CN102310992A - 有轨台车系统 - Google Patents

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CN102310992A CN2011101621890A CN201110162189A CN102310992A CN 102310992 A CN102310992 A CN 102310992A CN 2011101621890 A CN2011101621890 A CN 2011101621890A CN 201110162189 A CN201110162189 A CN 201110162189A CN 102310992 A CN102310992 A CN 102310992A
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Abstract

在有轨台车系统中，尽可能地防止在吹出下降气流的洁净室内输送的物品的污染。有轨台车系统(1)是配置在从顶棚的吹出口(7)吹出洁净空气的下降气流(DF)的洁净室内的系统。有轨台车系统(1)具备轨道(2)、输送台车(4)、底盖(5)、侧方盖(6)以及排出口(8)。轨道(2)在洁净室内从顶棚(13)悬挂。输送台车(4)能够沿着轨道(2)行驶而输送物品(S)。底盖(5)覆盖轨道(2)的底部。侧方盖(6)覆盖轨道(2)及输送台车(4)的侧方。排出口(8)设置在底盖(5)及侧盖(6)中的至少某一个上，排出从吹出口(7)导入的下降气流(DF)。

Description

有轨台车系统
技术领域
本发明涉及台车系统，特别涉及在从顶棚吹出下降气流的洁净室内配置的有轨台车系统。
背景技术
以往已知一种有轨台车系统(例如参照专利文献1)，在从顶棚吹出下降气流的洁净室内输送玻璃基板等物品的输送台车在轨道上行驶。在洁净室内，通过从顶棚吹出的下降气流来防止物品的污染。在以往的配置在洁净室内的有轨台车系统中，由盖包围轨道的周围，其中设置扇形过滤机构，将有可能在轨道上产生的尘埃去除。
专利文献1：日本特开2000-269296号公报
在上述以往的结构中，能够去除在轨道上产生的尘埃。最近，在液晶玻璃基板等的大型基板中，不是将基板等的物品密封在货箱(cassette)内输送，而是用开放的货箱输送基板。像这样，在用开放的货箱输送物品的情况下，若仅是去除轨道周围的尘埃，则根据周围的环境，物品有可能在输送中被污染。
发明内容
本发明的课题是在有轨台车系统中尽可能地防止在洁净室内输送的物品的污染。
以下，作为用于解决课题的手段，说明多个实施方式。这些实施方式根据需要能够任意组合。
有关本发明的有轨台车系统是在具有从顶棚吹出洁净空气的下降气流的吹出口的洁净室内配置的系统。有轨台车系统具备轨道、输送台车、底盖、侧方盖以及排出口。轨道在洁净室内从顶棚悬挂。输送台车能够沿着轨道行驶而输送物品。底盖覆盖轨道的底部。侧方盖覆盖轨道及输送台车的侧方。从吹出口向由底盖、侧方盖和顶棚包围的空间吹出下降气流。排出口设置在底盖及侧方盖中的至少某一个上，排出从吹出口导入的下降气流。
在该有轨台车系统中，输送台车在由顶棚、底盖和侧方盖包围的空间内行驶而输送物品。从吹出口向该空间吹出下降气流。吹出的下降气流从排出口排出。
这里，由于从顶棚对作为尘埃产生原因的行驶的输送台车喷吹下降气流，所以即使在输送台车上将物品露出地配置，在物品上也不易附着尘埃。因此，能够尽可能地防止在洁净室内输送的物品的污染。
也可以是，还具备：内侧盖，在上述侧方盖的内侧覆盖轨道的周围；以及扇形过滤机构，吸引内侧盖内的空气。由此，将最有可能产生灰尘的车轮与轨道的接触部分用内侧盖覆盖，将被覆盖的空间的空气用扇形过滤机构吸引，从而能够去除所产生的尘埃。因此，在车轮与轨道之间产生的尘埃不易向物品侧吹出，能够进一步防止物品的污染。
也可以是，内侧盖具有在轨道的两侧配置了一对的第1盖及第2盖，输送台车具备具有比第1盖与第2盖的间隔大的宽度的隔壁部。由此，形成由隔壁部和内侧盖限定的空间，能够辅助基于扇形过滤机构的吸引而使尘埃的流出减少。
也可以是，排出口设置在侧方盖的下部。由此，容易防止物体从空间内掉落。
发明效果
根据本发明，由于从顶棚向作为尘埃产生原因的行驶的输送台车喷吹下降气流，所以即使在输送台车上将物品露出地配置，在物品上也不易附着尘埃。因此，能够尽可能地防止在洁净室内输送的物品的污染。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式的有轨台车系统的俯视图。
图2是轨道的周围的截面图。
图3是输送台车的侧视图。
图4是轨道的周围的放大截面图。
图5是侧方盖的侧视图。
图6是在第2实施方式中相当于第1实施方式的图2的截面图。
图7是在第2实施方式中相当于第1实施方式的图5的截面图。
图8是另一实施方式的侧方盖的相当于图4的侧视图。
符号说明
1有轨台车系统
2轨道
4输送台车
5底盖
6侧方盖
7吹出口
8排出口
9内侧盖
10扇形过滤机构
11行驶轨道
11a第1行驶轨道
11b第2行驶轨道
12行驶引导部
12a第1行驶引导部
12b第2行驶引导部
13顶棚
14行驶空间
15载置部
15a第1安装部
15b第2安装部
15c隔壁部
16行驶部
16a驱动行驶部
16b从动行驶部
17非接触供电线
17a辫编线
17b辫编线
20a驱动框架
20b从动框架
21a左驱动轮
21b右驱动轮
21c左从动轮
21d右从动轮
22a左固定引导辊
22b右固定引导辊
23a左分支引导辊
23b右分支引导辊
24a左驱动马达
24b右驱动马达
28a左拾取机构
28b右拾取机构
29a左安装托架
29b右安装托架
30吊挂部件
31轨道支撑框架
32下降气流用扇形过滤机构
104输送台车
105底盖
106侧方盖
108排出口
109内侧盖
115载置部
115c隔壁部
206侧方盖
208排出口
240台座
具体实施方式
(1)有轨台车系统
<第1实施方式>
如图1及图2所示，本发明的第1实施方式的有轨台车系统1例如是输送在货箱(cassette)C(图2)中露出地收纳的大型玻璃基板等的物品S的系统。有轨台车系统1配置在具有吹出下降气流的吹出口7的洁净室内。有轨台车系统1具备轨道2、输送台车4、底盖5、侧方盖6以及排出口8。此外，有轨台车系统1如图2所示，还具备内侧盖9和设置在内侧盖9内的扇形过滤机构10。
轨道2从顶棚13悬挂。具体而言，在为了吊挂轨道2而通过从顶棚13延伸的吊挂部件30来悬挂的轨道支撑框架31上配置了轨道2。轨道2配置在行驶空间14中。轨道2例如是长圆形的环形状。输送台车4在轨道2上例如向用中空箭头表示的顺时针方向行驶，从而将物品S输送到沿着轨道2配置的未图示的处理装置。
在洁净室的顶棚13上，设有吹出下降气流DF的吹出口7。因而，在输送台车4行驶的行驶空间14中被导入来自顶棚13的下降气流DF。在吹出口7中，如图2所示，设有下降气流用扇形过滤机构32。下降气流用扇形过滤机构32将顶棚13内的洁净空气向行驶空间14吹出，并且将空气内的尘埃去除。
轨道2如图1及图3所示，具有行驶轨道11和行驶引导部12。行驶轨道11由左右一对的第1行驶轨道11a及第2行驶轨道11b构成。第1行驶轨道11a及第2行驶轨道11b具有平坦的行驶面。
行驶引导部12具有第1行驶引导部12a及第2行驶引导部12b。第1行驶引导部12a及第2行驶引导部12b分别设置在第1行驶轨道11a及第2行驶轨道11b的外侧端。第1行驶引导部12a及第2行驶引导部12b从外侧端向上方延伸。
在轨道2的一侧配置有非接触供电线17。在该实施方式中，配置在轨道2的左侧。非接触供电线17如图3所示，具有上下隔开间隔配置的两根辫编线(litz)17a、17b。
(2)输送台车
输送台车4如图3及图4所示，能够沿着轨道2行驶而输送货箱C。具有能够载置货箱C的载置部15以及能够在轨道2上行驶的行驶部16。载置部15是矩形框形状的部件。在载置部15的下面设有用来安装行驶部16的第1安装部15a及第2安装部15b。第1安装部15a配置在行驶方向的前侧。第2安装部15b配置在行驶方向的后侧。在载置部15的上面，为了切断来自行驶部16的空气的流动而在矩形的整个面上形成有隔壁部15c。
行驶部16具有转动自如地安装于第1安装部15a的驱动行驶部16a、以及转动自如地安装于第2安装部15b的从动行驶部16b。驱动行驶部16a及从动行驶部16b是转架台车。驱动行驶部16a具有驱动框架20a、左驱动轮21a及右驱动轮21b。此外，从动行驶部16b具有从动框架20b、左从动轮21c和右从动轮21d。在左驱动轮21a及左从动轮21c的行进方向两侧分别设有左固定引导辊22a及左分支引导辊23a。在右驱动轮21b及右从动轮21d的行进方向两侧，分别设有右固定引导辊22b及右分支引导辊23b。左固定引导辊22a及左分支引导辊23a由第1行驶引导部12a引导。右固定引导辊22b及右分支引导辊23b由第2行驶引导部12b引导。
驱动框架20a绕垂直轴转动自如地连结在第1安装部15a。左驱动轮21a及右驱动轮21b绕左右方向的轴旋转自如地支撑在驱动框架20a。左驱动轮21a及右驱动轮21b分别在第1行驶轨道11a及第2行驶轨道11b上行驶。左驱动轮21a及右驱动轮21b分别由设置于驱动框架20a的左驱动马达24a及右驱动马达24b驱动。
从动框架20b绕垂直轴转动自如地连结在第2安装部15b。左从动轮21c及右从动轮21d绕左右方向的轴旋转自如地支撑在从动框架20b。左从动轮21c及右从动轮21d分别在第1行驶轨道11a及第2行驶轨道11b上行驶。
在驱动框架20a及从动框架20b的外侧面，安装有接受来自非接触供电线17的电力的左拾取机构28a及右拾取机构28b。左拾取机构28a经由以分别包围左驱动轮21a及左从动轮21c的方式安装的左安装托架29a而安装在驱动框架20a及从动框架20b的外侧面。右拾取机构28b经由以分别包围右驱动轮21b及右从动轮21d的方式安装的右安装托架29b而安装在驱动框架20a及从动框架20b的外侧面。
(3)底盖
底盖5沿着水平方向配置，以覆盖轨道2的底部。底盖5例如是不锈钢板制，形成在轨道支撑框架31上，该轨道支撑框架31由为了从顶棚13吊挂轨道2而延伸的吊挂部件30悬挂。
(4)侧方盖
侧方盖6垂直地竖立而配置，以覆盖输送台车4及轨道2的侧方。侧方盖6例如使用洁净室用的壁面板，在吊挂部件30的外侧左右配置了一对，以覆盖轨道2的两侧。侧方盖6延伸到顶棚13。行驶空间14由侧方盖6、顶棚13和底盖5以包围输送台车4及轨道2的方式形成。
(5)排出口
排出口8设置于侧方盖6，用于从行驶空间14排出从吹出口7导入的下降气流DF。排出口8配置成比底盖5靠上方。排出口8如图1所示，沿行驶方向隔开间隔而配置，例如配置在侧方盖6的每一个壁面板上。如图2及图5所示，在排出口8上设有气帘(louver)8a。气帘8a从行驶空间14朝向外部向斜上方倾斜而形成。由此，小的物体不易从行驶空间14掉落到外部。
例如，即使人为了进行维护而站到行驶空间14中并掉下工具等，工具也不易掉落到外部。此外，即使物品S在输送中破裂，其碎片也不易掉落到外部。
(6)内侧盖
内侧盖9如图4所示在侧方盖6的内侧配置成覆盖轨道2的周围。内侧盖9具有配置在轨道2的两侧的弯折的、具有倒立L字状的截面的左盖9a及右盖9b。在第1实施方式中，左盖9a及右盖9b的弯折的前端在内侧分别延伸到输送台车4的左拾取机构28a及右拾取机构28b的上方。此外，在输送台车4的载置部15的上面的整个面上，如上述那样设有隔壁部15c。隔壁部15c的宽度W比左盖9a及右盖9b的弯折的前端的间隔D大。因此，在隔壁部15c和内侧盖9中形成上下方向上重叠的部分。由此，形成由隔壁部15c和内侧盖9限定的空间，能够辅助基于扇形过滤机构10的吸引，减少尘埃向内侧盖9外流出。因此，有可能通过左驱动轮21a、右驱动轮21b、左从动轮21c、右从动轮21d与行驶轨道11的接触而在内侧盖9内产生的尘埃不易流到载置在载置部15上的货箱C内的物品S。
(7)扇形过滤机构
扇形过滤机构10吸引内侧盖9内的空气，去除尘埃并将洁净空气向外部排出。因而，扇形过滤机构10能够去除如上述那样有可能在内侧盖9内产生的尘埃。
(8)有轨台车系统的动作
在这样的结构的第1实施方式的有轨台车系统1中，当输送台车4在轨道2上行驶时，下降气流DF从吹出口7吹到输送台车4上，其从排出口8排出。由此，在物品S上不易附着尘埃。并且，由于以包围轨道2的方式设置内侧盖9，所以内侧盖9内的空气不易流到载置部15侧。进而，由于在内侧盖9内设有扇形过滤机构10，所以在输送台车4的下部有可能通过车轮与轨道2的接触而产生的尘埃被去除，物品S更不易被污染。
(9)
<第2实施方式>
在第2实施方式中，如图6及图7所示，吹出口107、输送台车104的隔壁部115c、内侧盖109、以及排出口108的结构与第1实施方式不同。
吹出口107比第1实施方式小，并且数量多。此外，在吹出口107中没有设置下降气流用扇形过滤机构。
输送台车104的隔壁部115c不是配置在载置部115的上面的整个面上，而是部分配置。具体而言，如图7所示，仅形成在载置部115的上面中的左右方向的中心部。
内侧盖109的左盖109a及右盖109b的弯折的前端如图7所示，延伸到驱动行驶部16a的驱动框架20a及从动行驶部16b的从动框架20b的两侧部。因而，与第1实施方式相比，弯折部分的长度更长。
另一方面，输送台车104的隔壁部115c不是配置在载置部115的上面的整个面上，而是部分配置。具体而言，如图7所示，仅形成在除了由内侧盖109覆盖的部分以外的、载置部115的上面中的左右方向的中心部。在第2实施方式中，载置部115c的宽度W也比左盖109a及右盖109b的弯折的前端的间隔D大。由此，起到与第1实施方式同样的作用效果。
此外，排出口108不是形成在侧方盖106上，而是在底盖105的内侧盖109的外侧、例如以格栅或冲压金属的形态设置。排出口108不是如图1实施方式那样在行驶方向上隔开间隔而设置，而是在行驶方向的全长上设置。
其他结构与第1实施方式同样，所以省略说明。
在这样的结构的第2实施方式中，能够实现输送台车104的轻量化。但是，内侧盖109的重量因弯折部分的长度变得比第1实施方式的内侧盖9的弯折部分的长度长而相应地增加。
(10)气流解析
模拟了第1实施方式的输送台车4及内侧盖9和第2实施方式的输送台车104及内侧盖109中气流怎样运动。
第1实施方式及第2实施方式都在输送台车刚起动后在其后方的350mm左右的范围内从内侧盖9、109内吹出气流。但是，在0.8秒后，吹出的气流成为向下的流，回到内侧盖9、109内，确认了气流不会上升到输送台车4、104的载置部15、115。
(11)特征
(A)有轨台车系统1是在具有从顶棚13吹出洁净空气的下降气流DF的吹出口7的洁净室内配置的系统。有轨台车系统1具备轨道2、输送台车4、底盖5、侧方盖6以及排出口8。轨道在洁净室内从顶棚悬挂。输送台车4能够沿着轨道2行驶而输送物品S。底盖5覆盖轨道2的底部。侧方盖6覆盖轨道2及输送台车4的侧方。下降气流DF从吹出口7导入到由底盖5、侧方盖6和顶棚13包围的行驶空间14中。排出口8设置在底盖5及侧方盖6中的至少某一个上，排出从吹出口7导入的下降气流DF。
在该有轨台车系统1中，输送台车4在由顶棚13、底盖5和侧方盖6包围的行驶空间14中行驶而输送物品S。在该行驶空间14中被从吹出口7导入下降气流DF。导入的下降气流DF从排出口8排出。
这里，由于从顶棚13向作为尘埃产生原因的行驶的输送台车4喷吹下降气流DF，所以即使在输送台车4上将物品S露出地配置，在物品上也不易附着尘埃。因此，能够尽可能地防止在洁净室内输送的物品S及货箱C的污染。
(B)还具备在侧方盖6的内侧覆盖轨道的周围的内侧盖9、以及吸引内侧盖9内的空气的扇形过滤机构10。由此，将最有可能产生尘埃的左驱动轮21a、右驱动轮21b、左从动轮21c及右从动轮21d与轨道2的接触部分用内侧盖9覆盖，将被覆盖的空间的空气由扇形过滤机构10吸引，从而能够去除所产生的尘埃。因此，在左驱动轮21a、右驱动轮21b、左从动轮21c及右从动轮21d与轨道2之间产生的尘埃不易向物品S侧吹出，能够进一步防止物品S的污染。
(C)内侧盖9(或109)具有在轨道2的两侧方配置了一对的作为第1盖的左盖9a及作为第2盖的右盖9b。并且，输送台车4具备具有比第1盖9a与第2盖9b之间的间隔D大的宽度W的隔壁部15c。由此，形成由隔壁部15c和内侧盖9限定的空间，辅助基于扇形过滤机构10的吸引，能够减少尘埃向内侧盖9外流出。
(D)排出口8设置在侧方盖6的下部。由此，容易防止物体从行驶空间14内掉落。
(12)其他实施方式
以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种变更。特别是，在本说明书中记载的多个实施方式及变形例可以根据需要而任意地组合。
(a)在上述实施方式中，侧方盖6配置在轨道2的两侧，但侧方盖的配置并不限定于上述实施方式。例如，在移动是如上述的循环轨道那样的无端循环形状的情况下，也可以仅在轨道的外侧(例如图2的左侧)设置侧方盖。在此情况下，形成包括轨道的内周侧的长圆形的空间。
(b)在上述实施方式中，在货箱C内露出地收纳物品S，但是没有露出而将物品S密闭地收纳在货箱C中的形态也能够适用本发明。在此情况下，能够防止货箱C的污染。
(c)在上述实施方式中，在吹出口7中配置了下降气流用扇形过滤机构32。但是，本发明并不限定于此，吹出口只要能够将洁净的下降气流DF导入到行驶空间14内就可以，也可以不设置扇形过滤机构。
(d)在上述实施方式中，在侧方盖6的比底盖5靠上方处设置了排出口8，但在图8所示的实施方式中，在与底盖5的边界部分设置了排出口208。在图8中，侧方盖206载置在台座240上而抬高，抬高部分的间隙为排出口208。也可以像这样将排出口208配置在侧方盖206的与底盖5的边界部分。
(e)在上述实施方式中，将排出口设置在侧方盖或底盖上，但也可以设置在两者上。
(f)在上述实施方式中，将侧方盖6延伸到了顶棚13，但也可以与顶棚13隔开间隙。
工业实用性
本发明能够适用于通过在洁净室内在轨道上行驶的输送台车来输送物品的有轨输送系统。

Claims (4)

1.一种有轨台车系统，配置在具有从顶棚吹出洁净空气的下降气流的吹出口的洁净室内，其特征在于，具备：
轨道，在上述洁净室内从顶棚悬挂；
输送台车，能够沿着上述轨道行驶而输送物品；
底盖，覆盖上述轨道的底部；
侧方盖，覆盖上述轨道及输送台车的侧方；以及
排出口，设置在上述底盖及侧方盖中的至少某一个上，排出从上述吹出口导入的上述下降气流。
2.如权利要求1所述的有轨台车系统，其特征在于，还具备：
内侧盖，在上述侧方盖的内侧覆盖上述轨道的周围；以及
扇形过滤机构，吸引上述内侧盖内的空气。
3.如权利要求2所述的有轨台车系统，其特征在于，
上述内侧盖具有在上述轨道的两侧配置了一对的第1盖及第2盖；
上述输送台车具备具有比上述第1盖与第2盖间的间隔大的宽度的隔壁部。
4.如权利要求1所述的有轨台车系统，其特征在于，
上述排出口设置在上述侧方盖的下部。
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