JPH0640514A - 棚設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 出し入れ装置20を棚ユニット16に対向させ、
蓋体９の開動により開放部８を開放して収納物Ａを入出
庫し得る。蓋体９を閉動し、収納部５に対し窒素用供給
弁11を介して窒素ガスを供給することで、収納物Ａを窒
素ガスの雰囲気中に位置させ得る。窒素ガスを、窒素供
給装置50によりクリ―ン度の高い窒素ガスとして収納部
５に対し後面側から吹き出すことで、収納物Ａをクリ―
ンな窒素ガスの雰囲気中に位置させ得る。 【効果】 棚ユニット内の収納物は、常に窒素ガスの雰
囲気中に位置させて格納でき、蓋体や出し入れ装置を遠
隔操作して、棚ユニットに対する入出庫を自動的に容易
に安全に行える。収納物の出し入れの頻度に関係なく、
収納物を常にクリーンな窒素ガスの雰囲気中に位置で
き、塵埃の付着しない格納を行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体のよう
な塵埃を極端にきらう荷（物品）の格納に利用される棚
設備に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の棚設備で、荷を窒素ガス
の雰囲気中に位置させて格納するものとしては、たとえ
ば特開昭60−31410 号公報に見られる回転式棚設備が提
供されている。すなわち、この従来構成は、ボックス状
の囲壁体内に配設した従動輪体と駆動輪体との間に無端
回動体を巻張し、この無端回動体に多数のバケットを支
持させるとともに、前記囲壁体の前面下部に荷取り扱い
口を形成し、さらに囲壁体内にクリーンエアを下吹き供
給して回転式棚設備を構成している。

【０００３】そして無端回動体に沿って周回して設けら
れかつ無端回動体と一体的に回転する用役供給路を、各
バケット上に載置した格納ボックス内にそれぞれ接続す
るとともに、各バケットの下面に取り付けた受け入れ側
カプラーにそれぞれ接続している。さらに最下位に位置
したバケットの受け入れ側カプラーに対して下方から対
向する供給側カプラーを、昇降装置の作動により受け入
れ側カプラーに対して接続離間させている。

【０００４】上記の従来構成によると、回転停止時に昇
降装置を作動させ、最下位に位置したバケットの供給側
カプラーを受け入れ側カプラーに接続させることで、各
格納ボックス内へ用役（窒素ガス）を供給し得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
構成によると、各格納ボックスは対応するバケットに固
定されており、そして格納ボックスに対する荷の出し入
れは、開動した荷取り扱い口を通して格納ボックスの蓋
を開くことで行うのであり、したがって格納設備、すな
わち回転式棚設備からの荷の取り出しは、手動により行
うことから容易に行えず、かつ危険な事態を招く恐れが
ある。

【０００６】また荷の出し入れを頻繁に行う場合、外部
からの塵埃が荷の表面や格納ボックスの内面に付着した
り、窒素ガスに混ざる恐れがあり、その結果、荷に対し
て塵埃の付着などを招くことになる。

【０００７】本発明の目的とするところは、収納物を窒
素ガスの雰囲気中に位置させた状態で棚に格納し得ると
ともに、棚に対する収納物の入出庫は自動的に行え、し
かも収納物を常にクリーンな窒素ガスの雰囲気中に位置
させ得る棚設備を提供する点にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
第１発明の棚設備は、前面が開放した収納部を有する棚
本体と、この棚本体側に設けた窒素用供給弁と、前記開
放部を開閉自在な蓋体とにより棚ユニットを構成し、前
記収納部との間で収納物を受け渡し自在な出し入れ装置
を設けている。

【０００９】そして本第２発明の棚設備は、棚ユニット
内に、棚本体の後部からクリーンな窒素ガスを吹き出す
窒素供給装置を設けている。

【００１０】

【作用】かかる本第１発明の構成によると、出し入れ装
置を目的とする棚ユニットに対向させた状態で、蓋体の
開動により開放部を開放させることで、目的とする荷受
け部に対して収納物を入出庫し得、その後に蓋体を閉動
して開放部を閉塞することで、入出庫作業を終了し得
る。そして入出庫作業を終えた状態で、該当する棚ユニ
ットの収納部に対して窒素用供給弁を介して窒素ガスを
供給（補充）することで、収納物を窒素ガスの雰囲気中
に位置させ得る。

【００１１】また本第２発明の構成によると、窒素用供
給弁を介して棚ユニット内に供給された窒素ガスを、窒
素供給装置によりクリ―ン度の高い窒素ガスとして収納
部に対して後面側から吹き出すことで、収納物をクリ―
ンな窒素ガスの雰囲気中に位置させ得る。

【００１２】

【実施例】以下に本発明の第一の実施例を図１〜図３に
基づいて説明する。１は箱状の棚本体で、その内部は横
仕切り板２により上下で二分割され、そして上部の室は
縦仕切り板３により前後で二分割されている。ここで横
仕切り板２により分割された下部の室は窒素ガスの供給
部４に形成される。そして通気性のある形状からなる縦
仕切り板３により分割された前部の室は収納部５に形成
され、また後部の室は窒素ガスの流路部６に形成されて
いる。なお横仕切り板２の一部は、供給部４と流路部６
とを連通すべく通気性のある形状としている。

【００１３】前記収納部５には上下複数段（実施例では
上下二段）の荷受け部７が設けられ、かつ前面は開放部
８に形成されている。各段の荷受け部７は、それぞれ左
右で二個の収納物Ａを収納自在に形成されており、した
がって棚本体１は、合計四個の収納物Ａを収納自在とな
るが、これは他の複数個や一個を収納自在とした構成で
もよい。

【００１４】各棚本体１には、前記開放部８を開閉自在
な蓋体９が設けられる。この蓋体９は、棚本体１側に案
内されて昇降自在なシャッター形式であり、その昇降を
行わせる昇降動装置10が棚本体１と蓋体９との間に設け
られる。ここで昇降動装置10は、シリンダー形式、ワイ
ヤー使用の吊上げ吊り下げ形式、ねじロッドとナットと
の組合せ形式、ラック・ピニオン形式など種々な形式が
採用される。

【００１５】前記供給部４に連通するように、棚本体１
の後板の下部には窒素供給弁11が設けられ、この窒素用
供給弁11は、後板を前後方向で貫通して設けた本体12
と、この本体12に形成した前後方向の供給路13と、この
供給路13内に配設されかつ外方からの加圧により開放す
る一方向弁形式の弁体14などにより構成される。なお棚
本体１の後板の上部には点検用などの扉体15が設けられ
る。

【００１６】上記した１〜15により棚ユニット16が形成
され、この棚ユニット16を、開放部８を同一方向に向け
て直線状に配置することで棚装置17が形成される。この
棚装置17は、通路18を中におきかつ開放部８を通路18に
向けて一対が配設され、そして通路18内には、各収納部
５と荷捌き場（後述する。）との間で収納物Ａを受け渡
し自在な出し入れ装置20が設けられる。

【００１７】すなわち出し入れ装置20は、床レール21
と、この床レール21に車輪22を介して支持案内されかつ
通路18に形成される一定経路19上を往復走行自在な台車
部23と、この台車部23から立設した支持枠（支柱）24
と、この支持枠24側に配設したガイド体に案内される昇
降台25と、この昇降台25上に横方向移動自在に設けた出
し入れ具26などにより構成される。

【００１８】前記一定経路19を覆ってカバー28が配設さ
れ、以て両棚装置17間には、前記収納部５が連通自在な
密閉室29が形成される。ここで両棚ユニット16の端部外
方は出し入れ装置20のホームポジションに形成され、こ
のホームポジションの部分もカバー28で覆われている。

【００１９】前記ホームポジションの部分においてカバ
ー28の側板部には、開閉扉30を有する貫通部31が形成さ
れ、この貫通部31を通して前記出し入れ具26がカバー28
の内外に亘って収納物Ａを移動させ得る。そして貫通部
31の位置においてカバー28の外側に、コンベヤ形式の荷
捌き場32が設けられる。この荷捌き場32は、フレーム33
と、このフレーム33側に支持案内される受け台34と、こ
の受け台34を移動すべくフレーム33側に配設した駆動装
置35などから構成され、貫通部31に対向した位置にある
受け台34に対して前記出し入れ装置20が収納物Ａを受け
渡し自在となる。

【００２０】両棚装置17の周辺には窒素補給装置40が設
けられる。すなわち窒素補給装置40は、棚装置17の外に
設けた窒素貯留部（ボンベ）41と、この窒素貯留部41と
各窒素用供給弁11とを接続する配管42などにより構成さ
れる。

【００２１】次に上記実施例の作用を説明する。たとえ
ば自走車により搬送されてきた収納物Ａは、貫通部31か
ら離間している受け台34上に載置される。そして駆動装
置35により受け台34を移動させることで、貫通部31に対
向した位置に停止される。このとき出し入れ装置20が作
動され、その出し入れ具26を貫通部31に内側から対向さ
せている。

【００２２】この状態で、まず開閉扉30を開動して貫通
部31を開放させ、そして出し入れ装置20における昇降台
25の昇降動と、出し入れ具26の受け渡し動との組合せ動
作によって受け台34上の収納物Ａを受け取ったのち、開
閉扉30を閉動させる。次いで出し入れ装置20における台
車部23の走行動と、昇降台25の昇降動とによって、収納
物Ａを支持している出し入れ具26を目的とする棚ユニッ
ト16に対向させる。

【００２３】そして、昇降動装置10により蓋体９を上昇
して開放部８を開放した状態で、昇降台25の昇降動と、
出し入れ具26の受け渡し動との組合せ動作によって、出
し入れ具26で支持していた収納物Ａを目的とする荷受け
部７上に卸す。その後に昇降動装置10により蓋体９を下
降して開放部８を閉塞することで、収納物Ａの入庫作業
を終了する。なお前述とは逆操作により収納物Ａの出庫
作業を行える。

【００２４】前述したように収納物Ａの入庫作業を終え
た状態で、該当する棚ユニット16に対して窒素ガスが供
給される。すなわち窒素貯留部41の窒素ガスが配管42や
窒素用供給弁11などを介して供給部４に供給（補充）さ
れ、この供給部４に供給された窒素ガスは、流路部６を
通ったのち収納部５に流入し、処理物Ａを窒素ガスの雰
囲気中に位置させ得る。

【００２５】なお非開放の棚ユニット16に対する窒素ガ
スの供給、すなわち窒素用供給弁11などを介しての供給
や供給遮断は、収納部５のガス圧力やガス濃度を検出し
て自動的に制御したり、あるいは設定時間おきに自動的
に切り換えるなどして行われる。

【００２６】上記した第一の実施例においては、板状の
蓋体９を昇降させることで開放部８の開閉を行っている
が、これは巻き取りシャッター形式の蓋体などであって
もよく、この場合には密閉室29の高さを低くして全体を
小形化し得る。

【００２７】また上記した第一の実施例のように棚ユニ
ット16を多数配列して棚装置17を構成したときには、損
傷などした棚ユニット16をそのままにしておいても、あ
るいは扉体15を開けての補修中においても、他の棚ユニ
ット16を利用して収納物Ａの取り扱いを行える。

【００２８】上記した第一の実施例においては、棚ユニ
ット16を多数配列して棚装置17を構成しているが、これ
は一つの棚ユニット16であってもよく、この場合には出
し入れ装置20を非走行式に形成することも可能となる。
また出し入れ具26としてクランプアーム形式を示してい
るが、これきフォーク形式などであってもよく、この場
合に荷受け部７はフォークが作用し得るように形成され
る。

【００２９】図４は本発明の第二の実施例を示し、各棚
ユニット16内に、棚本体１の後部からクリーンな窒素ガ
スを吹き出す窒素供給装置50を設けている。すなわち棚
ユニット16の供給部４内に、その吐出部51が前記横仕切
り板２の通気部を介して流路部６に連通した送風機52を
設けている。この送風機52の吸引部53は供給部４内に開
放し、前記窒素用供給弁11などを介して供給部４に供給
された窒素ガスを吸引すべく構成してある。そして横仕
切り板２に、供給部４と収納部５を連通する連通孔55を
形成するとともに、縦仕切り板３の外面側にフィルター
54を設けている。

【００３０】次に上記した第二の実施例の作用を説明す
る。窒素用供給弁11を介して供給されるなどした供給部
４内の窒素ガスは、送風機52の稼動によって吸引部53か
ら吸引され、吐出部51から流路部６へ吐出される。そし
て窒素ガスは流路部６内を上昇し、次いでフィルター54
を通ってクリ―ン度の高い窒素ガスとなり、収納部５に
対して後面側から吹き出される。このようにして窒素ガ
スを棚ユニット16内で循環流動させ、かつ収納部５へ吹
き出す前にフィルター54に通すことで、収納部５内は、
後面から前面へと吹き出されるクリ―ンな窒素ガスによ
って高クリ―ン度が維持されることになる。

【００３１】前述のようにして収納部５に供給された窒
素ガスは、送風機52の稼動により連通孔55に吸引力が作
用していることから、収納部５の前部から下方へと流
れ、連通孔55を通って供給部４に流入することになる。
なおフィルター54の保守点検などは扉体15を開動させる
ことで行える。

【００３２】上記した第二の実施例では、窒素供給装置
50の送風機52を供給部４に設けて、流路部６に対して窒
素ガスを上向きに供給するように構成しているが、これ
は全体の構成や規模などに応じて、流路部６に対して窒
素ガスを下向きや前向きなどに供給するように、送風機
52は任意に配設されるものである。

【００３３】

【発明の効果】上記構成の本第１発明によると、棚ユニ
ット内の収納物は、常に窒素ガスの雰囲気中に位置させ
て格納できるとともに、蓋体や出し入れ装置を遠隔操作
することで、棚ユニットに対する入出庫を自動的に容易
に、かつ安全に行うことができる。

【００３４】また上記構成の本第２発明によると、収納
物の出し入れの頻度に関係なく、収納物を常にクリーン
な窒素ガスの雰囲気中に位置でき、塵埃の付着しない格
納を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例を示し、棚設備の一部切
り欠き斜視図である。

【図２】同棚設備の縦断正面図である。

【図３】同棚設備の横断平面図である。

【図４】本発明の第二の実施例を示し、棚設備の縦断正
面図である。

【符号の説明】

１ 棚本体 ４ 供給部 ５ 収納部 ６ 流路部 ７ 荷受け部 ８ 開放部 ９ 蓋体 10 昇降動装置 11 窒素用供給弁 15 扉体 16 棚ユニット 17 棚装置 18 通路 20 出し入れ装置 25 昇降台 26 出し入れ具 28 カバー 29 密閉室 30 開閉扉 31 貫通部 32 荷捌き場 40 窒素補給装置 50 窒素供給装置 52 送風機 54 フィルター 55 連通孔 Ａ 収納物

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前面が開放した収納部を有する棚本体
   と、この棚本体側に設けた窒素用供給弁と、前記開放部
   を開閉自在な蓋体とにより棚ユニットを構成し、前記収
   納部との間で収納物を受け渡し自在な出し入れ装置を設
   けたことを特徴とする棚設備。
2. 【請求項２】 棚ユニット内に、棚本体の後部からクリ
   ーンな窒素ガスを吹き出す窒素供給装置を設けたことを
   特徴とする請求項１記載の棚設備。