JPH0940112A - 薄型基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム内での省スペース化を図り、
塵埃の付着を少なくすると共に薄型基板の搬送時間を短
縮する事によって、作業性の向上を図る事ができる薄型
基板搬送装置を提供する事。 【解決手段】 機枠１に回転および上下移動可能に配設
されるテーブル３と、テーブル３の上方に配設されるハ
ンド保持体５と、ハンド保持体に対して水平移動するよ
うに配設されるロボットハンド４とを備えてロボット２
が構成され、さらにセンタリング装置６がテーブル３に
上下移動可能に支持される。テーブル３内は空間部が形
成され、空間部にセンタリング装置の駆動部７が配置さ
れている。駆動部７から４本の連結棒14が立設され、ロ
ボットハンド４と平行にロボットハンド４の両外側で、
受け板16、16に連結されている。各受け板16、16上に夫々
ガイド部材17が受け板16の両端部に取り付けられ、夫々
のガイド部材17には内方下部に向かって傾斜面17bが形
成されている。さらに、ガイド部材は複数段に重置さ
れ、ロボットハンド４によって搬送されるガラス基板Ｇ
をセンタリングし一時的に支持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
内で使用される薄型基板搬送装置に関し、更に詳しく
は、薄型基板が収納されたカセット装置から薄型基板を
取り出し、薄型基板の中心位置を合わせるためのセンタ
リングを行なった後、次工程用カセット装置に搬送する
薄型基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、薄型基板搬送装置を含んだシステ
ムにおいては図８に示されるように、薄型基板が収納さ
れたカセット装置Ｋ１と、前記薄型基板をロボットハン
ドにて取り出し搬送する薄型基板搬送装置Ｈ１と、前記
ロボットハンドによって搬送されセンタリング処理する
薄型基板処理装置Ｓと、センタリング処理された薄型基
板を収納する次工程用カセット装置Ｋ２が配置されてい
る。そして薄型基板搬送装置Ｈ１のロボットハンドが前
記カセット装置Ｋ１の棚に載置された薄型基板を１枚づ
つ取り出し、一旦薄型基板搬送装置Ｈ１の中心位置に引
き出してから、前記薄型基板処理装置Ｓに搬送し薄型基
板のセンタリングを行なう。その後、ロボットハンドが
センタリングされた１枚の薄型基板を薄型基板処理装置
Ｓから取り出し、再び薄型基板搬送装置Ｈ１の中心位置
に戻した後、次工程用カセット装置Ｋ２に収納してい
る。そしてこの搬送作業はカセット装置Ｋ１に収納され
ていた全ての薄型基板に対して行なわなければならな
い。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】一般に、クリーンルー
ム内で行なわれる作業においては、塵埃や油滴の飛散等
は極度に避けなければならない。しかし、最近の薄型基
板の需要の増加に伴って、クリーンルーム内に設置する
機械が増えてくると、クリーンルーム内が煩雑になり、
各機械から発生する塵埃も少なくない。このような状況
の中で、薄型基板を搬送する時間が長ければ長いほど、
薄型基板に塵埃や油滴等の付着の生じる可能性が多く作
業性も悪くなる。そのため、クリーンルーム内の省スペ
ース化を図ると共に、薄型基板の搬送時間そのものを短
縮する事が望まれていた。

【０００４】しかし、従来の薄型基板搬送装置を含むシ
ステムにあっては、各カセット装置と、薄型基板搬送装
置と、薄型基板処理装置が別々に配置されているので、
クリーンルーム内での機械の設置スペースが広くなり、
また、薄型基板の搬送時間が多くなっていた。

【０００５】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、クリーンルーム内での省スペース化を図ると共に、
搬送時間を短縮する事によって作業性の向上につながる
薄型基板搬送装置を提供する事を目的とするものであ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板搬送装置では、薄型基板が収納されたカセット装置
から、前記薄型基板を取り出し、センタリングを行なっ
た後、次工程用カセット装置に搬送する薄型基板搬送装
置であって、前記薄型基板搬送装置の機枠に対して水平
移動及び回転及び上下移動可能なロボットと、前記ロボ
ットに支持され前記薄型基板をセンタリングし支持する
センタリング装置とを備え、前記センタリング装置が前
記ロボットに対して上下移動可能に配置されることを特
徴とするものである。

【０００７】また、前記センタリング装置が、内側に向
かって下方に傾斜面を形成する複数のガイド部材を備え
てなることを特徴とするものであれば良い。

【０００８】また、前記ガイド部材が１段であれば良
い。

【０００９】さらに、前記ガイド部材が複数段に重置さ
れていることを特徴とするものであればなお良い。

【００１０】また、前記センタリング装置を上下移動す
る駆動部が、前記ロボット内に配設される事を特徴とす
るものであればさらに良い。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。

【００１２】図１は、搬送装置Ｈの斜視図を示すもので
あり、機枠１上に機枠１に対して回転、及び上下移動可
能なテーブル３と、テーブル３にガラス基板Ｇを搬送し
水平方向に移動するロボットハンド４を有するハンド保
持体５とを備えたロボット２が配設され、ロボット２に
ガラス基板Ｇをセンタリングするセンタリング装置６が
支持されている。

【００１３】テーブル３は図２〜図４に示されるよう
に、内部に空間部３ａが形成され、空間部３ａにセンタ
リング装置６を上下駆動する駆動部７が配置されてい
る。そしてテーブルの下部は機枠１内に配設された筒体
８の上部に連結されている。筒体８は機枠１にベアリン
グを介して立設され、図示しない回転駆動モータによっ
て回転駆動され、下部に取り付けられ上下駆動モータに
よって上下移動可能な可動板とともに上下移動できるよ
うに構成されている。この筒体８の駆動機構については
従来から知られた構成であるため特に番号を付していな
い。

【００１４】筒体８の軸芯方向に沿って中心に、ハンド
駆動シャフト９が貫通され、ハンド駆動シャフト９は下
部に回転駆動モータが取り付けられ、上部にテーブル３
を貫通しハンド保持体５内まで延設している。

【００１５】テーブル３の空間部３ａに配設されるセン
タリング装置６の駆動部７は、駆動モータ１１と、駆動
モータ１１にプーリを介して連結されるねじシャフト１
２と、ねじシャフト１２に螺着され駆動モータ１１によ
って上下移動する移動板１３とで構成される。そして、
移動板１３に取り付けられる４か所の連結棒１４が、ハ
ンド保持体５の両側の各２か所の位置で、移動板１３か
ら上方に向かって立設され、テーブル３の上方にあるセ
ンタリング装置６に連結される。

【００１６】なお、移動板１３の中央部にはハンド駆動
シャフト９が貫通するための穴が形成されている。ま
た、移動板１３に螺着されるねじシャフト１２は本実施
形態においては２か所設けているが、移動板１３の大き
さに合わせて設計することができ、１か所でも良い。そ
の場合は、移動板１３の上下移動に対して、移動板１３
の水平を維持するためにガイドシャフトを設けるのが良
い。

【００１７】センタリング装置６は、ハンド保持体５の
両外側で各連結棒１４に取り付けられ、ハンド保持体５
の長手方向と平行に配設される各受け板１６、１６と、
各受け板１６、１６の両側部に複数段に重置されるガイ
ド部材１７とを備えている。

【００１８】なお、ガイド部材１７はもちろん１段であ
っても構わない。

【００１９】また、複数段に重置されるガイド部材１７
間には位置決め板１８が配設され、全てのガイド部材１
７の位置決めをしている。ガイド部材１７は平面視矩形
状に形成され（図１参照）、上面１７ａ、傾斜面１７
ｂ、基板受け面１７ｃに形成される。（図１、図２、図
３参照）上面１７ａは平面視「Ｌ」字状で基板受け面１
７ｃに対して高い位置にあり、基板受け面１７ｃとは傾
斜面１７ｂで連続的に繋がっている。また、４か所のガ
イド部材１７はテーブル３の上方の４隅あたりに配置さ
れ、夫々のガイド部材１７の基板受け部１７ｃ上に、略
正方形のガラス基板Ｇの４つの角面が載置された時に、
ガラス基板Ｇの位置決めができるように配置される。さ
らに、ガイド部材１７は夫々の箇所で複数段に重置さ
れ、各段に位置決めされるガラス基板１７が平面視にお
いて、全て同じ位置になるように各ガイド部材１７が位
置決めされる。

【００２０】なお、本実施形態においてはガラス基板Ｇ
が略正方形のものを対象にしているが、図６、図７に示
されるように、円形のガラス基板もしくはシリコンウェ
ハＷを対象にする場合は、ほぼ半円形に形成したガイド
部材２０をアーム保持体の両外側に配置し、夫々上面２
０ａ、傾斜面２０ｂ、基板受け面２０ｃを形成するよう
にすれば良い。

【００２１】一方、ハンド保持体５の構成については、
従来から良く知られた構成を採用することができる。例
えば本実施形態では実開昭６２−１４００１号に記載さ
れている構成を採用する。（図２、図３参照） ハンド保持体５内に、ガイドシャフト２１ａとガイド板
２１ｂが含まれるガイドレール２１がハンド保持体５の
長手方向に沿って配設され、ガイドレール２１にキャリ
ッジ２２が配設されている。キャリッジ２２には、ガイ
ドシャフト２１ａに当接する車輪２２ａが転動可能に設
けられ、ガイド板２１ｂ当接するローラ２２ｂが転動可
能に設けられている。

【００２２】また、ハンド保持体５の上部には、先端部
が吸着部を有しＴ字状に形成されているロボットハンド
４が取り付けられている。

【００２３】さらに、ハンド保持体５内には、ハンド保
持体５内に延設されたハンド駆動シャフト９の上端部に
固着されたプーリ２３ａと、ハンド保持体５の先端部と
後端部に各１個づづ固着されたプーリ２３ｂ、２３ｂが
配置され、ワイヤ２４が夫々のプーリに懸架されるとと
もに、キャリッジ２２の下部に設けられたロープ受け部
２２ｃに固着されている。そして、ハンド駆動シャフト
９の下部に配置された回転駆動モータの駆動によってワ
イヤ２４が回転し、キャリッジ２２がガイドレール２１
に沿って水平移動できるように構成される。

【００２４】次に上記構成の薄型搬送装置の作用につい
て説明する。

【００２５】図５は本実施形態における各装置の配置を
示す平面図であり、搬送装置Ｈを挟んで、薄型基板Ｇが
収納されているカセット装置Ｋ１と、次工程用カセット
装置Ｋ２が対向するように配置されている。次工程用カ
セット装置Ｋ２はレイアウトの都合上、搬送装置Ｈのロ
ボットハンド４が届く範囲であればどこでも良い。

【００２６】カセット装置Ｋ１の複数段の棚には、前工
程で収納されたガラス基板Ｇが１枚づつ配置されてい
る。搬送装置Ｈのテーブル上下移動用駆動モータによ
り、まず、テーブル３がカセット装置Ｋ１の最上段の棚
の高さに合わせて上昇する。次に、ハンド駆動シャフト
回転駆動モータにより、ハンド駆動シャフト９が回転す
ると、ワイヤ２４が回転しキャリッジ２２がガイドレー
ル２１に沿って移動する。キャリッジ２２とともにキャ
リッジ２２に取り付けられたロボットハンド４はカセッ
ト装置Ｋ１に向かって水平移動し、最上段のガラス基板
Ｇを吸着する。

【００２７】ロボットハンド４によって吸着されたガラ
ス基板Ｇは、搬送装置Ｈ上に配置されるセンタリング装
置６上に位置すると、テーブル３内に配設されているセ
ンタリング装置の駆動部７によりセンタリング装置６が
上昇する。すなわち、駆動モータ１１が駆動すると、プ
ーリを介して２本のねじシャフト１２が回転する。ねじ
シャフト１２に螺着された移動板１３がねじシャフト１
２の回転に伴って上昇すると、連結棒１４、受け板１６
を介して４か所のガイド部材１７がロボットハンド４上
より僅かに上方の位置まで上昇し、複数段に重置された
ガイド部材のうち、最上段のガイド部材１７がガラス基
板Ｇをロボットハンド４上から受け取る。

【００２８】ガラス基板Ｇの一部は、一旦、いずれかの
ガイド部材１７の傾斜面１７ｂに掛かるが、傾斜面１７
ｂは夫々内側に向かって下方に傾斜されているため、自
然にガイド部材１７の基板受け面１７ｃ上に移動する。
４か所のガイド部材の基板受け面１７ｃ上にガラス基板
Ｇの角面が載置された状態で、ガラス基板Ｇはセンタリ
ングされる。そして一時的にセンタリング装置に支持さ
れる。

【００２９】ガラス基板Ｇがロボットハンド４からガイ
ド部材１７に移動すると同時に、ロボットハンド４は再
びカセット装置Ｋ１に向かって移動するように、駆動モ
ータを作動させる。この場合、ロボットハンド４の移動
の際における高さ位置が、次に搬送されるカセット装置
内に収納されたガラス基板Ｇの高さ位置に合うように１
段分下降した後に移動するのが良いが、もちろん、移動
後に高さ位置を下げても良い。

【００３０】次のガラス基板Ｇがカセット装置Ｋ１から
搬送されて、再びセンタリング装置６の２段目の位置に
来る時には、搬送されたガラス基板Ｇはセンタリングさ
れた最上段のガラス基板Ｇより僅かに低い位置にある。
そして、前述のようにセンタリング装置６を上昇させる
と、２段目のガラス基板Ｇを２段目のガイド部材１７に
引き渡すことができる。

【００３１】このように、カセット装置Ｋ１に収納され
ている全てのガラス基板Ｇを、搬送装置Ｈのセンタリン
グ装置６に搬送し、上段から順にセンタリングすると共
にセンタリング装置６に支持した後、今度は下段から上
段に向かって順にセンタリング装置６から次工程用カセ
ット装置Ｋ２に収納する。

【００３２】この場合は、最下段のガラス基板Ｇの下側
にロボットハンド４を移動する。次に、センタリング装
置６を僅かに下降すると、ガラス基板Ｇはガイド部材１
７からロボットハンド４の上面に移動し、ロボットハン
ド４に吸着される。この状態でテーブル３を、テーブル
回転用の駆動モータの駆動によって、ロボットハンド４
が次工程用カセット装置Ｋ２の正面に向かうように回転
する。そして、次工程用カセット装置Ｋ２の最下段の棚
にガラス基板Ｇを収納する。

【００３３】次に、再び搬送装置Ｈに戻り、下から２段
目のガラス基板の下にロボットハンド４を移動する。前
述と同様にセンタリング装置を下降する事によって、ガ
ラス基板Ｇがロボットハンド４に移動され、吸着され
る。そして同様に次工程用カセット装置Ｋ２の下から２
段目に収納される。

【００３４】このように、搬送装置Ｈに搬送され、セン
タリングされた全てのガラス基板Ｇは、一時的にセンタ
リング装置６に支持され、その後下から順に次工程用カ
セット装置Ｋ２に全て収納される。

【００３５】なお、ガイド部材１７の重置される数はカ
セット装置の棚数と同じにするのが良い。そして、セン
タリング装置に一時的に載置するガラス基板の数はカセ
ット装置Ｋ１に収納されている数と同じである事が好ま
しいが、テーブル３内の移動板１３の移動量によって、
限定しても構わない。

【００３６】また、ガラス基板が円形の場合においても
作用は上述と同様である。

【００３７】

【発明の効果】以上のように、本発明においては、搬送
装置の機枠上に回転及び上下移動するロボットが配設さ
れ、ロボットに支持されたセンタリング装置が上下移動
可能に配設されているため、従来の単独に配置されてい
たセンタリング装置が薄型搬送装置内に配設されること
になり、省スペース化が図られると共に、カセット装置
Ｋ１から搬送される全ての薄型基板を一時的に薄型搬送
装置内に支持し、その後薄型基板を次工程用カセット装
置に全て搬送するため、薄型基板の搬送時間が従来に比
べて略半減できるようになった。そのため、塵埃の付着
が減少し作業性の向上につながる。

【００３８】また、センタリング装置が内側に向かって
傾斜面を有するガイド部材を備えているので、カセット
装置から搬送された薄型基板がガイド部材に移動するだ
けで、薄型基板のセンタリングが行なえる。そのため、
センタリング作業が極めて容易にできる。

【００３９】さらに、ガイド部材が複数段に重置されて
いるので、搬送されたガラス基板がセンタリングされて
いる間に、ロボットハンドが搬送作業に入ることができ
るので、全体の搬送時間の短縮になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による１実施形態の薄型基板搬送装置の
斜視図

【図２】センタリング装置の詳細を示す断面図

【図３】ハンド保持体の詳細を示す断面図

【図４】テーブル内の詳細を示す平面断面図

【図５】薄型基板搬送装置を含む全体平面図

【図６】センタリング装置の別の実施形態を示す図

【図７】図６の縦断面図

【図８】従来の薄型基板搬送装置の全体図

【符号の説明】

１…機枠 ２…ロボット ３…テーブル ６…センタリング装置 １７…ガイド部材 １７ｂ…傾斜面 Ｇ…ガラス基板（薄型基板） Ｈ…搬送装置 Ｋ１…カセット装置 Ｋ２…次工程用カセット装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄型基板が収納されたカセット装置か
   ら、前記薄型基板を取り出し、センタリングを行なった
   後、次工程用カセット装置に搬送する薄型基板搬送装置
   であって、前記薄型基板搬送装置の機枠に対して水平移
   動及び回転及び上下移動可能なロボットと、前記ロボッ
   トに支持され前記薄型基板をセンタリングし支持するセ
   ンタリング装置とを備え、前記センタリング装置が前記
   ロボットに対して上下移動可能に配置されることを特徴
   とする薄型基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記センタリング装置が、内側に向かっ
   て下方に傾斜面を形成する複数のガイド部材を備えてな
   ることを特徴とする請求項１記載の薄型基板搬送装置。
3. 【請求項３】 前記ガイド部材が１段であることを特徴
   とする請求項２記載の薄型基板搬送装置。
4. 【請求項４】 前記ガイド部材が複数段に重置されてい
   ることを特徴とする請求項２記載の薄型基板搬送装置。
5. 【請求項５】 前記センタリング装置を上下移動する駆
   動部が、前記ロボット内に配設されることを特徴とする
   請求項１記載の薄型基板搬送装置。