JP2000269296A - クリーンルーム用搬送台車のレール - Google Patents
クリーンルーム用搬送台車のレールInfo
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- JP2000269296A JP2000269296A JP6825999A JP6825999A JP2000269296A JP 2000269296 A JP2000269296 A JP 2000269296A JP 6825999 A JP6825999 A JP 6825999A JP 6825999 A JP6825999 A JP 6825999A JP 2000269296 A JP2000269296 A JP 2000269296A
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- bracket
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- dovetail groove
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Framework For Endless Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 レール本体２の両側部に蟻溝１０，１０を設
け、ここに間隔を置いてブラケット２０を嵌着して、ブ
ラケット２０に上下のカバー３６，３８を取り付ける。
ブラケット間の隙間を、レール２からフィルターファン
ユニット４０への空気通路とする。 【効果】 レール２に孔あけ加工をせずに、フィルター
ファンユニット４０への空気通路を得ることができる。
け、ここに間隔を置いてブラケット２０を嵌着して、ブ
ラケット２０に上下のカバー３６，３８を取り付ける。
ブラケット間の隙間を、レール２からフィルターファン
ユニット４０への空気通路とする。 【効果】 レール２に孔あけ加工をせずに、フィルター
ファンユニット４０への空気通路を得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明はクリーンルーム用の搬送
台車のレールに関し、特にレール内の空気をレールの両
側部を介してフィルターファンユニットへ導くことに関
する。
台車のレールに関し、特にレール内の空気をレールの両
側部を介してフィルターファンユニットへ導くことに関
する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルーム内での仕掛品等の搬送で
は、モータ等からの発塵の少ないリニア搬送台車等が用
いられている。そして走行レールはクリーンルームの天
井付近等に設置され、レール内にフィルターファンユニ
ットを設けると共に、レールを流線形のカバーで覆っ
て、クリーンルーム内の気流の乱れを防止している。
は、モータ等からの発塵の少ないリニア搬送台車等が用
いられている。そして走行レールはクリーンルームの天
井付近等に設置され、レール内にフィルターファンユニ
ットを設けると共に、レールを流線形のカバーで覆っ
て、クリーンルーム内の気流の乱れを防止している。
【０００３】レールは押し出し製のアルミニウムレール
等が用いられ、フィルターファンユニットはレールの下
部に設けられ、レールの底部に孔あけ加工を施して、レ
ール内からフィルターファンユニットへの空気通路とし
ている。しかしながら、押し出し製のレールの底部に孔
を設けるには、押し出し後に別途に孔あけ加工を施すこ
とが必要である。
等が用いられ、フィルターファンユニットはレールの下
部に設けられ、レールの底部に孔あけ加工を施して、レ
ール内からフィルターファンユニットへの空気通路とし
ている。しかしながら、押し出し製のレールの底部に孔
を設けるには、押し出し後に別途に孔あけ加工を施すこ
とが必要である。
【０００４】
【発明の課題】この発明の課題は、レール本体に孔あけ
加工を施さずに、レール本体からフィルターファンユニ
ットへの空気通路を確保することにある（請求項１〜
３）。請求項２の発明での追加の課題は、レール本体へ
のカバーの取り付けを可能にしながら、容易に空気通路
を得ることにある。請求項３の発明での追加の課題は、
ブラケットや中間カバーの取り付けを容易にすることに
ある。
加工を施さずに、レール本体からフィルターファンユニ
ットへの空気通路を確保することにある（請求項１〜
３）。請求項２の発明での追加の課題は、レール本体へ
のカバーの取り付けを可能にしながら、容易に空気通路
を得ることにある。請求項３の発明での追加の課題は、
ブラケットや中間カバーの取り付けを容易にすることに
ある。
【０００５】
【発明の構成】この発明は、レール本体の、底部にフィ
ルターファンユニットを設け、側部でレールカバーを支
持したレールにおいて、前記レール本体の両側部と前記
レールカバーとの間に、フィルターファンユニットへの
空気通路を設けたことを特徴とする、クリーンルーム用
搬送台車のレールにある。好ましくは、前記レール本体
の両側部に、レール本体の長手方向に沿って間隔を置い
てブラケットを取り付け、該ブラケットで上部レールカ
バーと下部レールカバーとを支持し、かつブラケットと
ブラケットとの隙間を、前記空気通路とする。さらに好
ましくは、前記レール本体の両側部に蟻溝を設けると共
に、前記ブラケットを、その高さを幅よりも大きくし
て、ブラケットを蟻溝内で回動させて蟻溝に嵌着し、か
つ前記ブラケットの複数個と嵌合した側面カバーを設け
て、この側面カバーで前記蟻溝を覆う。
ルターファンユニットを設け、側部でレールカバーを支
持したレールにおいて、前記レール本体の両側部と前記
レールカバーとの間に、フィルターファンユニットへの
空気通路を設けたことを特徴とする、クリーンルーム用
搬送台車のレールにある。好ましくは、前記レール本体
の両側部に、レール本体の長手方向に沿って間隔を置い
てブラケットを取り付け、該ブラケットで上部レールカ
バーと下部レールカバーとを支持し、かつブラケットと
ブラケットとの隙間を、前記空気通路とする。さらに好
ましくは、前記レール本体の両側部に蟻溝を設けると共
に、前記ブラケットを、その高さを幅よりも大きくし
て、ブラケットを蟻溝内で回動させて蟻溝に嵌着し、か
つ前記ブラケットの複数個と嵌合した側面カバーを設け
て、この側面カバーで前記蟻溝を覆う。
【０００６】
【発明の作用と効果】請求項１の発明では、レール本体
の両側部とレールカバーとの間に、レール内の汚染した
空気をフィルターファンユニットへ導く空気通路が得ら
れるので、レールの底部に孔あけ加工を施す必要が無
い。
の両側部とレールカバーとの間に、レール内の汚染した
空気をフィルターファンユニットへ導く空気通路が得ら
れるので、レールの底部に孔あけ加工を施す必要が無
い。
【０００７】請求項２の発明では、ブラケットを用いて
上部カバーや下部カバーを支持でき、かつブラケットと
ブラケットとの隙間に前記の空気通路を得ることができ
る。
上部カバーや下部カバーを支持でき、かつブラケットと
ブラケットとの隙間に前記の空気通路を得ることができ
る。
【０００８】請求項３の発明では、ブラケットをレール
本体の側部の蟻溝に差し込んで回動することにより、蟻
溝にブラケットを嵌合できる。ブラケットは逆に回動す
ると嵌合が外れるが、複数個のブラケットを側面カバー
に嵌合するので、逆回動は防止され、蟻溝に固定され
る。そしてレール本体の蟻溝を、側面カバーで覆い、蟻
溝と側面カバーとの間に、空気通路を形成する。
本体の側部の蟻溝に差し込んで回動することにより、蟻
溝にブラケットを嵌合できる。ブラケットは逆に回動す
ると嵌合が外れるが、複数個のブラケットを側面カバー
に嵌合するので、逆回動は防止され、蟻溝に固定され
る。そしてレール本体の蟻溝を、側面カバーで覆い、蟻
溝と側面カバーとの間に、空気通路を形成する。
【０００９】
【実施例】図１〜図５に実施例を示す。図１において、
２はレール本体で、例えばアルミニウム等の軽合金製で
押し出しにより製造され、長手方向（走行方向）に沿っ
た形状は一定である。４はレール本体２に設けた垂直案
内部、６は水平案内部で、８はＬＤＭモータ（リニア直
流モータ）等のリニアモータのコイルモジュール取り付
け部である。１０，１０はレール本体２の両側部に設け
た蟻溝で、図１，図２に示すように、突起１２，１４が
溝１０の中央側へ突き出している。
２はレール本体で、例えばアルミニウム等の軽合金製で
押し出しにより製造され、長手方向（走行方向）に沿っ
た形状は一定である。４はレール本体２に設けた垂直案
内部、６は水平案内部で、８はＬＤＭモータ（リニア直
流モータ）等のリニアモータのコイルモジュール取り付
け部である。１０，１０はレール本体２の両側部に設け
た蟻溝で、図１，図２に示すように、突起１２，１４が
溝１０の中央側へ突き出している。
【００１０】２０は樹脂製や金属製等のブラケットで、
蟻溝１０側への突起２２，２４で、蟻溝１０の突起１
２，１４に嵌合している。突起２２，２４は弾性突起と
して、突起１２，１４との嵌合を強めるのが好ましい。
ブラケット２０の外側（蟻溝１０と反対側）には、図
２，図３に示すように、例えば４つの弾性突起２６，２
７，２８，２９が設けてある。
蟻溝１０側への突起２２，２４で、蟻溝１０の突起１
２，１４に嵌合している。突起２２，２４は弾性突起と
して、突起１２，１４との嵌合を強めるのが好ましい。
ブラケット２０の外側（蟻溝１０と反対側）には、図
２，図３に示すように、例えば４つの弾性突起２６，２
７，２８，２９が設けてある。
【００１１】３０は樹脂製や金属製の中間カバーで、図
１〜図４に示すように、ブラケット２０の突起２６〜２
９と当接する突起３１〜３４を設けてある。そしてブラ
ケット２０の突起２６〜２９と側面カバー３０の突起３
１〜３４が弾性的に接することにより、ブラケット２０
は側面カバー３０に嵌合される。
１〜図４に示すように、ブラケット２０の突起２６〜２
９と当接する突起３１〜３４を設けてある。そしてブラ
ケット２０の突起２６〜２９と側面カバー３０の突起３
１〜３４が弾性的に接することにより、ブラケット２０
は側面カバー３０に嵌合される。
【００１２】図４に示すように、側面カバー３０はレー
ル本体２の走行方向に延びる長尺状ないしは長方形の部
材で、複数個のブラケット２０と嵌合している。また図
３の鎖線に示すように、ブラケット２０は最終の取り付
け位置から回動した状態で蟻溝１０に挿入され、ここか
らブラケット２０を回動すると、突起２２，２４が蟻溝
の突起１２，１４に嵌合する。
ル本体２の走行方向に延びる長尺状ないしは長方形の部
材で、複数個のブラケット２０と嵌合している。また図
３の鎖線に示すように、ブラケット２０は最終の取り付
け位置から回動した状態で蟻溝１０に挿入され、ここか
らブラケット２０を回動すると、突起２２，２４が蟻溝
の突起１２，１４に嵌合する。
【００１３】図１に戻り、３６はレールの上部カバー、
３８は下部カバーで、図１に示すようにブラケット２０
で支持されている。なおブラケット２０以外にも補助的
なブラケット等を設けて、カバー３６，３８をブラケッ
ト２０と他の補助的なブラケットの双方で支持しても良
い。また上下のカバー３６，３８は、ビスなどでレール
本体２への取り付けを補強しても良い。４０はフィルタ
ーファンユニットで、４２はファン、４４はフィルター
である。
３８は下部カバーで、図１に示すようにブラケット２０
で支持されている。なおブラケット２０以外にも補助的
なブラケット等を設けて、カバー３６，３８をブラケッ
ト２０と他の補助的なブラケットの双方で支持しても良
い。また上下のカバー３６，３８は、ビスなどでレール
本体２への取り付けを補強しても良い。４０はフィルタ
ーファンユニットで、４２はファン、４４はフィルター
である。
【００１４】図５に、搬送台車がレールに沿って走行し
ている状態を示すと、搬送台車の走行部は開口４５を介
して、レールの上部カバー３６，３６内に収容され、搬
送台車の走行車輪５０は垂直案内部４上を走行し、水平
案内車輪５２は水平案内部６により案内される。ＬＤＭ
モータ５４はレール本体２側に設けられ、そのコイルモ
ジュール５６が、搬送台車側の可動子５８，５８に挟ま
れるように突き出している。６０は開口４５上の搬送台
車本体で、ここに物品を搭載して搬送する。
ている状態を示すと、搬送台車の走行部は開口４５を介
して、レールの上部カバー３６，３６内に収容され、搬
送台車の走行車輪５０は垂直案内部４上を走行し、水平
案内車輪５２は水平案内部６により案内される。ＬＤＭ
モータ５４はレール本体２側に設けられ、そのコイルモ
ジュール５６が、搬送台車側の可動子５８，５８に挟ま
れるように突き出している。６０は開口４５上の搬送台
車本体で、ここに物品を搭載して搬送する。
【００１５】リニアモータは発塵のないモータである
が、走行車輪５０や水平案内車輪５２からは発塵があ
る。この部分の空気は図１に示すように、垂直案内部４
や水平案内部６の付近から、突起１２，１４と側面カバ
ー３０との間を流れて、ファン４２で吸引されて濾過さ
れ、レールの底面等から排気される。ここでブラケット
２０は図３，図４に示すように、間隔を置いて配置して
あるので、ブラケット２０，２０間に十分な隙間が得ら
れ、ここをレール本体２の内部からフィルターファンユ
ニット４０への空気通路とできる。このためレール本体
２に孔あけ加工を施す必要が無く、実質的に押し出しの
みでレール本体２を製造できる。
が、走行車輪５０や水平案内車輪５２からは発塵があ
る。この部分の空気は図１に示すように、垂直案内部４
や水平案内部６の付近から、突起１２，１４と側面カバ
ー３０との間を流れて、ファン４２で吸引されて濾過さ
れ、レールの底面等から排気される。ここでブラケット
２０は図３，図４に示すように、間隔を置いて配置して
あるので、ブラケット２０，２０間に十分な隙間が得ら
れ、ここをレール本体２の内部からフィルターファンユ
ニット４０への空気通路とできる。このためレール本体
２に孔あけ加工を施す必要が無く、実質的に押し出しの
みでレール本体２を製造できる。
【００１６】上下のカバー３６，３８はブラケット２０
で支持され、ブラケット２０は図３に示すように、斜め
に回動した状態で蟻溝１０に挿入し、上下方向に長手方
向が現れるように回動すると、突起２２，２４が蟻溝１
０の突起１２，１４に嵌合する。ここでブラケット２０
が逆向きに回動すると嵌合が外れるが、複数個のブラケ
ット２０を側面カバー３０に嵌着すると、ブラケット２
０は回動不能になる。これらの結果、ビス止め等を用い
ずに、ブラケット２０の挿入と回動、側面カバー３０の
ブラケット２０への嵌着で、ブラケット２０と側面カバ
ー３０とを取り付けることができる。
で支持され、ブラケット２０は図３に示すように、斜め
に回動した状態で蟻溝１０に挿入し、上下方向に長手方
向が現れるように回動すると、突起２２，２４が蟻溝１
０の突起１２，１４に嵌合する。ここでブラケット２０
が逆向きに回動すると嵌合が外れるが、複数個のブラケ
ット２０を側面カバー３０に嵌着すると、ブラケット２
０は回動不能になる。これらの結果、ビス止め等を用い
ずに、ブラケット２０の挿入と回動、側面カバー３０の
ブラケット２０への嵌着で、ブラケット２０と側面カバ
ー３０とを取り付けることができる。
【図１】 実施例のクリーンルーム用搬送台車のレール
の要部断面図
の要部断面図
【図２】 実施例での中間ブラケットのレールへの取り
付けを示す要部断面図
付けを示す要部断面図
【図３】 実施例での中間ブラケットの取り付けを示す
要部側面図
要部側面図
【図４】 実施例での中間カバーを示す図
【図５】 実施例でのレールと搬送台車との関係を示す
断面図
断面図
２ レール本体 ４ 垂直案内部 ６ 水平案内部 ８ コイルモジュール取り付け部 １０ 蟻溝 １２，１４ 突起 ２０ ブラケット ２２，２４ 突起 ２６〜２９ 突起 ３０ 中間カバー ３１〜３４ 突起 ３６ 上部カバー ３８ 下部カバー ４０ フィルターファンユニット ４２ ファン ４４ フィルター ４５ 開口 ５０ 走行車輪 ５２ 水平案内車輪 ５４ ＬＤＭモータ ５６ コイルモジュール ５８ 可動子 ６０ 搬送台車本体
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/00 Ｂ６５Ｇ 49/00 Ａ Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｃ
Claims (3)
- 【請求項１】 レール本体の、底部にフィルターファン
ユニットを設け、側部でレールカバーを支持したレール
において、 前記レール本体の両側部と前記レールカバーとの間に、
フィルターファンユニットへの空気通路を設けたことを
特徴とする、クリーンルーム用搬送台車のレール。 - 【請求項２】 前記レール本体の両側部に、レール本体
の長手方向に沿って間隔を置いてブラケットを取り付
け、該ブラケットで上部レールカバーと下部レールカバ
ーとを支持し、かつブラケットとブラケットとの隙間
を、前記空気通路としたことを特徴とする、請求項１の
クリーンルーム用搬送台車のレール。 - 【請求項３】 前記レール本体の両側部に蟻溝を設ける
と共に、前記ブラケットを、その高さを幅よりも大きく
して、ブラケットを蟻溝内で回動させて蟻溝に嵌着し、
かつ前記ブラケットの複数個と嵌合した側面カバーを設
けて前記蟻溝を覆ったことを特徴とする、請求項２のク
リーンルーム用搬送台車のレール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6825999A JP2000269296A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | クリーンルーム用搬送台車のレール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6825999A JP2000269296A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | クリーンルーム用搬送台車のレール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000269296A true JP2000269296A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13368592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6825999A Pending JP2000269296A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | クリーンルーム用搬送台車のレール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000269296A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007196865A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
| CN102310992A (zh) * | 2010-06-23 | 2012-01-11 | 村田机械株式会社 | 有轨台车系统 |
| JP2012035948A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-23 | Murata Machinery Ltd | 搬送車システム |
| KR101857056B1 (ko) * | 2016-10-31 | 2018-05-11 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 |
-
1999
- 1999-03-15 JP JP6825999A patent/JP2000269296A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007196865A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
| CN102310992A (zh) * | 2010-06-23 | 2012-01-11 | 村田机械株式会社 | 有轨台车系统 |
| KR101432192B1 (ko) * | 2010-06-23 | 2014-08-21 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 궤도식 대차 시스템 |
| JP2012035948A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-23 | Murata Machinery Ltd | 搬送車システム |
| KR101857056B1 (ko) * | 2016-10-31 | 2018-05-11 | 세메스 주식회사 | 집적회로 소자 제조용 이송 장치 |
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