JP2001031211A - 搬送システム - Google Patents
搬送システムInfo
- Publication number
- JP2001031211A JP2001031211A JP21030299A JP21030299A JP2001031211A JP 2001031211 A JP2001031211 A JP 2001031211A JP 21030299 A JP21030299 A JP 21030299A JP 21030299 A JP21030299 A JP 21030299A JP 2001031211 A JP2001031211 A JP 2001031211A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- traveling rail
- transfer device
- fan unit
- support
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 自動倉庫２の移載装置４に、リニア搬送車１
２の走行レール１０を支持体１６で取り付ける。支持体
１６には、移載装置４の内部とレール１０の内部の双方
に連通した連通部１８を設け、その底部にフィルターフ
ァンユニット２０を設ける。 【効果】 移載装置とリニア搬送車の双方からの発塵
を、レールの支持体に設けたフィルターファンユニット
で処理でき、レール内のフィルターファンユニットを不
要にできる。
２の走行レール１０を支持体１６で取り付ける。支持体
１６には、移載装置４の内部とレール１０の内部の双方
に連通した連通部１８を設け、その底部にフィルターフ
ァンユニット２０を設ける。 【効果】 移載装置とリニア搬送車の双方からの発塵
を、レールの支持体に設けたフィルターファンユニット
で処理でき、レール内のフィルターファンユニットを不
要にできる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明はクリーンルームで使用す
る搬送車システムに関し、特に搬送車の走行レールから
の発塵の処理に関する。
る搬送車システムに関し、特に搬送車の走行レールから
の発塵の処理に関する。
【０００２】
【従来技術】クリーンルームでの物品の搬送に、リニア
搬送車等の有軌道台車が用いられている。これらの有軌
道台車の走行レールには、走行部等からの発塵を防止す
るため、フィルターファンユニットを設ける。ところで
クリーンルームに配設した走行レールの全長はかなりの
長さに及び、これにフィルターファンユニットを設ける
ため、相当のコストが必要であった。
搬送車等の有軌道台車が用いられている。これらの有軌
道台車の走行レールには、走行部等からの発塵を防止す
るため、フィルターファンユニットを設ける。ところで
クリーンルームに配設した走行レールの全長はかなりの
長さに及び、これにフィルターファンユニットを設ける
ため、相当のコストが必要であった。
【０００３】
【発明の課題】この発明の課題は、走行レールのフィル
ターファンユニットを不要にすることにある（請求項１
〜３）。請求項２，３の発明の追加の課題は、走行レー
ルの支持を容易にすることにある。請求項３の発明の追
加の課題は、走行レールのレイアウトを容易にすること
にある。
ターファンユニットを不要にすることにある（請求項１
〜３）。請求項２，３の発明の追加の課題は、走行レー
ルの支持を容易にすることにある。請求項３の発明の追
加の課題は、走行レールのレイアウトを容易にすること
にある。
【０００４】
【発明の構成】この発明は、クリーンルーム内に、位置
が固定の移載装置と有軌道台車の走行レールとを設けた
搬送システムにおいて、前記移載装置の内部と走行レー
ルの内部とを連通させる連通部と、該連通部内の空気を
処理するためのフィルターファンユニットとを設けたこ
とを特徴とする。有軌道台車はリニア搬送車等とし、連
通部は走行レール内の空気と移載装置からの空気、特に
その駆動部付近からの空気、を吸引できるものであれば
よい。移載装置は自動倉庫の一部でも、半導体加工装置
等の処理装置の一部でも、あるいは他の固定の移載ステ
ーションなどの一部でも良い。
が固定の移載装置と有軌道台車の走行レールとを設けた
搬送システムにおいて、前記移載装置の内部と走行レー
ルの内部とを連通させる連通部と、該連通部内の空気を
処理するためのフィルターファンユニットとを設けたこ
とを特徴とする。有軌道台車はリニア搬送車等とし、連
通部は走行レール内の空気と移載装置からの空気、特に
その駆動部付近からの空気、を吸引できるものであれば
よい。移載装置は自動倉庫の一部でも、半導体加工装置
等の処理装置の一部でも、あるいは他の固定の移載ステ
ーションなどの一部でも良い。
【０００５】好ましくは、走行レールを、移載装置付近
から突設した支持体で支持し、かつ連通部とフィルター
ファンユニットを支持体内に配設して、支持体と一体に
する。支持体の突設位置は、移載装置内の空気を連通部
で吸引できる位置であれば良く、文字通りに移載装置か
ら突設する必要はない。さらに好ましくは、走行レール
に沿って移載装置を複数個同じ高さレベルに配列し、各
移載装置の付近に設けた支持体により、走行レールを支
持する。
から突設した支持体で支持し、かつ連通部とフィルター
ファンユニットを支持体内に配設して、支持体と一体に
する。支持体の突設位置は、移載装置内の空気を連通部
で吸引できる位置であれば良く、文字通りに移載装置か
ら突設する必要はない。さらに好ましくは、走行レール
に沿って移載装置を複数個同じ高さレベルに配列し、各
移載装置の付近に設けた支持体により、走行レールを支
持する。
【０００６】
【発明の作用と効果】この発明では、移載装置の内部と
走行レールの内部とを連通部で連通させて、共通のフィ
ルターファンユニットで処理するので、走行レールの内
部のフィルターファンユニットが不要になる。この結
果、同じフィルターファンユニットを、走行レールから
の発塵の防止と、移載装置からの発塵の防止とに兼用で
きる。
走行レールの内部とを連通部で連通させて、共通のフィ
ルターファンユニットで処理するので、走行レールの内
部のフィルターファンユニットが不要になる。この結
果、同じフィルターファンユニットを、走行レールから
の発塵の防止と、移載装置からの発塵の防止とに兼用で
きる。
【０００７】請求項２の発明ではさらに、走行レールを
移載装置側からの支持体で支持し、その内部に連通部と
フィルターファンユニットとを収容するので、移載装置
と走行レールの双方からの発塵の防止と、走行レールの
支持とを、同じ支持体で行える。請求項３の発明ではさ
らに、移載装置を高さレベルを揃えて複数個配列し、こ
れらに設けた支持体で走行レールを支持し、各支持体内
に連通部とフィルターファンユニットを設ける。このた
め走行レールを天井からつり下げたり、床に立設した支
柱で支える必要が無く、走行レールの設置が容易にな
る。また走行レール内のフィルターファンユニットの配
置を考慮してレイアウトする必要がなく、走行レールの
レイアウトも容易になる。
移載装置側からの支持体で支持し、その内部に連通部と
フィルターファンユニットとを収容するので、移載装置
と走行レールの双方からの発塵の防止と、走行レールの
支持とを、同じ支持体で行える。請求項３の発明ではさ
らに、移載装置を高さレベルを揃えて複数個配列し、こ
れらに設けた支持体で走行レールを支持し、各支持体内
に連通部とフィルターファンユニットを設ける。このた
め走行レールを天井からつり下げたり、床に立設した支
柱で支える必要が無く、走行レールの設置が容易にな
る。また走行レール内のフィルターファンユニットの配
置を考慮してレイアウトする必要がなく、走行レールの
レイアウトも容易になる。
【０００８】
【実施例】図１，図２に実施例を示す。図１に、移載装
置への走行レールの取付を示す。図１において、２は自
動倉庫で、スタッカークレーンを用いたものや循環棚を
用いたもの等、その方式を問わず、また自動倉庫２に代
えて、半導体加工装置や液晶加工装置等の処理装置とし
ても良い。４は移載装置本体で、６はスカラーアーム
で、スライドフォークやその他の移載装置でも良く、自
動倉庫２と後述のリニア搬送車１２との間で物品を移載
できるものであればよい。スカラアーム６の駆動モータ
等の駆動部は移載装置本体４に収容されており、８はそ
の制御部である。
置への走行レールの取付を示す。図１において、２は自
動倉庫で、スタッカークレーンを用いたものや循環棚を
用いたもの等、その方式を問わず、また自動倉庫２に代
えて、半導体加工装置や液晶加工装置等の処理装置とし
ても良い。４は移載装置本体で、６はスカラーアーム
で、スライドフォークやその他の移載装置でも良く、自
動倉庫２と後述のリニア搬送車１２との間で物品を移載
できるものであればよい。スカラアーム６の駆動モータ
等の駆動部は移載装置本体４に収容されており、８はそ
の制御部である。
【０００９】１０は走行レールで、リニア搬送車１２を
走行・停止させるために、リニアモータを設けてあり、
物品１４を自動倉庫２，２間で搬送する。１６は移載装
置本体４に突設した支持体で、走行レール１０を支持す
る。１８は移載装置本体４の内部の空気、特にその駆動
モータ付近の空気と、走行レール１０内の空気の付近と
を吸引するための連通部で、２０はフィルターファンユ
ニットであり、２２はそのファンで、２４はフィルター
である。即ちファン２２で連通部１８を介し、移載装置
本体４内の空気と走行レール１０内の空気を吸引し、フ
ィルター２４で処理し、これらを支持体１６内に設け
る。
走行・停止させるために、リニアモータを設けてあり、
物品１４を自動倉庫２，２間で搬送する。１６は移載装
置本体４に突設した支持体で、走行レール１０を支持す
る。１８は移載装置本体４の内部の空気、特にその駆動
モータ付近の空気と、走行レール１０内の空気の付近と
を吸引するための連通部で、２０はフィルターファンユ
ニットであり、２２はそのファンで、２４はフィルター
である。即ちファン２２で連通部１８を介し、移載装置
本体４内の空気と走行レール１０内の空気を吸引し、フ
ィルター２４で処理し、これらを支持体１６内に設け
る。
【００１０】図１の矢印に空気の流れを示し、白抜き矢
印にフィルターファンユニット２０で処理された空気の
流れを示す。クリーンルームでは常に上方から下方へと
向けてクリーンエアーの流れがあるので、スカラーアー
ム６の関節付近の空気や移載装置本体４内の駆動モータ
付近の空気は連通部１８に入り、ファン２２で吸引され
る。同様に走行レール１０内の空気もファン２２で吸引
されて連通部に入る。これらの空気はフィルター２４で
浄化され、図１の白抜き矢印のように下方に放出され
る。この結果、移載装置と走行レール１０の双方からの
クリーンルーム内への発塵の防止に、共通のフィルター
ファンユニット２０を設けることができ、設備全体とし
て、フィルターファンユニットの個数を減少させること
ができる。またこのフィルターファンユニット２０は、
走行レール１０を支持するための支持体１６内に収容さ
れ、追加のスペースを要せず、走行レール１０の取り付
けも簡単である。
印にフィルターファンユニット２０で処理された空気の
流れを示す。クリーンルームでは常に上方から下方へと
向けてクリーンエアーの流れがあるので、スカラーアー
ム６の関節付近の空気や移載装置本体４内の駆動モータ
付近の空気は連通部１８に入り、ファン２２で吸引され
る。同様に走行レール１０内の空気もファン２２で吸引
されて連通部に入る。これらの空気はフィルター２４で
浄化され、図１の白抜き矢印のように下方に放出され
る。この結果、移載装置と走行レール１０の双方からの
クリーンルーム内への発塵の防止に、共通のフィルター
ファンユニット２０を設けることができ、設備全体とし
て、フィルターファンユニットの個数を減少させること
ができる。またこのフィルターファンユニット２０は、
走行レール１０を支持するための支持体１６内に収容さ
れ、追加のスペースを要せず、走行レール１０の取り付
けも簡単である。
【００１１】図２に実施例の搬送システムの全体的レイ
アウトを示すと、例えば自動倉庫２等をクリーンルーム
内に複数個配列し、高さレベルを揃えて同型式の移載装
置を各自動倉庫２に設け、これらの高さを共通にする。
また走行レール１０は移載装置本体４の部分から突出し
た支持体１６で支持し、走行レール１０内に専用のフィ
ルターファンユニットは設けない。なお２６は自動倉庫
２の他端側のステーションで、２８は他の搬送装置とし
ての無人搬送車である。
アウトを示すと、例えば自動倉庫２等をクリーンルーム
内に複数個配列し、高さレベルを揃えて同型式の移載装
置を各自動倉庫２に設け、これらの高さを共通にする。
また走行レール１０は移載装置本体４の部分から突出し
た支持体１６で支持し、走行レール１０内に専用のフィ
ルターファンユニットは設けない。なお２６は自動倉庫
２の他端側のステーションで、２８は他の搬送装置とし
ての無人搬送車である。
【００１２】図２のレイアウトでは、走行レール１０を
移載装置本体から突き出した支持体１６で支持するの
で、天井から吊り下げたり、床面に支柱を設けて支持し
たりする必要がない。そして移載装置の高さを共通にし
たので、走行レール１０の設置も容易である。また自動
倉庫２の配列ピッチ毎に、フィルターファンユニット２
０を支持体１６内に設け、これによって走行レール１０
内の汚染空気や移載装置からの汚染空気を浄化する。
移載装置本体から突き出した支持体１６で支持するの
で、天井から吊り下げたり、床面に支柱を設けて支持し
たりする必要がない。そして移載装置の高さを共通にし
たので、走行レール１０の設置も容易である。また自動
倉庫２の配列ピッチ毎に、フィルターファンユニット２
０を支持体１６内に設け、これによって走行レール１０
内の汚染空気や移載装置からの汚染空気を浄化する。
【００１３】補助的な効果として、フィルターファンユ
ニットを走行レール１０内に配置しないので、フィルタ
ーファンユニットの位置を考慮せずに、走行レール１０
をレイアウトでき、レイアウトが容易になる。なお自動
倉庫２等の設備がない部分では、従来通り走行レール１
０を天井から吊り下げたり、クリーンルームの床面に設
けた支柱等で支えても良い。
ニットを走行レール１０内に配置しないので、フィルタ
ーファンユニットの位置を考慮せずに、走行レール１０
をレイアウトでき、レイアウトが容易になる。なお自動
倉庫２等の設備がない部分では、従来通り走行レール１
０を天井から吊り下げたり、クリーンルームの床面に設
けた支柱等で支えても良い。
【図１】 実施例の搬送車システムの要部正面図
【図２】 実施例の搬送車システムのレイアウトを示す
要部平面図
要部平面図
２ 自動倉庫 ４ 移載装置本体 ６ スカラーアーム ８ 制御部 １０ 走行レール １２ リニア搬送車 １４ 物品 １６ 支持体 １８ 連通部 ２０ フィルターファンユニット ２２ ファン ２４ フィルター
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンルーム内に、位置が固定の移載
装置と有軌道台車の走行レールとを設けた搬送システム
において、 前記移載装置の内部と走行レールの内部とを連通させる
連通部と、該連通部内の空気を処理するためのフィルタ
ーファンユニットとを設けたことを特徴とする、搬送シ
ステム。 - 【請求項２】 前記走行レールを、前記移載装置付近か
ら突設した支持体で支持し、かつ前記連通部と前記フィ
ルターファンユニットを前記支持体内に配設したことを
特徴とする、請求項１の搬送システム。 - 【請求項３】 前記走行レールに沿って、前記移載装置
を複数個同じ高さレベルに配列し、各移載装置の付近に
設けた支持体により、走行レールを支持するようにした
ことを特徴とする、請求項２の搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21030299A JP2001031211A (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | 搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21030299A JP2001031211A (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | 搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001031211A true JP2001031211A (ja) | 2001-02-06 |
Family
ID=16587163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21030299A Pending JP2001031211A (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | 搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001031211A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003021645A2 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-13 | Asyst Technologies, Inc. | Wafer engine |
| US7217076B2 (en) | 2001-08-31 | 2007-05-15 | Asyst Technologies, Inc. | Semiconductor material handling system |
| US7293950B2 (en) | 2001-08-31 | 2007-11-13 | Aysts Technologies, Inc. | Universal modular wafer transport system |
-
1999
- 1999-07-26 JP JP21030299A patent/JP2001031211A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003021645A2 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-13 | Asyst Technologies, Inc. | Wafer engine |
| WO2003021645A3 (en) * | 2001-08-31 | 2003-07-24 | Asyst Technologies | Wafer engine |
| US7066707B1 (en) | 2001-08-31 | 2006-06-27 | Asyst Technologies, Inc. | Wafer engine |
| US7217076B2 (en) | 2001-08-31 | 2007-05-15 | Asyst Technologies, Inc. | Semiconductor material handling system |
| US7293950B2 (en) | 2001-08-31 | 2007-11-13 | Aysts Technologies, Inc. | Universal modular wafer transport system |
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