JPH06183513A - 荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 荷収納部３に対する出し入れ装置10による荷
５の入出庫作業は、荷収納部３の位置に応じて、いずれ
か一方の出し入れ具17Ａ，17Ｂを使用し、この使用する
出し入れ具17Ａ，17Ｂを有するキャレッジ16Ａ，16Ｂが
目的とする荷収納部３に対応するように、キャレッジ16
Ａ，16Ｂを昇降させることで行える。 【効果】 一対のキャレッジを使い分けることで、走行
機体などが棚端部から外方へ突出することなく所期の入
出庫を行え、棚端部外方のデッドスペースを減少でき、
設備長さとほぼ同様の棚長さにできる。設備の占有面積
に比べて荷の保管数を増加できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体（ウエ
ハ）を入れた容器を荷として取り扱う荷保管設備に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の設備としては、たとえば
特開平３−106703号公報に見られるクリーンルーム内の
荷保管装置が提供されている。この従来構成は、複数の
収納空間を区画形成した棚と搬入出装置とからなり、こ
の搬入出装置は、棚の前面に沿った一定経路上を走行自
在な台車と、この台車上から立設した支持枠と、この支
持枠側に案内される一台の昇降台と、この昇降台上に横
方向移動自在に設けた受け渡し装置とにより構成され
る。そして棚の端部外方で下部に荷捌き場が設けられ、
また荷捌き場の上方には、棚外に配設した搬送装置との
間で荷を受け渡し自在な移載装置が設けられている。

【０００３】この従来構成によると、受け渡し装置を収
納空間に対向させた状態で、昇降台の昇降動と受け渡し
装置の横方向出退動との組み合わせ動作を行うことで、
搬入出装置により収納空間に対して荷の出し入れを行え
る。そして台車を走行動させることで、他の収納空間
や、荷捌き場、移載装置に対して荷の出し入れを行え
る。また移載装置の作動により搬送装置に対して荷の受
け渡しを行える。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来構成による
と、支持枠を立設した台車は、昇降台を配設した側とは
反対側に長い突出部分を有する構造であり、したがって
棚端部の収納空間に受け渡し装置を対向させたとき、棚
端部の外方に支持枠や台車突出部分が位置することにな
る。この外方部分は棚に対してはデッドスペースとな
り、設備全体の長さに比較して棚の長さが規制され、設
備の占有面積に比べて荷の保管数が少ないものになる。

【０００５】本発明の目的とするところは、設備長さと
ほぼ同様の棚長さとして保管効率を向上した荷保管設備
を提供する点にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
第１発明の荷保管設備は、棚と出し入れ装置とからな
り、前記棚は出し入れ装置の走行方向に複数の荷収納部
を有し、前記出し入れ装置は、走行機体から立設したポ
ストの前後それぞれに、出し入れ具を有するキャレッジ
を昇降自在に設けている。

【０００７】そして本第２発明の荷保管設備は、ポスト
の上部に駆動輪体を設け、この駆動輪体に掛けた索状体
の前後部分を前後一対のキャレッジ側に振り分けて連結
している。

【０００８】さらに本第３発明の荷保管設備は、一対の
出し入れ具のいずれもが作用自在な荷収納部で、出し入
れ装置に対向する側とは反対側に作用自在な入出庫部を
形成している。

【０００９】

【作用】上記した本第１発明の構成によると、棚の目的
とする荷収納部に対する出し入れ装置による荷の入出庫
作業は、走行機体の走行動とキャレッジの昇降動と出し
入れ具の作動との組み合わせ動作により行え、その際に
出し入れ具のいずれか一方が使用される。すなわち、目
的とする荷収納部に対して出し入れ具のうちのどちらが
早く到達するかにより、使用する出し入れ具を決定して
走行機体を走行動し得る。

【００１０】さらに、上述したように使用する出し入れ
具を決定して走行機体を走行動させるとともに、使用す
る出し入れ具を有するキャレッジが目的とする荷収納部
に対応するように、キャレッジを昇降し得る。これによ
り目的とする荷収納部に対向させた出し入れ具を、側方
へ突出動させることで荷の下方に位置し得る。

【００１１】そして本第２発明の構成によると、駆動輪
体を正逆に回転して索状体を移動させることで、使用す
る出し入れ具を有するキャレッジを、目的とする荷収納
部に対応するように昇降させ得る。

【００１２】さらに本第３発明の構成によると、目的と
する荷収納部が両出し入れ具の作用範囲内であるときに
は、この荷収納部に対して早く到達し得る出し入れ具を
決定して使用し得る。また作用範囲外であるときには、
この荷収納部側に位置した出し入れ具を使用し得る。そ
して出し入れ装置の走行動や出し入れ具の渡し動作など
を行うことで、入出庫部との間で荷の受け渡しを行え
る。

【００１３】

【実施例】以下に本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。１は棚で、支柱などからなる枠組み本体２内に、
上下方向ならびに横方向（後述する出し入れ装置の走行
方向に相当する。）に複数の荷収納部３を形成してい
る。各荷収納部３は、枠組み本体２側に対して上下方向
ならびに横方向で所定間隔置きに設けた受け部材４によ
り区画形成され、ここで中間の受け部材４は左右の荷収
納部３に対して兼用となる。

【００１４】各荷収納部３に収納自在な荷は、たとえば
半導体（ウエハ）を入れた容器５であり、そしてウエハ
が内部で動かないように取り扱われる。そのために容器
５は、必要に応じてトレーを介して荷収納部３に収納自
在となる。前記棚１は通路６を置いて一対が並設され、
そして通路６内には床レール７と天井レール８とが配設
されている。

【００１５】前記通路６内に走行自在に配設した出し入
れ装置10は、前記床レール７に車輪11を介して支持案内
される走行機体12を有し、この走行機体12の中央部から
ポスト13を立設するとともに、このポスト13の上部に前
記天井レール８に案内されるガイド装置14を設けてい
る。

【００１６】前記ポスト12の前後面部にはガイド部が形
成され、これらガイド部に案内されて昇降自在な前後一
対の昇降体15Ａ，15Ｂを設けている。両昇降体15Ａ，15
Ｂには、それぞれキャレッジ16Ａ，16Ｂが前方または後
方へ連設され、これらキャレッジ16Ａ，16Ｂには横方向
へ作用自在な出し入れ具17Ａ，17Ｂが設けられる。なお
昇降体15Ａ，15Ｂを案内するガイド部の部分には、塵埃
の漏出を防止する防塵カバー18が設けられる。

【００１７】両キャレッジ16Ａ，16Ｂの上には回転テー
ブル20が設けられ、これら回転テーブル20の上に前記出
し入れ具17Ａ，17Ｂを、縦軸心20ａの周りで回動自在に
設けている。これら出し入れ具17Ａ，17Ｂは、その基端
をして回転テーブル20に取り付けた中折れ腕装置21と、
この中折れ腕装置21の遊端に連結した荷支持部22とによ
り構成される。

【００１８】前記中折れ腕装置21は、回転テーブル20側
からの出力軸23に基端を連結しかつ回転テーブル20内で
回動自在な第１リンク体24と、この第１リンク体24の遊
端に中間軸を介して基端を連結した第２リンク体25と、
この第２リンク体25の遊端に作動軸を介して基端を連結
したプレート状の前記荷支持部22とから構成される。そ
して両リンク体24，25をケース状として、その内部に伝
動機構（図示せず。）を介在させている。

【００１９】これら伝動機構は、図２の実線や図３のキ
ャレッジ16Ｂ側で示すように出力軸23の一方への回動に
より第１リンク体24を回転テーブル20上の一方側に回動
させたとき、第２リンク体25を回転テーブル20の一方端
側に納めるとともに、荷支持部22を回転テーブル20上に
完全に納め得る。

【００２０】また図２の仮想線や図３のキャレッジ16Ａ
側で示すように出力軸23の他方への回動により第１リン
ク体24を回転テーブル20上の他方側に回動させたとき、
第２リンク体25の遊端側を回転テーブル20に対して他方
外側に振り出すとともに、回転テーブル20上に納まって
いた荷支持部22を横方向に直線動させて回転テーブル20
の側方へ突出動させ得るように、配置しかつ構成してあ
る。

【００２１】前記キャレッジ16Ａ，16Ｂを昇降動させる
昇降動装置30は、ポスト13の上部で左右方向軸心の周り
に回転自在な駆動軸31と、この駆動軸31に連動しかつポ
スト13の側面に取り付けた駆動装置（モータなど）32
と、前記駆動軸31の中間に固定したスプロケット（駆動
輪体の一例）33と、このスプロケット33に上方から掛け
た有端のチェーン（索状体の一例）34とからなり、この
チェーン34の両端（前後部分）を前記昇降体15Ａ，15Ｂ
に振り分けて連結している。

【００２２】両棚１の背面から、両棚１の端面間ならび
に上面間に亘ってカバー体９が取り付けられ、以て荷保
管設備に全体を長方体に形成するとともに、内部をクリ
ーン化している。そして荷収納部３の一部は、その背面
のカバー体９を除去することで、外部の搬送装置40との
間で容器５の受け渡しを行うための入出庫部35に形成し
ている。

【００２３】すなわち入出庫部35は、両出し入れ具17
Ａ，17Ｂのいずれも作用自在な範囲36内の荷収納部３の
一部、実施例では出し入れ装置10の走行方向の中央部で
かつ上部の荷収納部３を利用して形成され、この入出庫
部35には、前記出し入れ装置10と搬送装置40との間で容
器５の受け渡しを行う移載装置37が設けられる。なお入
出庫部35は、非使用時にその開口を閉塞する遮断構造を
備えている。

【００２４】前記搬送装置40は、レール41と、このレー
ル41に支持案内される自走体42と、この自走体42の上部
に設けた荷保持部43とから構成され、前記入出庫部35に
対向する位置を停止位置にしている。

【００２５】次に上記実施例において容器５の入出庫作
業を説明する。棚１の荷収納部３に収納されている容器
５に対する出庫作業を行うに際して、出し入れ装置10の
両出し入れ具17Ａ，17Ｂでは、図３のキャレッジ16Ｂ側
で示すように、出力軸23の一方への回動により第１リン
ク体24を回転テーブル20上の一方側に納めるとともに、
第２リンク体25を回転テーブル20上の一方端側に納めて
おり、以て荷支持部22を回転テーブル20上に完全に納め
ている。

【００２６】この状態で、走行機体12の走行動とキャレ
ッジ16Ａ，16Ｂの昇降動との組み合わせ動作により、出
し入れ具17Ａ，17Ｂのいずれか一方を目的とする荷収納
部３に対向させる。すなわち、目的とする荷収納部３が
作用範囲36内であるときには、この荷収納部３に対して
出し入れ具17Ａ，17Ｂのうちのどちらが早く到達するか
により、使用する出し入れ具17Ａ，17Ｂが決定されて走
行機体12が走行動される。また目的とする荷収納部３が
作用範囲36外であるときには、この荷収納部３側に位置
した出し入れ具17Ａ，17Ｂを使用すべく走行機体12が走
行動される。

【００２７】さらに、上述したように使用する出し入れ
具17Ａ，17Ｂを決定して走行機体12を走行動させるとと
もに、使用する出し入れ具17Ａ，17Ｂが目的とする荷収
納部３に対応するように、昇降動装置30の作動によって
キャレッジ16Ａ，16Ｂが昇降される。

【００２８】すなわち駆動装置32の作動により駆動軸31
を介してスプロケット33を正逆に回転させ、これにより
チェーン34を移動させてキャレッジ16Ａ，16Ｂを昇降さ
せる。その際に両キャレッジ16Ａ，16Ｂの昇降は、昇降
体15Ａ，15Ｂがそれぞれガイド部に案内されることで揺
れなど生じることなく行え、またチェーン34を介しての
釣瓶運動により小動力の駆動装置32により円滑に行え
る。

【００２９】また上述したように走行動や昇降動を行っ
ている際に、目的とする荷収納部３を有する棚１が左右
のいずれかによって、必要に応じて回転テーブル20を縦
軸心20ａの周りに180 度回転させ、荷支持部22の遊端を
目的とする荷収納部３を有する棚１側に向ける。

【００３０】上述のように目的とする荷収納部３に出し
入れ具17Ａ，17Ｂを対向させたのち、出力軸23の他方へ
の回動により第１リンク体24を回転テーブル20上の他方
側に回動させ、第２リンク体25の遊端側を回転テーブル
20に対して他方外側に振り出すとともに、回転テーブル
20上の荷支持部22を横方向に直線動させて回転テーブル
20の側方へ突出動させる。これにより荷支持部22を、図
２の仮想線や図３のキャレッジ16Ａ側で示すように、容
器５の下方で両受け部材４間に位置させる。

【００３１】この状態で昇降体15Ａを少し上昇させ、荷
支持部22を受け部材４間で上昇させて容器５に下方から
当接させかつ持ち上げる。そして出力軸23の一方への回
動により前述したように荷支持部22を回転テーブル20上
に完全に納め得、以て容器５を回転テーブル20上に位置
させる。

【００３２】その後、前述と同様にして出し入れ装置10
の走行動や出し入れ具17Ａ，17Ｂの渡し動作などを行う
ことで、容器５を入出庫部35の移載装置37に渡し得る。
そして移載装置37の作動によって容器５は、入出庫部35
に対向して停止している自走体42の荷保持部43に渡さ
れ、以て一連の出庫作業を終える。

【００３３】このようにして容器５を保持した自走体42
は、レール41に案内されて次工程へと自動走行される。
なお前述とは逆の作用を行うことで、搬送装置40により
搬送してきた容器５を出し入れ装置10に渡し、そして出
し入れ装置10によって目的とする荷収納部３に入庫し得
る。

【００３４】上記実施例では出し入れ具17Ａ，17Ｂとし
て中折れ腕装置21を有する形式を示したが、本発明にお
いては、通常の多段のフォーク形式であってもよい。ま
た上記実施例では回転テーブル20の上に出し入れ具17
Ａ，17Ｂを設けて、この出し入れ具17Ａ，17Ｂを両側の
棚１に作用させるように構成したが、本発明において
は、出し入れ具17Ａ，17Ｂを回転させず、片側にのみ設
けた棚１に作用させる構成でもよい。

【００３５】上記実施例では一方の棚１に入出庫部35を
設けた構成を示したが、本発明においては、入出庫部35
を両側の棚１にそれぞれ設けてもよく、この場合には一
対の搬送装置40が設けられる。また上記実施例では棚１
の作用範囲36内の上部に入出庫部35を設けたが、本発明
において入出庫部35の位置は中間部、下部など任意に決
定されるものである。

【００３６】さらに上記実施例では作用範囲36内に入出
庫部35を設けたが、本第１発明においては、作用範囲36
外に入出庫部35を設けてもよい。この場合に棚１の中間
位置に位置した荷収納部３を中継部とし、そして、たと
えば一方側に設けた入出庫部35から他方側の荷収納部３
に容器５を入庫するに、入出庫部35の容器５を一方のキ
ャリッジを使用して中継部に移し、次いで中継部の容器
５を他方のキャリッジを使用して荷収納部３に移すよう
に動作させればよい。

【００３７】上記実施例では両キャレッジ16Ａ，16Ｂの
昇降動装置30として釣瓶形式を示したが、本第１発明に
おいては両キャレッジ16Ａ，16Ｂを各別に昇降させる形
式であってもよい。また上記実施例では荷保管設備の外
側にカバー体９を設けて内部をクリーン化しているが、
この場合に荷保管設備をクリーンルームに設置してもよ
い。また荷保管設備はカバー体９を有さない形式でもよ
い。

【００３８】

【発明の効果】上記構成の本第１発明によると、一対の
キャレッジを使い分けることにより、走行機体などを棚
端部から外方へ突出させることなく所期の入出庫を行う
ことができ、棚端部外方のデッドスペースを減少でき
て、設備長さとほぼ同様の棚長さにできる。したがって
設備の占有面積に比べて荷の保管数を増加できる。

【００３９】また本第２発明の構成によると、両キャレ
ッジの昇降は、索状体を介しての釣瓶運動により行うこ
とができ、駆動輪体を小動力の駆動装置により駆動でき
るとともに、昇降は常に円滑に行うことができる。

【００４０】さらに本第３発明の構成によると、棚長さ
方向の中間位置に入出庫部を形成したことで、目的とす
る荷収納部と入出庫部との間での荷の移動を、この荷収
納部に対して早く到達し得る出し入れ具を使用して効率
よく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、荷保管設備の縦断側
面図である。

【図２】同荷保管設備の縦断正面図である。

【図３】同荷保管設備の横断平面図である。

【符号の説明】

１ 棚 ３ 荷収納部 ５ 容器（荷） ９ カバー体 10 出し入れ装置 12 走行機体 13 ポスト 15Ａ 昇降体 15Ｂ 昇降体 16Ａ キャレッジ 16Ｂ キャレッジ 17Ａ 出し入れ具 17Ｂ 出し入れ具 20 回転テーブル 21 中折れ腕装置 22 荷支持部 30 昇降動装置 31 駆動軸 32 駆動装置 33 スプロケット（駆動輪体） 34 チェーン（索状体） 35 入出庫部 36 作用範囲 37 移載装置 40 搬送装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 棚と出し入れ装置とからなり、前記棚は
   出し入れ装置の走行方向に複数の荷収納部を有し、前記
   出し入れ装置は、走行機体から立設したポストの前後そ
   れぞれに、出し入れ具を有するキャレッジを昇降自在に
   設けたことを特徴とする荷保管設備。
2. 【請求項２】 ポストの上部に駆動輪体を設け、この駆
   動輪体に掛けた索状体の前後部分を前後一対のキャレッ
   ジ側に振り分けて連結したことを特徴とする請求項１記
   載の荷保管設備。
3. 【請求項３】 一対の出し入れ具のいずれもが作用自在
   な荷収納部で、出し入れ装置に対向する側とは反対側に
   作用自在な入出庫部を形成したことを特徴とする請求項
   １記載の荷保管設備。