KR101857056B1 - 집적회로 소자 제조용 이송 장치 - Google Patents

집적회로 소자 제조용 이송 장치 Download PDF

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Abstract

집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 레일 및 상기 레일을 따라 주행하는 휠을 포함하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 있어서, 상기 레일을 상기 휠이 주행함에 따라 상기 주행부와 상기 휠이 마찰함으로서 발생하는 파티클을 포집하도록 상기 레일 측면에 구비되는 파티클 포집부를 포함할 수 있다.

Description

집적회로 소자 제조용 이송 장치{Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating}
본 발명은 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조시 마스크 등과 같은 목적물의 이송에 사용되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼와 같은 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 마스크 등과 같은 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.
그리고 최근의 상기 이송 공정에서는 상기 집적회로 소자를 제조하기 위한 제조 라인인 클린룸의 천장에 배치되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transfer)를 집적회로 소자 제조용 이송 장치로 구비하여 활용하고 있다.
상기 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 상기 제조 라인 상부에 구비되는 레일(rail) 및 상기 레일을 따라 주행하는 휠(wheel) 등을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용하는 이송 공정의 수행시 상기 레일을 상기 휠이 주행함에 따라 상기 주행부와 상기 휠이 마찰함으로서 파티클이 생성될 수 있다.
따라서 종래의 상기 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용한 이송 공정에서는 파티클의 생성으로 인하여 공정 신뢰도를 저하시키는 문제점이 있다.
본 발명의 일 목적은 레일을 휠이 주행함에 따라 주행부와 횔부가 마찰함으로써 발생하는 파티클로 인한 영향을 최소화할 수 있는 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 레일 및 상기 레일을 따라 주행하는 휠을 구비하는 주행부를 포함하고, 그리고 상기 레일을 상기 휠이 주행함에 따라 상기 주행부와 레일과 상기 휠이 마찰함으로서 발생하는 파티클을 포집하도록 상기 레일 측면에 구비되는 파티클 포집부; 및 상기 레일 아래에 배치되는 케이블을 고정하는 케이블 고정부를 포함하고, 상기 케이블 고정부는 상기 레일 측면 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 파티클 포집부는 상기 레일 측면에 배치되는 격벽, 및 상기 격벽과 연결되도록 구비되는 팬 필터 유닛(FFU)을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 레일은 상기 휠과 접촉하는 부분은 평행하고 상기 파티클 포집부 쪽으로 향하는 부분은 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 레일 아래에 배치되는 케이블을 고정하는 케이블 고정부를 더 포함하되, 상기 케이블 고정부는 상기 레일 측면 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 케이블 고정부는 상기 레일의 일부분과 공간을 갖도록 배치되게 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 레일의 측면에 파티클 포집부를 구비함으로써 레일을 휠이 주행함에 따라 주행부와 휠이 마찰함으로서 발생하는 파티클을 용이하게 포집할 수 있다. 특히, 집적회로 소자의 제조 라인에서는 공기의 흐림이 천장에서 바닥으로 다운 플로우가 유지되기 때문에 레일 및 케이블 고정부를 경사 구조를 갖도록 형성함으로써 언급한 레일 및 케이블 고정부의 경사 구조를 따라 공기의 흐름이 이루질 수 있기에 주행부와 휠 사이에서 발생하는 파티클을 보다 용이하게 포집할 수 있다.
이에, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용하는 이송 공정의 수행시 주행부와 휠이 마찰함으로서 발생하는 파티클로 인한 불량을 최소화할 수 있고, 그 결과 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 꾀할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 집직회로 소자 제조용 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼로써, 설정 경로인 레일(rail)(11)을 따라 휠(wheel)(도시되지 않음)이 주행하여 목적물을 이송시키는 주행부, 상기 주행부에 연결되는 구조를 갖고 상기 목적물을 파지하여 승하강시킬 수 있는 적재부, 상기 주행부와 상기 적재부 사이에 배치되는 구조를 갖고 상기 주행부의 주행 중에 상기 목적물의 위치를 보정할 수 있는 보정부, 상기 주행부의 주행 중에 상기 목적물의 위치를 유지하면서 상기 목적물의 낙하를 방지할 수 있는 낙하 방지부 등을 포함할 수 있다.
상기 주행부는 언급한 바와 같이 설정 경로를 따라 주행하며 목적물을 이송하는 역할을 한다. 이에, 상기 주행부는 구성 요소로서 제조 라인의 천장에 설치되는 프레임(13)에 지지되는 레일(11), 및 상기 레일(11)을 따라 주행하는 휠, 상기 휠을 지지하는 몸체, 상기 휠을 구동시기키 위한 구동 모터 등을 포함할 수 있다.
상기 적재부는 상기 주행부에 연결되고, 상기 목적물을 파지하여 승하강하는 역할을 한다. 이에, 상기 적재부는 상기 주행부의 하부면에 장착될 수 있고, 구성 요소로서 목적물을 파지하는 핸드 그립퍼(hand gripper), 상기 핸드 그립퍼를 승하강시키는 호이스트 등을 포함할 수 있다.
상기 보정부는 상기 주행부와 상기 적재부 사이에 배치되고, 상기 주행부의 주행 중에 목적물의 위치를 보정하는 역할을 한다. 이에, 상기 보정부는 구성 요소로서 상기 목적물을 수평면 상의 일 방향으로 이동시키는 슬라이더(slider) 및 로테이터(rotator) 등을 포함할 수 있다. 그리고 상기 슬라이더는 상기 주행부의 하부면에 장착될 수 있고, 상기 로테이터는 상기 슬라이더의 하부면에 장착될 수 있다.
상기 낙하 방지부는 상기 주행부에 장착되고, 구성 요소로서 상기 목적물에 밀착되는 밀착부, 상기 밀착부를 구동시키는 구동부 등을 포함할 수 있다.
그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 파티클 포집부(14)를 포함할 수 있다.
상기 파티클 포집부(14)는 상기 레일(11)을 상기 휠이 주행함에 따라 상기 주행부와 상기 휠이 마찰함으로서 발생하는 파티클을 포집하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 파티클 포집부(14)는 상기 레일(11) 측면에 구비될 수 있다. 특히, 상기 레일(11)이 서로 마주하도록 구비될 경우 상기 파티클 포집부(14)는 상기 레일(11)의 양측면 각각에 구비될 수 있다.
여기서, 상기 파티클 포집부(14)는 상기 레일(11) 측면에 배치되는 격벽(15), 및 상기 격벽(15)과 연결되도록 구비되는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit : FFU)(17)를 포함할 수 있다. 이에, 상기 주행부와 상기 휠이 마찰함으로서 파티클이 발생할 경우 상기 격벽(15)을 통하여 상기 팬 필터 유닛(17)으로 포집할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)를 사용하는 이송 공정에서는 상기 주행부와 상기 휠이 마찰함으로서 파티클이 발생하여도 상기 파티클 포집부(14)를 사용하여 상기 파티클을 포집할 수 있기 때문에 상기 파티클로 인하여 발생할 수 있는 영향을 최소화할 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 상기 레일(11) 아래에 배치되는 케이블을 고정하는 리츠 와이어 지지 부재(Litz wire support) 등과 같은 케이블 고정부(19)를 더 포함할 수 있다. 특히, 상기 케이블 고정부(19)는 상기 레일(11) 측면 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 케이블 고정부(19)는 상기 파티클 포집부(14)가 구비되어 있는 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
또한, 상기 케이블 고정부(19)는 상기 레일(11)의 일부분과 공간을 갖도록 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)이다. 즉, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)에 구비되는 상기 케이블 고정부(19)는 상기 레일(11)과의 사이에 공기가 흐를 수 있는 통로가 형성되도록 배치될 수 있는 것이다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 레일(11) 측면에 격벽(15) 및 팬 필터 유닛(17)으로 이루어지는 파티클 포집부(14)를 연속적으로 배치하고, 상기 케이블 고정부(19)를 레일(11) 측면 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 구조를 갖도록 형성함으써 상기 레일(11)과 상기 격벽(15) 사이 그리고 상기 레일(11)과 상기 케이블 고정부(19) 사이의 공간을 통해 팬 필터 유닛(17)으로 파티클을 포집할 수 있다.
상기 레일(11)의 구조도 격벽(15)을 향하는 부분이 아래로 경사지는 구조를 갖도록 형성할 수 있다. 여기서, 상기 레일(11)은 상기 휠과 접촉하는 부분은 평행하고 상기 파티클 포집부(14) 쪽으로 향하는 부분은 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 상기 케이블 고정부(19)와 더불어 상기 레일(11)도 경사 구조를 갖도록 형성함으로써 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 천장에서 바닥으로 유지되는 다운 플로우(down flow)를 이용하여 상기 레일(11) 및 상기 케이블 고정부(19)의 경사 구조를 따라 측면으로 흐르는 공기의 배기 흐름 구조를 가질 수 있기 때문에 보다 용이하게 상기 파티클을 포집할 수 있을 것이다.
본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)가 구비되는 집적회소 소자 제조 라인에서는 공기의 흐름이 천장에서 바닥으로 다운 플로우가 유지되기 때문에 상기 레일(11) 및 상기 케이블 고정부(19)에 경사 구조를 형성하여 다운 플로우에 의한 공기를 상기 레일(11)의 측면으로 흐르도록 함으로써 상기 파티클을 측면으로 이동하도록 유도할 수 있다. 그리고 상기 레일(11)의 측면에 상기 파티클 포집부(14)를 구비함으로써 상기 레일(11)을 상기 휠이 주행함에 따라 상기 주행부와 상기 휠이 마찰하여 발생하는 상기 파티클을 보다 용이하게 포집할 수 있다.
아울러 상기 레일(11)과 상기 케이블 고정부(19) 사이에 공기가 흐를 수 있는 통로를 형성함으로써 레일(11) 상부 및 상기 케이블 고정부(19) 상부의 공기까지 흡입할 수 있기 때문에 상기 파티클의 포집시 상기 파티클이 비산하는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 레일(11)의 측면에 파티클 포집부(14)를 구비함으로써 주행부와 휠이 마찰함으로서 발생하는 파티클을 용이하게 포집할 수 있고, 아울러 상기 케이블 고정부(19) 및 상기 레일(11)의 형상을 경사 구조를 갖도록 변경함으로써 상기 파티클의 포집을 위한 공기의 흐름을 보다 안정적으로 유지할 수 있다.
따라서 집적회로 소자의 제조를 위한 이송 공정에서 본 발명의 집적회로 소자 제조 이송 장치를 사용할 경우 레일과 휠 사이에서의 마찰로 인하여 발생하는 파티클을 안정적으로 관리할 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있고, 나아가 제품 경쟁력의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 레일 13 : 프레임
14 : 파티클 포집부 15 : 격벽
17 : 팬 필터 유닛 19 : 케이블 고정부
100 : 이송 장치

Claims (5)

  1. 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 레일 및 상기 레일을 따라 주행하는 휠을 구비하는 주행부를 포함하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 있어서,
    상기 레일을 상기 휠이 주행함에 따라 상기 레일과 상기 휠이 마찰함으로서 발생하는 파티클을 포집하도록 상기 레일 측면에 구비되는 파티클 포집부; 및
    상기 레일 아래에 배치되는 케이블을 고정하는 케이블 고정부를 포함하고,
    상기 케이블 고정부는 상기 레일 측면 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 파티클 포집부는 상기 레일 측면에 배치되는 격벽, 및 상기 격벽과 연결되도록 구비되는 팬 필터 유닛(FFU)을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 레일은 상기 휠과 접촉하는 부분은 평행하고 상기 파티클 포집부 쪽으로 향하는 부분은 아래로 경사지는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 케이블 고정부는 상기 레일의 일부분과 공간을 갖도록 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
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