JPH0640512A - 倉庫設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 窒素供給装置24からの窒素ガスが収納部20に
後面側から吹き出され、収納物Ａはクリ―ンな窒素ガス
の雰囲気中で格納される。収納物Ａの受け渡しは常にク
リーンな窒素ガス中で行える。窒素ガスは、窒素ガス封
入ルーム２との間で一部を置換して温度をコントロール
し得、荷保管装置48で発生した熱を除去し得る。荷保管
装置48の一部が破損したとしても、窒素ガス封入ルーム
２の存在でクリーンな窒素ガスが外部に流出しない。 【効果】 出し入れ装置による収納物の受け渡しは、常
にクリーンな窒素ガスの雰囲気中で自動的に容易に行え
る。収納物は、常にクリーンな窒素ガスの雰囲気中で格
納でき、塵埃などが付着しない保管を行える。荷保管装
置で発生した熱を除去でき、常に好適な格納を行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体のよう
な塵埃を極端にきらう荷（物品）の格納に利用される倉
庫設備に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の設備で、荷を窒素ガスの
雰囲気中に位置させて格納するものとしては、たとえば
特開昭60−31410 号公報に見られる回転式棚設備が提供
されている。すなわち、この従来構成は、ボックス状の
囲壁体内に配設した従動輪体と駆動輪体との間に無端回
動体を巻張し、この無端回動体に多数のバケットを支持
させるとともに、前記囲壁体の前面下部に荷取り扱い口
を形成し、さらに囲壁体内にクリーンエアを下吹き供給
して回転式棚設備を構成している。

【０００３】そして無端回動体に沿って周回して設けら
れかつ無端回動体と一体的に回転する用役供給路を、各
バケット上に載置した格納ボックス内にそれぞれ接続す
るとともに、各バケットの下面に取り付けた受け入れ側
カプラーにそれぞれ接続している。さらに最下位に位置
したバケットの受け入れ側カプラーに対して下方から対
向する供給側カプラーを、昇降装置の作動により受け入
れ側カプラーに対して接続離間させている。

【０００４】上記の従来構成によると、回転停止時に昇
降装置を作動させ、最下位に位置したバケットの供給側
カプラーを受け入れ側カプラーに接続させることで、各
格納ボックス内へ用役（窒素ガス）を供給し得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来構成によ
ると、各格納ボックスは対応するバケットに固定されて
おり、そして格納ボックスに対する荷の出し入れは、開
動した荷取り扱い口を通して格納ボックスの蓋を開くこ
とで行うのであり、したがって格納設備、すなわち回転
式棚設備からの荷の取り出しは、手動により行うことか
ら容易に行えず、かつ危険な事態を招く恐れがある。

【０００６】本発明の目的とするところは、収納物を常
にクリーンな窒素ガスの雰囲気中に位置させた状態で格
納し得るとともに、格納は、ほぼ一定の温度下で行え、
しかも収納物の入出庫を自動的に行える倉庫設備を提供
する点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
第１発明の倉庫設備は、前面が開放した収納部を有する
棚本体と、前記収納部との間で収納物を受け渡し自在な
出し入れ装置とを設けて棚装置を構成し、この棚装置を
密閉状に形成するとともに、内部に窒素ガスを封入して
荷保管装置を構成し、この荷保管装置を窒素ガス封入ル
ーム内に設置し、前記荷保管装置に、少なくとも一部の
窒素ガスを窒素ガス封入ルームから吸入したのち棚本体
の後部から出し入れ装置側へクリーンな窒素ガスを吹き
出す窒素供給装置を設け、前記荷保管装置内の窒素ガス
の少なくとも一部を窒素ガス封入ルームに排出すべく構
成している。

【０００８】また本第２発明の倉庫設備は、荷保管装置
に、出し入れ装置により収納物を受け渡し自在な入出庫
部を設け、この入出庫部を、二重扉を有する密閉空間を
通して窒素ガス封入ルーム外に連通している。

【０００９】

【作用】かかる本第１発明の構成によると、出し入れ装
置を目的とする収納部に対向させることで、この収納部
に対して収納物を受け渡し得る。その際に、密閉状の荷
保管装置内においては常にクリーンな窒素ガスが封入さ
れている。すなわち窒素供給装置からのクリ―ン度の高
い窒素ガスが、収納部に対して後面側から吹き出され、
この収納部内の収納物は、後面から前面へと流れるクリ
―ンな窒素ガスの雰囲気中で格納されることになる。し
たがって、収納部に対する収納物の受け渡しは、収納物
を常にクリーンな窒素ガス中に位置させて行える。

【００１０】そして荷保管装置で循環使用される際に窒
素ガスは、窒素ガス封入ルームとの間で一部を置換し
得、これによって窒素ガスの温度をコントロールして、
荷保管装置で発生した熱を除去し得る。また荷保管装置
の一部が破損したとしても、窒素ガス封入ルームに窒素
ガスが封入されていることから、クリーンな窒素ガスが
外部に流出することはない。

【００１１】また本第２発明の構成によると、入出庫部
を通しての収納物の入出庫は、荷保管装置や窒素ガス封
入ルーム内の窒素ガスの封入状態を乱すことなく行え
る。

【００１２】

【実施例】以下に本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。１は矩形箱状の囲壁体で、その内部は窒素ガス封
入ルーム２に形成されるとともに、外部は通常ルーム３
に形成される。ここで囲壁体１は、周囲の側壁部１Ａ
と、天壁部１Ｂと、底壁部１Ｃとからなり、その底壁部
１Ｃを介して屋内の床４上に設置されている。しかし囲
壁体１は、床４により底壁部１Ｃを兼用したり、建物の
側壁により側壁部１Ａの一部を兼用した構成であっても
よい。

【００１３】10は棚本体で、支柱などにより形成される
箱状の枠体11と、この枠体11の上面に取り付けた上部カ
バー12と、枠体11の左右側面に取り付けた側部カバー13
と、枠体11の後面に取り付けた後部カバー14と、枠体11
の下面に取り付けた下部カバー15と、この下部カバー15
の下面側に取り付けた複数の着地体16などにより構成さ
れる。

【００１４】前記棚本体10の内部は下部に近い横仕切り
板17により上下で二分割され、そして上部の室は縦仕切
り板18により前後で二分割されている。ここで横仕切り
板17により分割された下部の室は窒素ガスの供給部19に
形成される。そして通気性のある形状からなる縦仕切り
板18により分割された前部の室は収納部20に形成され、
また後部の室は窒素ガスの流路部21に形成されている。
なお横仕切り板17の一部は、供給部19と流路部21とを連
通すべく通気性のある形状としている。

【００１５】前記収納部20内は、荷受け部22により上下
方向で複数に区画形成されるとともに、前面を開放して
設けられている。さらに収納部20は左右方向で複数に区
画形成され、そして各収納部20で三個の収納物Ａを収納
自在としているが、これは他の複数個や一個を収納自在
とした構成であってもよい。また前記供給部19に対向し
た前面は多孔板23で閉塞され、さらに後部カバー14（側
部カバー13や下部カバー15でもよい。）の前記供給部19
に対向した適所には吸引口14ａが形成されている。

【００１６】前記棚本体10の後部からクリーンな窒素ガ
スを吹き出す窒素供給装置24を設けている。すなわち供
給部19内に、その吐出部25が前記横仕切り板17の通気部
を介して流路部21に連通した送風機26を設けている。こ
の送風機26の吸引部27は供給部19内に開放してある。そ
して縦仕切り板18の外面側に、収納部20の開放された後
面を覆うフィルタ28を配設している。以上の25〜28によ
り窒素供給装置24を構成する。

【００１７】上記構成からなる棚本体10などは、通路40
を中におきかつ前面の開放部を通路40に向けて一対が配
設され、そして通路40内には、各収納部20と入出庫部
（後述する。）との間で収納物Ａを受け渡し自在な出し
入れ装置30が設けられる。

【００１８】すなわち出し入れ装置30は、床レール31
と、この床レール31に車輪32を介して支持案内されかつ
通路40に形成される一定経路41上を往復走行自在な台車
部33と、この台車部33から立設した支持枠（支柱）34
と、この支持枠34側に配設したガイド体に案内される昇
降台35と、この昇降台35上に横方向移動自在に設けた出
し入れ具36などにより構成される。

【００１９】以上の10〜36により棚装置37を構成し、こ
の棚装置37を密閉状に形成するとともに、内部に窒素ガ
スを封入している。すなわち前記一定経路41を覆うべ
く、左右の上部カバー12間に一体化した上部接続カバー
42と、側部カバー13間に一体化した側部接続カバー43
と、下部カバー15間に一体化した下部接続カバー45とが
配設され、以て通路40の部分は、前記収納部20が連通自
在な密閉状室に形成される。

【００２０】前記下部接続カバー45には複数の着地体46
が設けられるとともに、この下部接続カバー45の上面側
で前記床レール31を支持すべく構成してあり、さらに下
部接続カバー45の一部には、窒素ガスの一部を通常ルー
ム３に流出させるための排出口45ａが形成されている。
また前記側部接続カバー43には開閉自在な点検扉47が設
けられている。

【００２１】以上の10〜47により、内部に窒素ガスを封
入た荷保管装置48を構成し、この荷保管装置48が前記窒
素ガス封入ルーム２内に設置される。そして荷保管装置
48に、出し入れ装置30により収納物Ａを受け渡し自在な
入出庫部50が設けられる。すなわち一方の棚本体10側に
おける左右方向の一端部の収納部20を利用して、四角筒
状のボックス51が配設されている。このボックス51は、
その内端が通路40に向いて開放するとともに、その開放
部には開閉自在な内側扉52が設けられる。

【００２２】前記ボックス51の外端は、後部カバー14と
側壁部１Ａとを貫通して通常ルーム３に連通しており、
その外端の開放部には開閉自在な外側扉53が設けられ
る。さらに両扉52，53間においてボックス51内には密閉
空間51ａが形成されるとともに、この密閉空間51ａにコ
ンベヤ54が配設され、このコンベヤ54の内端部に対し
て、前記出し入れ装置30が収納物Ａを受け渡し自在とな
る。以上の51〜54により、二重の扉52，53を有する密閉
空間51ａを通して窒素ガス封入ルーム２外に連通した入
出庫部50を構成する。

【００２３】前記通常ルーム３（または窒素ガス封入ル
ーム２）には窒素補給装置55が設けられる。すなわち窒
素補給装置55は、窒素貯留部（ボンベ）56と、この窒素
貯留部56と窒素ガス封入ルーム２内とを接続する配管57
などにより構成される。

【００２４】次に上記実施例の作用を説明する。窒素ガ
ス封入ルーム２には常に窒素ガスが封入されており、ま
た荷保管装置48には常にクリーンな窒素ガスが封入され
ている。すなわち送風機26の稼動によって吐出部25から
吐出される窒素ガスは流路部21内を上昇し、次いでフィ
ルタ28を通ってクリ―ン度の高い窒素ガスとなり、収納
部20に対して後面側から吹き出される。したがって収納
部20内は、後面から前面へと流れる窒素ガスによって高
クリ―ン度が維持されている。

【００２５】収納部20を通った窒素ガスは通路40内に流
入し、その一部は排出口45ａを通って窒素ガス封入ルー
ム２に排出され、また残部は、送風機26の吸引力により
多孔３23を通って供給部19に流入される。さらに排出に
よる窒素ガスの不足分は、送風機26の吸引力により窒素
ガス封入ルーム２から吸引口14ａを通って供給部19に補
充される。

【００２６】このようにして供給部19に入った窒素ガス
は、前述のように送風機26に吸引され、循環使用され
る。その際に窒素ガスは、窒素ガス封入ルーム２に対す
る排出と補充とにより一部が置換されることによって、
その温度をコントロールし得、以て送風機26や出し入れ
装置30などで発生した熱を除去し得る。なお置換の量
は、ガス圧力、ガス濃度、ガス温度などに基づいて設定
され、かつ制御される。また荷保管装置48に一部が破損
したとしても、窒素ガス封入ルーム２に窒素ガスが封入
されていることから、クリーンな窒素ガスが通常ルーム
３に流出することはない。

【００２７】棚装置37内の収納物Ａを、入出庫部50を通
して出庫するとき、まず出し入れ装置30における台車部
33の走行動と、昇降台35の昇降動と、出し入れ具36の受
け渡し動との組合せ動作によって、目的とする収納物Ａ
を収納部20から取り出したのち、出し入れ具36を内側扉
52に対向させる。次いで内側扉52を開動させた状態で、
出し入れ装置30の作動によって収納物Ａをボックス51の
内端でコンベヤ54の上に卸す。

【００２８】そして内側扉52を閉動させるとともに、コ
ンベヤ54の稼働により収納物Ａをボックス51内で移動さ
せて外端部に位置させる。次いで外側扉53を開動させる
ことで、人手作業や自動作業などにより収納物Ａをボッ
クス51内から取り出せ得、その後に外側扉53が閉動され
る。以上により収納物Ａの出庫を行える。なお上述とは
逆の作動によって、外部の収納物Ａを、入出庫部50を通
して入庫し得る。

【００２９】このように、入出庫部50を通しての収納物
Ａの入出庫は、荷保管装置48や窒素ガス封入ルーム２内
の窒素ガスの封入状態を乱すことなく行える。なお両扉
52，53を閉じ、コンベヤ54により収納物Ａを搬送してい
る間などに、密閉空間51ａ内の窒素ガスを強制排気する
ことで、外側扉53を開けての作業者による作業はより安
全に行える。

【００３０】上述のような運転中において、窒素ガスの
不足分は窒素補給装置55から供給部19へ補充されてい
る。なお供給部19に対する窒素ガスの供給や供給遮断
は、ガス圧力、ガス濃度、ガス温度などを検出して自動
的に制御したり、あるいは設定時間おきに自動的に切り
換えるなどして行われる。

【００３１】上記した実施例では、窒素供給装置24の送
風機26を供給部19に設けて、流路部21に対して窒素ガス
を上向きで供給するように構成しているが、これは全体
の構成や規模などに応じて、流路部21に対して窒素ガス
を下向きや前向きなどに供給するように、送風機26は任
意に配設されるものである。

【００３２】上記した実施例においては、出し入れ装置
30を走行式に形成しているが、これは非走行式であって
もよい。また出し入れ具36としてクランプアーム形式を
示しているが、これきフォーク形式などであってもよ
く、この場合に荷受け部22などはフォークが作用し得る
ように形成される。

【００３３】また上記した実施例では入出庫部50のみを
利用して収納物Ａの入出庫を行っているが、これは窒素
ガス封入ルーム２を貫通しかつ荷保管装置48の上部に連
通する搬送装置との間で収納物Ａの入出庫を行ってもよ
い。この場合に搬送装置は、レールや自走台車などによ
り構成され、移載装置などによって自走台車と出し入れ
装置30との間で収納物Ａの受け渡しを行えばよい。

【００３４】

【発明の効果】上記構成の本第１発明によると、出し入
れ装置による収納部に対する収納物の受け渡しは、常に
クリーンな窒素ガスの雰囲気中で自動的に容易に行うこ
とができる。しかも収納部内の収納物は、常にクリーン
な窒素ガスの雰囲気中に位置させて格納でき、塵埃など
が付着しない保管を行うことができる。

【００３５】そして窒素ガスの一部を窒素ガス封入ルー
ムとの間で置換して、この窒素ガスの温度をコントロー
ルでき、荷保管装置で発生した熱を除去できて、常に好
適な格納を行うことができる。また荷保管装置の一部が
破損したとしても、窒素ガス封入ルームの存在によりク
リーンな窒素ガスが外部に流出することを防止できる。

【００３６】そして本第２発明の構成によると、入出庫
部を通しての収納物の入出庫は、荷保管装置や窒素ガス
封入ルーム内の窒素ガスの封入状態を乱すことなく行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、荷保管設備の縦断正
面図である。

【図２】同荷保管設備の横断平面図である。

【図３】同荷保管設備の概略斜視図である。

【符号の説明】

１ 囲壁体 ２ 窒素ガス封入ルーム ３ 通常ルーム 10 棚本体 14ａ 吸引口 19 供給部 20 収納部 21 流路部 22 荷受け部 23 多孔板 24 窒素供給装置 26 送風機 28 フィルタ 30 出し入れ装置 35 昇降台 36 出し入れ具 37 棚装置 40 通路 45ａ 排出口 48 荷保管装置 50 入出庫部 51 ボックス 51ａ 密閉空間 52 内側扉 53 外側扉 55 窒素補給装置 Ａ 収納物

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前面が開放した収納部を有する棚本体
   と、前記収納部との間で収納物を受け渡し自在な出し入
   れ装置とを設けて棚装置を構成し、この棚装置を密閉状
   に形成するとともに、内部に窒素ガスを封入して荷保管
   装置を構成し、この荷保管装置を窒素ガス封入ルーム内
   に設置し、前記荷保管装置に、少なくとも一部の窒素ガ
   スを窒素ガス封入ルームから吸入したのち棚本体の後部
   から出し入れ装置側へクリーンな窒素ガスを吹き出す窒
   素供給装置を設け、前記荷保管装置内の窒素ガスの少な
   くとも一部を窒素ガス封入ルームに排出すべく構成した
   ことを特徴とする倉庫設備。
2. 【請求項２】 荷保管装置に、出し入れ装置により収納
   物を受け渡し自在な入出庫部を設け、この入出庫部を、
   二重扉を有する密閉空間を通して窒素ガス封入ルーム外
   に連通したことを特徴とする請求項１記載の倉庫設備。