JP2544202B2 - クリ―ンル―ム内の荷保管装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような塵埃を極端にきら
う製品の保管に採用されるクリーンルーム内の荷保管装
置に関するものである。

従来の技術 従来、この種の装置としては、たとえば実開昭63−67
505号公報に見られる構造が提供されている。すなわち
従来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが開放しか
つ多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚の後面側
にフィルタを配設するとともに、このフィルタの後方に
流路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機の吐出部
を前記流路に連通している。

この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸
引したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアは
フィルタを通ってクリーンエアとなり、このクリーンエ
アが棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を
高く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは
本体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引さ
れて循環使用される。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、循環使用されるクリーンエ
アが次第に昇温することになり、したがって半導体など
のように、製品の特性上、極力温度変化を避ける必要が
ある荷の保管に採用することはできない。これに対して
は、本体の下部に冷却エアを供給し、この冷却エアをク
リーンエアに合流させて流路に供給することが考えられ
るが、この場合に冷却エアとクリーンエアとの撹拌が完
全に行われず、棚に吹き出されるクリーンエアに温度差
が発生することになる。

本発明の目的とするところは、循環されるクリーンエ
アに一部冷却エアを合流させて、クリーンエアの昇温を
防止し、しかも合流時の撹拌、混合を完全に行えるクリ
ーンルーム内の荷保管装置を提供する点にある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明におけるクリーンル
ーム内の荷保管装置は、前面と後面とを開放した荷収納
部の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィル
タの後方にエア供給路を形成し、このエア供給路に吐出
部が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引
部を介して吸引自在な送風機を設け、この送風機の吸引
部側に低温エアを供給する低温エア供給路を設けるとと
もに、この低温エア供給路の吐出側にエア拡散手段を備
えている。

作用 かかる本発明の構成によると、送風機の吐出部からの
送気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ること
でクリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後
面側から供給される。したがって荷収納部内は、後面か
ら前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を
維持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送風
機に吸引されて循環使用される。その際に送風機の吸引
部側に低温エア供給路を通して適量の低温エアが供給さ
れており、しかもエア拡散手段によって拡散されること
から、クリーンエアに対して完全に撹拌、混合されて合
流したのち送風機で吸引し得る。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

１はクリーンルームで、天井側からフィルタ２を通し
てクリーンエア３を下吹きし、下降するクリーンエア３
をメッシュ形状の床４を通して床下に吸引するように構
成してある。５は密閉式の荷保管装置で、箱状の本体６
内には、上下方向に複数の収納空間７を区画形成した荷
収納部（棚）８が通路９を置いて左右一対設けられる。
これら荷収納部８は、通路９側に向いた前面と反対側の
後面とが開放され、そして後面を覆うようにしてフィル
タ10を配設するとともに、このフィルタ10の後方で本体
６との間にエア供給路11を形成している。

前記本体６内の下部には前記通路９側に連通した区画
室12が形成され、この区画室12内に、その吐出部13が前
記エア供給路11に連通した送風機14を設けている。この
送風機14の吸引部15は区画室12内に開放し、前記荷収納
部８を通って通路９に流出したクリーンエア16を、区画
室12を介して吸引すべく構成してある。前記床４ならび
に本体６を貫通して、前記区画室12に低温エア17を供給
する低温エア供給路18が配管19によって形成され、その
吐出口（吐出側）20に対向してせん孔抵抗板（エア拡散
手段の一例）21を設けている。このせん孔抵抗板21は、
多数のせん孔22を有するドーム形状であるが、形状は種
々に変更し得る。

前記通路９内には搬入出装置30が設けられ、この搬入
出装置30は、床レール31と、この床レール31に車輪32を
介して支持案内され、かつ両荷収納部８の前面に沿った
一定経路上を走行自在な台車33と、この台車33上から立
設した支持枠34と、この支持枠34内に配設したガイド体
に案内される昇降台35と、この昇降台35上に設けたター
ンテーブル36と、このターンテーブル36上に横方向移動
自在に設けた可動台37と、この可動台37から前方に突出
し、かつ互いに接近離間自在な一対の支持腕38などから
構成される。

荷25は製品を収納自在なケース形状であって、上部の
両側面には、前記支持腕38が下方から係合自在な被係止
突条25aが設けられる。前記荷収納部８の一方（他方ま
たは両方でもよい）で下部には受け台形式の荷捌き場23
が設けられ、この荷捌き場23に対向して本体６には開口
部24が形成されている。40は一定経路上を自動走行自在
な搬送台車で、横方向への可動台41と、この可動台41の
前面に設けた昇降枠42と、この昇降枠42に互いに接近離
間自在に設けた一対の支持腕43などから構成される。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷保管装置５においては常に高いクリーン度が保たれ
ている。すなわち送風機14の稼動によって吐出部13から
吐出される送気はエア供給路11内を上昇し、そしてフィ
ルタ10を通ってクリーン度の高いクリーンエア16とな
り、荷収納部８に対して後面側から供給される。したが
って荷収納部８内は、後面から前面へと流れるクリーン
エア16によって高クリーン度が維持されている。

荷収納部８を通ったクリーンエア16は通路９内に流入
し、その一部は開口部24を通ってクリーンルーム１内に
流出し、また残部は区画室12に流入して送風機14に吸引
され、循環使用される。その際に区画室12には低温エア
供給路18を通して適量の低温エア17が供給されており、
しかも低温エア17はせん孔抵抗板21に衝突したのち各せ
ん孔22から噴出されるように拡散されることから、前述
のように通路９側から流入してきたクリーンエア16に対
して完全に撹拌、混合されて合流することになる。した
がって荷収納部８に対して後面側から供給されるクリー
ンエア16は、適温でかつ温度差は発生しない。

たとえば搬送台車40により搬送されてきた荷25は、昇
降枠42の上昇と、可動台41の前進動と、昇降枠42の下降
とによって荷捌き場23に卸し得る。そして搬入出装置30
における台車33の走行動と、昇降台35の昇降動と、ター
ンテーブル36の回転動と、可動台37の前進動、後退動
と、支持腕43の接近離間動との組合せ動作によって、荷
捌き場23上の荷25を目的とする収納空間７に格納し得
る。なお逆作動によって、目的とする収納空間７の荷25
を搬送台車40に渡せ得る。

発明の効果 上記構成の本発明によると、送風機の吐出部からの送
気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることで
クリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面
側から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前
面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持
することができる。そして荷収納部を通ったクリーンエ
アは再び送風機で吸引して循環使用することができる。

その際に、送風機の吸引部側に低温エア供給路を通し
て適量の低温エアを供給できて、循環使用されるクリー
ンエアの昇温を防止でき、しかも低温エアをエア拡散手
段によって拡散できることから、クリーンエアに対して
完全に撹拌、混合して合流したのち送風機に吸引させる
ことができ、したがって荷収納部には温度差の発生しな
いクリーンエアを供給することができる。またエア拡散
手段を配設することは、取付けや調整を簡単にできると
ともに安価に提供できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は縦断側面図、
第２図は要部の斜視図、第３図は要部の縦断面図であ
る。 ５……荷保管装置、６……本体、７……収納空間、８…
…荷収納部、10……フィルタ、11……エア供給路、12…
…区画室、13……吐出部、14……送風機、15……吸引
部、16……クリーンエア、17……低温エア、18……低温
エア供給路、20……吐出口、21……せん孔抵抗板（エア
拡散手段）、22……せん孔、23……荷捌き場、25……
荷、30……搬入出装置、40……搬送台車。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】前面と後面とを開放した荷収納部の後面側
   にフィルタを配設するとともに、このフィルタの後方に
   エア供給路を形成し、このエア供給路に吐出部が連通
   し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部を介し
   て吸引自在な送風機を設け、この送風機の吸引部側に低
   温エアを供給する低温エア供給路を設けるとともに、こ
   の低温エア供給路の吐出側にエア拡散手段を備えたこと
   を特徴とするクリーンルーム内の荷保管装置。