JPH023442Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、例えばウエハーなどのような板状物
を多数枚収納してなるケース（荷）を荷搬送用自
走車で搬送し、そして所定場所に設置した棚で保
管を行なうのに採用される搬送、保管機能を有す
る荷取扱い装置に関するものである。

従来の技術 従来、ウエハーの搬送は、ケース内に多数枚の
ウエハーを横並列状態で収納し、そしてケース
を、荷搬送用自走車に設けた水平状の荷受台上に
載置して、この荷搬送用自走車の走行により行な
つていた。また荷搬送用、自走車は、棚近傍に形
成したステーシヨンに自動制御で停止され、そし
て搬入出装置によつて棚と荷受台との間でケース
の受け渡しを行なつていた。

考案が解決しようとする問題点 このような従来構成によると、ウエハーを横並
列状態で収納したケースを水平状態で支持して搬
送することから、搬送中（走行中）の振動などに
より隣接するウエハーどうしが衝突し、これによ
り騒音を発したり或いはウエハーを損傷させるこ
とになる。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本考案における搬
送、保管機能を有する荷取扱い装置は、上下方向
ならびに横方向に複数の区画収納空間を有する棚
を設けると共に、この棚の近傍に、レール装置に
案内される荷搬送用自走車のステーシヨンを形成
し、前記棚の前面側に、該棚に沿つて移動自在で
且つ昇降ならびに横方向出退自在な荷保持具を有
する搬入出装置を設けて、ステーシヨンの荷搬送
用自走車と区画収納空間との間で荷の受け渡しを
可能に構成し、前記荷搬送用自走車に、走行方向
に沿つた軸を介して左右揺動自在な荷受台を設け
ると共に、この荷受台を傾斜付勢する付勢装置を
設け、前記ステーシヨンに、前記付勢装置に抗し
て荷受台を水平揺動させる揺動付与装置を設けて
いる。

作 用 かかる本考案構成によると、荷受台上に載置し
た荷は傾斜することになり、したがつて荷が板状
物を並列状態で収納したケースであつたときに
は、これら板状物はケースの底面と傾斜下位側の
側面とに同時に受止められることになつて、走行
時の振動により隣接するものどうしがガタ付いた
り衝突することがなくなる。またステーシヨンに
荷搬送用自走車を停止させたのち、揺動付与装置
を作動させることによつて、荷受台を水平状に姿
勢変更し得、これにより荷受台と区画収納空間と
の間における搬入出装置による荷の受け渡しは、
この荷を水平にした状態で行なえる。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。第４図〜第５図において１は自走台車で、
機枠２に車輪３を介して遊転可能に取付けた左右
一対の第１車輪４と、これよりも一定経路５方向
の何れかに離れた位置において前記機枠２に車軸
６を介して遊転可能に取付けた左右一対の第２車
輪７と、両車輪３，６に取付けた横移動規制用車
輪８と、前記第１車輪４の近くにおいて前記機枠
２に駆動軸９を介して取付けた推進用回転輪（摩
擦回転輪）１０と、この推進用回転輪１０を駆動
すべく前記機枠２に取付けたモータ１１および該
モータ１１と駆動軸９とを連動連結する減速装置
１２と、前記駆動軸９に取付けたピニオンギヤ１
３と、機枠２に取付けた集電子１４などからな
る。１５は機枠２上から立設した連結部で、その
上端には制御部（緩衝装置を内蔵してもよい）１
６が取付けられ、さらに制御部１６の上方には荷
受台１７が配設される。すなわち制御部１６の天
板１８上には走行方向に沿つた軸１９が軸受２０
を介して回転自在に取付けてあり、そして荷受台
１７の下面に取付けたボス部材２１を前記軸１９
に固定している。また荷受台１７の上面には、凹
入した荷受面１７ａを走行方向に一対形成してい
る。前記天板１８と荷受台１７の間には、この荷
受台１７を傾斜付勢する付勢装置２２が設けられ
る。すなわち軸１９の一側において、夫々圧縮ば
ねを内蔵した一対のばねシリンダ２３Ａ，２３Ｂ
が前後方向に配設され、これらばねシリンダ２３
Ａ，２３Ｂの相対向する内端を前記天板１８に相
対揺動自在に連結すると共に、各外端を荷受台１
７に相対揺動自在に連結する。なお天板１８上に
は、荷受台１７の傾斜姿勢を規制する第１ストツ
パ２４と、水平姿勢を規制する第２ストツパ２５
が配設される。以上１〜２５により荷搬送用自走
車２６を構成する。

２７は前記自走台車１を案内するレール装置
で、第１車輪４に上側から接当する第１走行案内
面２８と、第２車輪７および推進用回転輪１０に
下側から接当する第２走行案内面２９と、横移動
規制用車輪８に外側から接当する第３走行案内面
３０とを有し、前記第２走行案内面２９には、前
記集電子１４が摺接する給電レール３１と、傾斜
経路などにおいて前記ピニオンギヤ１３が咬合す
るラツク３２とが設けられる。前記レール装置２
７は箱形のダクト形式であつて、その天板部には
一定経路５の全長に亘るスリツト３３が形成さ
れ、ここに前記連結部１５が位置するように構成
してある。前記レール装置２７の下部には吸引ダ
クト３４が配設され、またこれら２７，３４支持
部材３５を介して固定部側に支持される。

第１図〜第３図において４０は箱状の囲壁体
で、この中をクリーンルーム化したり、或いは囲
壁体４０内を含む全体をクリーンルーム化するこ
とも可能である。４１は囲壁体４０内に設置した
棚で、前面が開放する箱状の本体４２と、この本
体４２内において横方向に多数並設した縦枠４３
と、これら縦枠４３間において上下方向に多数段
取付けた荷受板４４とからなり、上下方向ならび
に横方向に夫々複数の区画収納空間４５を形成す
る。４６は前記棚４１の前面側に配設した搬入出
装置で、該棚４１に沿つて移動自在で且つ昇降な
らびに横方向出退自在な荷保持具４７を有する。
すなわち前記棚４１の前方に、上位輪体４８と、
下位輪体４９と、両輪体４８，４９間に巻回した
無端回動体５０とからなる無端電動機構５１を横
方向に複数組配設し、そして下位輪体４９群を正
逆駆動装置５２に連動連結している。隣接する無
端回動体５０間に昇降台５３が取付けられ、この
昇降台５３の上面に横方向のレール５４を配設し
ている。このレール５４に支持案内される走行台
５５には、その下部に走行駆動装置５６が設けら
れ、そして上部には前後方向のガイドロツド５７
に案内される可動台５８が設けられる。また可動
台５８には出退駆動装置５９が設けられ、さらに
フオーク形式の前記荷保持具４７が、左右１対を
一組として二組が棚４１に向けて突設してある。
前記レール装置２７は、棚４１の上方で且つ該棚
４１に沿うように囲壁体４０を貫通し、そして囲
壁体４０内の適所に荷搬送用自走車２６を自動制
御により停止させ得るステーシヨン６０が形成さ
れる。このステーシヨン６０の箇所には、前記付
勢装置２２に抗して荷受台１７を水平揺動させる
揺動付与装置６１が設けられる。

第４図〜第７図に示すように揺動付与装置６１
は、前記ばねシリンダ２３Ａ，２３Ｂとは反対側
において荷受台１７に対向するもので、囲壁体４
０側に取付けたブレーキ付きモータ６２と、横方
向に突出するその出力軸６３と、この出力軸６３
に取付けたドツグ６４とからなり、必要に応じて
ドツグ６４の二姿勢、すなわち垂下姿勢と水平姿
勢とを検出するマイクロスイツチ６５，６６が設
けられる。前記ドツグ６４が垂下姿勢から水平姿
勢に回動するときに、該ドツグ６４が荷受台１７
の下面に接当して持上げるのであるが、その接当
部は下向きラツパ状の傾斜面６７を有する凹部６
８に形成してある。荷として本実施例では、ウエ
ハーなどの板状物６９を多数並列して収納したケ
ース７０を示し、またケース７０には前記荷保持
具４７が下方から係合自在な被係合板部７１が一
体形成してある。なお板状物６９の並列方向は縦
方向でも横方向でもよい。

自走台車１の走行は、モータ１１の回転力を減
速装置１２、駆動軸９を介して推進用回転輪１０
に伝達し、この推進用回転輪１０を第２走行案内
面２９上で圧接転動させることにより可能とな
り、さらに第２走行案内面２９に対する第２車輪
７の転動と、第１走行案内面２８に対する第１車
輪の４の転動、ならびに横移動規制用車輪８の第
３走行案内面３０に対する転動とにより、水平、
傾斜などの一定経路５上を振れやガタ付きなどな
い状態で安定して行なわれる。このような走行中
において、車輪４，７，８や推進用回転輪１０の
転動などにより粉塵が発生するが、この粉塵は吸
引ダクト３４内に吸引されることになり、またス
リツト３３部にもレール装置２７内への吸引力が
作用することから、該レール装置２７内から粉塵
が外部に出る恐れはない。

搬送中において荷受台１７は、第４図仮想線に
示すようにばねシリンダ２３Ａ，２３Ｂの伸出力
によつて軸１９の周りに傾斜揺動し、そして傾斜
姿勢は第１ストツパ２４への接当により維持され
ている。したがつて荷受台１７の上面である荷受
面１７ａは一側へと傾斜し、この荷受面１７ａに
載置されたケース７０も傾斜していることから、
収納されている板状物６９群は、ケース７０の底
面と傾斜下位側の側面とに同時に受止められるこ
とになつて、振動によつて隣接するものどうしが
接触（衝突）することはない。

ステーシヨン６０で荷搬送用自走車２６が停止
したとき、揺動付与装置６１と搬入出装置４６と
が作動される。すなわち揺動付与装置６１のモー
タ６２が駆動され、第４図仮想線の位置にあるド
ツグ６４が実線の位置へと上方へ回動される。こ
れによりドツグ６４が荷受台１７を持上げること
になり、該荷受台１７はばねシリンダ２３Ａ，２
３Ｂに抗して揺動し、そして第２ストツパ２５へ
の接当により水平姿勢が維持される。また搬入出
装置４６においては、昇降台５３の昇降と走行台
５５の走行とによつて可動台５８をステーシヨン
６０に対向させている。そして前述したように荷
受台１７を水平姿勢としたのち、可動台５８を前
進させて被係合板部７１の下方に荷保持具４７を
突入させる。次いで昇降台５３を上昇させ被係合
板部７１に対する荷保持具４７の係合によりケー
ス７０を持上げたのち、可動台５８を退入させて
ケース７０を走行台５５内に引き込む。このケー
ス７０は搬入出装置４６の作動により、目的とす
る区画収納空間４５に格納される。なお並作用に
よつて、区画収納空間４５内のケース７０を荷受
台１７に渡し得る。

前述した揺動付与装置６１による荷受台１７の
上動作用時に、ドツグ６４は傾斜面６７に接当し
たのち凹部６８に入ることもあり、この場合に荷
搬送用自走車２６自体が、或いは緩衝装置を介し
て荷受台１７側が走行方向に移動することにな
り、これにより停車位置の修正と位置決めとを行
なうことができる。

考案の効果 上記構成の本考案によると、荷受台上に載置し
た荷は傾斜することになり、したがつて荷が板状
物を並列状態で収納したケースであつたときに
は、これら板状物はケースの底面と傾斜下位側の
側面とに同時に受止められることになつて、走行
時の振動により隣接するものどうしがガタ付いた
り衝突することがなくなり、騒音の発生を防止で
きると共に、板状物の損傷のない搬送を行なうこ
とができる。また、ステーシヨンに荷搬送用自走
車を停止させたのち、揺動付与装置を作動させる
ことによつて荷受台を水平状に姿勢変更でき、こ
れにより搬入出装置による荷受台と棚との間での
荷の受け渡しは、水平状の荷に対して行なうこと
ができて、自動移載を常に円滑かつ確実に行なう
ことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部
切欠き正面図、第２図は側面図、第３図は横断平
面図、第４図は要部の一部切欠き正面図、第５図
は同側面図、第６図、第７図は要部拡大の側面図
である。 １……自走台車、１７……荷受台、１７ａ……
荷受面、１９……軸、２２……付勢装置、２３
Ａ，２３Ｂ……ばねシリンダ、２６……荷搬送用
自走車、２７……レール装置、４０……囲壁体、
４１……棚、４４……荷受板、４５……区画収納
空間、４６……搬入出装置、４７……荷保持具、
５３……昇降台、５５……走行台、５８……可動
台、６０……ステーシヨン、６１……揺動付与装
置、６４……ドツグ、６７……傾斜面、６８……
凹部、６９……板状物、７０……ケース（荷）、
７１……被係合板部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間
   を有する棚を設けると共に、この棚の近傍に、レ
   ール装置に案内される荷搬送用自走車のステーシ
   ヨンを形成し、前記棚の前面側に、該棚に沿つて
   移動自在で且つ昇降ならびに横方向出退自在な荷
   保持具を有する搬入出装置を設けて、ステーシヨ
   ンの荷搬送用自走車と区画収納空間との間で荷の
   受け渡しを可能に構成し、前記荷搬送用自走車
   に、走行方向に沿つた軸を介して左右揺動自在な
   荷受台を設けると共に、この荷受台を傾斜付勢す
   る付勢装置を設け、前記ステーシヨンに、前記付
   勢装置に抗して荷受台を水平揺動させる揺動付与
   装置を設けたことを特徴とする搬送、保管機能を
   有する荷取扱い装置。