JPH0114565Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、天井側からクリーンエアーを下吹き
し、下降するエアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品（荷）の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。

従来の技術 一般に荷保管設備は、上下方向ならびに横方向
に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿
つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに横
方向出退自在な荷保持具を有する搬入出装置とか
ら構成され、さらに搬入出装置の走行は、下部レ
ールと上部レールとに夫々被ガイド体を支持案内
させることにより行なつている。

考案が解決しようとする問題点 このような従来の荷保管設備によると、両レー
ルに対して被ガイド体が支持案内される部分に摩
損などにより多くの塵埃が発生し、特に上部レー
ル側では発生箇所が棚の近くであることから、発
生した塵埃は床側に吸引されることなく棚に保管
している荷側に移行することになり、荷に悪影響
を及ぼすことになる。これらのことから、クリー
ンルーム内での荷保管の機械化、自動化、すなわ
ち荷保管設備の採用は困難とされていた。

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本考案におけるク
リーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリ
ーンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に
吸引するクリーンルーム内に、上下方向ならびに
横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この
棚に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降なら
びに横方向出退自在な荷保持具を有する搬入出装
置とを設け、この搬入出装置は、下部レールに支
持案内される下部被ガイド体と、上部レールに案
内される上部被ガイド体を有し、前記下部レール
と下部被ガイド体とを防塵カバー内に設け、また
上部被ガイド体は、搬入出装置のポスト上端に設
けたカバーで囲み、このカバーの上部側に前記上
部レールの嵌入を許すスリツトを形成すると共
に、該カバー内を前記ポスト内に連通している。

作 用 かかる本考案構成によると、下部レールに下部
被ガイド体が支持案内されることにより発生する
塵埃は、防塵カバーによつてクリーンルーム内へ
の移行が阻止される。また上部レールに上部被ガ
イド体が案内されることにより発生する塵埃は、
カバーによつてクリーンルーム内へ移行すること
を防止し得ると共にポスト内に除去し得る。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して床
下に吸引するように構成してある。６は棚で、前
面が開放する箱状の本体７と、この本体７内にお
いて横方向に多数並設した縦枠８と、これら縦枠
８に上下方向に多数取付けた前後枠９と、相対向
する前後枠９間に取付けた荷受板１０と、下部に
おいて本体７を切欠いて形成した入出庫口１１
と、この入出庫口１１を通つて裏側に突出する入
庫口荷受台１２ならびに出庫口荷受台１３とから
なり、両枠８，９などによつて上下方向ならびに
横方向に夫々複数の区画収納空間１４を形成す
る。１５は搬入出装置で、前記棚６の前面側に沿
つた一定経路１６上を走行自在である。すなわち
搬入出装置１５は本体を四角筒状のポスト１７か
ら形成し、その下端の棚６側の面にはブラケツト
１８を介してスライド体（下部被ガイド体の一例
であつて、ローラなどに代え得る。）１９が取付
けてある。このスライド体１９は棚６の本体７側
に取付けられ且つ前記一定経路１６に沿つた下部
レール２０に支持案内される。前記ポスト１７の
下面から取付け部材２１が垂設され、この取付け
部材２１は本体７側に設けた無端回動体２２の一
箇所に連結し、さらに無端回動体２２は輪体など
を介して正逆駆動装置２３に連動している。前記
下部レール２０や正逆駆動装置２３などは本体７
と一体の防塵カバー２４内に配設され、その際に
防塵カバー２４には、ブラケツト１８や取付け部
材２１の移動を許すスリツト２５，２６が形成し
てある。

前記ポスト１７の上端には一対の遊転ローラ
（上部被ガイド体の一例であつて、スライド体な
どに代え得る。）２８が配設され、これら遊転ロ
ーラ２８間に位置し且つ一定経路１６に沿つた上
部レール２９が、取付け部材３０を介して本体７
側に取付けてある。前記ポスト１７の上端には一
定経路１６方向のカバー３１が取付けられ、この
カバー３１は遊転ローラ２８の全てを覆うと共
に、上面側に形成したスリツト３２を通して上部
レール２９の上端を除く部分を突入すべく構成し
てある。またポスト１７の天板には、カバー３１
内を該ポスト１７内に連通する連通孔３３が形成
してある。

前記搬入出装置１５は、両レール２０，２９に
支持案内されて一定経路１６上を走行自在であ
り、そのポスト１７の走行方向側のいずれか一面
には上下方向にスリツト３４を形成している。前
記ポスト１７内には上位輪体３５、下位輪体３
６、駆動輪体３７などが配設され、これら輪体３
５，３６，３７間に無端回動体３８を巻回すると
共に、駆動輪体３７を正逆駆動装置３９に連動し
ている。前記無端回動体３８の一箇所に連結した
昇降体４０はポスト１７内に配設した上下レール
４１に案内され、また昇降体４０からの連結部材
４２は前記スリツト３４を通つて突出している。
この連結部材４２の突出端には昇降台４３が取付
けられ、また昇降台４３上に横方向出退自在な荷
保持具４４を設けて、両荷受台１２，１３と区画
収納空間１４との間で荷４５の受け渡しを可能に
している。

以下に上記実施例の作用を説明する。クリーンル
ーム１内では、フイルター３を通つて下吹きされ
るクリーンエアー４が下降し、そして下降するエ
アーを床５下に吸引することから、そのクリーン
度は確保されている。このようなクリーンルーム
１内で搬入出装置１５を使用しての、棚６の目的
とする区画収納空間１４と両荷受台１２，１３と
の間での荷４５の受け渡しは、この搬入出装置１
５の一定経路１６上での走行動作と、昇降台４３
の昇降動作と、荷保持具４４の出退動作との組合
わせ動作により行なえる。その際に下部レール２
０に対してスライド体１９が支持案内されること
により発生する塵埃は、塵埃カバー２４によつて
クリーンルーム１内に出ることが防止される。ま
た上部レール２９に遊転ローラ２８が案内される
ことにより発生する塵埃は、カバー３１によつて
飛散が防止され、そして連通孔３３を通つて、ク
リーンルーム１内へ移行することなくポスト１７
内に落下除去し得る。

考案の効果 上記構成の本考案によると、下部レールに下部
被ガイド体が支持案内されることにより発生する
塵埃は、防塵カバーによつてクリーンルーム内へ
の移行を防止することができる。また上部レール
に上部被ガイド体が案内されることにより発生す
る塵埃は、カバーによつてクリーンルーム内へ移
行することを防止できると共に、ポスト内に除去
することができる。これによりガイド部で発生し
た塵埃が棚側に移行することを防止でき、したが
つてクリーンルーム内での荷保管の機械化、自動
化を可能にできる。さらにカバーをポスト側に設
けたことによつて、全体をコンパクトに形成でき
ると共に、塵埃が除去し易く且つ漏れの少ない構
造を提供できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部
切欠き側面図、第２図は棚の裏側から見た一部切
欠き背面図、第３図は一部切欠き平面図、第４図
は上部ガイド部の縦断側面図、第５図は同正面
図、第６図は同平面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……クリーンエアー、５……床、６
……棚、１０……荷受板、１２……入庫口荷受
台、１３……出庫口荷受台、１４……区画収納空
間、１５……搬入出装置、１６……一定経路、１
７……ポスト、１９……スライド体（下部被ガイ
ド体）、２０……下部レール、２４……防塵カバ
ー、２８……遊転ローラ（上部被ガイド体）、２
９……上部レール、３１……カバー、３２……ス
リツト、３３……連通孔、４３……昇降台、４４
……荷保持具、４５……荷。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降す
   るエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に、
   上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を
   有する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走行自
   在で且つ昇降ならびに横方向出退自在な荷保持具
   を有する搬入出装置とを設け、この搬入出装置
   は、下部レールに支持案内される下部被ガイド体
   と、上部レールに案内される上部被ガイド体を有
   し、前記下部レールと下部被ガイド体とを防塵カ
   バー内に設け、また上部被ガイド体は、搬入出装
   置のポスト上端に設けたカバーで囲み、このカバ
   ーの上部側に前記上部レールの嵌入を許すスリツ
   トを形成すると共に、該カバー内を前記ポスト内
   に連通したことを特徴とするクリーンルーム内の
   荷保管設備。