JP2000271552A - 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置 - Google Patents
天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置Info
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- JP2000271552A JP2000271552A JP8284599A JP8284599A JP2000271552A JP 2000271552 A JP2000271552 A JP 2000271552A JP 8284599 A JP8284599 A JP 8284599A JP 8284599 A JP8284599 A JP 8284599A JP 2000271552 A JP2000271552 A JP 2000271552A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送台車を走行させながら、走行路内の塵埃
やごみを清掃することができるようにした天井走行式搬
送台車における走行路内清掃装置を提供すること。 【解決手段】 搬送台車２の走行路１内の底面と対向す
る位置に吸塵ノズル２８，２９を配設するとともに、こ
の吸塵ノズル２８，２９と搬送物の搭載台２２の近傍位
置に配設した接続口２６とをダクト２７を介して接続
し、接続口２６に搬送物の搭載台２２に搭載した真空式
掃除機１０の吸引ホースＨを接続する。
やごみを清掃することができるようにした天井走行式搬
送台車における走行路内清掃装置を提供すること。 【解決手段】 搬送台車２の走行路１内の底面と対向す
る位置に吸塵ノズル２８，２９を配設するとともに、こ
の吸塵ノズル２８，２９と搬送物の搭載台２２の近傍位
置に配設した接続口２６とをダクト２７を介して接続
し、接続口２６に搬送物の搭載台２２に搭載した真空式
掃除機１０の吸引ホースＨを接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、天井走行式搬送台
車における走行路内清掃装置に関し、特に、搬送台車を
走行させながら、走行路内の塵埃やごみを清掃すること
ができるようにした天井走行式搬送台車における走行路
内清掃装置に関するものである。
車における走行路内清掃装置に関し、特に、搬送台車を
走行させながら、走行路内の塵埃やごみを清掃すること
ができるようにした天井走行式搬送台車における走行路
内清掃装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工場、液晶製造工場等
のクリーンルームにおいて用いられる天井走行式搬送台
車は、搬送台車を天井に配設した走行レールに懸架し、
走行させることにより、搬送台車の搬送物の搭載台に搭
載した半導体ウェハー等を収納したカセットを、所要の
ステーション間で搬送するようにしている。
のクリーンルームにおいて用いられる天井走行式搬送台
車は、搬送台車を天井に配設した走行レールに懸架し、
走行させることにより、搬送台車の搬送物の搭載台に搭
載した半導体ウェハー等を収納したカセットを、所要の
ステーション間で搬送するようにしている。
【０００３】ところで、天井走行式搬送台車は、搬送台
車が走行レールを走行する際、接触部において塵挨が発
生するが、これをそのまま放置すると、発生した塵埃
が、搬送台車の走行によるピストン作用により走行路の
開口部よりクリーンルーム内に飛散することとなるた
め、吸引ファンによって、発生した塵埃を走行路内の空
気と共に吸引し、外部に排出するようにしている。
車が走行レールを走行する際、接触部において塵挨が発
生するが、これをそのまま放置すると、発生した塵埃
が、搬送台車の走行によるピストン作用により走行路の
開口部よりクリーンルーム内に飛散することとなるた
め、吸引ファンによって、発生した塵埃を走行路内の空
気と共に吸引し、外部に排出するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、走行路内の
空気を吸引し、外部に排出するようにすることにより、
走行路内に浮遊する小さな塵埃は、外部に排出すること
ができるが、走行路内の底面に落下した比較的大きな塵
埃やごみは、走行路内の空気を単に吸引しただけでは、
走行路内から完全に排出することは困難で、走行路内の
底面に落下、堆積した比較的大きな塵埃やごみが、搬送
台車の走行によるピストン作用により、走行路の開口部
よりクリーンルーム内に飛散し、クリーンルーム内を汚
染するという問題があった。
空気を吸引し、外部に排出するようにすることにより、
走行路内に浮遊する小さな塵埃は、外部に排出すること
ができるが、走行路内の底面に落下した比較的大きな塵
埃やごみは、走行路内の空気を単に吸引しただけでは、
走行路内から完全に排出することは困難で、走行路内の
底面に落下、堆積した比較的大きな塵埃やごみが、搬送
台車の走行によるピストン作用により、走行路の開口部
よりクリーンルーム内に飛散し、クリーンルーム内を汚
染するという問題があった。
【０００５】これに対処するためには、走行路内の底面
に落下、堆積した比較的大きな塵埃やごみを、定期的に
清掃する必要があるが、この清掃作業は、すべての搬送
台車の走行を停止して行う必要があるとともに、高所の
人手作業となるため作業効率が悪く、このため、生産効
率の低下を引き起こし、多大のコスト、労力及び時間を
要するという問題があった。
に落下、堆積した比較的大きな塵埃やごみを、定期的に
清掃する必要があるが、この清掃作業は、すべての搬送
台車の走行を停止して行う必要があるとともに、高所の
人手作業となるため作業効率が悪く、このため、生産効
率の低下を引き起こし、多大のコスト、労力及び時間を
要するという問題があった。
【０００６】本発明は、上記従来の天井走行式搬送設備
の走行路内の底面に落下、堆積する比較的大きな塵埃や
ごみに関する問題点に鑑み、搬送台車を走行させなが
ら、走行路内の塵埃やごみを清掃することができるよう
にした天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置を
提供することを目的とする。
の走行路内の底面に落下、堆積する比較的大きな塵埃や
ごみに関する問題点に鑑み、搬送台車を走行させなが
ら、走行路内の塵埃やごみを清掃することができるよう
にした天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の天井走行式搬送台車における走行路内清掃
装置は、天井に敷設された走行レールに沿って走行する
天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置におい
て、搬送台車の走行路内の底面と対向する位置に吸塵ノ
ズルを配設するとともに、該吸塵ノズルと搬送物の搭載
台の近傍位置に配設した接続口とをダクトを介して接続
し、前記接続口に搬送物の搭載台に搭載した真空式掃除
機の吸引ホースを接続するようにしたことを特徴とす
る。
め、本発明の天井走行式搬送台車における走行路内清掃
装置は、天井に敷設された走行レールに沿って走行する
天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置におい
て、搬送台車の走行路内の底面と対向する位置に吸塵ノ
ズルを配設するとともに、該吸塵ノズルと搬送物の搭載
台の近傍位置に配設した接続口とをダクトを介して接続
し、前記接続口に搬送物の搭載台に搭載した真空式掃除
機の吸引ホースを接続するようにしたことを特徴とす
る。
【０００８】この天井走行式搬送台車における走行路内
清掃装置は、搬送台車の走行路内の底面と対向する位置
に吸塵ノズルを配設するとともに、吸塵ノズルと搬送物
の搭載台の近傍位置に配設した接続口とをダクトを介し
て接続し、接続口に搬送物の搭載台に搭載した真空式掃
除機の吸引ホースを接続することができるようにしてい
るため、通常は、搬送物の搬送に用いられる搬送台車の
搬送物の搭載台に、真空式掃除機を搭載し、搬送台車を
走行させながら、真空式掃除機を駆動することにより、
搬送台車の走行路内の底面と対向する位置に配設した吸
塵ノズルによって、走行路内の底面に落下、堆積した比
較的大きな塵埃やごみを、吸引、除去することができ
る。
清掃装置は、搬送台車の走行路内の底面と対向する位置
に吸塵ノズルを配設するとともに、吸塵ノズルと搬送物
の搭載台の近傍位置に配設した接続口とをダクトを介し
て接続し、接続口に搬送物の搭載台に搭載した真空式掃
除機の吸引ホースを接続することができるようにしてい
るため、通常は、搬送物の搬送に用いられる搬送台車の
搬送物の搭載台に、真空式掃除機を搭載し、搬送台車を
走行させながら、真空式掃除機を駆動することにより、
搬送台車の走行路内の底面と対向する位置に配設した吸
塵ノズルによって、走行路内の底面に落下、堆積した比
較的大きな塵埃やごみを、吸引、除去することができ
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の天井走行式搬送台
車における走行路内清掃装置の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
車における走行路内清掃装置の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
【００１０】図１〜図３は、本発明の天井走行式搬送台
車における走行路内清掃装置を、半導体製造工場、液晶
製造工場等のクリーンルームにおいて用いられる天井走
行式搬送設備に適用したもので、この天井走行式搬送設
備は、搬送台車２を天井に配設した走行路１内に形成し
た走行レール７に懸架し、走行させることにより、通常
は、搬送台車２の搬送物の搭載台２２に、半導体ウェハ
ーを収納したカセット（図示省略）等の搬送物を搭載し
て、所要のステーション間で搬送するように構成されて
いる。
車における走行路内清掃装置を、半導体製造工場、液晶
製造工場等のクリーンルームにおいて用いられる天井走
行式搬送設備に適用したもので、この天井走行式搬送設
備は、搬送台車２を天井に配設した走行路１内に形成し
た走行レール７に懸架し、走行させることにより、通常
は、搬送台車２の搬送物の搭載台２２に、半導体ウェハ
ーを収納したカセット（図示省略）等の搬送物を搭載し
て、所要のステーション間で搬送するように構成されて
いる。
【００１１】走行路１は、搬送台車２が走行レール７を
走行する際に発生した塵挨がクリーンルーム内に飛散す
ることがないように、走行レール７の外側に沿って走行
路カバー８を配設したダクト状に閉鎖された構造とされ
ている。そして、この走行路１は、クリーンゾーンＲ１
内に、例えば、天井ＣにブラケットＢを介して、取り付
けられるとともに、走行路１内を隔壁１１により仕切っ
てダクト１３を形成し、ダクト１３と天井裏のダーティ
ゾーンＲ２内に設置した吸引ファン３とを吸塵パイプ４
を介して接続し、搬送台車２が走行レール７を走行する
際に発生した塵挨を、走行路１内の空気と共に、隔壁１
１に穿設した吸塵孔１２を介して吸引して、ダクト１
３、吸塵パイプ４及び吸引ファン３を経て、ダーティゾ
ーンＲ２内に排出するようにしている。
走行する際に発生した塵挨がクリーンルーム内に飛散す
ることがないように、走行レール７の外側に沿って走行
路カバー８を配設したダクト状に閉鎖された構造とされ
ている。そして、この走行路１は、クリーンゾーンＲ１
内に、例えば、天井ＣにブラケットＢを介して、取り付
けられるとともに、走行路１内を隔壁１１により仕切っ
てダクト１３を形成し、ダクト１３と天井裏のダーティ
ゾーンＲ２内に設置した吸引ファン３とを吸塵パイプ４
を介して接続し、搬送台車２が走行レール７を走行する
際に発生した塵挨を、走行路１内の空気と共に、隔壁１
１に穿設した吸塵孔１２を介して吸引して、ダクト１
３、吸塵パイプ４及び吸引ファン３を経て、ダーティゾ
ーンＲ２内に排出するようにしている。
【００１２】また、走行路１内には、走行路に沿って給
電線５を配設し、搬送台車２側に設けたピックアップコ
イル６を介して、電磁誘導作用によって非接触にて給電
を行うことができるようにする。
電線５を配設し、搬送台車２側に設けたピックアップコ
イル６を介して、電磁誘導作用によって非接触にて給電
を行うことができるようにする。
【００１３】搬送台車２は、台車本体２１と、この台車
本体２１に吊具を介して支持した搬送物の搭載台２２と
より構成する。そして、台車本体２１には、走行に必要
な走行車輪２３、走行用モータ２４及びガイドホイール
２５並びにピックアップコイル６を備えるようにする。
また、通常、搬送物を搭載する搭載台２２には、走行路
内清掃装置として使用する場合には、搬送物に代えて、
真空式掃除機１０を搭載可能できるようにする。
本体２１に吊具を介して支持した搬送物の搭載台２２と
より構成する。そして、台車本体２１には、走行に必要
な走行車輪２３、走行用モータ２４及びガイドホイール
２５並びにピックアップコイル６を備えるようにする。
また、通常、搬送物を搭載する搭載台２２には、走行路
内清掃装置として使用する場合には、搬送物に代えて、
真空式掃除機１０を搭載可能できるようにする。
【００１４】そして、搬送台車２の走行路１（走行路カ
バー８の部分を含む。以下同じ。）内の底面と対向する
位置に吸塵ノズル２８，２９を配設するとともに、この
吸塵ノズル２８，２９と搬送物の搭載台２２の近傍位置
に配設した接続口２６とをダクト２７を介して接続し、
接続口２６に搬送物の搭載台２２に搭載した真空式掃除
機１０の吸引ホースＨを接続するようにする。
バー８の部分を含む。以下同じ。）内の底面と対向する
位置に吸塵ノズル２８，２９を配設するとともに、この
吸塵ノズル２８，２９と搬送物の搭載台２２の近傍位置
に配設した接続口２６とをダクト２７を介して接続し、
接続口２６に搬送物の搭載台２２に搭載した真空式掃除
機１０の吸引ホースＨを接続するようにする。
【００１５】吸塵ノズル２８，２９は、走行路１内の底
面に落下、堆積した比較的大きな塵埃やごみを吸引でき
るように、底面に近接して配設する。なお、本実施例に
おいては、一方の吸塵ノズル２８は、走行路１内の底面
と対向する位置に、他方の吸塵ノズル２９は、走行路カ
バー８内の底面と対向する位置に配設し、共通のダクト
２７に接続するようにしている。
面に落下、堆積した比較的大きな塵埃やごみを吸引でき
るように、底面に近接して配設する。なお、本実施例に
おいては、一方の吸塵ノズル２８は、走行路１内の底面
と対向する位置に、他方の吸塵ノズル２９は、走行路カ
バー８内の底面と対向する位置に配設し、共通のダクト
２７に接続するようにしている。
【００１６】この天井走行式搬送設備は、通常の搬送作
業時においては、搬送台車２が走行レール７を走行する
際に発生し、走行路１内に浮遊する小さな塵埃を、走行
路１内の空気と共に、隔壁１１に穿設した吸塵孔１２を
介して吸引して、ダクト１３、吸塵パイプ４及び吸引フ
ァン３を経て、ダーティゾーンＲ２内に排出することに
より、クリーンゾーンＲ１を清浄に維持するようにす
る。
業時においては、搬送台車２が走行レール７を走行する
際に発生し、走行路１内に浮遊する小さな塵埃を、走行
路１内の空気と共に、隔壁１１に穿設した吸塵孔１２を
介して吸引して、ダクト１３、吸塵パイプ４及び吸引フ
ァン３を経て、ダーティゾーンＲ２内に排出することに
より、クリーンゾーンＲ１を清浄に維持するようにす
る。
【００１７】そして、走行路１内の底面に落下した比較
的大きな塵埃やごみは、走行路１内の空気を単に吸引し
ただけでは、走行路１内から完全に排出することができ
ないため、例えば、定期的に、搬送台車２の走行路１内
の底面と対向する位置に吸塵ノズル２８，２９を配設す
るとともに、吸塵ノズル２８，２９と搬送物の搭載台２
２の近傍位置に配設した接続口２６とをダクト２７を介
して接続し、接続口２６に搬送物の搭載台２２に搭載し
た真空式掃除機１０の吸引ホースＨを接続することがで
きるようにした搬送台車２の搬送物の搭載台２２に、真
空式掃除機１０を搭載し、搬送台車２を走行させなが
ら、ピックアップコイル６から給電を受けながら真空式
掃除機１０を駆動することにより、搬送台車２の走行路
１内の底面と対向する位置に配設した吸塵ノズル２８，
２９によって、走行路１内の底面に落下、堆積した比較
的大きな塵埃やごみを、吸引、除去するようにする。
的大きな塵埃やごみは、走行路１内の空気を単に吸引し
ただけでは、走行路１内から完全に排出することができ
ないため、例えば、定期的に、搬送台車２の走行路１内
の底面と対向する位置に吸塵ノズル２８，２９を配設す
るとともに、吸塵ノズル２８，２９と搬送物の搭載台２
２の近傍位置に配設した接続口２６とをダクト２７を介
して接続し、接続口２６に搬送物の搭載台２２に搭載し
た真空式掃除機１０の吸引ホースＨを接続することがで
きるようにした搬送台車２の搬送物の搭載台２２に、真
空式掃除機１０を搭載し、搬送台車２を走行させなが
ら、ピックアップコイル６から給電を受けながら真空式
掃除機１０を駆動することにより、搬送台車２の走行路
１内の底面と対向する位置に配設した吸塵ノズル２８，
２９によって、走行路１内の底面に落下、堆積した比較
的大きな塵埃やごみを、吸引、除去するようにする。
【００１８】なお、真空式掃除機１０から排出された空
気は、真空式掃除機１０自体又は搬送台車２の搬送物の
搭載台２２に配設したＨＥＰＡフィルター（図示省略）
により濾過した後、クリーンゾーンＲ１へ排出するよう
にする。
気は、真空式掃除機１０自体又は搬送台車２の搬送物の
搭載台２２に配設したＨＥＰＡフィルター（図示省略）
により濾過した後、クリーンゾーンＲ１へ排出するよう
にする。
【００１９】このように、搬送台車２を走行路１に沿っ
て走行させることにより、閉鎖された走行路１の全長に
亘って、走行路１内の清掃を簡単に行えるものとなる。
しかも、この作業は、他の搬送台車を停止して行う必要
がないため、生産効率の低下を引き起こすことがなく、
コスト、労力及び時間を著しく節約することができる。
て走行させることにより、閉鎖された走行路１の全長に
亘って、走行路１内の清掃を簡単に行えるものとなる。
しかも、この作業は、他の搬送台車を停止して行う必要
がないため、生産効率の低下を引き起こすことがなく、
コスト、労力及び時間を著しく節約することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明の天井走行式搬送台車における走
行路内清掃装置によれば、搬送台車の走行路内の底面と
対向する位置に吸塵ノズルを配設するとともに、吸塵ノ
ズルと搬送物の搭載台の近傍位置に配設した接続口とを
ダクトを介して接続し、接続口に搬送物の搭載台に搭載
した真空式掃除機の吸引ホースを接続することができる
ようにしているため、通常は、搬送物の搬送に用いられ
る搬送台車の搬送物の搭載台に、真空式掃除機を搭載
し、搬送台車を走行させながら、真空式掃除機を駆動す
ることにより、搬送台車の走行路内の底面と対向する位
置に配設した吸塵ノズルによって、走行路内の底面に落
下、堆積した比較的大きな塵埃やごみを、吸引、除去す
ることができ、清掃に要するコスト、労力及び時間を著
しく節約することができる。
行路内清掃装置によれば、搬送台車の走行路内の底面と
対向する位置に吸塵ノズルを配設するとともに、吸塵ノ
ズルと搬送物の搭載台の近傍位置に配設した接続口とを
ダクトを介して接続し、接続口に搬送物の搭載台に搭載
した真空式掃除機の吸引ホースを接続することができる
ようにしているため、通常は、搬送物の搬送に用いられ
る搬送台車の搬送物の搭載台に、真空式掃除機を搭載
し、搬送台車を走行させながら、真空式掃除機を駆動す
ることにより、搬送台車の走行路内の底面と対向する位
置に配設した吸塵ノズルによって、走行路内の底面に落
下、堆積した比較的大きな塵埃やごみを、吸引、除去す
ることができ、清掃に要するコスト、労力及び時間を著
しく節約することができる。
【図１】本発明の天井走行式搬送台車における走行路内
清掃装置の一実施例を示す断面図である。
清掃装置の一実施例を示す断面図である。
【図２】同全体図である。
【図３】吸塵ノズルの説明図である。
１ 走行路 １０ 真空式掃除機 ２ 搬送台車 ２１ 走行台車 ２２ 搭載台 ２３ 走行車輪 ２６ 接続口 ２７ ダクト ２８ 吸塵ノズル ２９ 吸塵ノズル ５ 給電線 ６ ピックアップコイル ７ 走行レール ８ 走行路カバー
Claims (1)
- 【請求項１】 天井に敷設された走行レールに沿って走
行する天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置に
おいて、搬送台車の走行路内の底面と対向する位置に吸
塵ノズルを配設するとともに、該吸塵ノズルと搬送物の
搭載台の近傍位置に配設した接続口とをダクトを介して
接続し、前記接続口に搬送物の搭載台に搭載した真空式
掃除機の吸引ホースを接続するようにしたことを特徴と
する天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284599A JP2000271552A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284599A JP2000271552A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000271552A true JP2000271552A (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13785734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8284599A Pending JP2000271552A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000271552A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102814302A (zh) * | 2011-06-10 | 2012-12-12 | 株式会社大福 | 天花板运送设备的清扫装置及其动作方法 |
| CN107042210A (zh) * | 2016-02-08 | 2017-08-15 | 株式会社大福 | 物品搬运设备 |
| JP2020159653A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三機工業株式会社 | クリーンルームの空調システム |
| CN114955417A (zh) * | 2021-02-26 | 2022-08-30 | 印能科技股份有限公司 | 接触式电轨高架搬运车（oht）集尘系统 |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP8284599A patent/JP2000271552A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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