JPH0141561B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0141561B2 JPH0141561B2 JP15067383A JP15067383A JPH0141561B2 JP H0141561 B2 JPH0141561 B2 JP H0141561B2 JP 15067383 A JP15067383 A JP 15067383A JP 15067383 A JP15067383 A JP 15067383A JP H0141561 B2 JPH0141561 B2 JP H0141561B2
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- JP
- Japan
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- shelf
- filter
- unloading
- air
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- 239000000428 dust Substances 0.000 description 15
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
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- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、クリーンルーム内に設置され、例え
ば半導体のような塵埃を極端にきらう物品（荷）
の保管に使用されるクリーンルーム内の荷保管設
備に関するものである。
ば半導体のような塵埃を極端にきらう物品（荷）
の保管に使用されるクリーンルーム内の荷保管設
備に関するものである。
一般的に荷保管設備は、上下方向ならびに横方
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在に且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷出し入れ機構を有する搬入出
装置とから構成される。このような荷保管設備に
おいては、特に荷出入れ機構を昇降させる昇降案
内装置や昇降駆動装置の部分に摩損などにより多
くの塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くで
あることから、発生した塵埃は床側に吸引除去さ
れることなく棚に保管している荷側に移行するこ
とになる。これらのことから、クリーンルーム内
での荷保管の機械化、自動化、すなわち荷保管設
備の採用は不可能であつた。
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在に且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷出し入れ機構を有する搬入出
装置とから構成される。このような荷保管設備に
おいては、特に荷出入れ機構を昇降させる昇降案
内装置や昇降駆動装置の部分に摩損などにより多
くの塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くで
あることから、発生した塵埃は床側に吸引除去さ
れることなく棚に保管している荷側に移行するこ
とになる。これらのことから、クリーンルーム内
での荷保管の機械化、自動化、すなわち荷保管設
備の採用は不可能であつた。
本発明の目的とするところは、棚の各区画収納
空間において、その後面側から搬入出装置に対向
する前面側に向けてクリーンエアー流を生ぜしめ
て、この搬入出装置の荷出入れ機構を昇降させる
部分で発生した塵埃が棚側に移行することを防止
し得るクリーンルーム内の荷保管設備を提供する
点にある。
空間において、その後面側から搬入出装置に対向
する前面側に向けてクリーンエアー流を生ぜしめ
て、この搬入出装置の荷出入れ機構を昇降させる
部分で発生した塵埃が棚側に移行することを防止
し得るクリーンルーム内の荷保管設備を提供する
点にある。
上記目的を達成するために本発明におけるクリ
ーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリー
ンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に吸
引するクリーンルーム内に、上下方向ならびに横
方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚
に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならび
に横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出
装置を設け、前記棚は、前記搬入出装置に対向す
る前面を開放すると共に、後面側にフイルターを
配設し、このフイルターを通して各区画収納空間
内にクリーンエアーを供給するエアー供給装置を
設けて構成している。
ーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリー
ンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に吸
引するクリーンルーム内に、上下方向ならびに横
方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚
に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならび
に横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出
装置を設け、前記棚は、前記搬入出装置に対向す
る前面を開放すると共に、後面側にフイルターを
配設し、このフイルターを通して各区画収納空間
内にクリーンエアーを供給するエアー供給装置を
設けて構成している。
かかる本発明構成によると、次のような効果を
期待できる。すなわちエアー供給装置の作動によ
つて、クリーンルーム内の空気を吸引し、そして
フイルターを通して生ぜしめたクリーンエアー
を、棚の各区画収納空間において、その後面側か
ら搬入出装置に対向する前面側に向けて流出させ
ることができ、したがつて搬入出装置の荷出入れ
機構を昇降させる部分で発生した塵埃が棚側に移
行することを防止することができる。これにより
クリーンルーム内での荷保管の機械化、自動化を
可能にできる。
期待できる。すなわちエアー供給装置の作動によ
つて、クリーンルーム内の空気を吸引し、そして
フイルターを通して生ぜしめたクリーンエアー
を、棚の各区画収納空間において、その後面側か
ら搬入出装置に対向する前面側に向けて流出させ
ることができ、したがつて搬入出装置の荷出入れ
機構を昇降させる部分で発生した塵埃が棚側に移
行することを防止することができる。これにより
クリーンルーム内での荷保管の機械化、自動化を
可能にできる。
以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して該
床下に吸引するように構成してある。６は棚で所
定の通路７を置いて並設してある。これら棚６
は、前面の中間部から上部に亘つた部分が開放す
る箱状の本体８と、開放部において横方向に多数
並設された縦仕切板９、ならびに上下方向に多数
並設された横仕切板１０とからなり、両仕切板
９，１０によつて上下方向ならびに横方向に夫々
複数の区画収納空間１１を形成する。各区画収納
空間１１には夫々左右一対の腕木１２が配設さ
れ、これら腕木１２によつて半導体などからなる
荷１３を支持する。１４は通路７内に配設した搬
入出装置で、前記棚６に沿つた一定経路１５上を
走行自在である。すなわち通路７の下部には機枠
１６を介して一対のレール１７が配設され、搬入
出装置１４の本体１８は複数個の車輪１９を介し
てレール１７上に載置してある。そして本体１８
には車輪１９に連動する走行駆動装置２０が設け
られ、この走行駆動装置２０は、衝撃の発生し難
いDCサーボモータなどから構成すると共に、最
下段の区画収納空間１１よりも下方に位置すべく
配設している。前記本体１８の中央部からは四角
状の角筒体２１が立設され、この角筒体２１の上
端は天板２２により閉塞されると共に、下端は下
端開放部２３に形成され、また前面の中央には上
下方向のスリツト２４が形成されている。前記本
体１８には下端開放部２３に連通する上下方向の
貫通部２５が形成され、また貫通部２５に下方か
ら対向する吸気フアンなどの吸引装置２６が配設
されている。２７は前記スリツト２４を通つて角
筒体２１の内外に亘つて位置する可動体で、この
角筒体２１に沿つて昇降自在に配設してある。す
なわち角筒体２１内にはLMガイド形式の昇降案
内装置２８が配設され、この昇降案内装置２８
は、角筒体２１の後部内面に上下方向に取付けた
ガイドレール２９と、このガイドレール２９に案
内され且つ可動体２７の後部に取付けた被ガイド
体３０とから構成される。さらに角筒体２１内に
は昇降駆動装置３１が配設される。すなわち昇降
駆動装置３１は、天板２２の近くに配設した上位
輪体３２と、下端開放部２３の近くに配設した下
位輪体３３と、両輪体３２，３３間に掛張され且
つ可動体２７に固着された索体３４と、前記下位
輪体３３に運動し且つ本体１８上に搭載したイン
バータ制御モータ３５とから構成されている。前
記索体３４の後部側経路は角筒体２１の後外側面
側に取付けた保護体３６内に位置し、この保護体
３６も下端のみ開放している。なおインバータ制
御モータ３５や走行駆動装置２０の上方には保護
カバー３７が設けられる。前記角筒体２１内の上
端と下端には、夫々ばねなどにより巻取り付勢さ
れたドラム３８，３９が配設してあり、これらド
ラム３８，３９に巻取られるシート幕（ナイロン
製など）４０，４１の下端ならびに上端が前記可
動体２７に固着してある。前記可動体２７の前部
には昇降台４２が一体化され、この昇降台４２の
上部には横方向出退自在な荷出入れ機構の一例で
あるフオーク４３が配設される。なお昇降台４２
には、インバータ制御モータなどからなる荷出入
れ機構駆動装置４４が設けられる。前記棚６の本
体８内において、全区画収納空間１１の後面棚に
フイルター（ケミカルフイルター）４５を配設
し、そしてフイルター４５の後面側にエアーを供
給するフアンなどからなるエアー供給装置４６を
該本体８内の下部に配設している。４７は漏電ブ
レーカーを示す。
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して該
床下に吸引するように構成してある。６は棚で所
定の通路７を置いて並設してある。これら棚６
は、前面の中間部から上部に亘つた部分が開放す
る箱状の本体８と、開放部において横方向に多数
並設された縦仕切板９、ならびに上下方向に多数
並設された横仕切板１０とからなり、両仕切板
９，１０によつて上下方向ならびに横方向に夫々
複数の区画収納空間１１を形成する。各区画収納
空間１１には夫々左右一対の腕木１２が配設さ
れ、これら腕木１２によつて半導体などからなる
荷１３を支持する。１４は通路７内に配設した搬
入出装置で、前記棚６に沿つた一定経路１５上を
走行自在である。すなわち通路７の下部には機枠
１６を介して一対のレール１７が配設され、搬入
出装置１４の本体１８は複数個の車輪１９を介し
てレール１７上に載置してある。そして本体１８
には車輪１９に連動する走行駆動装置２０が設け
られ、この走行駆動装置２０は、衝撃の発生し難
いDCサーボモータなどから構成すると共に、最
下段の区画収納空間１１よりも下方に位置すべく
配設している。前記本体１８の中央部からは四角
状の角筒体２１が立設され、この角筒体２１の上
端は天板２２により閉塞されると共に、下端は下
端開放部２３に形成され、また前面の中央には上
下方向のスリツト２４が形成されている。前記本
体１８には下端開放部２３に連通する上下方向の
貫通部２５が形成され、また貫通部２５に下方か
ら対向する吸気フアンなどの吸引装置２６が配設
されている。２７は前記スリツト２４を通つて角
筒体２１の内外に亘つて位置する可動体で、この
角筒体２１に沿つて昇降自在に配設してある。す
なわち角筒体２１内にはLMガイド形式の昇降案
内装置２８が配設され、この昇降案内装置２８
は、角筒体２１の後部内面に上下方向に取付けた
ガイドレール２９と、このガイドレール２９に案
内され且つ可動体２７の後部に取付けた被ガイド
体３０とから構成される。さらに角筒体２１内に
は昇降駆動装置３１が配設される。すなわち昇降
駆動装置３１は、天板２２の近くに配設した上位
輪体３２と、下端開放部２３の近くに配設した下
位輪体３３と、両輪体３２，３３間に掛張され且
つ可動体２７に固着された索体３４と、前記下位
輪体３３に運動し且つ本体１８上に搭載したイン
バータ制御モータ３５とから構成されている。前
記索体３４の後部側経路は角筒体２１の後外側面
側に取付けた保護体３６内に位置し、この保護体
３６も下端のみ開放している。なおインバータ制
御モータ３５や走行駆動装置２０の上方には保護
カバー３７が設けられる。前記角筒体２１内の上
端と下端には、夫々ばねなどにより巻取り付勢さ
れたドラム３８，３９が配設してあり、これらド
ラム３８，３９に巻取られるシート幕（ナイロン
製など）４０，４１の下端ならびに上端が前記可
動体２７に固着してある。前記可動体２７の前部
には昇降台４２が一体化され、この昇降台４２の
上部には横方向出退自在な荷出入れ機構の一例で
あるフオーク４３が配設される。なお昇降台４２
には、インバータ制御モータなどからなる荷出入
れ機構駆動装置４４が設けられる。前記棚６の本
体８内において、全区画収納空間１１の後面棚に
フイルター（ケミカルフイルター）４５を配設
し、そしてフイルター４５の後面側にエアーを供
給するフアンなどからなるエアー供給装置４６を
該本体８内の下部に配設している。４７は漏電ブ
レーカーを示す。
以下に作用を説明する。搬入出装置１４を使用
しての、棚６の目的とする区画収納空間１１に対
する荷１３の出し入れは、この搬入出装置１４の
一定経路１５上での走行動作と、昇降台４２の昇
降動作と、フオーク４３の横方向出退動作との組
合わせ動作により行なえる。その際に腕木１２に
支持された荷１３や、この荷１３の出し入れを行
なうフオーク４３などから塵埃が発生して落下し
たとき、この塵埃はその下方に位置している横仕
切板１０で受止められることになり、したがつて
下段区画収納空間１１で保管している荷１３上に
落下堆積することは防止される。このような作業
中において、クリーンルーム１内では、フイルタ
ー３を通つて下吹きされるクリーンエアー４が下
降し、そして下降するエアーを床５下に吸引する
ことから、そのクリーン度は確保されている。ま
たフオーク４３などを支持する可動体４２の昇降
時においては、シート幕４０，４１のうちの一方
が自動的に繰出され、また他方が巻取られること
から、この可動体２７が通るスリツト２４は常に
内側からシールされた状態にある。したがつて角
筒体２１内に配設した昇降案内装置２８や昇降駆
動装置３１から発生した塵埃は該角筒体２１内に
とどまつて棚６側に移行するのを防止し得る。そ
の際に作動されている吸引装置２６によつて下端
開放部２３に吸引力が作用していることから、前
述したように角筒体２１内にとどまつている塵埃
は吸引流に乗つて下端開放部２３から貫通部２５
を通つて床５に向けて排出され、全て床５下に吸
引除去されることになる。また、このような作用
中において角筒体２１内が負圧化されようとする
が、これはスリツトト２４を通つてのクリーンエ
アー４の流入によつて解消できる。さらに外から
内へのクリーンエアー４の流入により、スリツト
２４を通つての塵埃の流出を確実に防止し得る。
その際にクリーンエアー１４の流入は、シート幕
４０，４１による規制でスリツト２４の長さ方向
においててほぼ均一に行なわれることから、角筒
体２１内の上下方向のどの位置で発生した塵埃で
も確実に除去し得る。前記棚６においては、エア
ー供給装置４６の作動によつて、クリーンルーム
１内の空気を本体８内に吸引すると共に、フイル
ター４５に対して後面側から供給する。これによ
り空気はフイルター４５を通つてクリーンエアー
４８となり、そして各区画収納空間１１におい
て、その後面側から搬入出装置１４に対向する前
面側に向けて流出させ得る。したがつてクリーン
エアー４８の流れにより、横仕切板１０上に堆積
されようとする塵埃を吹出し除去し得、さらに搬
入出装置１４側から入つてこようとする塵埃を阻
止し得る。
しての、棚６の目的とする区画収納空間１１に対
する荷１３の出し入れは、この搬入出装置１４の
一定経路１５上での走行動作と、昇降台４２の昇
降動作と、フオーク４３の横方向出退動作との組
合わせ動作により行なえる。その際に腕木１２に
支持された荷１３や、この荷１３の出し入れを行
なうフオーク４３などから塵埃が発生して落下し
たとき、この塵埃はその下方に位置している横仕
切板１０で受止められることになり、したがつて
下段区画収納空間１１で保管している荷１３上に
落下堆積することは防止される。このような作業
中において、クリーンルーム１内では、フイルタ
ー３を通つて下吹きされるクリーンエアー４が下
降し、そして下降するエアーを床５下に吸引する
ことから、そのクリーン度は確保されている。ま
たフオーク４３などを支持する可動体４２の昇降
時においては、シート幕４０，４１のうちの一方
が自動的に繰出され、また他方が巻取られること
から、この可動体２７が通るスリツト２４は常に
内側からシールされた状態にある。したがつて角
筒体２１内に配設した昇降案内装置２８や昇降駆
動装置３１から発生した塵埃は該角筒体２１内に
とどまつて棚６側に移行するのを防止し得る。そ
の際に作動されている吸引装置２６によつて下端
開放部２３に吸引力が作用していることから、前
述したように角筒体２１内にとどまつている塵埃
は吸引流に乗つて下端開放部２３から貫通部２５
を通つて床５に向けて排出され、全て床５下に吸
引除去されることになる。また、このような作用
中において角筒体２１内が負圧化されようとする
が、これはスリツトト２４を通つてのクリーンエ
アー４の流入によつて解消できる。さらに外から
内へのクリーンエアー４の流入により、スリツト
２４を通つての塵埃の流出を確実に防止し得る。
その際にクリーンエアー１４の流入は、シート幕
４０，４１による規制でスリツト２４の長さ方向
においててほぼ均一に行なわれることから、角筒
体２１内の上下方向のどの位置で発生した塵埃で
も確実に除去し得る。前記棚６においては、エア
ー供給装置４６の作動によつて、クリーンルーム
１内の空気を本体８内に吸引すると共に、フイル
ター４５に対して後面側から供給する。これによ
り空気はフイルター４５を通つてクリーンエアー
４８となり、そして各区画収納空間１１におい
て、その後面側から搬入出装置１４に対向する前
面側に向けて流出させ得る。したがつてクリーン
エアー４８の流れにより、横仕切板１０上に堆積
されようとする塵埃を吹出し除去し得、さらに搬
入出装置１４側から入つてこようとする塵埃を阻
止し得る。
上記実施例においては、搬入出装置１４として
吸引装置２６を採用した塵埃除去形式を示した
が、棚６がクリーンエアー４８を吹出す形式であ
るので、該搬入出装置１４は通常形式のものを採
用してもよい。
吸引装置２６を採用した塵埃除去形式を示した
が、棚６がクリーンエアー４８を吹出す形式であ
るので、該搬入出装置１４は通常形式のものを採
用してもよい。
また天井２側からクリーンエアー４を下吹きす
る形式を示したが、これは側壁など他の箇所から
吹出す形式でもよい。
る形式を示したが、これは側壁など他の箇所から
吹出す形式でもよい。
第７図は別の実施例を示す。すなわち第７図の
左半図においては棚６の後面側下部にフイルター
４５を配設しており、また右半図においては棚６
の後面側上部にフイルター４５を配設している。
このような別の実施例によると、前実施例のよう
に棚６の背面全域をフイルター４５で覆う必要が
ないので経済的である。
左半図においては棚６の後面側下部にフイルター
４５を配設しており、また右半図においては棚６
の後面側上部にフイルター４５を配設している。
このような別の実施例によると、前実施例のよう
に棚６の背面全域をフイルター４５で覆う必要が
ないので経済的である。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は側面
図、第２図は平面図、第３図は一部切欠正面図、
第４図は搬入出装置の一部切欠側面図、第５図は
同一部切欠平面図、第６図は棚の側面図、第７図
は別の実施例を示す一部切欠正面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……クリーンエアー、５……床、６
……棚、８……本体、９……縦仕切板、１０……
横仕切板、１１……区画収納空間、１２……腕
木、１３……荷、１４……搬入出装置、１５……
一定経路、４３……フオーク（荷出入れ機構の一
例）、４５……フイルター、４６……エアー供給
装置、４８……クリーンエアー。
図、第２図は平面図、第３図は一部切欠正面図、
第４図は搬入出装置の一部切欠側面図、第５図は
同一部切欠平面図、第６図は棚の側面図、第７図
は別の実施例を示す一部切欠正面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……クリーンエアー、５……床、６
……棚、８……本体、９……縦仕切板、１０……
横仕切板、１１……区画収納空間、１２……腕
木、１３……荷、１４……搬入出装置、１５……
一定経路、４３……フオーク（荷出入れ機構の一
例）、４５……フイルター、４６……エアー供給
装置、４８……クリーンエアー。
Claims (1)
- １ クリーンルーム内に、上下方向ならびに横方
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷出し入れ機構を有する搬入出
装置を設け、前記棚は、前記搬入出装置に対向す
る前面を開放すると共に、後面側にフイルターを
配設し、このフイルターを通して各区画収納空間
内にクリーンエアーを供給するエアー供給装置を
設けたことを特徴とするクリーンルーム内の荷保
管設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15067383A JPS6044404A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15067383A JPS6044404A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2340767A Division JPH0649523B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6044404A JPS6044404A (ja) | 1985-03-09 |
| JPH0141561B2 true JPH0141561B2 (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=15501968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15067383A Granted JPS6044404A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6044404A (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61263503A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-21 | Tokyo Electron Ltd | 清浄化装置 |
| JPS61263502A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-21 | Tokyo Electron Ltd | 清浄化装置 |
| JPH032484Y2 (ja) * | 1985-08-30 | 1991-01-23 | ||
| JPS62121102A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-02 | Teru Saamuko Kk | 炉処理装置 |
| JPS63116406U (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-27 | ||
| JPH03249006A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-07 | Daifuku Co Ltd | 除電装置付きの荷保管装置 |
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-
1983
- 1983-08-17 JP JP15067383A patent/JPS6044404A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6044404A (ja) | 1985-03-09 |
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