JPS61124404A - 荷保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう荷
（物品）の保管に使用される前像管装置に関するもので
ある。

従来の技術 一般的に前像管装置は、上下方向ならびに横方向に複数
の区画収納空間を有する固定の棚と、この棚に沿った一
定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに横方向出退自在
な荷保持具を有する搬入出装置とから構成されている６ 発明が解決しようとする問題点 このような従来の前像管装置によると、搬入出装置の走
行機構部に多くの塵埃が発生することから、グリーンル
ーム内に設置することは非常にむずかしい。また前像管
装置の占有体積が大きくなることから、この前像管装置
をクリーンルーム内に設ｉ２したときにはクリーン化装
置が大型化、高価格化し、且つ充分なりリーン効率を期
待できない。

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明における前像管装置
は、囲壁体内に、回転縦軸に対して上下複数段に荷支持
板を取付けて形成した回転棚を配設し、この回転棚の一
側部に対向してクリーンエアー供給装置を設けると共に
、他側部に対向して搬入出装置を設けている。

作用 かかる本発明構成によると、回転棚を回転させることに
より、搬入出装置を走行させることなく所期の荷の搬入
量を行なえる。また回転棚の採用により占有体積を小さ
くしながらも収納効率は充分にし得る。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図〜第３図において（１）は箱状の囲壁体で、内部
はクリーンルーム化される。すなわち内部は。

縦方向の仕切板（２）によって回転棚室（３）と搬入吊
装置室（４）とが区画形成され、また回転棚室（３）の
座壁（５）下方に、搬入吊装置室（４）に連通ずる吸気
室（６）が形成される。そして仕切板（２）の中央部に
は、上下方向全長に亘って受は渡し口（７）がスリット
状に形成しである。前記回転棚室（３）内には回転棚（
８）が配設され、また搬入吊装置室（４）には、前記受
は渡し口（７）を通して回転棚（８）に対向する搬入吊
装置（９）が配設される。さらに搬入吊装置室（４）内
で且つ搬入出装ｆｆｉ　（９）に対向する下部には、受
は板形式の入庫部（１０）と出庫部（１１）がＭ、設さ
れる。さらに、これら（１０）　（１１）の上方には、
レール装置１（１２）と、このレール装置！（１２）に
案内されて走行自在な荷搬送用台車（１３）とからなる
荷搬送装置のステーション部（１４）が突入形成されて
いる。前記囲壁体（１）の外側にはクリーンエアー供給
装置（１５）が設けられる。すなわち、回転棚（８）を
中にして前記受は渡し口（７）とは反対側の外側にダク
ト体（１６）によって給気室（１７）が形成され、そし
て給気室（１７）と回転棚室（３）との間にフィルター
（１８）を配設して、クリーンエアー（１９）を受は渡
し口（７）に向けて水平状に吹き出すべく構成しである
。前記給気室（１７）の下部には、その吐出口（２０ａ
）が給気室（１７）に連通ずるファン（２０）が配設さ
れ、このファン（２０）の吸込口（２０ｂ）は吸気室（
６）に連通している。（２２）は点検タラップ、（２３
）は移動式の保守用ステップ、（２４）は制御盤を夫々
示す。

次に回転棚（８）の詳細を第１図〜第３図、ならびに第
８図〜第１θ図に基づいて説明する。筒状の回転縦軸（
２５）は底壁（５）を貫通し、その下端を吸気室（６）
内に配設した駆動装置Ｅ　（２６）に連動すると共に、
上端は、天板から垂設したピン（２７）に軸受（２８）
を介して外嵌されており、以って縦方向の回転輪心（２
９）の周りに回転自在となる。前記回転縦軸（２５）の
上下方向複数箇所には、円板状の荷支持板（３０）が外
嵌配設され、これら荷支持板（３０）は取付は部材（３
１）を介して回顧縦軸（２５）に固定される。各荷支持
板（３０）上の周方向複数箇所には荷受台（３２）が配
設され、これら荷受台（３２）の上面は。

回転軸心（２９）よりも離れる側（外側）はど上位とな
る傾斜荷受面（３３）に形成しである。なお実施例にお
いて傾斜荷受面（３３）は鋸歯状に２箇所連続して形成
される。最下段の荷支持板（３０）の下面には被係止部
（３４）が設けられ、これに係合自在な係止装置（３５
）を底壁（５）側に設けて回転をロック自在としている
６なお荷支持板（３０）の外縁上下間は連結ロンド（３
６）などにより一体化される。

次に搬入吊装置（９）の詳細を第１図〜第７図に基づい
て説明する。すなわち搬入吊装置（９）は、立設した四
角筒状のポスト（４０）と、ポスト（４０）内に配設し
たガイド機構（図示せず）に案内される昇降部材（４１
）と、この昇降部材（４１）に連動する昇降駆動装置（
４２）と、前記昇降部材（４Ｉ）に一体化され、且つポ
スト（４０）の前面に形成したスリット（４３）　を通
って前方に突出する連結部材（４４）と、この連結部材
（４４）の突出端に取付けた筒状の昇降台（４５）と、
この昇降台（４５）に横方向出退自在に配設したフォー
ク形式の荷保持具（４６）などから構成される。前記昇
降台（４５）−Ｈにはターンテーブル（４７）が配設さ
れ、このターンテーブル（４７）の中心から垂設した縦
軸（４８）は、昇降台（４５）内の中間部に設けた孔（
４９）付きの仕切板（５０）に軸受（５１）を介して支
持されて縦軸心（５２）の回りに回転自在であり、また
下端は、仕切板（５０）下に形成される設置空間（５３
）内に設けたロータリーアクチュエータ（５４）に連動
している６前記設置空間（５３）内には排気装置（５５
）が設置され、この排気装置（５５）の吸気口（５６）
を設置空間（５３）内に開放すると共に、前記連結部材
（４４）から昇降部材（４１）に亘って形成した排気路
（５７）の始端に排気口（５８）を連動している。なお
排気路（５７）の始端はポスト（４０）内に開放してい
る。前記ターンテーブル（４７）は１８０度に亘って正
逆回転され、該ターンテーブル（４７）から垂設した被
ストッパ体（３９）が仕切板（５０）から立設した一対
のストッパ（６０）　（６１）に接当することによって
最大回転位置が規制される。前記ターンテーブル（４７
）上には一対のレール（６２）が敷設され、これらレー
ル（６２）に夫々スライド体（６３）を介して支持案内
される可動板（６４）が設けられる。前記ターンテーブ
ル（４７）の下面にロータリーアクチュエータ（６５）
が取付けられ、上面側に突出する出力軸（６６）にはア
ーム（６７）が取付けられる。このアーム（６７）の先
端に取付けたローラ（６８）は、前記レール（６２）と
直交するように可動板（６４）の下面に取付けた溝レー
ル（６９）に嵌合している。前記可動板（６４）北から
レール（７０）が立設され、このレール（７０）にスラ
イド体（７１）を介して支持案内されるリフトプレート
（７２）と該可動板（６４）との間にシリンダ装置（７
３）が設けられる。

前記リフトプレート（７２）上には前記レール（６２）
と直交する横方向のレール（７４）が敷設され、このレ
ール（７４）に夫々スライド体（７５）を介して一対の
前記荷保持具（４６）を配設している。両筒保持具（４
６）は基端間に配設したシリンダ装置（７６）により互
いに接近離間自在であり、その最も接近した位置はスト
ッパ（７７）により規制される。両筒保持具（４６）の
相対向面側には係止部材（７８）が取付けられ、この係
止部材（７８）は左右一対を１組として前後に２組配設
される。また係止部材（７８）は前方を下位として成る
角度をもって傾斜させである。（７９）は可動板（６４
）側に設けたカバー、（８０）はターンテーブル（４７
）側に設けたカバーを示す。荷は半導体などの板状物（
８１）を多数枚並列して収納したケース（８２）で示さ
れ、このケース（８２）の上部には間係止部材（７８）
が左右から係合挟持自在な被係止部（８３）が設けられ
る６ 以下に上記実施例の作用を説明する。囲壁体（１）内で
は、フィルター（１８）を通って水平方向に吹き出され
るクリーンエアー（１９）が回転棚室（３）内を通り、
そして受は渡し口（７）を通って搬入吊装置室（４）に
入ったエアーを吸気室（６）を介して循環吸引すること
から、そのクリーン度は確保されている。このようなり
リーンルーム内で搬入吊装置（９）を使用しての、回転
棚（８）とステーション部（１４）との間でのケース（
８２）の受は渡しは次のようにして行なわれる。なお以
下においてはステーション部（１４）のケース（８２）
を回転棚（８）側に渡す入庫作業を説明するが、逆動作
によって出庫作業が行なえるものである６２個のケース
（８２）を支持してなる荷搬送用台車（１３）はステー
ション部（１４）に停止する。このとき、昇降台（４５
）の昇降によってターンテーブル（４７）などがステー
ション部（１４）に対向している。さらにターンテーブ
ル（４７）の回転により荷保持具（４６）をステーショ
ン部（１４）側に向けているが、その際に両筒保持具（
４６）は下降位置で互いに離間している。この状態で、
先ずロータリーアクチュエータ（６５）の作動によりア
ーム（６７）を回転させ、可動板（６４）などを介して
荷保持具（４６）を前進させる。これにより被係止部（
８３）の両側に係止部材（７８）が対向する。次いでシ
リンダ装置　（７６）を作動させ１両荷保持具（４６）
を互いに接近動させて係止部材（７８）を被係止部（８
３）に係合させる。そしてシリンダ装置ｆ’（７３）の
作動により、リフトプレ′−）−（７２）などを介して
両筒保持具（４６）を上昇させ、係止部材（７８）なら
びに被係止部（８３）を介してケース（８２）を持上げ
る。次いでアーム（６７）の逆動作により可動！　（６
４）や荷保持具（４６）などを後退させ、ケース（８２
）をターンテーブル（４７）上でカバー（８（１）内に
位置させる。その後、昇降台（４５）の昇降によって、
ターンテーブル（４７）などを目的とする荷支持板（３
０）に対向させる。その際にターンテーブル（４７）の
前述とは逆回転により荷保持具（４６）を回転棚（８）
側に向けて、第４図実線の状態としている６次いで可動
板（６４）などを介して荷保持具（４６）を前進させ、
ケース（８２）を受は渡し口（７）を通して荷受台（３
２）の上方に位置させる。そして荷保持具（４６）を下
降してケース（８２）を受は台（３２）上に着地させた
のち、両筒保持具（４６）を離間動させて系止部材（７
８）による係合を解除する。その後、荷保持具（４６）
を後退させることによって入庫作業を終了する。

ケース（８２）の受は渡しに対応して回転棚（８）が回
転する。すなわち駆動装置ｆｆ（２６）の駆動によって
。

回転縦軸（２５）と共に全ての荷支持板（３０）が回転
軸心（２９）の回りに正逆回転し、ケース（８２）の受
は渡しを行なおうとする荷受台（３２）が受は渡し口（
７）に対向される。回転中にケース（８２）に対して遠
心力が作用するが、このときケース（８２）は傾斜荷受
面（３３）に支持されて回転軸心（２９）側が下位とな
るように傾斜していることから、遠心力によって板状物
（８１）が互いに衝突したり、該ケース（８２）カ位置
ずれしたり脱落することを防止し得る。

なお作業中において排気装置（５５）が作動しており、
設置空間（５３）内の空気は吸気口（５６）から吸い込
まれ、そして排気口（５８）と排気路（５７）とを介し
てポスト（４０）内に排出される。さらにターンテーブ
ル（４７）側の空気は孔（４９）を通して設置空間（５
３）内に吸引される。したがって昇降台（４５）側で発
生した塵埃は、搬入量装置室（４）側に漏出することな
くポスト（４０）内に除去し得る。また回転棚室（３）
内においいては、フィルター（１８）から水平方向に吹
き出されるクリーンエアー（１９）が流れ、そして受は
渡し口（７）から搬入量装置室（４）へと流出すること
から、受は渡し口（７）を通って回転棚室（３）にｍ埃
が入ることは全くなくなり、該回転棚室（３）にＪ９い
ては充分なりリーン度でケース（８２）の保管を行なえ
る。

本発明では１回転棚（８）において荷支持板（３０）側
の荷受面を水平面とした実施例も可能である。

発明の効果 上記構成の本発明によると、回転棚を回転させることに
より、搬入出装置を走行させることなく所期の荷の搬入
出を行なうことができる。これは走行機構よりも回転機
構のほうが塵埃を発生しにくいことから、全体として塵
埃の発生を減少でき。

クリーンルーム内での設置（使用）を可能にできる。ま
た回転棚の採用により、従来の固定棚形式に比べて占有
体積を小さくできながらも、従来と同等もしくは以上の
収納を可能にでき、これによりクリーン装置の小型化、
低価格化を可能にできると共に、クリーン効率の向上を
はかることができ・Ｓ。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は正面図、第２
図は一部切欠き側面図、第３図は横断平面図、第４図は
昇降台部の縦断正面図、第５図は同縦断側面図、第６図
、第７図は同横断平面図。 第８図、第１０図は回転棚における要部の縦断面図。 第９図は同横断面図である。 （１）・・・囲壁体、（２）・・・仕切板、（３）・・
・回転棚室。 （４）・・・搬入量装置室、（７）・・・受は渡し口、
（８）・・・回転棚、（９）・・・搬入出装ｆｆｉ、　
（１４）・・・ステーション部。 （１５）・・・グリーンエアー供給装置、（１８）・・
・フィルター、（２５）・・・回転縦軸、　（２９）・
・・回転軸心、　（３０）・・・荷支持板、（３２）・
・・荷受台、（４０）・・・ポスト、（４５）・・・昇
降台、　（４６）・・・荷保持具、（４７）・・・ター
ンテーブル、（５５）・・排気装置、　（７８）・・・
係止部材、　（８１）・・・板状物。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、囲壁体内に、回転縦軸に対して上下複数段に荷支持
   板を取付けて形成した回転棚を配設し、この回転棚の一
   側部に対向してクリーンエアー供給装置を設けると共に
   、他側部に対向して搬入出装置を設けたことを特徴とす
   る荷保管装置。