JPH0141561B2 - - Google Patents

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JPH0141561B2
JPH0141561B2 JP15067383A JP15067383A JPH0141561B2 JP H0141561 B2 JPH0141561 B2 JP H0141561B2 JP 15067383 A JP15067383 A JP 15067383A JP 15067383 A JP15067383 A JP 15067383A JP H0141561 B2 JPH0141561 B2 JP H0141561B2
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JP
Japan
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JP15067383A
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English (en)
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JPS6044404A (ja
Inventor
Takehide Hayashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
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Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to JP15067383A priority Critical patent/JPS6044404A/ja
Publication of JPS6044404A publication Critical patent/JPS6044404A/ja
Publication of JPH0141561B2 publication Critical patent/JPH0141561B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、クリーンルーム内に設置され、例え
ば半導体のような塵埃を極端にきらう物品(荷)
の保管に使用されるクリーンルーム内の荷保管設
備に関するものである。
一般的に荷保管設備は、上下方向ならびに横方
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在に且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷出し入れ機構を有する搬入出
装置とから構成される。このような荷保管設備に
おいては、特に荷出入れ機構を昇降させる昇降案
内装置や昇降駆動装置の部分に摩損などにより多
くの塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くで
あることから、発生した塵埃は床側に吸引除去さ
れることなく棚に保管している荷側に移行するこ
とになる。これらのことから、クリーンルーム内
での荷保管の機械化、自動化、すなわち荷保管設
備の採用は不可能であつた。
本発明の目的とするところは、棚の各区画収納
空間において、その後面側から搬入出装置に対向
する前面側に向けてクリーンエアー流を生ぜしめ
て、この搬入出装置の荷出入れ機構を昇降させる
部分で発生した塵埃が棚側に移行することを防止
し得るクリーンルーム内の荷保管設備を提供する
点にある。
上記目的を達成するために本発明におけるクリ
ーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリー
ンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に吸
引するクリーンルーム内に、上下方向ならびに横
方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚
に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならび
に横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出
装置を設け、前記棚は、前記搬入出装置に対向す
る前面を開放すると共に、後面側にフイルターを
配設し、このフイルターを通して各区画収納空間
内にクリーンエアーを供給するエアー供給装置を
設けて構成している。
かかる本発明構成によると、次のような効果を
期待できる。すなわちエアー供給装置の作動によ
つて、クリーンルーム内の空気を吸引し、そして
フイルターを通して生ぜしめたクリーンエアー
を、棚の各区画収納空間において、その後面側か
ら搬入出装置に対向する前面側に向けて流出させ
ることができ、したがつて搬入出装置の荷出入れ
機構を昇降させる部分で発生した塵埃が棚側に移
行することを防止することができる。これにより
クリーンルーム内での荷保管の機械化、自動化を
可能にできる。
以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。1はクリーンルームで、天井2側からフイ
ルター3を通してクリーンエアー4を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床5を通して該
床下に吸引するように構成してある。6は棚で所
定の通路7を置いて並設してある。これら棚6
は、前面の中間部から上部に亘つた部分が開放す
る箱状の本体8と、開放部において横方向に多数
並設された縦仕切板9、ならびに上下方向に多数
並設された横仕切板10とからなり、両仕切板
9,10によつて上下方向ならびに横方向に夫々
複数の区画収納空間11を形成する。各区画収納
空間11には夫々左右一対の腕木12が配設さ
れ、これら腕木12によつて半導体などからなる
荷13を支持する。14は通路7内に配設した搬
入出装置で、前記棚6に沿つた一定経路15上を
走行自在である。すなわち通路7の下部には機枠
16を介して一対のレール17が配設され、搬入
出装置14の本体18は複数個の車輪19を介し
てレール17上に載置してある。そして本体18
には車輪19に連動する走行駆動装置20が設け
られ、この走行駆動装置20は、衝撃の発生し難
いDCサーボモータなどから構成すると共に、最
下段の区画収納空間11よりも下方に位置すべく
配設している。前記本体18の中央部からは四角
状の角筒体21が立設され、この角筒体21の上
端は天板22により閉塞されると共に、下端は下
端開放部23に形成され、また前面の中央には上
下方向のスリツト24が形成されている。前記本
体18には下端開放部23に連通する上下方向の
貫通部25が形成され、また貫通部25に下方か
ら対向する吸気フアンなどの吸引装置26が配設
されている。27は前記スリツト24を通つて角
筒体21の内外に亘つて位置する可動体で、この
角筒体21に沿つて昇降自在に配設してある。す
なわち角筒体21内にはLMガイド形式の昇降案
内装置28が配設され、この昇降案内装置28
は、角筒体21の後部内面に上下方向に取付けた
ガイドレール29と、このガイドレール29に案
内され且つ可動体27の後部に取付けた被ガイド
体30とから構成される。さらに角筒体21内に
は昇降駆動装置31が配設される。すなわち昇降
駆動装置31は、天板22の近くに配設した上位
輪体32と、下端開放部23の近くに配設した下
位輪体33と、両輪体32,33間に掛張され且
つ可動体27に固着された索体34と、前記下位
輪体33に運動し且つ本体18上に搭載したイン
バータ制御モータ35とから構成されている。前
記索体34の後部側経路は角筒体21の後外側面
側に取付けた保護体36内に位置し、この保護体
36も下端のみ開放している。なおインバータ制
御モータ35や走行駆動装置20の上方には保護
カバー37が設けられる。前記角筒体21内の上
端と下端には、夫々ばねなどにより巻取り付勢さ
れたドラム38,39が配設してあり、これらド
ラム38,39に巻取られるシート幕(ナイロン
製など)40,41の下端ならびに上端が前記可
動体27に固着してある。前記可動体27の前部
には昇降台42が一体化され、この昇降台42の
上部には横方向出退自在な荷出入れ機構の一例で
あるフオーク43が配設される。なお昇降台42
には、インバータ制御モータなどからなる荷出入
れ機構駆動装置44が設けられる。前記棚6の本
体8内において、全区画収納空間11の後面棚に
フイルター(ケミカルフイルター)45を配設
し、そしてフイルター45の後面側にエアーを供
給するフアンなどからなるエアー供給装置46を
該本体8内の下部に配設している。47は漏電ブ
レーカーを示す。
以下に作用を説明する。搬入出装置14を使用
しての、棚6の目的とする区画収納空間11に対
する荷13の出し入れは、この搬入出装置14の
一定経路15上での走行動作と、昇降台42の昇
降動作と、フオーク43の横方向出退動作との組
合わせ動作により行なえる。その際に腕木12に
支持された荷13や、この荷13の出し入れを行
なうフオーク43などから塵埃が発生して落下し
たとき、この塵埃はその下方に位置している横仕
切板10で受止められることになり、したがつて
下段区画収納空間11で保管している荷13上に
落下堆積することは防止される。このような作業
中において、クリーンルーム1内では、フイルタ
ー3を通つて下吹きされるクリーンエアー4が下
降し、そして下降するエアーを床5下に吸引する
ことから、そのクリーン度は確保されている。ま
たフオーク43などを支持する可動体42の昇降
時においては、シート幕40,41のうちの一方
が自動的に繰出され、また他方が巻取られること
から、この可動体27が通るスリツト24は常に
内側からシールされた状態にある。したがつて角
筒体21内に配設した昇降案内装置28や昇降駆
動装置31から発生した塵埃は該角筒体21内に
とどまつて棚6側に移行するのを防止し得る。そ
の際に作動されている吸引装置26によつて下端
開放部23に吸引力が作用していることから、前
述したように角筒体21内にとどまつている塵埃
は吸引流に乗つて下端開放部23から貫通部25
を通つて床5に向けて排出され、全て床5下に吸
引除去されることになる。また、このような作用
中において角筒体21内が負圧化されようとする
が、これはスリツトト24を通つてのクリーンエ
アー4の流入によつて解消できる。さらに外から
内へのクリーンエアー4の流入により、スリツト
24を通つての塵埃の流出を確実に防止し得る。
その際にクリーンエアー14の流入は、シート幕
40,41による規制でスリツト24の長さ方向
においててほぼ均一に行なわれることから、角筒
体21内の上下方向のどの位置で発生した塵埃で
も確実に除去し得る。前記棚6においては、エア
ー供給装置46の作動によつて、クリーンルーム
1内の空気を本体8内に吸引すると共に、フイル
ター45に対して後面側から供給する。これによ
り空気はフイルター45を通つてクリーンエアー
48となり、そして各区画収納空間11におい
て、その後面側から搬入出装置14に対向する前
面側に向けて流出させ得る。したがつてクリーン
エアー48の流れにより、横仕切板10上に堆積
されようとする塵埃を吹出し除去し得、さらに搬
入出装置14側から入つてこようとする塵埃を阻
止し得る。
上記実施例においては、搬入出装置14として
吸引装置26を採用した塵埃除去形式を示した
が、棚6がクリーンエアー48を吹出す形式であ
るので、該搬入出装置14は通常形式のものを採
用してもよい。
また天井2側からクリーンエアー4を下吹きす
る形式を示したが、これは側壁など他の箇所から
吹出す形式でもよい。
第7図は別の実施例を示す。すなわち第7図の
左半図においては棚6の後面側下部にフイルター
45を配設しており、また右半図においては棚6
の後面側上部にフイルター45を配設している。
このような別の実施例によると、前実施例のよう
に棚6の背面全域をフイルター45で覆う必要が
ないので経済的である。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示し、第1図は側面
図、第2図は平面図、第3図は一部切欠正面図、
第4図は搬入出装置の一部切欠側面図、第5図は
同一部切欠平面図、第6図は棚の側面図、第7図
は別の実施例を示す一部切欠正面図である。 1……クリーンルーム、2……天井、3……フ
イルター、4……クリーンエアー、5……床、6
……棚、8……本体、9……縦仕切板、10……
横仕切板、11……区画収納空間、12……腕
木、13……荷、14……搬入出装置、15……
一定経路、43……フオーク(荷出入れ機構の一
例)、45……フイルター、46……エアー供給
装置、48……クリーンエアー。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 クリーンルーム内に、上下方向ならびに横方
    向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
    沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
    横方向出退自在な荷出し入れ機構を有する搬入出
    装置を設け、前記棚は、前記搬入出装置に対向す
    る前面を開放すると共に、後面側にフイルターを
    配設し、このフイルターを通して各区画収納空間
    内にクリーンエアーを供給するエアー供給装置を
    設けたことを特徴とするクリーンルーム内の荷保
    管設備。
JP15067383A 1983-08-17 1983-08-17 クリ−ンル−ム内の荷保管設備 Granted JPS6044404A (ja)

Priority Applications (1)

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JP15067383A JPS6044404A (ja) 1983-08-17 1983-08-17 クリ−ンル−ム内の荷保管設備

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15067383A JPS6044404A (ja) 1983-08-17 1983-08-17 クリ−ンル−ム内の荷保管設備

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JP2340767A Division JPH0649523B2 (ja) 1990-11-30 1990-11-30 クリ−ンル−ム内の荷保管設備

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Publication Number Publication Date
JPS6044404A JPS6044404A (ja) 1985-03-09
JPH0141561B2 true JPH0141561B2 (ja) 1989-09-06

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JP15067383A Granted JPS6044404A (ja) 1983-08-17 1983-08-17 クリ−ンル−ム内の荷保管設備

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Families Citing this family (10)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61263502A (ja) * 1985-05-16 1986-11-21 Tokyo Electron Ltd 清浄化装置
JPS61263503A (ja) * 1985-05-16 1986-11-21 Tokyo Electron Ltd 清浄化装置
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Publication number Publication date
JPS6044404A (ja) 1985-03-09

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