KR101471760B1 - 오버 핸드 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

공장 내부의 천장에 설치된 레일을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 오버 핸드 이송 장치(OVER HAND TRANSFER; OHT)는 몸체, 구동 휠 및 클리닝 휠을 포함한다. 몸체는 탑재 기구를 픽업 가능하도록 구성된다. 구동 휠은 레일을 따라 이동하도록 회전하면서 몸체에 장착된다. 클리닝 휠은 외면에 형성된 브러쉬를 통해서 구동 휠이 이동하는 레일 상의 이물질을 클리닝하기 위하여 구동 휠의 인접한 전방 또는 후방에서 상기 몸체에 장착된다.

Description

오버 핸드 이송 장치{OVER HAND TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 오버 핸드 이송 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 전자 부품을 제조하기 위한 공장 내부의 천장에 설치된 레일을 따라 이동하면서 상기 전자 부품이 탑재되는 탑재 기구를 이송하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 전자 부품은 전자 기기에서 전기적인 구동을 수행하기 위한 부품으로, 그 일 예로는 칩이 기판에 상에 연결된 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 반도체 소자를 들 수 있다.
상기 반도체 소자는 실리콘 재질의 얇은 단결정 기판으로 이루어진 웨이퍼(wafer)를 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 반도체 소자는 상기 웨이퍼 상에 회로 패턴이 패터닝된 다수의 칩들을 형성하는 팹 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 칩들 각각을 기판들 각각에 전기적으로 연결시키는 본딩 공정, 상기 기판에 연결된 칩을 외부로부터 보호하기 위한 몰딩 공정 등을 수행하여 제조된다. 이때, 상기 반도체 소자들은 카셋트, 매거진 또는 트레이와 같은 탑재 기구에 탑재되어 상기 공정들 각각에 해당하는 설비들로 이송되면서 수행된다.
구체적으로, 상기 설비들이 설치된 클린룸 형태의 공장 내부의 천장에 상기 설비들 사이에서의 경로를 제공하기 위한 레일을 설치한 다음, 상기 레일을 따라 이동하면서 상기 탑재 기구를 이송하는 오버 핸드 이송 장치(OVER HAND TRANSFER; OHT)를 통해서 상기의 이송 동작을 구현한다.
이때, 상기 이송 장치는 상기 레일을 따라 이동하는 도중 상기 레일에 있는 이물질에 의해 상기 탑재 기구에 탑재된 반도체 소자가 오염되는 방지하기 위하여 상기 레일과 실질적으로 결합하여 이동하는 구동 휠의 전방 또는 후방에 상기 이물질을 흡입할 수 있는 흡입부를 포함한다.
그러나, 상기 이물질이 상기 레일에 소정의 접착력을 갖고 달라 붙어 있을 경우에는 상기 흡입부에 의해 흡입되지 못하고, 언젠가는 떨어져서 상기 반도체 소자를 오염시킬 우려가 있다.
본 발명의 목적은 레일에 달라 붙은 이물질까지도 모두 클리닝할 수 있는 오버 핸드 이송 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 공장 내부의 천장에 설치된 레일을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 오버 핸드 이송 장치(OVER HAND TRANSFER; OHT)는 몸체, 구동 휠 및 클리닝 휠을 포함한다.
상기 몸체는 상기 탑재 기구를 픽업 가능하도록 구성된다. 상기 구동 휠은 상기 레일을 따라 이동하도록 회전하면서 상기 몸체에 장착된다. 상기 클리닝 휠은 외면에 형성된 브러쉬를 통해서 상기 구동 휠이 이동하는 레일 상의 이물질을 클리닝하기 위하여 상기 구동 휠의 인접한 전방 또는 후방에서 상기 몸체에 장착된다.
일 실시예에 따른 상기 이송 장치는 상기 클리닝 휠과 인접한 위치에서 상기 클리닝한 이물질을 흡입하기 위하여 상기 몸체에 장착된 흡입부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 이송 장치는 상기 클리닝 휠에 상기 레일 방향으로 탄성을 제공하기 위하여 상기 클리닝 휠에 결합된 탄성부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 이송 장치는 상기 구동 휠이 상기 레일을 이동하는 도중 상기 레일과 교차하는 방향을 따라 직진성을 갖도록 상기 클리닝 휠에 결합된 상태로 상기 몸체에 장착된 클리닝 가이드부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 클리닝 가이드부는 LM(leaner motion) 가이드를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 브러쉬는 대전 방지모로 구성될 수 있다.
이러한 오버 핸드 이송 장치에 따르면, 오버 핸드 이송 장치의 몸체에 장착되어 레일을 따라 실질적으로 이동하는 구동 휠의 전방 또는 후방에 브러쉬를 갖는 클리닝 휠을 장착함으로써, 상기 레일에 달라 붙어 있는 이물질을 상기 브러쉬를 통해 분리시킬 수 있으며, 이 분리된 이물질은 상기 클리닝 휠과 인접한 위치에 장착된 흡입부를 통해 간단하게 흡입 제거할 수 있다.
따라서, 상기 레일에 있는 모든 이물질을 제거할 수 있으므로 인해서 상기 이송 장치에 의해 이송되는 전자 부품이 상기 이물질에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 상기 전자 부품의 생산 수율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버 핸드 이송 장치가 공장 내부에 설치된 구조를 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치의 구성들을 개념적으로 간단하게 나타낸 사시 도면이다.
도 3은 도 2에 도시되는 이송 장치의 클리닝 휠을 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 이송 장치의 구성들을 측면에서 구체적으로 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 오버 핸드 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버 핸드 이송 장치가 공장 내부에 설치된 구조를 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 오버 핸드 이송 장치(OVER HAND TRANSFER; OHT, 1000)는 전자 부품(미도시)을 제조하기 위한 공장(10)의 내부에 설치된다.
구체적으로, 상기 이송 장치(1000)는 상기 공장(10) 내부의 천장(12)에 설치된 레일(20)을 따라 이동하도록 설치되어 상기 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구(30)를 이송한다. 여기서, 상기 전자 부품은 칩이 기판에 상에 연결된 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 반도체 소자를 일 예로 들 수 있으며, 이에 상기 이송 장치(1000)는 상기 공장(10) 내부의 상기 전자 부품들을 이의 제조를 위한 다수의 설비(40)들 각각에 공급하기 위하여 상기 탑재 기구(30)를 이송한다. 이때, 상기 레일(20)은 상기 설비(40)들 각각에 상기 탑재 기구(30)가 이송될 수 있는 경로를 제공하도록 설치된다.
이하, 상기 이송 장치(1000)의 구체적인 구성들에 대해서는 도 2 내지 도 4를 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치의 구성들을 개념적으로 간단하게 나타낸 사시 도면이고, 도 3은 도 2에 도시되는 이송 장치의 클리닝 휠을 구체적으로 나타낸 도면이며, 도 4는 도 2에 도시된 이송 장치의 구성들을 측면에서 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 4를 추가적으로 참조하면, 상기 이송 장치(1000)는 몸체(100), 구동 휠(200), 클리닝 휠(300) 및 흡입부(400)를 포함한다.
상기 몸체(100)는 상기 이송을 위한 탑재 기구(30)를 픽업할 수 있는 구조를 갖는다. 이를 위하여, 상기 몸체(100)는 일 예로, 상기 탑재 기구(30)를 다수 적재 가능한 구조를 갖는 적재 기구(50)를 픽업할 수 있는 픽업부(110)를 포함할 수 있다.
상기 구동 휠(200)은 상기 몸체(100)를 상기 레일(20)을 따라 실질적으로 이동시키기 위하여 상기 레일(20)을 따라 회전하면서 이동하도록 상기 몸체(100)에 장착된다. 이러한 구동 휠(200)은 상기 몸체(100)를 상기 설비(40)들 사이에서 전방 또는 후방으로 이동시키기 위하여 모터(motor)와 같이 전기 에너지에 의해 회전 구동력을 발생시키는 별도의 구동 장치(미도시)에 연결될 수 있다. 또한, 상기 구동 장치는 상기 몸체(100)가 이동하는 위치를 제어하기 위한 구동 제어부(미도시)와 연결될 수 있다.
상기 클리닝 휠(300)은 상기 구동 휠(200)의 인접한 전방 또는 후방에서 상기 몸체(100)에 장착된다. 상기 클리닝 휠(300)은 그 외면에 브러쉬(310)를 포함하여 상기 구동 휠(200)이 상기 레일(20)을 이동할 때 상기 레일(20) 상의 이물질을 상기 레일(20)로부터 물리적으로 분리시켜서 클리닝한다. 이에, 상기 클리닝 휠(300)은 기본적으로, 상기 레일(20)을 따라 상기 구동 휠(200)이 이동할 때 상기 브러쉬(310)가 상기 레일(20)에 물리적으로 접촉하도록 상기 몸체(100)에 장착된다.
또한, 상기 클리닝 휠(300)은 상기 구동 휠(200)과 연결된 구동 장치에 같이, 또는 별도의 제2 구동 장치(미도시)에 연결되어 상기 레일(20) 상의 이물질을 강제적으로 분리시킬 수 있다. 이와 달리, 상기 클리닝 휠(300)은 상기 구동 휠(200)이 상기 레일(20)을 따라 이동하는 힘에 의한 상기 레일(20)과의 마찰력을 이용하여 자연스럽게 회전하면서 이물질을 상기 레일(20)로부터 분리시킬 수 있다. 이럴 경우, 상기 클리닝 휠(300)은 상기와 같은 자연스러운 회전을 위해서 중심축에 베어링(bearing, 320)이 장착될 수 있다.
한편, 상기 이송 장치(1000)는 상기 클리닝 휠(300)이 상기 레일(20) 방향으로 탄성을 제공할 수 있도록 상기 클리닝 휠(300)에 결합된 탄성부(500)를 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 탄성부(500)는 일단이 상기 클리닝 휠(300)에 결합된 상태에서 타단이 상기 몸체(100)에 결합되는 압축 스프링(compression spring)을 포함할 수 있다. 이러면, 상기 클리닝 휠(300)이 상기 레일(20)이 교차되는 부위와 같이 약간의 돌출턱을 갖는 장애물을 이동할 때 상기 클리닝 휠(300)이 상기 장애물을 자연스럽게 지나갈 수 있도록 하면서 상기 탄성부(500)로부터 제공되는 탄성에 의해서 상기 클리닝 휠(300)이 상기 레일(20)에 밀착되도록 하여 상기 장애물 근처에서의 상기 레일(20) 상의 이물질도 쉽게 분리시킬 수 있다.
또한, 상기 이송 장치(1000)는 상기 탄성부(500)로부터 제공되는 탄성이 상기 레일(20) 방향으로 올바르게 제공되도록 상기 탄성이 제공되는 방향, 좀 더 넓은 의미로 상기 레일(20)과 교차되는 방향을 따라 직진성을 갖도록 상기 클리닝 휠(300)의 움직임을 가이드하는 클리닝 가이드부(600)를 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 클리닝 가이드부(600)는 상기 탄성부(500)의 평행한 위치에서 상기 몸체(100)에 장착되어 상기 직진성을 제공하는 LM(linear motion) 가이드를 포함할 수 있다. 이에, 상기 클리닝 가이드부(600)는 상기 몸체(100)에 장착되면서 그 일측이 상기 탄성부(500)의 타단에 결합된 LM 샤프트(610) 및 상기 LM 샤프트(610)에 직진성을 가지면서 이동하도록 체결되면서 상기 일측과 반대되는 타측 부분이 상기 탄성부(500)의 상기 클리닝 휠(300)과 결합된 일단에 결합되는 LM 가이드 블록(620)을 포함할 수 있다.
상기 흡입부(400)는 상기 클리닝 휠(300)과 인접한 위치에서 상기 몸체(100)에 장착되어 상기 클리닝 휠(300)로부터 분리된 이물질을 흡입한다. 이를 위하여, 상기 흡입부(400)는 외부의 진공압 공급부(미도시)로부터 진공압을 공급 받는다. 또한, 상기 흡입부(400)는 상기 흡입한 이물질을 집진하기 위한 집진부(미도시)와 연결된다. 이때, 상기 진공압 공급부와 상기 집진부는 상기 몸체(100)가 상기 레일(20)을 따라 비교적 긴 경로로 이동하기 때문에, 상기 몸체(100)에 설치될 수 있다.
이때, 상기 클리닝 휠(300)의 외면에 형성된 브러쉬(310)는 상기 레일(20)로부터 분리시킨 이물질이 그에 다시 달라 붙지 않고 쉽게 상기 흡입부(400)로 흡입되도록 대전 방지 처리된 모로 구성되는 것이 바람직하다.
이와 같이, 상기 이송 장치(1000)의 몸체(100)에 장착되어 상기 레일(20)을 따라 실질적으로 이동하는 상기 구동 휠(200)의 전방 또는 후방에 상기 대전 방지 처리된 브러쉬(310)를 갖는 클리닝 휠(300)을 장착함으로써, 상기 레일(20)에 달라 붙어 있는 이물질을 상기 브러쉬(310)를 통해 분리시킬 수 있으며, 이 분리된 이물질은 상기 클리닝 휠(300)과 인접한 위치에 ??장착된 흡입부(400)를 통해 간단하게 흡입 제거할 수 있다.
따라서, 상기 레일(20)에 있는 모든 이물질을 제거할 수 있으므로 인해서 상기 이송 장치(1000)에 의해 이송되는 전자 부품이 이물질에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 상기 전자 부품의 생산 수율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 공장 12 : 천장
20 : 레일 30 : 탑재 기구
40 : 설비 50 : 적재 기구
100 : 몸체 110 : 픽업부
200 : 구동 휠 300 : 클리닝 휠
310 : 브러쉬 320 : 베어링
400 : 흡입부 500 : 탄성부
600 : 클리닝 가이드부 610 : LM 샤프트
320 : LM 가이드 블록 1000 : 오버 핸드 이송 장치

Claims (7)

  1. 공장 내부의 천장에 설치된 레일을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 오버 핸드 이송 장치에 있어서,
    상기 탑재 기구를 픽업 가능하도록 구성된 몸체;
    상기 레일을 따라 이동하도록 회전하면서 상기 몸체에 장착된 구동 휠;
    외면에 형성된 브러쉬를 통해서 상기 구동 휠이 이동하는 레일 상의 이물질을 클리닝하기 위하여 상기 구동 휠의 인접한 전방 또는 후방에서 상기 몸체에 장착된 클리닝 휠;
    상기 클리닝 휠에 상기 레일 방향으로 탄성을 제공하기 위하여 상기 클리닝 휠에 결합된 탄성부; 및
    일단이 상기 몸체와 상기 탄성부의 어느 한 단부에 장착된 LM 샤프트 및 상기 LM 샤프트에 직진성을 가지면서 이동 가능하도록 체결되며 상기 탄성부의 다른 단부와 상기 클리닝 휠에 결합된 LM 가이드 블록을 구비한 클리닝 가이드부를 포함하는 오버 핸드 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 클리닝 휠과 인접한 위치에서 상기 클리닝한 이물질을 흡입하기 위하여 상기 몸체에 장착된 흡입부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버 핸드 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 클리닝 휠은 중심축에 베어링이 장착된 것을 특징으로 하는 오버 핸드 이송 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 브러쉬는 대전 방지모로 구성된 것을 특징으로 하는 오버 핸드 이송 장치.
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