JPH027392Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、例えば半導体のような塵埃を極端に
きらう荷をクリーンルーム内で搬送するのに採用
されるクリーンルーム内の荷搬送設備に関するも
のである。

従来例の構成とその問題点 上記のような荷搬送設備において、荷搬送装置
側で発生した塵埃がクリーンルーム内に漏出して
悪影響を及ぼすことに対しては種々な対策が取ら
れている。一方、ステーシヨンにおいては、移載
装置による自動作業により、あるいは作業員によ
る人手作業によつて、荷搬送装置に対する荷の積
み卸しが行なわれる。その際に移載装置や作業員
から塵埃が発生し、これがクリーンルーム内での
荷搬送において最大の問題になつている。

考案の目的 本考案の目的とするところは、ステーシヨンで
発生した塵埃を、クリーンルームや荷に悪影響を
及ぼすことなく素早く吸引除去し得、しかもステ
ーシヨンにおいては清浄なクリーンエアーを効率
良く循環させ得るクリーンルーム内の荷搬送設備
を提供する点にある。

考案の構成 上記目的を達成するために本考案におけるクリ
ーンルーム内の荷搬送設備は、天井側からクリー
ンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に吸
引するクリーンルーム内に荷搬送装置を配設し、
この荷搬送装置の走行経路の適所に囲壁体により
ステーシヨン室を形成し、このステーシヨン室内
に、保管棚と、この保管棚と荷搬送装置との間で
荷の移載を行なう移載装置とを設け、さらにステ
ーシヨン室内にクリーンユニツトを設け、このク
リーンユニツトからのクリーンエアーを、前記保
管棚と荷搬送装置とに供給すべく構成している。

実施例と作用 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して該
床下に吸引するように構成してある。前記クリー
ンルーム１内の上部に荷搬送装置６が配設され
る。すなわち７は台車で、下部に走行車輪８を有
し、また上部には連結部９を介して荷支持部１０
が取付けてある。１１は前記台車７を支持案内す
るレールで、この台車７を制御しながら自動走行
させるための給電レール１２などを有する。前記
台車７とレール１１とは箱形のダクト１３内に配
置してある。このダクト１３の天板には走行経路
の全長に亘るスリツト１４が形成され、ここに左
右から弾性シール材１５を設けてシール式スリツ
ト部に形成している。そしてこのシール式スリツ
ト部に前記連結部９が位置するように構成してあ
る。前記ダクト１３の上方に沿つて送気ダクト１
６が配設され、この送気ダクト１６の下向き送気
口にはフイルター１７が設けられる。前記ダクト
１３には所定間隔置きに複数個の吸引送気装置１
８が取付けられ、これら吸引送気装置１８の吸引
口を該ダクト１３に連通すると共に、送気管１９
を前記送気ダクト１６に連通している。以上１６
〜１９により荷搬送装置側クリーンユニツトを構
成する。上記のように構成した荷搬送装置６にお
ける走行経路の適所、実施例においては走行経路
の終端部に囲壁体２０によりステーシヨン室２１
を形成している。このステーシヨン室２１の上部
は天板２２により閉塞され、また下部は前記床５
を介して床下に連通している。前記荷搬送装置６
の走行経路の終端部は、囲壁体２０のうちの一側
壁上部に形成した切欠き２３を通つてステーシヨ
ン室２１内に突入し、この突入部に対応する天板
２２の一部も切欠き２４としている。前記ステー
シヨン室２１内において、前記荷搬送装置６の突
入部の下方に保管棚２５が配設してある。この保
管棚２５は、枠組本体２６と、横方向に多数並設
された縦仕切部材２７と、上下方向に多数並設さ
れた横仕切部材２８とからなり、両仕切部材２
７，２８によつて上下方向ならびに横方向に夫々
複数の区画収納空間２９を形成する。各区画収納
空間２９において横仕切部材２８上には夫々荷受
台３０が配設され、これら荷受台３０によつて荷
３１を支持する。ここで荷３１は半導体などを収
納可能なケースを示し、その両側には被係止部３
２が突設してある。前記ステーシヨン室２１内に
おいて、荷搬送装置６の端部外方から保管棚２５
の前面前方に亘つて移載装置３３が設けられる。
すなわち下部枠３４と天板２２とに亘つて一対の
ガイドロツド３５が上下方向に配設してある。そ
して両ガイドロツド３５に案内される昇降枠３６
が設けられ、その昇降は、下部枠３４上に設けた
駆動装置３７に連通する無端回動体３８を介して
行なわれる。前記昇降枠３６には横方向のガイド
体３９が取付けられ、このガイド体３９に案内さ
れて横方向移動自在な左右可動台４０が設けられ
る。この左右可動台４０上には前後進自在な前後
可動台４１が配設され、この前後可動台４１から
は左右一対の保持腕４２が前方に向けて連設して
ある。これら保持腕４２は、相対向間で荷３１の
相対的な昇降移動を許し、また被係止部３２に対
しては下方か係合し得るように構成してある。さ
らにステーシヨン室２１内にはクリーンユニツト
４３を設け、このクリーンユニツト４３からのク
リーンエアーを前記保管棚２５と荷搬送装置６の
終端とに供給すべく構成している。すなわちクリ
ーンユニツト４３は、前記保管棚２５の下部に形
成した設置空間４４と、この設置空間４４内に設
置した吸引送気装置４５と、前記設置空間４４と
ステーシヨン室２１との間に設けた吸引側フイル
ター４６と、前記保管棚２５の上端に設置した中
間部ダクト体４７と前記設置空間４４とを連通す
る下部送気管４８と、中間部ダクト体４７と保管
棚２５との間に設けたフイルター４９と、前記切
欠き２４に対向すべく天板２２上に設けた上部ダ
クト体５０と前記下部送気管４８とを連通する上
部送気管５１と、上部ダクト体５０と切欠き２４
との間に設けたフイルター５２とから構成され
る。

次に上記実施例における作用について説明す
る。荷搬送装置６で搬送してきた荷３１を保管棚
２５に卸ろすに、先ずクリーンルーム１内を走行
してきた台車７を、切欠き２３を通してステーシ
ヨン室２１内に移入させ、移載装置３３に対向さ
せて停止させる。このとき移載装置３３において
は、第１図仮想線イに示すように前後可動台４１
と共に保持腕４２が退入している。次いで昇降枠
３６を上昇させると共に左右可動台４０を左右動
させ、実線で示すように保持腕４２を荷３１に対
向させる。そして前後可動台４１を前進させ、仮
想線ロで示すように被係止部３２の下方に保持腕
４２を位置させる。次いで昇降枠３６と共に保持
腕４２を上昇させ、被係止部３２を介して荷３１
を持ち上げる。そして前後可動台４１を後退させ
て荷３１を左右可動台４０の上方に引き込んだ
後、昇降枠３６の下降と左右可動台４０の左右動
とによつて荷３１を空の区画収納空間２９に対向
させる。次いで前後可動台４１の前進によつて荷
３１を区画収納空間２９内に挿入し、その後、昇
降枠３６を下降して荷３１を荷受台３０上に卸ろ
すと共に、前後可動台４１を後退して保持脇４２
を抜出することにより、荷卸し作業を終了する。
また上述とは逆の作業を行なうことによつて、保
管棚２５内の荷３１を台車７の荷支持部１０に積
込み得る。このような作業中において、ステーシ
ヨン室２１内の空気は吸引送気装置４５により設
置空間４４内に吸引され、その際に吸引側フイル
ター４６を通ることから塵埃などが捕集され、こ
れによりクリーンエアとして下部送気管４８に送
られる。下部送気管４８内のエアーは中間部ダタ
ト体４７に流入し、そしてフイルター４９を通る
ことによつてクリーンエアー５３となり、保管棚
２５に供給される。さらに下部送気管４８内のエ
アーは上部送気管５１から上部ダクト体５０に流
入し、そしてフイルター５２を通ることによつて
クリーンエアー５４となり、荷搬送装置６の終端
部に上方から供給される。そして両クリーンエア
ー５３，５４は下方に流れ、再び吸引側フイルタ
ー４６を通つて吸引送気装置４５に吸引される。
したがつて移載装置３３などで発生した塵埃など
はクリーンルーム１や荷３１に悪影響を及ぼすこ
となく素早く吸引側フイルター４６に捕集し得
る。クリーンルーム１内の荷搬送装置６において
は、第４図に示すようにダクト１３内の空気が吸
引送気装置１８によつて吸引除去され、そして送
気管１９を通つて送気ダクト１６内に圧入され
る。次いでフイルター１７を通つてクリーンエア
ー５５となり、このクリーンエアー５５は荷３１
に対して上方から吹付け状に供給される。

考案の効果 上記構成の本考案によると、次のような効果を
期待できる。すなわち、ステーシヨン室ではクリ
ーンユニツトからのクリーンエアーが保管棚と荷
搬送装置とに向けて供給され、そして保管棚やや
荷搬送装置部を流れたクリーンエアーはクリーン
ユニツトに吸引されて清浄化されたのち再使用さ
れることになり、したがつて、これにより発生し
たエアー流によつて、ステーシヨン室内の移載装
置などで発生した塵埃を素早くクリーンユニツト
側に吸引除去でき、以つてクリーンルームや荷に
悪影響を及ぼすことを防止できる。また必要箇所
であるステーシヨン室のみ高清浄度（高クリーン
化）を保つことができると共に、ステーシヨン室
内においてクリーンエアーを効率良く循環使用す
ることができ、低コスト、省エネルギー化を可能
にできる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部
切欠側面図、第２図は一部切欠き正面図、第３図
は横断平面図、第４図は荷搬送装置部の縦断面図
である。 １……クリーンルーム、２……天井、４……ク
リーンエアー、５……床、６……荷搬送装置、７
……台車、１０……荷支持部、１１……レール、
１３……ダクト、１６……送気ダクト、１７……
フイルター、１８……吸引送気装置、２０……囲
壁体、２１……ステーシヨン室、２５……保管
棚、２９……区画収納空間、３０……荷受台、３
１……荷、３２……被係止部、３３……移載装
置、４２……保持腕、４３……クリーンユニツ
ト、４４……設置空間、４５……吸引送気装置、
４６……吸引側フイルター、４７……中間部ダク
ト体、４９……フイルター、５０……上部ダクト
体、５２……フイルター、５３，５４，５５……
クリーンエアー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降す
   るエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に荷
   搬送装置を配設し、この荷搬送装置の走行経路の
   適所に囲壁体によりステーシヨン室を形成し、こ
   のステーシヨン室内に、保管棚と、この保管棚と
   荷搬送装置との間で荷の移載を行なう移載装置と
   を設け、さらにステーシヨン室内にクリーンユニ
   ツトを設け、このクリーンユニツトからのクリー
   ンエアーを、前記保管棚と荷搬送装置とに供給す
   べく構成したことを特徴とするクリーンルーム内
   の荷搬送設備。