KR102266955B1 - 오버헤드 호이스트 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치는, 주행레일을 따라 이동하는 주행부; 상기 주행부에 결합된 바디;를 포함하되, 상기 주행부는 구동력에 의해 주행레일을 주행하는 구동모듈과, 상기 주행레일의 이물질을 분리하여 흡입하는 클리너모듈로 구성된 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 롤러 클리너 헤드가 주행레일 상면의 이물질을 분리하며 서포터 브러시는 전원레일 상면의 이물질을 분리하여 흡입에 의해 집진하는 효과가 있다.

Description

오버헤드 호이스트 이송장치{Overhead Hoist Transfer}
본 발명은 오버헤드 호이스트 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레일 위의 분진 등의 이물질을 청소하는 오버헤드 호이스트 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체와 LCD 등을 생산하는 반도체 및 디스플레이 공정에서 웨이퍼, 패널 자재 등을 효율적으로 반송시키기 위한 용도로 오버헤드 호이스트 이송장치(OHT:Overhead Hoist Transfer, 대차, vehicle)가 사용되고 있다.
이러한 오버헤드 호이스트 이송장치는 반도체 자동 반송장비 중 가장 제작 및 구동 난이도가 높으며 고부가가치 장비로 반도체 공장 천장에 고정돼 있는 주행레일을 따라 공정간 반송을 담당한다.
또한, 오버헤드 호이스트 이송장치는 클린룸에 설치되며, 이러한 클린룸은 주로 반도체, 전자기기, 정밀기계공업 등 첨단산업의 제품생산설비에서 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되지 않도록 함으로써 제품의 불량을 방지하고, 제품의 정밀화, 미소화, 고품질화 및 고 신뢰성을 확보하기 위한 것으로, 공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서 청정한 환경을 유지하도록 설비된다.
그러나, 종래의 오버헤드 호이스트 이송장치는 우레탄 등으로 형성된 차륜이 주행레일을 따라 고속 이동하며 마찰에 의한 분진(particle)이 발생하는 문제점이 있었다.
구체적으로, 전동기 등과 같은 구동원에 의해 회전 주행하는 차륜이 매우 빠른 속도로 회전하게 되므로 주행 동작 중에는 많은 분진이 발생하고, 이와 같이 발생된 분진은 빠른 차륜의 회전에 의해 비산된다.
즉, 차륜에서 발생하는 분진이 클린룸 내에서 부유하며 제조중인 반도체 등에 부착되어 제품 불량이 발생하여 제품 수율에 좋지 않은 영향을 미치게 된다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 오버헤드 호이스트 이송장치는 주행레일을 따라 이동하는 도중 주행레일에 있는 이물질에 의해 상기 탑재 기구에 탑재된 반도체 소자가 오염되는 것을 방지하기 위하여 주행레일과 실질적으로 결합하여 이동하는 구동 휠의 전방 또는 후방에 상기 이물질을 흡입할 수 있는 흡입부를 포함하도록 구성된다.
그러나, 이물질이 주행레일에 소정의 접착력을 갖고 달라붙어 있을 경우에는 흡입부에 의해 흡입되지 못하고, 언젠가는 떨어져서 상기 반도체 소자를 오염시킬 우려가 있다.
뿐만 아니라, 종래의 오버헤드 호이스트 이송장치에는 브러시와 흡입부를 통해 주행레일을 청소하는 구성이 공지되었지만, 주행레일만을 청소할 뿐 무선으로 오버헤드 호이스트 이송장치에 전력을 공급하도록 고주파 트랙케이블이 매설된 전원레일을 청소하는 구성이 개시된 바 없었다.
따라서, 차륜에서 발생하는 분진 및 레일에 부착된 이물질을 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
등록특허공보 제1298089호(2013.08.13. 등록) 등록특허공보 제1471760호(2014.12.04. 등록)
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 주행레일과 전원레일 상면의 이물질을 분리 후 흡입에 의해 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치는, 주행레일을 따라 이동하는 주행부; 상기 주행부에 결합된 바디;를 포함하되, 상기 주행부는 구동력에 의해 주행레일을 주행하는 구동모듈과, 상기 주행레일의 이물질을 분리하여 흡입하는 클리너모듈로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리너모듈은, 주행레일 상부의 이물질을 물리적으로 분리시키는 브러시가 부착된 롤러 클리너 헤드와, 상기 롤러 클리너 헤드에 의해 주행레일에서 분리된 이물질을 흡입하는 레일노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리너모듈에는 주행레일을 따라 이동하는 주행롤러가 구비되며, 상기 주행롤러와 롤러 클리너 헤드에는 벨트 풀리가 구비되며, 상기 벨트 풀리는 벨트에 의해 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 레일노즐에는 집진브러시가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리너모듈에는 전원레일의 이물질을 흡입하는 서포터 노즐이 더 포함함되며, 상기 서포터 노즐에는 서포터 브러시가 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리너모듈을 통해 흡입한 이물질을 집진하도록 상기 바디에 구비된 집진모듈이 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리너모듈에는 넥배관이 구비되며, 상기 넥배관과 집진모듈은 더스트 호스에 의해 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 집진모듈에는 배기 필터가 구비된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치에 따르면, 롤러 클리너 헤드가 주행레일 상면의 이물질을 분리하며 서포터 브러시는 전원레일 상면의 이물질을 분리하여 흡입에 의해 집진하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 측면도이다.
도 3은 도 1의 클리너모듈을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 측면도이다.
도 5는 도 4의 정면도이다.
을하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 측면도이며, 도 3은 도 1의 클리너모듈을 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 측면도이며, 도 5는 도 4의 정면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이 LCD, 반도체 등을 생산하는 반도체 및 디스플레이공정에서 패널 및 웨이퍼 등의 자재를 효율적으로 반송시키기 위한 용도로 클린룸의 천장에 설치된 주행레일(R)을 따라 이동하는 오버헤드 호이스트 이송장치(A)(OHT:Overhead Hoist Transfer)는 공지된 기술이므로 상세한 설명은 생략하고 본 발명의 특징만 설명한다.
도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치(A)는, 주행레일(R)을 따라 이동하는 주행부(A1)와, 상기 주행부(A1)에 결합된 바디(A2)로 구성된다.
이때, 바디(A2)는 패널 및 웨이퍼 등의 자재를 수납하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 주행부(A1)는 구동력에 의해 주행레일(R)을 주행하는 구동모듈(100)과, 상기 주행레일(R)의 이물질을 분리하여 흡입하는 클리너모듈(200)로 구성된다.
그리고, 상기 클리너모듈(200)은, 주행레일(R) 상부의 이물질을 물리적으로 분리시키는 브러시(211)가 부착된 롤러 클리너 헤드(210)와, 상기 롤러 클리너 헤드(210)에 의해 주행레일(R)에서 분리된 이물질을 흡입하는 레일노즐(220)을 포함한다.
한편, 상기 클리너모듈(200)에는 도 3과 같이 주행레일(R)을 따라 이동하는 주행롤러(230)가 구비되며, 상기 주행롤러(230)와 롤러 클리너 헤드(210)에는 각각 벨트 풀리(231,212)가 구비되며, 상기 벨트 풀리(231,212)는 벨트(232)에 의해 연결된다.
즉, 상기 주행롤러(230)가 구동함에 따라 롤러 클러너 헤드(210)도 회전하며 주행레일(R)에 부착된 이물질을 물리적으로 제거하게 된다.
또한, 상기 레일노즐(220)에는 집진브러시(221)가 더 구비된다. 이때, 집진브러시(221)는 레일노즐(220)이 진행방향의 후단에 배치되어 이물질이 레일노즐(220)의 후단으로 지나는 것을 억제한다.
그리고, 상기 클리너모듈(200)에는 전원레일(R1)의 이물질을 흡입하는 서포터 노즐(240)이 더 포함함되며, 상기 서포터 노즐(240)에는 서포터 브러시(241)가 구비된다. 이때, 서포터 브러시(241)는 서포터 노즐(2401)이 진행방향의 후단에 배치되어 이물질이 서포터 노즐(220)의 후단으로 지나는 것을 억제한다.
즉, 상기 서포터 노즐(240)에 의해 전원레일(R1)의 이물질을 흡입하여 클린룸으로 이물질이 비산되는 것을 억제한다.
한편, 상기 클리너모듈(200)을 통해 흡입한 이물질을 집진하도록 상기 바디(A1)에는 집진모듈(300)이 더 구비된다.
또한, 상기 클리너모듈(200)에는 넥배관(250)이 구비되며, 상기 넥배관(250)과 집진모듈(300)은 더스트 호스(310)에 의해 연결된다. 이때, 상기 넥배관(250)은 레일노즐(210)과 서포터 노즐(240)과 연통된다.
즉, 상기 클리너모듈(200)을 통해 집진된 이물질은 집진모듈(300)로 집진된다. 상기 집진모듈(300)에는 흡입을 모터팬(미도시) 등이 구비된다.
그리고, 상기 집진모듈(300)에는 배기 필터(320)가 구비되어 이물질 흡입과정에서 파티클이 배출되는 것을 억제하게 된다.
본 발명에 따르면, 롤러 클리너 헤드가 주행레일 상면의 이물질을 분리하며 서포터 브러시와 서포터 노즐은 전원레일 상면의 이물질을 분리하여 흡입에 의해 집진한다. 즉, 종래와 달리 주행레일과 전원레일 모두 청소 및 이물질을 흡입할 수 있게 된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치는 반송물을 이송하는 공지의 장치에 이물질을 흡입하는 장치를 부가하거나 별도의 반송물을 이송하지 않고 레일의 청소용도만 적용할 수 있음을 밝혀둔다.
A - 오버헤드 호이스트 이송장치
A1 - 주행부
A2 - 바디
100 - 구동모듈
200 - 클리너모듈
210 - 클리너 헤드 220 - 레일노즐
230 - 주행롤러 240 - 서포터 노즐
250 - 넥배관
300 - 집진모듈

Claims (8)

  1. 주행레일을 따라 이동하는 주행부;
    상기 주행부에 결합된 바디;를 포함하되,
    상기 주행부는 구동력에 의해 주행레일을 주행하는 구동모듈과, 상기 주행레일의 이물질을 분리하여 흡입하는 클리너모듈로 구성되고,
    상기 클리너모듈은,
    주행레일 상부의 이물질을 물리적으로 분리시키는 브러시가 부착된 롤러 클리너 헤드와, 상기 롤러 클리너 헤드에 의해 주행레일에서 분리된 이물질을 흡입하는 레일노즐 및 상기 레일노즐의 진행 방향 후단에 구비된 집진브러시를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 클리너모듈에는 주행레일을 따라 이동하는 주행롤러가 구비되며, 상기 주행롤러와 롤러 클리너 헤드에는 벨트 풀리가 구비되며, 상기 벨트 풀리는 벨트에 의해 연결된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 클리너모듈에는 전원레일의 이물질을 흡입하는 서포터 노즐이 더 포함함되며, 상기 서포터 노즐에는 서포터 브러시가 구비된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 클리너모듈을 통해 흡입한 이물질을 집진하도록 상기 바디에 구비된 집진모듈이 더 구비된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 클리너모듈에는 넥배관이 구비되며, 상기 넥배관과 집진모듈은 더스트 호스에 의해 연결된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 집진모듈에는 배기 필터가 구비된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치.
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