３上に取り込
んだ状態（ホームポジション）の多関節搬送部の旋回半
径Ｒ１は、第１の実施例の場合の旋回半径Ｒ２よりも大
きくなる。

【００８６】その他の構成及び部材は第１，第２の実施
例と同様であり、また、フォーク５５，５６の動作は、
第２の実施例と同様となるため、その説明を省略する。
このようにして、本発明の第３の実施例に係る多関節搬
送ロボットによれば、図16に示すように、共通駆動屈曲
アーム５３及び１組の搬送アーム５１，５２，フォーク
５５，５６等を備えている。

【００８７】このため、第２の実施例と同様に、搬送
アーム５１，５２を介して搬送元と搬送先との間で，フ
ォーク５５，５６を往復させること、フォーク５５又
はフォーク５６に載置された角形状の被搬送物５０を搬
送先に移動して、それを受渡し搬送元に帰還すること、
搬送先にフォーク５５又はフォーク５６を移動し、搬
送先から被搬送物５０を受取り搬送元に帰還すること、
搬送先の受渡し条件を変えることなく、フォーク５５
に載置された被搬送物５０を搬送先に移動して、それを
搬送先の他の角形状の被搬送物５０と交換し、当該被搬
送物５０をフォーク５６に載置して搬送元に帰還させる
ことが可能となる。

【００８８】これにより、第１の実施例に比べて数
〔％〕程度，多関節搬送部の旋回半径が大きくなるが、
半導体ウエハに比べて大きな液晶パネル等を確実に搬送
することが可能となる。また、当該多関節搬送ロボット
の機能向上が図られ、それを応用した各機能処理システ
ムのスループットの向上を図ることが可能となる。 （４）応用システムの説明 図18は本発明の実施例に係る多関節搬送ロボットの応用
システムの説明図であり、図19〜21は、その動作説明図
（その１〜３）をそれぞれ示している。

【００８９】例えば、液晶表示パネル４３をエッチング
やアッシングする連続処理システムは、図18に示すよう
に、センダー側カセットチャンバ３８，エッチングチャ
ンバ３９，アッシングチャンバ４０，レシーブ側チャン
バ４１及びトランスファチャンバ４２から成る。すなわ
ち、各チャンバ３８〜４１はｎ個のプロセスチャンバＰ
ｎの一例であり、ｎ＝４の場合である。カセットチャン
バ３８は被加工基板１９の一例となる450 〔ｍｍ〕×45
0 〔ｍｍ〕の液晶表示パネル４３を格納する真空収納部
である。エッチングチャンバ３９は液晶表示パネル４３
をドライエッチングする真空処理部である。アッシング
チャンバ４０はエッチング済みの液晶表示パネル４３を
アッシングする真空処理部である。レシーブチャンバ４
１はアッシング済みの液晶表示パネル４３を受取る真空
収納部である。各チャンバ３８〜４１にはゲートバルブ
38Ａ，39Ａ，40Ａ，41Ａ，38Ｂ，41Ｂが設けられる。

【００９０】トランスファチャンバ４２は基板搬送手段
１８の一例であり、液晶表示パネル４３を各チャンバ３
８〜４１に出し入れするものである。当該応用システム
のトランスファチャンバ４２には第１〜第３の実施例に
係る多関節搬送ロボットが適用される。なお、各チャン
バ３８〜４１の真空状態を保持するため、トランスファ
チャンバ４２の共通駆動部２３及び各駆動軸13Ｃ，13Ｄ
等に真空シールが設けられる。真空シールには磁性流体
シール，ウイルソンシール及びＯリングシールを用い
る。

【００９１】次に、本発明の実施例に係る多関節搬送ロ
ボットを応用したプロセスシステムの動作について説明
をする。例えば、液晶表示パネル43Ａを各チャンバ３
９，４０に搬送してエッチングやアッシングする場合、
図19（Ａ）に示すように搬送アーム２２を水平方向に移
動させて、不図示のフォークに液晶表示パネル43Ａを載
置する。このとき、他方の搬送アーム２１，フォーク２
５はホームポジションにある。

【００９２】次いで、図19（Ｂ）に示すように液晶表示
パネル43Ａを載置した状態で搬送アーム２２をホームポ
ジションに戻す。この状態で、多関節搬送部を９０°反
時計方向に回転させる。その後、図20（Ａ）に示すよう
に液晶表示パネル43Ａとエッチング済みの液晶表示パネ
ル43Ｂとを交換する。この際に、第１の実施例に係る多
関節搬送ロボットを適用した場合には、図４で説明した
ようなＺ軸調整装置２７により受取位置の高さ調整をす
るが、第２，第３の実施例に係る多関節搬送ロボットを
適用した場合には、それが全く必要無い。

【００９３】従って、液晶表示パネル43Ａをホームポジ
ションで保持したままで、ホームポジションからチャン
バ３９に搬送アーム２１を水平方向に移動する。チャン
バ３９で液晶表示パネル43Ｂをフォーク２５に載置して
搬送アーム２１をホームポジションに戻す。その後、液
晶表示パネル43Ａをチャンバ３９に受け渡す。この時点
で、フォーク２６は無載置状態となり、このままホーム
ポジションに戻る。なお、搬送アーム２１はホームポジ
ションで液晶表示パネル43Ｂを保持した状態を維持す
る。

【００９４】さらに、図20（Ｂ）に示すように液晶表示
パネル43Ｂを載置した状態で、多関節搬送部を９０°反
時計方向に回転させ、液晶表示パネル43Ｂとアッシング
済みの液晶表示パネル43Ｃとを交換する。この際に、液
晶表示パネル43Ｂをホームポジションで保持したまま
で、ホームポジションからチャンバ４０に搬送アーム２
２を水平方向に移動する。チャンバ４０で液晶表示パネ
ル43Ｃをフォーク２６に載置して搬送アーム２２をホー
ムポジションに戻す。

【００９５】その後、液晶表示パネル43Ｂをチャンバ４
０に受け渡す。この時点で、フォーク２５は無載置状態
となり、このままホームポジションに戻る。なお、搬送
アーム２２はホームポジションで液晶表示パネル43Ｃを
保持した状態を維持する。その後、液晶表示パネル43Ｃ
を載置した状態で、多関節搬送部を９０°反時計方向に
回転させる。

【００９６】さらに、図21（Ａ）に示すように液晶表示
パネル43Ｃをチャンバ４１に搬入する。この際に、液晶
表示パネル43Ｃをホームポジションからチャンバ４１に
搬送アーム２２を水平方向に移動する。その後、搬送ア
ーム２２をホームポジションに戻す。この時点で、フォ
ーク２５，２６は無載置状態となる。この状態で、多関
節搬送部を270 °時計方向に回転させる。

【００９７】そして、図21（Ｂ）に示すような元の位置
に多関節搬送部が戻り、図19（Ａ）と同様に、搬送アー
ム２２を水平方向に移動し、不図示のフォークに新たな
液晶表示パネル43Ｄが載置される。以後、液晶表示パネ
ル43Ｄがエッチング及びアッシングされる。これによ
り、液晶表示パネル43Ａ〜43Ｄ…等を順次エッチングや
アッシングすることができる。

【００９８】このようにして、本発明の実施例に係る半
導体プロセスシステムによれば、トランスファチャンバ
４２が第１〜第３の実施例に係るいずれかの多関節搬送
ロボットから成り、予め、ホームポジション上で保持す
る液晶表示パネル43Ａとチャンバ３９内の処理済みの液
晶表示パネル43Ｂとが交換される。また、ホームポジシ
ョン上で保持する液晶表示パネル43Ｂとチャンバ４０内
の処理済みの液晶表示パネル43Ｃとが交換される。

【００９９】このため、各チャンバ３９，４０から処理
済みの液晶表示パネル43Ｂ，43Ｃ等が搬出されてから、
次の液晶表示パネル43Ａや43Ｂを搬入するまでの間のセ
ット時間を従来例に比べて、大幅に短縮することが可能
となる。これにより、従来例のような各チャンバ３９，
４０の無駄な待ち時間を極力低減することが可能とな
り、各チャンバ３９や４０等のスループットの向上を図
ることが可能となる。

【０１００】図22〜24は、本発明の他の実施例に係る多
関節搬送ロボットを応用した半導体プロセスシステムの
構成図（その１〜３）をそれぞれ示している。図22
（Ａ）は単一プロセスチャンバを有する半導体プロセス
システムの平面図である。図22（Ａ）において、枚葉式
の半導体プロセスシステムは、エッチングチャンバＰ
１，トランスファチャンバＴ１及びカセットロードロッ
クチャンバＣ１から成る。チャンバＴ１は本発明の第１
〜第３の実施例に係る多関節搬送ロボットから成り、チ
ャンバＣ１に収納された被加工基板１９を取り出し、そ
れを保持してチャンバＰ１に搬入する。チャンバＰ１は
被加工基板１９をエッチングする。これが終了すると、
予め保持する被加工基板１９とエッチング終了済みの被
加工基板１９と交換し、それをチャンバＣ１に戻す。な
お、ゲートバルブＧ１，Ｇ２は基板交換時に開閉し、ゲ
ートバルブＧ３はカセット交換時にそれぞれ開閉する。

【０１０１】図22（Ｂ）は２つのプロセスチャンバを有
する半導体プロセスシステムの平面図である。図22
（Ｂ）において、並列処理が可能な半導体プロセスシス
テムは、２つのエッチングチャンバＰ１，Ｐ２と、トラ
ンスファチャンバＴ２と、カセットロードロックチャン
バＣ２から成る。チャンバＴ２は本発明の第１〜第３の
実施例に係る多関節搬送ロボットから成る。チャンバＴ
２はチャンバＣ２に収納された被加工基板１９を取り出
し、それを保持してチャンバＰ１に搬入する。このと
き、チャンバＴ２はエッチング終了済みの被加工基板１
９をチャンバＰ１から受取り、それをチャンバＣ２に戻
す。以下同様にして、搬送先のチャンバＰ１，Ｐ２や搬
送元のチャンバＣ２で被加工基板１９が交換される。

【０１０２】図23は３つのプロセスチャンバを有する半
導体プロセスシステムの平面図である。図23において、
３つの並列処理が可能な半導体プロセスシステムは、３
つのエッチングチャンバＰ１〜Ｐ３と、トランスファチ
ャンバＴ３と、カセットロードロックチャンバＣ３から
成る。チャンバＴ３は本発明の第１〜第３の実施例に係
る多関節搬送ロボットから成る。チャンバＴ３はチャン
バＣ３に収納された被加工基板１９を取り出し、それを
保持してチャンバＰ１に搬入する。このとき、チャンバ
Ｔ３はエッチング終了済みの被加工基板１９をチャンバ
Ｐ１から受取り、それをチャンバＣ３に戻す。以下同様
にして、搬送先のチャンバＰ１〜Ｐ３や搬送元のチャン
バＣ３で被加工基板１９が交換される。

【０１０３】なお、エッチングチャンバＰ３をアッシン
グ処理用のチャンバに換えると、先に説明したような連
続処理システムを構成することが可能となる。図24は４
つのプロセスチャンバを有する半導体プロセスシステム
の平面図である。図24において、４つの並列処理が可能
な半導体プロセスシステムは、４つのエッチングチャン
バＰ１〜Ｐ４と、トランスファチャンバＴ４と、カセッ
トロードロックチャンバＣ４から成る。

【０１０４】チャンバＴ４は本発明の第１〜第３の実施
例に係る多関節搬送ロボットから成る。チャンバＴ４は
チャンバＣ４に収納された被加工基板１９を取り出し、
それを保持してチャンバＰ１に搬入する。このとき、チ
ャンバＴ４はエッチング終了済みの被加工基板１９をチ
ャンバＰ１から受取り、それをチャンバＣ４に戻す。以
下同様にして、搬送先のチャンバＰ１〜Ｐ４や搬送元の
チャンバＣ４で被加工基板１９が交換される。

【０１０５】なお、チャンバＰ１を予備加熱処理用の真
空処理装置に換え、チャンバＰ２，Ｐ３を気相成長用の
真空処理装置に換え、チャンバＰ４を基板冷却用の真空
処理装置に換えると、２種類の連続処理を行うことが可
能となる。すなわち、チャンバＣ４から搬出した被加工
基板１９を予備加熱，第１の気相成長及び基板冷却等の
一連の処理に供すること、及び、チャンバＣ４から搬出
した被加工基板１９を予備加熱，第２の気相成長及び基
板冷却等の一連の処理に供することが可能となる。

【０１０６】このようにして、本発明の他の実施例に係
る半導体プロセスシステムによれば、各トランスファチ
ャンバＴ１〜Ｔ４が本発明の第１〜第３の実施例に係る
多関節搬送ロボットから成る。このため、被加工基板１
９が１〜４個の各チャンバＰ１〜Ｐ４により各種加工処
理をされる際に、トランスファチャンバＴ１〜Ｔ４によ
り被加工基板１９が円滑かつ迅速に出し入れされる。

【０１０７】これにより、各チャンバＰ１〜Ｐ４のスル
ープットの向上を図ることができ、半導体ウエハや液晶
表示パネル等を加工する半導体製造装置の機能向上に寄
与するところが大きい。

【０１０８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の多関節搬
送装置によれば、第１の搬送部の回転面に対して上又は
下側に位置するように第２の搬送部の高さを規定してい
るので、第１及び第２の搬送部を共通駆動部の上部に縮
めたとき、第１の搬送部と第２の搬送部との間に、被搬
送物が入り込めるような高低差を生じさせることができ
る。このため、ホームポジションで、被搬送物を載置し
た下側の第１の搬送部と、その上側の第２の搬送部とを
重ね合わせることができる。従って、ホームポジション
で大きな被搬送物を載置して回転するときも、被搬送物
の旋回半径を小さくすることができる。

【０１０９】本発明の多関節搬送装置によれば、一方の
搬送部が共通駆動部上に取り込まれた状態で、他方の搬
送部が一方向に伸縮されたり、２つの搬送部や２つの多
関節駆動部が静止している状態で、共通駆動部が旋回さ
れるので、従来技術のような３つの基本動作に加え、同
一方向において、一方の搬送部に載置された被搬送物を
搬送先に移動して、それを他方の搬送部を用いて搬送先
の被搬送物と交換することが可能となる。また、本発明
の他の装置によれば、共通駆動部が「く」の字型に屈曲
されたアーム状に構成される。このため、共通駆動部上
に第１，第２の搬送部を取り込んだ状態において、両搬
送部を揃えることが可能となる。このことで、従来例に
比べて装置の旋回半径を小さくすること、及び、被搬送
物を同一方向に伸縮させることが可能となる。また、両
搬送部の切り換え旋回時間が無用となり、被搬送物の入
れ替え時間の短縮化を図ることが可能となる。

【０１１０】さらに、本発明の装置によれば、第１の搬
送部の載置面と第２の搬送部の載置面との間が載置間距
離Ｄｚに規定される。このため、共通駆動部上に両搬送
部を取り込んだ状態ときの載置間距離Ｄｚを小さくする
ことで、高さ方向の制御（Ｚ動作）を省くことができ
る。また、本発明の装置によれば、電動機の回転力に基
づいて共通駆動部を回動制御すること、及び、その回転
力に基づいて動力伝達制御機により、第１の駆動軸及び
第２の駆動軸を容易に回動制御することができる。

【０１１１】さらに、本発明の半導体製造装置によれ
ば、基板搬送手段が本発明の多関節搬送装置から成る。
このため、基板搬送手段により被加工基板を円滑かつ迅
速にプロセスチャンバに出し入れすることが可能とな
る。これにより、半導体ウエハや液晶表示パネル等を加
工する半導体製造装置のコンパクト化、及び、そのスル
ープットの向上に寄与するところが大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る多関節搬送装置及びその制御方法
の原理図（その１）である。

【図２】本発明に係る多関節搬送装置及びその制御方法
の原理図（その２）である。

【図３】本発明に係る半導体製造装置の原理図である。

【図４】本発明の第１の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの構成図である。

【図５】本発明の第１の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの補足説明図である。

【図６】本発明の第１の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの動作説明図（その１）である。

【図７】本発明の第１の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの動作説明図（その２）である。

【図８】本発明の第１の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの動作説明図（その３）である。

【図９】本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの構成図である。

【図10】本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの各アームの構成図である。

【図11】本発明の第２の実施例に係るクラッチの構成図
である。

【図12】本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの補足説明図である。

【図13】本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの動作説明図（その１）である。

【図14】本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの動作説明図（その２）である。

【図15】本発明の第２の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの動作説明図（その３）である。

【図16】本発明の第３の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの構成図である。

【図17】本発明の第３の実施例に係る多関節搬送ロボッ
トの補足説明図である。

【図18】本発明の各実施例に係る多関節搬送ロボットの
応用システムの説明図である。

【図19】本発明の各実施例に係る応用システムの動作説
明図（その１）である。

【図20】本発明の各実施例に係る応用システムの動作説
明図（その２）である。

【図21】本発明の各実施例に係る応用システムの動作説
明図（その３）である。

【図22】本発明の各実施例に係る他の応用システムの構
成図（その１）である。

【図23】本発明の各実施例に係る他の応用システムの構
成図（その２）である。

【図24】本発明の各実施例に係る他の応用システムの構
成図（その３）である。

【図25】従来例に係る第１の多関節搬送装置の説明図で
ある。

【図26】従来例に係る問題点を説明する第２の多関節搬
送装置の構成図である。

【符号の説明】

１１…第１の多関節駆動部、 １２…第２の多関節駆動部、 １３…共通駆動部、 １４…駆動制御手段、 ２４，３４…駆動制御装置、 24Ａ，24Ｂ，24Ｃ，34Ａ，４４…電動機、 34Ｂ，34Ｃ…動力伝達制御機、 １５…第１の搬送部、 １６…第２の搬送部、 １７…高さ調整手段、 １８…基板搬送手段、 ３３…共通駆動屈曲アーム、 13Ａ，23Ａ，53Ａ…第１の固定軸、 13Ｂ，23Ｂ，53Ａ…第２の固定軸、 13Ｃ，23Ｃ，53Ｃ…第１の駆動軸、 13Ｄ，23Ｄ，53Ｄ…第２の駆動軸。

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の搬送部（１５）と、 前記第１の搬送部（１５）の回転面に対して上又は下側
   に位置するように高さを規定した第２の搬送部（１６）
   と、 前記第１の搬送部（１５）を一方向に伸縮する第１の多
   関節駆動部（１１）と、 前記第２の搬送部（１６）を一方向に伸縮する第２の多
   関節駆動部（１２）と、 前記第１の多関節駆動部（１１）の回動中心となる第１
   の固定軸（13Ａ）と前記第２の多関節駆動部（１２）の
   回動中心となる第２の固定軸（13Ｂ）とを有し、かつ、
   前記第１の多関節駆動部（１１）に回転力を与える第１
   の駆動軸（13Ｃ）と前記第２の多関節駆動部（１２）に
   回転力を与える第２の駆動軸（13Ｄ）とを有する共通駆
   動部（１３）と、 前記第１の多関節駆動部（１１）、第２の多関節駆動部
   （１２）及び共通駆動部（１３）を回動制御する駆動制
   御手段（１４）とを備え、 前記第１の搬送部（１５）及び第２の搬送部（１６）を
   前記共通駆動部（１３）の上部に縮めたとき、前記第１
   の搬送部（１５）と第２の搬送部（１６）とを高低差を
   もって重なるようにしたことを特徴とする多関節搬送装
   置。
2. 【請求項２】 前記共通駆動部（１３）を高さ方向に移
   動する高さ調整手段（１７）が設けられることを特徴と
   する請求項１記載の多関節搬送装置。
3. 【請求項３】 前記第１の搬送部（１５）及び第２の搬
   送部（１６）が共通駆動部（１３）上に取り込まれる状
   態を有し、かつ、前記取り込まれた第１の搬送部（１
   ５）の載置面から第２の搬送部（１６）の載置面までの
   間隔が、前記第２の搬送部（１６）に載置する被搬送物
   （２０）の厚み（ｔ０）と、前記第１の搬送部（１５）
   の厚み（ｔ１）と隙間（ｇ）を加算した載置間距離（Ｄ
   ｚ）に規定されることを特徴とする請求項１記載の多関
   節搬送装置。
4. 【請求項４】 前記第１の駆動軸（13Ｃ），第２の駆動
   軸（13Ｄ）及び共通駆動部（１３）を個別に回動制御す
   る電動機（24Ａ，24Ｂ，24Ｃ）を有する駆動制御装置
   （２４）が設けられ、 前記駆動制御装置（２４）は、前記第１の搬送部（１
   ５）と同じ方向に前記第２の搬送部（１６）を伸縮する
   ように前記電動機（24Ａ，24Ｂ，24Ｃ）を制御すること
   を特徴とする請求項１記載の多関節搬送装置。
5. 【請求項５】 前記共通駆動屈曲アーム（３３）を回動
   制御する電動機（34Ａ）と、前記電動機（34Ａ）の回転
   力に基づいて第１の駆動軸（23Ｃ）及び第２の駆動軸
   （23Ｄ）を回動制御する動力伝達制御機（34Ｂ，34Ｃ）
   とを有する駆動制御装置（３４）と、前記駆動制御装置
   （３４）を共通駆動屈曲アーム（３３）の軸を中心にし
   て回動する電動機（４４）が設けられることを特徴とす
   る請求項１記載の多関節搬送装置。
6. 【請求項６】 前記共通駆動部（１３）の回転軸を概略
   垂線とする平面において、該共通駆動部（１３）が
   「く」の字型に屈曲されたアーム状を構成することを特
   徴する請求項１記載の多関節搬送装置。
7. 【請求項７】 前記第１の駆動軸（13Ｃ）を固定し、前
   記第２の駆動軸（13Ｄ）及び共通駆動部（１３）を同期
   させて回動することを特徴とする請求項１〜６記載の多
   関節搬送装置の制御方法。
8. 【請求項８】 前記第２の駆動軸（13Ｄ）を固定し、前
   記第１の駆動軸（13Ｃ）及び共通駆動部（１３）を同期
   させて回動することを特徴とする請求項１〜６記載の多
   関節搬送装置の制御方法。
9. 【請求項９】 前記第１の駆動軸（13Ｃ），第２の駆動
   軸（13Ｄ）及び共通駆動部（１３）を同期させて回動す
   ることを特徴とする請求項１〜６記載の多関節搬送装置
   の制御方法。
10. 【請求項10】 被加工基板（１９）を各種加工処理する
    ｎ個のプロセスチャンバ（Ｐｎ，〔ｎ＝１，２，…
    ｎ〕）と、前記プロセスチャンバ（Ｐｎ）に被加工基板
    （１９）を出し入れする基板搬送手段（１８）とを備
    え、前記基板搬送手段（１８）が請求項１〜６記載の多
    関節搬送装置から成ることを特徴とする半導体製造装
    置。