JPS62116349A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、クリーンルーム等の無塵環境において物品
を搬送するのに使用する搬送装置に関するものである。

〔従来の技術〕

例えば半導体工場においては、クリーン度が比較的低い
クリーンルーム（例えばクラスｌ　ＯＯＯ）と、クリー
ン度が極めて高い（例えばクラス１００）クリーンルー
ムが隔壁によって区切られている。

そして、この高クリーン度のクリーンルームは、低クリ
ーン度のクリーンルームに設けられている搬送装置を介
して相互に接続されることにより、流れ作業によって半
導体ウェハに各種加工を順次加えている。

ここで、多数のうエバが収納されているウェハカセット
を高クリーンルームと低クリーンルーム間において移送
するのが搬送装置である。第３図は半導体工場において
使用されている従来の搬送装置を示す全体構成図である
。同図において１はクリーン度が例えばクラス１０００
程度に比較的低い低クリーンルーム、２．３は低クリー
ンルーム１の両側に設けられたクリーン度が例えば１０
０程度に比較的高い高クリーンルームであって、隔壁２
ａ、３ａによって低クリーンルームｌと区分されている
。４は低クリーンルーム１に設けられて、その両側に位
置する高クリーンルーム２，３間を連結するウェハカセ
ット用の搬送装置である。

そして、この搬送装置４は、隔壁’ｌａ、３ａを貫通し
て高クリーンルーム２，３間を結ぶ走行レール５と、ウ
ェハカセット６を乗せて走行レール５の上を走行するキ
ャリヤー７と、走行レール５の周囲を覆う周壁８および
周壁を支える支柱９とによって構成されている。２ｂ、
３ｂは、高クリーンルーム２，３の内部における走行レ
ール端にそれぞれ設置されたロボットである。

このように構成された装置において、ウェハカセット６
が乗せられたキャリヤー７は、走行レール５に沿って走
行することにより高クリーンルーム２，３間を移動する
。そして、この走行レール５の両端においては、ロボッ
ト２ｂ、３ｂがキャリヤー７により移送されて来るウェ
ハカセット６をハンドリングすることにより、図示しな
い各種の半導体製造装置に対してローディングおよびア
ローディングを行なう ここで、搬送袋Ｗ４は、低クリーンルーム１の内部に設
けられていることから、搬送中のウェハに塵が付着しな
いように各種の工夫が施されている。

第４図は第２図に示す搬送装置４の断面図であって、周
壁８は断面口字状の筒となって支柱９により支えられて
いる。そして、この周壁８の内部は、上下にそれぞれ開
口部１０ａ、１０ｂを有する仕切板１０によって左右に
２分されており、左側の空間にはその内部を貫通する走
行レール５を支持する格子状床１１と、その上部に設け
られたエバフィルタ１２とを有する。なお、７ａはキャ
リヤー７の支持ローラ、７ｂはキャリヤー７を走行させ
るための駆動装置としてのりニアモータである。一方、
支切板１０によって区分された右側の空間には、送風機
１３が例えば数ｍ間隔で設置されている。

このように構成された搬送装置において、リニアモータ
７ｂに駆動電源を供給すると、水平方向の力がキャリヤ
ー７に加わることから、支持ローラ７ａによって走行レ
ール５に支持されているキャリヤー７がウェハカセット
６を乗せて走行レール５上を移動することになる。

一方、送風機１３が駆動されると、周壁８内のエアーが
送風機１３−開口部１０ａ−エバフィルタ１２−ウェハ
カセット６の周囲−格子状床１１−開ロ部１０ｂ−送風
機１３のループを介して矢印で示すように循環すること
になる。この結果、ウェハカセット６は、エバフィルタ
１２を通過した直後のエアーによって包まれることから
、低クリーンルーム１を通過する場合におけるクリーン
度が確保される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の搬送装置は以上のように構成されているので走行
レール５の側部に送風ダクトが並設されることがら周壁
８の幅Ｗが大きくなって、スペースを取ることになる。

また、周壁８の幅Ｗが大きくなると、重量が増すことか
ら、これを支える支柱を頑丈なものにしなければならな
い等の問題点を有している。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、取付スペースが小さく、かつ支柱を簡単なも
のとすることが出来る搬送装置を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る搬送装置は、周壁を支える支柱の内部に
送風機を設けて周壁の底部からその内部エヤーを吸引す
るとともに、この送風機の排出口と周壁の上部を連結す
る送風ダクトを設けてエヤーを循環させるものである。

〔作用〕

この発明における搬送装置は、送風機を支柱内に設置し
たことにより、周壁の幅が大幅に縮小され、これに伴な
って設置スペースが小さくなるとともに、周壁が軽くな
るために支柱を簡略化することが可能になるものである
。

〔発明の実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において１４は周壁であって、第４図に示す従来の周
壁８における支切板ｔＯａによって２分された左側の空
間部分とほぼ同一の形状をなしている。そして、この周
壁１４の内部には、従来と同様に走行レール５、キャリ
ヤー７、格子状床１１およびエバフィルター２が設けら
れている。１５は周壁１４の底部に設けられた開口部で
あって、この開口部１５により周壁１４の内部と支柱９
の内部を連絡させている。１６は支柱９の内部に設けら
れた送風機であって、排出口１６ａのみが支柱９の側部
に突出されている。１７は周壁１４の側部上側に設けら
れた開口部、１８は第２図に示すように、排出口１６ａ
と開口部１７とを連結する送風ダクトである。

このように構成された搬送装置において、送風機１６を
駆動すると、エアーが送風ダクト１８を介して周壁１４
の上部に送り込まれる。そして、この周壁１４の上部に
送り込まれたエアーは、エバフィルタ１２を通過するこ
とにより、塵が除去されてクリーンなエアーとなる。こ
のようにして清浄化されたエアーは、キャリヤー７によ
って移送されるウェハカセット６の周囲を取り囲むよう
にして流れることから、ウェハカセット６に対するクリ
ーン度が確保される。そして、このウェハカセット６の
周囲を通過したエアーは、格子状床１１を通過した後に
、周壁１４の底部に設けられて支柱９の内部に連通させ
ている開口部１５を介して送風機１６に吸入される。こ
のような動作を繰り返すことにより、エアーが矢印で示
すように循環して、移送中のウェハカセット６が常時ク
リーンエヤーによって包まれることからクリーン度が確
保される。

ここで、上記構成においては、送風機１６が支柱９の内
部に収容されていることから、従来のように周壁の内部
を左右に２分して片側に送風機を設ける必要がなくなり
、これに伴なって周壁１４の幅Ｗａが従来に比較して約
半分となることから、設置スペースが大幅に減少する。

また、周壁１４の幅が減少することに伴なって、周壁１
４の重量が大幅に軽減されることから、支柱９を簡略化
することが可能になる。なお、ダクト１８が必要になる
が、このダクトは約５ｍ間隔に設けられている支柱９の
部分、つまり排出口１６ａが鰻けられている部分のみに
装着すれば良いことから、これらはＥ）！スペースおよ
び重量にあまり影響を与えない。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、周壁を支持する支柱の
内部に送風機を設置して周壁の底部からその内部エヤー
を吸引するとともに、この吸引したエアーを周壁の上部
に送風ダクトを介して供給するように構成したものであ
るために、従来のように周壁の内部に送風機および送風
ダクト部分を設けることが不要になり、これに伴なって
周壁の幅が短縮されることから、設置スペースが大幅に
短縮される。また、周壁の幅短縮化に伴なって、その重
量が大幅に軽減されるために、これを支える支柱そのも
のも簡略化することが出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による搬送装置の一実施例を示す要部
断面図、第２図は第１図の斜視図、第３図は従来の搬送
装置を半導体製造工場に適用した場合を示す全体構成図
、第４図は第３図の要部断面図である。 ５は走行レール、６はウェハカセット、７はキャリヤー
、７ａは支持ローラ、７ｂはりニアモータ、９は支柱、
１１は格子状床、１２はエバフィルタ、１４は周壁、１
５．１７は開口部、１６は送風機、１６ａは排出口、１
８は送風ダクト。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。　
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 水平方向に延在した状態に設けられた断面ロ字状の周壁
   と、この周壁を所定間隔ごとに支える支柱と、前記周壁
   内の上部に設けられたエバフィルタと、前記周壁内の下
   部に設けられた格子状床と、この格子状床の上に固定さ
   れた走行レールと、この走行レール上を物品を乗せて走
   行するキャリヤーと、前記支柱の内部に設けられて、前
   記周壁内における前記格子状床よりも下側のエアーを吸
   引する送風機と、この送風機から排出されるエアーを前
   記エバフィルタよりも上側の周壁内に供給する送風ダク
   トとを備えた搬送装置。