JPH0215841Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、例えば半導体のような塵埃を極端に
きらう荷（物品）の保管に使用されるクリーンル
ーム内の荷保管設備に関するものである。

従来の技術 一般的に荷保管設備は、上下方向ならびに横方
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷保持具を有する搬入出装置と
から構成されている。

考案が解決しようとする問題点 このような従来の荷保管設備によると、搬入出
装置の各作動部に多くの塵埃が発生し、特に発生
箇所が棚の近くであることから、発生した塵埃は
床側に吸引されることなく棚に保管している荷側
に移行することになり、荷に悪影響を及ぼすこと
になる。これらのことから、クリーンルーム内で
の荷保管の機械化、自動化、すなわち荷保管設備
の採用は困難とされていた。

問題を解決するための手段 上記問題点を解消するために本考案におけるク
リーンルーム内の荷保管設備は、クリーンルーム
内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納
空間を有する棚と、この棚に沿つた一定経路上を
走行自在な搬入出装置と、前記一定経路を中にし
て棚とは反対側に形成した荷受け渡し部とを設
け、前記搬入出装置に、走行機体に設けた昇降台
と、この昇降台上に配設したターンテーブルと、
このターンテーブル上に横方向出退自在に設けた
前保持具とを設け、前記昇降台に、ターンテーブ
ルから垂下された縦軸が貫通する仕切板を設ける
と共に、この仕切板の下方に前記縦軸を介してタ
ーンテーブルを旋回する旋回装置の設置空間を設
け、前記仕切板に複数の吸引用孔を形成するとと
もに、前記設置空間に吸気口が連通する排気装置
を設けたものである。

作 用 かかる本考案構成によると、実質的に荷保持具
は、昇降台側に対して片側にのみ突出させる構成
でありながら、ターンテーブルの回転によつて、
一定経路の両側に振分けて配設した棚と荷受け渡
し部との両方に対して荷の受け渡しを行なえる。
さらに、排気装置により旋回装置の設置空間から
汚染エアーを排気するとともに、ターンテーブル
の下部空間から仕切板の吸引用孔を介して汚染エ
アーを吸引排気することができ、クリーンルーム
の汚染を防止できる。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して床
下に吸引するように構成してある。６は棚で、前
面が開放する箱状の本体７と、この本体７内にお
いて横方向に多数並設した縦枠８と、これら縦枠
８に上下方向に多数取付けた前後枠９と、相対向
する前後枠９間に取付けた荷受板１０と、下部に
おいて本体７に引出し式に形成した入出庫部１１
とからなり、両枠８，９などによつて上下方向な
らびに横方向に夫々複数の区画収納空間１２を形
成する。１３は搬入出装置で、前記棚６の前面側
に沿つた一定経路１４上を走行自在である。すな
わち搬入出装置１３は、棚６の下端に一体のベー
ス枠１５上に敷設したレール１６にスライド体１
７を介して支持案内される走行機体１８と、これ
らベース枠１５と走行機体１８との間に設けた走
行駆動装置１９と、前記走行機体１８から立設し
た四角筒状のポスト２０と、ポスト２０内に配設
したガイド機構（図示せず）に案内される昇降部
材２１と、この昇降部材２１に連動する昇降駆動
装置２２と、前記昇降部材２１に一体化され且つ
ポスト２０の前面に形成したスリツト２３を通つ
て前方に突出する連結部材２４と、この連結部材
２４の突出端に取付けた箱状の昇降台２５と、こ
の昇降台２５に横方向出退自在に配設したフオー
ク形式の荷保持具２６などから構成される。前記
昇降台２５上にはターンテーブル２７が配設さ
れ、このターンテーブル２７の中心から垂設した
縦軸２８は、昇降台２５内の中間部に設けた孔２
９付きの仕切板３０に軸受３１を介して支持され
て縦軸心３２の周りに回転自在であり、また下端
は、仕切板３０下に形成される設置空間３３内に
設けたロータリーアクチユエータ３４（旋回装置
の一例）に連動している。前記設置空間３３内に
は排気装置３５が設置され、この排気装置３５の
吸気口３６を設置空間３３内に開放すると共に、
前記連結部材２４から昇降部材２１に亘つて形成
した排気路３７の始端に排気口３８を連通してい
る。なお排気路３７の始端はポスト２０内に開放
している。前記ターンテーブル２７は180度に亘
つて正逆回転され、該ターンテーブル２７から垂
設した被ストツパ体３９が仕切板３０から立設し
た一対のストツパ４０，４１に接当することによ
つて最大回転位置が規制される。前記ターンテー
ブル２７上には一対のレール４２が敷設され、こ
れらレール４２に夫々スライド体４３を介して支
持案内される可動板４４が設けられる。前記ター
ンテーブル２７の下面にロータリーアクチユエー
タ４５が取付けられ、上面側に突出する出力軸４
６にはアーム４７が取付けられる。このアーム４
７の先端に取付けたローラ４８は、前記レール４
２と直交するように可動板４４の下面に取付けた
溝レール４９に嵌合している。前記可動板４４上
からレール５０が立設され、このレール５０にス
ライド体５１を介して支持案内されるリフトプレ
ート５２と該可動板４４との間にシリンダ装置５
３が設けられる。前記リフトプレート５２上には
前記レール４２と直交する横方向のレール５４が
敷設され、このレール５４に夫々スライド体５５
を介して一対の前記荷保持具２６を配設してい
る。両荷保持具２６は基端間に配設したシリンダ
装置５６により互いに接近離間自在であり、その
最も接近した位置はストツパ５７により規制され
る。両荷保持具２６の相対向面側には係止部材５
８が取付けられ、この係止部材５８は左右一対を
１組として前後に２組配設される。また係止部材
５８は前方を下位として或る角度をもつて傾斜さ
せてある。５９は可動板４４側に設けたカバー、
６０はターンテーブル２７側に設けたカバーを示
す。荷は半導体などを収納したケース６１で示さ
れ、このケース６１の上部には両係止部材５８が
左右から係合挟持自在な被係止部６２が設けられ
る。前記荷受板１０上には、ケース６１を傾斜状
で支持自在な受け台６３が配設してある。前記一
定経路１４を中にして前記棚６とは反対側に荷受
け渡し部６６が形成される。この荷受け渡し部６
６は、レール装置６４と、このレール装置６４に
案内されて走行自在な荷搬送用台車６５とからな
る荷搬送装置のステーシヨンにより形成される。

以下に上記実施例の作用を説明する。クリーン
ルーム１内では、フイルター３を通つて下吹きさ
れるクリーンエアー４が下降し、そして下降する
エアーを床５下に吸引することから、そのクリー
ン度は確保されている。このようなクリーンルー
ム１内で搬入出装置１３を使用しての、棚６の目
的とする区画収納空間１２と受け渡し部６６との
間でのケース６１の受け渡しは次のようにして行
なわれる。なお以下においては受け渡し部６６の
ケース６１を区画収納空間１２に渡す入庫作業を
説明するが、逆動作によつて出庫作業が行なえる
ものである。２個のケース６１を支持してなる荷
搬送用台車６５は受け渡し部６６に停止する。こ
のとき、走行機体１８の一定経路１４上での走行
と、昇降台２５の昇降とによつてターンテーブル
２７などが受け渡し部６６に対向している。さら
にターンテーブル２７の回転により荷保持具２６
を受け渡し部６６側に向けているが、その際に両
荷保持具２６は下降位置で互いに離間している。
この状態で、先ずロータリーアクチユエータ３４
の作動によりアーム４７を回転させ、可動板４４
などを介して荷保持具２６を前進させる。これに
より被係止部６２の両側に係止部材５８が対向す
る。次いでシリンダ装置５６を作動させ、両荷保
持具２６を互いに接近動させて係止部材５８を被
係止部６２に係合させる。そしてシリンダ装置５
３の作動により、リフトプレート５２などを介し
て荷保持具２６を上昇させ、係止部材５８ならび
に被係止部６２を介してケース６１を持上げる。
次いでアーム４７の逆動作により可動板４４や荷
保持具２６などを後退させ、ケース６１をターン
テーブル２７上でカバー６０内に位置させる。そ
の後、走行機体１８の一定経路１４上での走行
と、昇降台２５の昇降とによつて、ターンテーブ
ル２７などを目的とする区画収納空間１２に対向
させる。その際にターンテーブル２７の前述とは
逆回転により荷保持具２６を区画収納空間１２側
に向けて、第４図実線の状態としている。次いて
可動板４４などを介して荷保持具２６を前進さ
せ、ケース６１を区画収納空間１２内に位置させ
る。そして荷保持具２６を下降してケース６１を
受け台６３上に着地させたのち、両保持具２６を
離間動させて係止部材５８による係合を解除す
る。その後、荷保持具２６を後退させることによ
つて入庫作業を終了する。

なお作業中において排気装置３５が作動してお
り、設置空間３３内の空気は吸気口３６から吸い
込まれ、そして排気口３８と排気路３７とを介し
てポスト２０内に排出される。さらにターンテー
ブル２７側の空気は孔２９を通して設置空間３３
内に吸引される。したがつて昇降台２５側で発生
した塵埃は、クリーンルーム１側に漏出すること
なくポスト２０内に除去し得る。

考案の効果 上記構成の本考案におけるクリーンルーム内の
荷保管設備によると、実質的に荷保持具は、昇降
台側に対して片側にのみ突出させる構成でありな
がら、ターンテーブルの回転によつて、一定経路
の両側に振分けて配設した棚と荷受け渡し部との
両方に対して荷の受け渡しを行なうことができ
る。例えば荷保持具を両側に突出させる構成であ
つたときには、これら荷保持具などの構造が大型
化してクリーン対策は難かしいものになるが、本
考案は上述したようにターンテーブルの採用によ
り片出し形式にし得ることから、クリーン対策を
容易に行なうことができる。また、排気装置によ
り旋回装置から発生する塵埃を吸引排出できると
ともに、ターンテーブルの下部空間で発生する塵
埃を仕切板の孔を介して吸引排出することがで
き、クリーンルーム内への塵埃の流出を防止でき
る。したがつてクリーンルーム内での荷保持管の
機械化、自動化を可能にできる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部
切欠き側面図、第２図は棚の裏側から見た一部切
欠き図、第３図は一部切欠き平面図、第４図は昇
降台部の縦断側面図、第５図は同縦断正面図、第
６図、第７図は同横断平面図である。 １……クリーンルーム、４……クリーンエア
ー、６……棚、１２……区画収納空間、１３……
搬入出装置、１４……一定経路、１８……走行機
体、２０……ポスト、２１……昇降部材、２４…
…連結部材、２５……昇降台、２６……荷保持
具、２７……ターンテーブル、２９……孔、３０
……仕切板、３２……縦軸心、３５……排気装
置、３６……吸気口、３７……排気路、５２……
リフトプレート、５８……係止部材、６１……ケ
ース（荷）、６２……被係止部、６３……受け台、
６６……荷受け渡し部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルーム内に、上下方向ならびに横方向
   に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿
   つた一定経路上を走行自在な搬入出装置と、前記
   一定経路を中にして棚とは反対側に形成した荷受
   け渡し部とを設け、前記搬入出装置に、走行機体
   に設けた昇降台と、この昇降台上に配設したター
   ンテーブルと、このターンテーブル上に横方向出
   退自在に設けた荷保持具とを設け、前記昇降台
   に、ターンテーブルから垂下された縦軸が貫通す
   る仕切板を設けると共に、この仕切板の下方に前
   記縦軸を介してターンテーブルを旋回する旋回装
   置の設置空間を設け、前記仕切板に複数の吸引用
   孔を形成するとともに、前記設置空間に吸気口が
   連通する排気装置を設けたことを特徴とするクリ
   ーンルーム内の荷保管設備。