JPH0640513A - 荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 密閉状の棚装置37内に窒素ガスが封入されて
おり、出し入れ装置30による収納部20に対する収納物Ａ
の受け渡しは、収納物Ａを常に窒素ガス中に位置させて
行える。窒素供給装置24からのクリ―ン度の高い窒素ガ
スが、収納部20に対して後面側から吹き出され、収納部
20内の収納物Ａは、後面から前面へと流れるクリ―ンな
窒素ガスの雰囲気中で格納し得る。 【効果】 出し入れ装置による収納部に対する収納物の
受け渡しは、常に窒素ガスの雰囲気中で自動的に容易に
行える。収納部内の収納物は、常にクリーンな窒素ガス
の雰囲気中に格納でき、塵埃が付着しない保管を行え
る。入出庫部を通しての収納物の入出庫は、棚装置の窒
素ガス封入状態を乱すことなく行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体のよう
な塵埃を極端にきらう荷（物品）の格納に利用される荷
保管設備に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の設備で、荷を窒素ガスの
雰囲気中に位置させて格納するものとしては、たとえば
特開昭60−31410 号公報に見られる回転式棚設備が提供
されている。すなわち、この従来構成は、ボックス状の
囲壁体内に配設した従動輪体と駆動輪体との間に無端回
動体を巻張し、この無端回動体に多数のバケットを支持
させるとともに、前記囲壁体の前面下部に荷取り扱い口
を形成し、さらに囲壁体内にクリーンエアを下吹き供給
して回転式棚設備を構成している。

【０００３】そして無端回動体に沿って周回して設けら
れかつ無端回動体と一体的に回転する用役供給路を、各
バケット上に載置した格納ボックス内にそれぞれ接続す
るとともに、各バケットの下面に取り付けた受け入れ側
カプラーにそれぞれ接続している。さらに最下位に位置
したバケットの受け入れ側カプラーに対して下方から対
向する供給側カプラーを、昇降装置の作動により受け入
れ側カプラーに対して接続離間させている。

【０００４】上記の従来構成によると、回転停止時に昇
降装置を作動させ、最下位に位置したバケットの供給側
カプラーを受け入れ側カプラーに接続させることで、各
格納ボックス内へ用役（窒素ガス）を供給し得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来構成によ
ると、各格納ボックスは対応するバケットに固定されて
おり、そして格納ボックスに対する荷の出し入れは、開
動した荷取り扱い口を通して格納ボックスの蓋を開くこ
とで行うのであり、したがって格納設備、すなわち回転
式棚設備からの荷の取り出しは、手動により行うことか
ら容易に行えず、かつ危険な事態を招く恐れがある。

【０００６】本発明の目的とするところは、収納物をク
リーンな窒素ガスの雰囲気中に位置させた状態で棚に格
納し得るとともに、棚に対する収納物の入出庫は自動的
に行える荷保管設備を提供する点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
第１発明の荷保管設備は、前面が開放した収納部を有す
る棚本体と、この棚本体の後部からクリーンな窒素ガス
を吹き出す窒素供給装置を備え、前記収納部との間で収
納物を受け渡し自在な出し入れ装置を設けて棚装置を構
成し、この棚装置を密閉状に形成するとともに、内部に
窒素ガスを封入している。

【０００８】また本第２発明の荷保管設備は、棚装置
に、出し入れ装置が収納物を受け渡し自在でかつ開閉自
在な入出庫部を設けている。

【０００９】

【作用】かかる本第１発明の構成によると、出し入れ装
置を目的とする収納部に対向させることで、目的とする
収納部に対して収納物を受け渡し得る。その際に、密閉
状の棚装置内においては窒素ガスが封入されていること
から、収納部に対する収納物の受け渡しは、収納物を常
に窒素ガス中に位置させて行える。さらに窒素供給装置
からのクリ―ン度の高い窒素ガスが、収納部に対して後
面側から吹き出されることから、この収納部内の収納物
は、後面から前面へと流れるクリ―ンな窒素ガスの雰囲
気中で格納されることになる。

【００１０】また本第２発明の構成によると、入出庫部
を通しての収納物の入出庫は、棚装置の窒素ガス封入状
態を乱すことなく行える。

【００１１】

【実施例】以下に本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。１はクリ―ンル―ムで、天井側からフィルタ２を
通してクリ―ンエア３を下吹きし、下降するクリ―ンエ
ア３をメッシュ形式の床４を通して床下に吸引するよう
に構成してある。なおクリ―ンル―ム１は、クリ―ンエ
ア３を横吹きする構成など種々な形式を採用し得る。ま
た荷保管設備と他設備との搬送手段がクリーン化されて
いる場合、通常のル―ムであってもよい。

【００１２】10は棚本体で、支柱などにより形成される
箱状の枠体11と、この枠体11の上面に取り付けた上部カ
バー12と、枠体11の左右側面に取り付けた側部カバー13
と、枠体11の後面に取り付けた後部カバー14と、枠体11
の下面に取り付けた下部カバー15と、この下部カバー15
の下面側に取り付けた複数の着地体16などにより構成さ
れる。

【００１３】前記棚本体10の内部は下部に近い横仕切り
板17により上下で二分割され、そして上部の室は縦仕切
り板18により前後で二分割されている。ここで横仕切り
板17により分割された下部の室は窒素ガスの供給部19に
形成される。そして通気性のある形状からなる縦仕切り
板18により分割された前部の室は収納部20に形成され、
また後部の室は窒素ガスの流路部21に形成されている。
なお横仕切り板17の一部は、供給部19と流路部21とを連
通すべく通気性のある形状としている。

【００１４】前記収納部20内は、荷受け部22により上下
方向で複数に区画形成されるとともに、前面を開放して
設けられている。さらに収納部20は左右方向で複数に区
画形成され、そして各収納部20で三個の収納物Ａを収納
自在としているが、これは他の複数個や一個を収納自在
とした構成であってもよい。また前記供給部19に対向し
た前面は多孔板23で閉塞されている。

【００１５】前記棚本体10の後部からクリーンな窒素ガ
スを吹き出す窒素供給装置24を設けている。すなわち供
給部19内に、その吐出部25が前記横仕切り板17の通気部
を介して流路部21に連通した送風機26を設けている。こ
の送風機26の吸引部27は供給部19内に開放してある。そ
して縦仕切り板18の外面側に、収納部20の開放された後
面を覆うフィルタ28を配設している。以上の25〜28によ
り窒素供給装置24を構成する。

【００１６】上記構成からなる棚本体10などは、通路40
を中におきかつ前面の開放部を通路40に向けて一対が配
設され、そして通路40内には、各収納部20と入出庫部
（後述する。）との間で収納物Ａを受け渡し自在な出し
入れ装置30が設けられる。

【００１７】すなわち出し入れ装置30は、床レール31
と、この床レール31に車輪32を介して支持案内されかつ
通路40に形成される一定経路41上を往復走行自在な台車
部33と、この台車部33から立設した支持枠（支柱）34
と、この支持枠34側に配設したガイド体に案内される昇
降台35と、この昇降台35上に横方向移動自在に設けた出
し入れ具36などにより構成される。

【００１８】以上の10〜36により棚装置37を構成し、こ
の棚装置37を密閉状に形成するとともに、内部に窒素ガ
スを封入している。すなわち前記一定経路41を覆うべ
く、左右の上部カバー12間を接続する上部接続カバー42
と、側部カバー13間を接続する側部接続カバー43と、下
部カバー15間を接続する下部接続カバー45とが配設さ
れ、以て通路40の部分は、前記収納部20が連通自在な密
閉状室に形成される。

【００１９】前記下部接続カバー45には複数の着地体46
が設けられるとともに、この下部接続カバー45の上面側
で前記床レール31を支持すべく構成してあり、さらに下
部接続カバー45の一部には、窒素ガスの一部を流出させ
るための開口部45ａが形成されている。また前記側部接
続カバー43には開閉自在な点検扉47が設けられている。

【００２０】上記構成の棚装置37には、出し入れ装置30
が収納物Ａを受け渡し自在でかつ開閉自在な入出庫部50
が設けられる。すなわち一方の棚本体10側における左右
方向の一端部の収納部20を利用して、四角筒状のボック
ス51が配設されている。このボックス51は、その内端が
通路40に向いて開放するとともに、その開放部には開閉
自在な内側扉52が設けられる。

【００２１】そしてボックス51の外端は、側部カバー13
を貫通して棚装置37外に突出し、その外端の開放部には
開閉自在な外側扉53が設けられる。さらに両扉52，53間
においてボックス51内にはコンベヤ54が配設され、この
コンベヤ54の内端部に対して、前記出し入れ装置30が収
納物Ａを受け渡し自在となる。以上の51〜54により入出
庫部50を構成する。

【００２２】棚装置37の周辺には窒素補給装置55が設け
られる。すなわち窒素補給装置55は、棚装置37の外に設
けた窒素貯留部（ボンベ）56と、この窒素貯留部56と供
給部19内とを接続する配管57などにより構成される。

【００２３】他方の棚本体10において、前記収納部20の
上方には、通路40に対向した受け台29と荷保管設備の上
部外方に設けた搬送装置70との間で収納物Ａの移載を行
う移載装置60が設けられる。

【００２４】この移載装置60は、縦軸心61の周りでの回
転部62と、この回転部62の周方向で180 度変位した二箇
所において昇降自在に設けた支持腕63などから構成さ
れ、各支持腕63はそれぞれ左右一対で互いに接近離間自
在に構成されている。ここで移載装置60は、後部カバー
14に形成した貫通部に回転部62が位置すべく配置され、
そして両支持腕63が前後方向に位置したとき、この貫通
部を閉塞する遮蔽体64が、支持腕63に対して90度変位し
た二箇所から連設してある。

【００２５】前記搬送装置70は、レ―ル71と、このレ―
ル71に支持案内される自走車72などから構成される。前
記収納物Ａは製品を収納自在なケ―ス形状であって、上
部の両側面には、前記出し入れ具36や支持腕63が下方か
ら係合自在な被係止突条ａが設けられる。

【００２６】次に上記実施例の作用を説明する。荷保管
設備においては常に窒素ガスが封入されている。そして
送風機26の稼動によって吐出部25から吐出される窒素ガ
スは流路部21内を上昇し、次いでフィルタ28を通ってク
リ―ン度の高い窒素ガスとなり、収納部20に対して後面
側から吹き出される。したがって収納部20内は、後面か
ら前面へと流れる窒素ガスによって高クリ―ン度が維持
されている。収納部20を通った窒素ガスは通路40内に流
入し、その一部は開口部45ａを通って床４下に流出し、
また残部は多孔板23を通って供給部19に流入して送風機
26に吸引され、循環使用される。

【００２７】その際に、窒素ガスの不足分は窒素補給部
55から供給部15へ補給されており、この補給と前述した
床４下への流出による窒素ガスの置換によって、窒素ガ
スの温度をコントロールし得、以て送風機26や出し入れ
装置30などで発生した熱を除去し得る。なお供給部19に
対する窒素ガスの供給や供給遮断は、ガス圧力、ガス濃
度、ガス温度などを検出して自動的に制御したり、ある
いは設定時間おきに自動的に切り換えるなどして行われ
る。

【００２８】たとえば自走車72により搬送されてきた収
納物Ａは、移載装置60における支持腕63の昇降動ならび
に接近離間動と、回転部62の回転動との組合せ動作によ
って受け台29上に卸し得、また逆作動によって受け台29
上の収納物Ａを自走車72に積み込み得る。そして出し入
れ装置30における台車部33の走行動と、昇降台35の昇降
動と、出し入れ具36の受け渡し動との組合せ動作によっ
て、受け台29と荷受け部22と入出庫部50との間で収納物
Ａの搬送を行える。

【００２９】たとえば棚装置37内の収納物Ａを、入出庫
部50を通して出庫するとき、まず収納部20から取り出し
た収納物Ａを支持している出し入れ具36を内側扉52に対
向させる。次いで内側扉52を開動させた状態で、出し入
れ装置30の作動によって収納物Ａをボックス51の内端で
コンベヤ54の上に卸す。

【００３０】そして内側扉52を閉動させるとともに、コ
ンベヤ54の稼働により収納物Ａをボックス51内で移動さ
せて外端部に位置させる。次いで外側扉53を開動させる
ことで、人手作業などにより収納物Ａをボックス51内か
ら取り出せ得、その後に外側扉53が閉動される。なお上
述とは逆の作動によって、外部の収納物Ａを、入出庫部
50を通して入庫し得る。

【００３１】上記した実施例においては、窒素ガスの一
部を置換することで温度のコントロールを行っている
が、これは、たとえば多孔板23の部分に冷却ユニットを
配設して、窒素ガスを積極的に冷却する形式であっても
よい。

【００３２】また上記した実施例では、窒素供給装置24
の送風機26を供給部19に設けて、流路部21に対して窒素
ガスを上向きで供給するように構成しているが、これは
全体の構成や規模などに応じて、流路部21に対して窒素
ガスを下向きや前向きなどに供給するように、送風機26
は任意に配設されるものである。

【００３３】上記した実施例においては、出し入れ装置
30を走行式に形成しているが、これは非走行式であって
もよい。また出し入れ具36としてクランプアーム形式を
示しているが、これきフォーク形式などであってもよ
く、この場合に荷受け部22などはフォークが作用し得る
ように形成される。

【００３４】

【発明の効果】上記構成の本第１発明によると、出し入
れ装置による収納部に対する収納物の受け渡しは、常に
窒素ガスの雰囲気中で自動的に容易に行うことができ
る。しかも収納部内の収納物は、常にクリーンな窒素ガ
スの雰囲気中に位置させて格納でき、塵埃などが付着し
ない保管を行うことができる。

【００３５】また本第２発明によると、入出庫部を通し
ての収納物の入出庫は、棚装置の窒素ガス封入状態を乱
すことなく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、荷保管設備の縦断正
面図である。

【図２】同荷保管設備の横断平面図である。

【図３】同荷保管設備の概略斜視図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム 10 棚本体 19 供給部 20 収納部 21 流路部 22 荷受け部 23 多孔板 24 窒素供給装置 26 送風機 28 フィルタ 30 出し入れ装置 35 昇降台 36 出し入れ具 37 棚装置 40 通路 50 入出庫部 51 ボックス 52 内側扉 53 外側扉 55 窒素補給部 60 移載装置 63 支持腕 70 搬送装置 Ａ 収納物 ａ 被係止突条

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前面が開放した収納部を有する棚本体
   と、この棚本体の後部からクリーンな窒素ガスを吹き出
   す窒素供給装置を備え、前記収納部との間で収納物を受
   け渡し自在な出し入れ装置を設けて棚装置を構成し、こ
   の棚装置を密閉状に形成するとともに、内部に窒素ガス
   を封入したことを特徴とする荷保管設備。
2. 【請求項２】 棚装置に、出し入れ装置が収納物を受け
   渡し自在でかつ開閉自在な入出庫部を設けたことを特徴
   とする請求項１記載の荷保管設備。