JPH11139509A - クリーン倉庫 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトで、全体に均一にクリーンエアを
供給できるクリーン倉庫を提供する。 【構成】 クリーン倉庫の一対のラック１，２の背面両
側方に、高さを変えて複数のクリーンファンユニット１
４，２０を配置し、ラック背面の送気路２６，２８から
クリーンエアを複数の棚３，４に均一に送気する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】この発明はクリーン倉庫に関し、特
にクリーンファンユニットの配置に関する。

【０００２】

【従来技術】クリーンルームでは、クリーンファンユニ
ット付きのラックを備えたクリーン倉庫が用いられる。
そしてラックの底部にクリーンファンユニットを設け
て、ラックの背面へ送気し、整流パネルを介してラック
の棚内に送気するものが知られている。しかしこのよう
なラックでは、底部にクリーンファンユニットの設置ス
ペースが必要である。またクリーンルームの大型化に伴
いラックを高層化すると、ラックの上部への送気量が不
足する。

【０００３】

【発明の課題】請求項１の発明の課題は、高さ方向にコ
ンパクトで、ラック内に均一にクリーンエアを供給でき
るクリーン倉庫を提供することにある。請求項２の発明
での追加の課題は、ラックを高層化しても均一にクリー
ンエアを供給できるようにすることにある。請求項３の
発明での追加の課題は、昇降駆動部の背面の空きスペー
スを利用してクリーンファンユニットを配置し、かつ高
層化が容易なクリーン倉庫を提供することにある。

【０００４】

【発明の構成】請求項１の発明は、クリーンファンユニ
ットからクリーンエアをラック内に送気するようにした
クリーン倉庫であって、ラックの一面の後部両側方から
クリーンエアを送気するようにクリーンファンユニット
を配置したことを特徴とするクリーン倉庫にある。また
実施例に示すように、後部両側方とは後部の両端との意
味ではなく、後部の各点へ向けて両側方からクリーンエ
アが送気されるとの意味である。またクリーンファンユ
ニットはラックの後部に配置される必要はなく、例えば
ラックの側部に配置して、ラックの後部から送気しても
良い。

【０００５】請求項２の発明はさらに、請求項１のクリ
ーン倉庫において、ラック一面の後部各側方から、高さ
位置の異なる複数のクリーンファンユニットでクリーン
エアを送気するように構成したことを特徴とする。

【０００６】請求項３の発明は、前記ラックを一対対向
して設けると共に、ラック間に移載装置を走行させるた
めの昇降レールを設け、該昇降レールを昇降させるため
の一対の昇降駆動部を一方のラックに設けて、少なくと
も昇降駆動部の背面にクリーンファンユニットを設けた
ことを特徴とする。

【０００７】

【発明の作用と効果】請求項１の発明では、ラックの後
部両側方からクリーンエアを送気するようにクリーンフ
ァンユニットを配置するので、ラックの底部から送気す
る場合に比べ、高さ方向にコンパクトなクリーン倉庫を
得ることができる。また後部両側方から送気するので、
送気された空気は大きく循環してクリーンファンユニッ
トに戻り、空気のよどみが生じず、かつ送気された直後
のクリーンエアの再吸引が生じない。このためラック全
体に均一に送気できる。さらに後部の送気スペースを用
いて、クリーンファンユニットのエアフィルタを交換し
たり、ラックをメンテナンスしたりできる。

【０００８】請求項２の発明では、ラックの高さ方向に
複数のクリーンファンユニットを設けるので、ラックを
高層化しても均一にクリーンエアを送気できる。

【０００９】請求項３の発明では、前記のラックを一対
対向させて配置し、ラック間に配置した昇降レールを昇
降駆動部で昇降させるので、昇降レールを走行する移載
装置には昇降機構が不要で、自動倉庫を高層化しても移
載装置が大型化しない。また昇降駆動部背面の空きスペ
ースにクリーンファンユニットを設けるので、クリーン
倉庫をコンパクトにできる。

【００１０】

【実施例】図１〜図３に実施例とその変形とを示す。図
１，図２において、１，２は一対のラックで、ここでは
対向配置して自動倉庫とするが、単独のラックからなる
クリーン倉庫として物品の収容に用いても良い。３，４
は棚で、高さ方向に複数段設けて、物品５を収容する。
ラック１，２の場合、物品５は半導体ウェファーや液晶
ディスプレイの基板など、クリーンルーム内で取り扱う
べき物品やそのコンテナが適している。６はラック１，
２間の移載スペースで、昇降レール８を一方のラック１
に接して設け、ラック１の両端部に設けた昇降駆動部１
０，１０で昇降レール８を昇降させる。そして走行体１
２を昇降レール８で支持して、このレール８に沿って走
行させ、一対のアーム等からなる移載手段１３で物品５
を移載する。移載手段１３の種類は任意である。

【００１１】１４，１４は、ラック１の両端部で、かつ
昇降駆動部１０の背面に設けたクリーンファンユニット
である。なお移載スペース６に面した側をラック１，２
の前面とし、その反対側を背面とする。クリーンファン
ユニット１４は昇降駆動部１０，１０の背面のデッドス
ペースに配置し、送気用のクリーンファン１６と、塵芥
等の微粒子を除去するためのエアフィルター１８とから
なる。同様にラック２の両端に、クリーンファン２２と
エアフィルタ２４とからなる、クリーンファンユニット
２０，２０を配置する。

【００１２】ラック１，２の背面には送気路２６，２８
を設け、両端のクリーンファンユニット１４，２０から
クリーンエアを送気し、３０，３２はメンテナンス等の
際に取り外すようにした背面パネルである。３４，３６
はシルクスクリーン等の整流パネルで、ファン１６，２
２からエアフィルタ１８，２４を介して送気されたクリ
ーンエアを、棚３，４内に均一に分配する。

【００１３】図２に示すように、ラック１，２は高層
で、多数の棚３，４を有し、昇降駆動部１０，１０はベ
ルト３８で昇降レール８を昇降させるようにしたもので
ある。またラック１，２にベルトコンベア等を用いたス
テーション４０等を設け、棚３，４の物品５を搬送し
て、図示しない無人搬送車や天井走行車との間で移載す
る。そしてクリーンファンユニット１４，２０はラック
１，２の両端部側面ないし両端部後方にそれぞれ高さを
変えて複数設け、送気路２６，２８に均一にクリーンエ
アが供給されるようにする。なお複数のクリーンファン
ユニット１４，２０は例えば左右で高さを変えて千鳥状
に配置しても、左右の高さ位置を共通にしてもよい。そ
して供給されたクリーンエアは、整流パネル３４，３６
で棚３，４の各部に均一に供給され、昇降スペース６に
入る。昇降スペース６には昇降駆動部１０が接してお
り、また走行体１２等があるので発塵しやすく、これを
クリーンファンユニット１４，２０で浄化して循環させ
る。空気の流れを図１の矢印で示す。

【００１４】図３に変形例を示す。この自動倉庫は図
１，図２の自動倉庫を両端方向に延長したもので、昇降
レール８を昇降駆動部１０，１０の両側に延長し、延長
部に棚を増設して、物品５を戴置するようにしたもので
ある。また７は新たな移載スペース、１５は新たなクリ
ーンファンユニットで、エアフィルタ１８，１８を両側
に設けて、ラックの左右方向両側に送気する他は、クリ
ーンファンユニット１４と変わらない。これに伴ってク
リーンファンユニット１５，２０は、ラックの両端では
なく、例えば左右２カ所以上の複数箇所に配置されるこ
とになる。なお図のクリーンファンユニット以外に、さ
らにラック両端等にクリーンファンユニット１４，２０
等を増設しても良い。図３の変形例は、ラックの延長に
伴い、クリーンファンユニットの位置をラック両端から
ラックの左右２カ所に変更した他は、図１，図２の実施
例と同様である。

【００１５】実施例や変形例の作用を示す。自動倉庫内
で昇降駆動部１０や走行体１２等からの発塵で汚染され
た空気を、クリーンファンユニット１４，１５，２０の
クリーンファン１６，２２で吸引し、エアフィルタ１
８，２４で浄化して、送気路２６，２８から整流パネル
３４，３６を介して、棚３，４へ送気する。クリーンフ
ァンユニット１４，１５は昇降駆動部１０の背面のデッ
ドスペースを利用して接地するので、ラック１の側にク
リーンファンユニット１４，１５を設けるための新たな
スペースは不要である。

【００１６】クリーンファンユニット１４，１５，２０
をラック１，２の高さ方向に複数個配置するので、高層
のラック１，２でも均一にクリーンエアを供給できる。
さらにラック１，２の両端付近から（図１，図２）、あ
るいはラックの左右２カ所から各両側へ（図３）、クリ
ーンエアを送気するので、棚３，４の各部に均一にクリ
ーンエアを送気できる。

【００１７】ラック１，２の両端や左右の２カ所等から
送気するので、自動倉庫内の空気は大きく循環し、局所
的なよどみが生じず、またクリーンファンユニットで処
理した直後の空気がそのままクリーンファンユニット１
４，１５，２０へ再吸引されることがない。発明者は、
送気路２６，２８の整流パネル３４，３６に面した位置
に多数のクリーンファンユニットを併設することも検討
したが、これでは棚３，４内への送気の流路と昇降スペ
ース６，７からクリーンファンユニットへの吸引の流路
とを分離できず、送気直後のクリーンエアが再吸引され
たり、あるいはクリーンエアが及ばないよどみ部が生じ
たりする恐れがある。

【００１８】エアフィルタ１８，２４や整流パネル３
４，３６は交換の必要があるが、背面パネル３０，３２
を外せば容易に交換でき、また背面パネル３０，３２と
整流パネル３４，３６を外せば、高層のラック１，２等
でも容易に内部のメンテナンスを行うことができる。

【００１９】昇降レール８を昇降駆動部１０，１０で昇
降させて、走行体１２を水平方向に走行させるので、ラ
ック１，２を高層化しても、走行体１２自体のサイズは
変わらない。これに対して、移載スペース６，７の床面
に昇降マスト等を備えた移載装置を走行させると、ラッ
ク１，２の高層化に連れて移載装置を大型化する必要が
生じる。このため昇降レール８と走行体１２とを用いる
と、ラック１，２をコンパクトに高層化できる。

【００２０】実施例では自動倉庫を空気に関して閉鎖系
として構成したが、自動倉庫外のクリーンルーム内の空
気と所定の割合で空気を交換する開放系としても良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例のクリーン倉庫の要部平面図

【図２】 実施例のクリーン倉庫の要部縦方向断面図

【図３】 変形例のクリーン倉庫の要部平面図

【符号の説明】

１，２ ラック ３，４ 棚 ５ 物品 ６，７ 移載スペース ８ 昇降レール １０ 昇降駆動部 １２ 走行体 １３ 移載手段 １４，１５，２０ クリーンファンユニット １６，２２ クリーンファン １８，２４ エアフィルタ ２６，２８ 送気路 ３０，３２ 背面パネル ３４，３６ 整流パネル ３８ ベルト ４０ ステーション

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンファンユニットからクリーンエ
   アをラック内に送気するようにしたクリーン倉庫であっ
   て、ラックの一面の後部両側方からクリーンエアを送気
   するようにクリーンファンユニットを配置したことを特
   徴とする、クリーン倉庫。
2. 【請求項２】 ラック一面の後部各側方から、高さ位置
   の異なる複数のクリーンファンユニットでクリーンエア
   を送気するように構成したことを特徴とする、請求項１
   のクリーン倉庫。
3. 【請求項３】 前記ラックを一対対向して設けると共
   に、ラック間に移載装置を走行させるための昇降レール
   を設け、該昇降レールを昇降させるための一対の昇降駆
   動部を一方のラックに設けて、少なくとも昇降駆動部の
   背面にクリーンファンユニットを設けたことを特徴とす
   る、請求項１または２のクリーン倉庫。