JPH0219042B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0219042B2 JPH0219042B2 JP58150674A JP15067483A JPH0219042B2 JP H0219042 B2 JPH0219042 B2 JP H0219042B2 JP 58150674 A JP58150674 A JP 58150674A JP 15067483 A JP15067483 A JP 15067483A JP H0219042 B2 JPH0219042 B2 JP H0219042B2
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- JP
- Japan
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Links
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
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- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、エアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品（荷）の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品（荷）の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。
一般的に荷保管設備は、上下方向ならびに横方
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出装
置とから構成される。このような荷保管設備にお
いては、特に荷出入れ機構を昇降させるガイド機
構や昇降駆動装置の部分に摩損などにより多くの
塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くである
ことから、発生した塵埃は床側に吸引除去される
ことなく棚に保管している荷側に移行することに
なる。これらのことから、クリーンルーム内での
荷保管の機械化、自動化、すなわち荷保管設備の
採用は不可能であつた。
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出装
置とから構成される。このような荷保管設備にお
いては、特に荷出入れ機構を昇降させるガイド機
構や昇降駆動装置の部分に摩損などにより多くの
塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くである
ことから、発生した塵埃は床側に吸引除去される
ことなく棚に保管している荷側に移行することに
なる。これらのことから、クリーンルーム内での
荷保管の機械化、自動化、すなわち荷保管設備の
採用は不可能であつた。
本発明の目的とするところは、荷出入れ機構を
昇降させる装置の部分で発生した塵埃を、棚側に
移行させることなく全て床側に吸引除去し得るク
リーンルーム内の荷保管設備を提供する点にあ
る。
昇降させる装置の部分で発生した塵埃を、棚側に
移行させることなく全て床側に吸引除去し得るク
リーンルーム内の荷保管設備を提供する点にあ
る。
上記目的を達成するために本発明におけるクリ
ーンルーム内の荷保管設備は、エアーを床下に吸
引するクリーンルーム内に、上下方向ならびに横
方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚
に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならび
に横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出
装置とを設け、この搬入出装置を、走行自在な本
体と、この本体から立設した上端ならびに下端が
開放の筒体と、この筒体に沿つて昇降自在なキヤ
レツジと、このキヤレツジに設けた前記荷出入れ
機構とから構成し、前記キヤレツジに連動した昇
降駆動装置を前記筒体内に配設して構成してい
る。
ーンルーム内の荷保管設備は、エアーを床下に吸
引するクリーンルーム内に、上下方向ならびに横
方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚
に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならび
に横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出
装置とを設け、この搬入出装置を、走行自在な本
体と、この本体から立設した上端ならびに下端が
開放の筒体と、この筒体に沿つて昇降自在なキヤ
レツジと、このキヤレツジに設けた前記荷出入れ
機構とから構成し、前記キヤレツジに連動した昇
降駆動装置を前記筒体内に配設して構成してい
る。
かかる本発明構成によると、次のような効果を
期待できる。すなわち、昇降駆動装置で発生した
塵埃は筒体にとどまつて棚側に移行することを防
止でき、その際にクリーンルーム内に吹出される
クリーンエアーは、上端開放部を通つて筒体内に
入り、そして筒体内を下方に流れたのち下端開放
部から床に向けて排出されることから、前述した
ように筒体内にとどまつている塵埃はクリーンエ
アー流によつて下送されたのち床下に吸引除去す
ることができる。これにより、荷出入れ機構を昇
降させる装置の部分で発生した塵埃は、棚側に移
行させることなく全て床側に吸引除去することが
でき、したがつてクリーンルーム内での荷保管の
機械化、自動化を可能にできる。
期待できる。すなわち、昇降駆動装置で発生した
塵埃は筒体にとどまつて棚側に移行することを防
止でき、その際にクリーンルーム内に吹出される
クリーンエアーは、上端開放部を通つて筒体内に
入り、そして筒体内を下方に流れたのち下端開放
部から床に向けて排出されることから、前述した
ように筒体内にとどまつている塵埃はクリーンエ
アー流によつて下送されたのち床下に吸引除去す
ることができる。これにより、荷出入れ機構を昇
降させる装置の部分で発生した塵埃は、棚側に移
行させることなく全て床側に吸引除去することが
でき、したがつてクリーンルーム内での荷保管の
機械化、自動化を可能にできる。
以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して該
床下に吸引するように構成してある。６は棚で所
定の通路７を置いて並設してある。これら棚７
は、上枠８と下枠９と縦枠１０などから枠組状に
構成され、上下方向ならびに横方向に夫々複数の
区画収納空間１１を有する。各区画収納空間１１
は夫々下部に左右一対の荷受け面１２Ａ，１２Ｂ
を有し、これら荷受け面１２Ａ，１２Ｂは縦枠１
０に取付けた腕木１３Ａ，１３Ｂの上面によつて
形成される。さらに各区画収納空間１１には、両
荷受け面１２Ａ，１２Ｂの下方に位置する塵埃受
け面１４が配設され、この塵埃受け面１４は縦枠
１０間に取付けた仕切り板１５によつて形成され
る。１６は通路７内に配設した搬入出装置で、前
記棚６に沿つた一定経路１７上を走行自在であ
る。すなわち通路７の下部には機枠１８を介して
一対のレール１９が配設され、搬入出装置１６の
本体２０は複数個の車輪２１を介してレール１９
上に載置してある。そして本体２０には車輪２１
に連動する走行駆動装置２２が設けられ、この走
行駆動装置２２は、衝撃の発生し難いDCサーボ
モータなどから構成すると共に、最下段の区画収
納空間１１よりも下方に位置すべく配設してい
る。前記本体２０の中央部からは筒体の一例であ
る四角状の角筒体２３が立設され、この角筒体２
３の上端は上端開放部２４に形成されると共に、
下端は下端開放部２５に形成され、また前面の中
央には上下方向のスリツト２６が形成されてい
る。前記本体２０には下端開放部２５に連通する
上下方向の貫通部２７が形成されている。２８は
前記スリツト２６を通つて角筒体２３の内外に亘
つて位置する可動体で、この角筒体２３に沿つて
昇降自在に配設してある。すなわち角筒体２３内
にはLMガイド形式の昇降案内装置２９が配設さ
れ、この昇降案内装置２９は、角筒体２３の後部
内面に上下方向に取付けたガイドレール３０と、
このガイドレール３０に案内され且つ可動体２８
の後部に取付けた被ガイド体３１とから構成され
る。さらに角筒体２３内には昇降駆動装置３２が
配設される。すなわち昇降駆動装置３２は、上端
開放部２４の近くに配設した上位輪体３３と、下
端開放部の近くに配設した下位輪体３４と、両輪
体３３，３４間に掛張され且つ可動体２８に固着
された索体３５と、前記下位輪体３４に連動し且
つ本体２０上に搭載したインバータ制御モータ３
６とから構成されている。前記索体３５の後部側
経路は角筒体２３の後外面側に取付けた保護体３
７内に位置し、この保護体３７の上・下端も開放
している。なおインバータ制御モータ３６や走行
駆動装置２２の上方には保護カバー３８が設けら
れる。前記角筒体２３内の上端と下端には、夫々
ばねなどにより巻取り付勢されたドラム３９，４
０が配設してあり、これらドラム３９，４０に巻
取られるシート幕（ナイロン製など）４１，４２
の下端ならびに上端が前記可動体２８に固着して
ある。前記可動体２８の前部には昇降台４３が一
体化され、これら可動体２８と昇降台４３とがキ
ヤレツジの一例となる。そして昇降台４３の上部
には横方向出退自在な荷出入れ機構の一例である
フオーク４４が配設される。なお昇降台４３に
は、インバータ制御モータなどからなる荷出入れ
機構駆動装置４５が設けられる。前記棚６や搬入
出装置１６などは囲壁体４６内に配設され、この
囲壁体４６は上端ならびに下端が開放である。第
１図、第２図において囲壁体４６は四側壁形式で
あるが、これは第３図に示すように三側壁形式と
して残りを建物壁４７で兼用してもよい。４８は
半導体などからなる荷を示す。
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して該
床下に吸引するように構成してある。６は棚で所
定の通路７を置いて並設してある。これら棚７
は、上枠８と下枠９と縦枠１０などから枠組状に
構成され、上下方向ならびに横方向に夫々複数の
区画収納空間１１を有する。各区画収納空間１１
は夫々下部に左右一対の荷受け面１２Ａ，１２Ｂ
を有し、これら荷受け面１２Ａ，１２Ｂは縦枠１
０に取付けた腕木１３Ａ，１３Ｂの上面によつて
形成される。さらに各区画収納空間１１には、両
荷受け面１２Ａ，１２Ｂの下方に位置する塵埃受
け面１４が配設され、この塵埃受け面１４は縦枠
１０間に取付けた仕切り板１５によつて形成され
る。１６は通路７内に配設した搬入出装置で、前
記棚６に沿つた一定経路１７上を走行自在であ
る。すなわち通路７の下部には機枠１８を介して
一対のレール１９が配設され、搬入出装置１６の
本体２０は複数個の車輪２１を介してレール１９
上に載置してある。そして本体２０には車輪２１
に連動する走行駆動装置２２が設けられ、この走
行駆動装置２２は、衝撃の発生し難いDCサーボ
モータなどから構成すると共に、最下段の区画収
納空間１１よりも下方に位置すべく配設してい
る。前記本体２０の中央部からは筒体の一例であ
る四角状の角筒体２３が立設され、この角筒体２
３の上端は上端開放部２４に形成されると共に、
下端は下端開放部２５に形成され、また前面の中
央には上下方向のスリツト２６が形成されてい
る。前記本体２０には下端開放部２５に連通する
上下方向の貫通部２７が形成されている。２８は
前記スリツト２６を通つて角筒体２３の内外に亘
つて位置する可動体で、この角筒体２３に沿つて
昇降自在に配設してある。すなわち角筒体２３内
にはLMガイド形式の昇降案内装置２９が配設さ
れ、この昇降案内装置２９は、角筒体２３の後部
内面に上下方向に取付けたガイドレール３０と、
このガイドレール３０に案内され且つ可動体２８
の後部に取付けた被ガイド体３１とから構成され
る。さらに角筒体２３内には昇降駆動装置３２が
配設される。すなわち昇降駆動装置３２は、上端
開放部２４の近くに配設した上位輪体３３と、下
端開放部の近くに配設した下位輪体３４と、両輪
体３３，３４間に掛張され且つ可動体２８に固着
された索体３５と、前記下位輪体３４に連動し且
つ本体２０上に搭載したインバータ制御モータ３
６とから構成されている。前記索体３５の後部側
経路は角筒体２３の後外面側に取付けた保護体３
７内に位置し、この保護体３７の上・下端も開放
している。なおインバータ制御モータ３６や走行
駆動装置２２の上方には保護カバー３８が設けら
れる。前記角筒体２３内の上端と下端には、夫々
ばねなどにより巻取り付勢されたドラム３９，４
０が配設してあり、これらドラム３９，４０に巻
取られるシート幕（ナイロン製など）４１，４２
の下端ならびに上端が前記可動体２８に固着して
ある。前記可動体２８の前部には昇降台４３が一
体化され、これら可動体２８と昇降台４３とがキ
ヤレツジの一例となる。そして昇降台４３の上部
には横方向出退自在な荷出入れ機構の一例である
フオーク４４が配設される。なお昇降台４３に
は、インバータ制御モータなどからなる荷出入れ
機構駆動装置４５が設けられる。前記棚６や搬入
出装置１６などは囲壁体４６内に配設され、この
囲壁体４６は上端ならびに下端が開放である。第
１図、第２図において囲壁体４６は四側壁形式で
あるが、これは第３図に示すように三側壁形式と
して残りを建物壁４７で兼用してもよい。４８は
半導体などからなる荷を示す。
以下に作用を説明する。搬入出装置１６を使用
しての、棚６の目的とする区画収納空間１１に対
する荷４８の出し入れは、この搬入出装置１６の
一定経路１７上での走行動作と、昇降台４３の昇
降動作と、フオーク４４の横方向出退動作との組
合わせ動作により行なえる。その際に荷受け面１
２Ａ，１２Ｂに支持させた荷４８や、この荷４８
を出し入れを行なうフオーク４４などから塵埃が
発生して落下したとき、この塵埃はその下方に位
置している塵埃受け面１４で受止められることに
なり、したがつて下段区画収納空間１１で保管し
ている荷４８上に落下して堆積することは防止さ
れる。このような作業中において、囲壁体４６な
どが囲んだ部分を含むクリーンルーム１内では、
フイルター３を通つて下吹きされるクリーンエア
ー４が下降し、そして下降するエアーを床５下に
吸引することから、そのクリーン度は確保されて
いる。またフオーク４４などを支持する可動体２
８の昇降時においては、シート幕４１，４２のう
ちの一方が自動的に繰出され、また他方が巻取ら
れることから、この可動体２８が通るスリツト２
６は常に内側からシールされた状態にある。した
がつて角筒体２３内に配設した昇降案内装置２９
や昇降駆動装置３２から発生した塵埃は該角筒体
２３内にとどまつて棚６側に移行するのを防止し
得、その際に天井２側から下吹きされるクリーン
エアー４が上端開放部２４を通つて角筒体２３内
に入り、そして角筒体２３内を下方に流れたのち
下端開放部２５から貫通部２７を通つて床５に向
けて排出されることから、前述したように角筒体
２３内にとどまつている塵埃は、全てクリーンエ
アー流に乗つて下送されたのち床５下に吸引除去
されることになる。
しての、棚６の目的とする区画収納空間１１に対
する荷４８の出し入れは、この搬入出装置１６の
一定経路１７上での走行動作と、昇降台４３の昇
降動作と、フオーク４４の横方向出退動作との組
合わせ動作により行なえる。その際に荷受け面１
２Ａ，１２Ｂに支持させた荷４８や、この荷４８
を出し入れを行なうフオーク４４などから塵埃が
発生して落下したとき、この塵埃はその下方に位
置している塵埃受け面１４で受止められることに
なり、したがつて下段区画収納空間１１で保管し
ている荷４８上に落下して堆積することは防止さ
れる。このような作業中において、囲壁体４６な
どが囲んだ部分を含むクリーンルーム１内では、
フイルター３を通つて下吹きされるクリーンエア
ー４が下降し、そして下降するエアーを床５下に
吸引することから、そのクリーン度は確保されて
いる。またフオーク４４などを支持する可動体２
８の昇降時においては、シート幕４１，４２のう
ちの一方が自動的に繰出され、また他方が巻取ら
れることから、この可動体２８が通るスリツト２
６は常に内側からシールされた状態にある。した
がつて角筒体２３内に配設した昇降案内装置２９
や昇降駆動装置３２から発生した塵埃は該角筒体
２３内にとどまつて棚６側に移行するのを防止し
得、その際に天井２側から下吹きされるクリーン
エアー４が上端開放部２４を通つて角筒体２３内
に入り、そして角筒体２３内を下方に流れたのち
下端開放部２５から貫通部２７を通つて床５に向
けて排出されることから、前述したように角筒体
２３内にとどまつている塵埃は、全てクリーンエ
アー流に乗つて下送されたのち床５下に吸引除去
されることになる。
上記実施例においては、天井２側からクリーン
エアー４を下吹きする形式を示したが、これは側
壁など他の箇所から吹出す形式でもよい。また可
動体２８を案内する昇降案内装置２９を設けてい
るが、これは角筒体２３の内面をガイド面として
案内してもよい。
エアー４を下吹きする形式を示したが、これは側
壁など他の箇所から吹出す形式でもよい。また可
動体２８を案内する昇降案内装置２９を設けてい
るが、これは角筒体２３の内面をガイド面として
案内してもよい。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は一部
切欠側面図、第２図は一部切欠正面図、第３図は
平面図、第４図は要部の一部切欠側面図、第５図
は同平面図、第６図は要部の側面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……クリーンエアー、５……床、６
……棚、１１……区画収納空間、１６……搬入出
装置、１７……一定経路、２０……本体、２３…
…角筒体（筒体の一例）、２４……上端開放部、
２５……下端開放部、２６……スリツト、２７…
…貫通部、２８……可動体、２９……昇降案内装
置、３２……昇降駆動装置、３７……保護体、３
９，４０……ドラム、４１，４２……シート幕、
４３……昇降台、４４……フオーク（荷出入れ機
構の一例）、４６……囲壁体、４７……建物壁、
４８……荷。
切欠側面図、第２図は一部切欠正面図、第３図は
平面図、第４図は要部の一部切欠側面図、第５図
は同平面図、第６図は要部の側面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……クリーンエアー、５……床、６
……棚、１１……区画収納空間、１６……搬入出
装置、１７……一定経路、２０……本体、２３…
…角筒体（筒体の一例）、２４……上端開放部、
２５……下端開放部、２６……スリツト、２７…
…貫通部、２８……可動体、２９……昇降案内装
置、３２……昇降駆動装置、３７……保護体、３
９，４０……ドラム、４１，４２……シート幕、
４３……昇降台、４４……フオーク（荷出入れ機
構の一例）、４６……囲壁体、４７……建物壁、
４８……荷。
Claims (1)
- １ エアーを床下に吸引するクリーンルーム内
に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空
間を有する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走
行自在で且つ昇降ならびに横方向出退自在な荷出
入れ機構を有する搬入出装置とを設け、この搬入
出装置を、走行自在な本体と、この本体から立設
した上端ならびに下端が開放の筒体と、この筒体
に沿つて昇降自在なキヤレツジと、このキヤレツ
ジに設けた前記荷出入れ機構とから構成し、前記
キヤレツジに連動した昇降駆動装置を前記筒体内
に配設したことを特徴とするクリーンルーム内の
荷保管設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15067483A JPS6044405A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15067483A JPS6044405A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6044405A JPS6044405A (ja) | 1985-03-09 |
| JPH0219042B2 true JPH0219042B2 (ja) | 1990-04-27 |
Family
ID=15501990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15067483A Granted JPS6044405A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6044405A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624644U (ja) * | 1985-06-25 | 1987-01-12 | ||
| JPS6298740A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Tokyo Electron Ltd | 半導体デバイス製造装置 |
| JPS62121102A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-02 | Teru Saamuko Kk | 炉処理装置 |
| JP2977687B2 (ja) * | 1992-02-10 | 1999-11-15 | 鐘紡株式会社 | カバーリングストッキング |
| JP3832295B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-10-11 | 株式会社ダイフク | 荷取り扱い設備 |
| FR2996832B1 (fr) * | 2012-10-12 | 2015-09-18 | Sydel | Unite modulaire de stockage automatise |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58150672A (ja) * | 1982-03-03 | 1983-09-07 | ナイルス部品株式会社 | 車両用扉電動施錠解錠装置 |
-
1983
- 1983-08-17 JP JP15067483A patent/JPS6044405A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58150672A (ja) * | 1982-03-03 | 1983-09-07 | ナイルス部品株式会社 | 車両用扉電動施錠解錠装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6044405A (ja) | 1985-03-09 |
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| JPH0571483B2 (ja) | ||
| JP2009007124A (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
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