JPH043341B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えばウエハーなどのような板状物
を多数枚収納してなるケースを搬送するのに採用
される荷搬送装置に関するものである。

従来の技術 従来、ウエハーの搬送は、ケース内に多数枚の
ウエハーを横並列状態で収納し、そしてケース
を、自走台車に設けた水平状の荷支持面上に載置
して、この自走台車の走行により行なつていた。

発明が解決しようとする問題点 上記した従来構成によると、ウエハーは水平面
上に横並列状に載置して搬送する状態になること
から、搬送中（走行中）における振動によつて隣
接するものどうしが接触（衝突）して騒音を発す
ることになり、さらに接触が激しいときにはウエ
ハーの損傷を招くことになる。

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明における荷
搬送装置は、レール装置に案内されて一定経路上
を移動自在な搬送体を設け、この搬送体に揺動自
在な荷支持体を設け、この荷支持体は、搬送体の
移動中は荷を傾斜させ、ステーシヨンでの停止中
は荷を水平状姿勢に保持すべく構成している。

作 用 かかる構成によると、移動中に荷は傾斜するこ
とになり、したがつて荷が板状物を並列状態で収
納したケースであつたときには、これら板状物は
ケースの底面と傾斜下位側の側面とに同時に受止
められることになつて、移動時の振動により隣接
するものどうしがガタ付いたり衝突することがな
くなる。またステーシヨンに停止中は、荷を水平
状姿勢にして保持し得、したがつて自動移載機な
どによる積み卸しは荷を水平状姿勢として行なえ
る。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。第１図〜第３図において１は搬送体の一例
となる自走台車で、機枠２に車軸３を介して遊転
可能に取付けた左右一対の第１車輪４と、これよ
りも一定経路５方向の何れかに離れた位置におい
て前記機枠２に車軸６を介して遊転可能に取付け
た左右一対の第２車輪７と、両車軸３，６に取付
けた横移動規制用車輪８と、前記第１車輪４の近
くにおいて前記機枠２に駆動軸９を介して取付け
た推進用回転輪（摩擦回転輪）１０と、この推進
用回転輪１０を駆動すべく前記機枠２に取付けた
モータ１１、および該モータ１１と駆動軸９とを
連動連結する減速装置１２と、前記駆動軸９に取
付けたピニオンギヤ１３と、機枠２に取付けた集
電子１５などからなる。１６は機枠２上に配設し
た緩衝装置で、その上部から上方に連結部１７が
連設されている。この連結部１７の上端には搬送
物支持部１８が取付けてある。第４図、第５図に
示すように前記緩衝装置１６は、前記連結部１７
の自走台車１への取付けを、弾性に抗して走行方
向に相対変位自在に行なうもので、前記機枠２の
上面一側に前後方向に配設したロツド２１と、こ
のロツド２１に外嵌して摺動自在なブラケツト２
２と、このブラケツト２２を一側に固定した可動
台２３と、この可動台２３の他側と機枠２との間
に設けたエアーダンパー２４と、前記ブラケツト
２３の両側において前記ロツド２１に外嵌する一
対のばね２５Ａ，２５Ｂと、前記可動台２３の最
大移動量を規制する一対のストツパ２６Ａ，２６
Ｂとからなり、前記可動台２３から前記連結部１
７が立設される。第１図〜第３図に示すように前
記搬送物支持部１８は、前記連結部１７の上端に
一定経路５とは直交させて取付けた横杆部材４１
と、この横杆部材４１の両端から立設した一対の
縦板体４２と、これら縦板体４２間に位置する前
後一対の荷支持体４３と、これら荷支持体４３の
両側から立設した取付板４４と、これら取付板４
４を縦板体４２に前後揺動自在に取付ける横ピン
４５と、前後で対向する取付板４４間を相対揺動
自在に連結するリンク４６と、一方の荷支持体４
３の底部と横杆部材４１との間に配設される引張
りばね４７と、荷支持体４３の最大傾斜姿勢を規
制すべく縦板体４２に取付けたストツパ４８とか
らなる。上記した４４〜４８が、荷支持体４３を
走行方向に対して傾斜させる傾斜付与装置４９を
構成し、また自走台車１と搬送物支持部１８とに
より荷搬送用自走車５０を構成する。前記荷支持
体４３の上面である荷支持面４３ａに載置される
荷として本実施例では、ウエハーなどの板状物１
９を多数並列して収納したケース２０を示し、こ
こで板状物１９の並列方向は第１図に示すように
縦方向でも横方向でもよい。２７は前記自走台車
１を案内するレール装置で、第１車輪４に上側か
ら接当する第１走行案内面２８と、第２車輪７お
よび推進用回転輪１０に下側から接当する第２走
行案内面２９と、横移動規制用車輪８に外側から
接当する第３走行案内面３０とを有し、前記第２
走行案内面２９には、前記集電子１５が摺接する
給電レール３１と、傾斜経路などにおいて前記ピ
ニオンギヤ１３が咬合するラツク３２とが設けら
れる。前記自走台車１とレール装置２７とは箱形
のダクト３３内に配置してある。このダクト３３
の底板上に走行経路５方向の支持レール３４を左
右一対設け、これら支持レール３４間に、弾性緩
衝体３５を介して支持枠体３６を一定経路５方向
に複数本設け、これら支持枠体３６に支持具３７
を介して前記レール装置２７を取付けている。前
記ダクト３３の天板には一定経路５の全長に亘る
スリツト３８が形成され、ここに前記連結部１７
が位置するように構成してある。前記ダクト３３
の側部には吸引ダクト３９が配設され、また上部
には搬送物支持部１８の移動路を囲むカバー４０
が設けられる。なお荷支持体４３を左右方向の横
ピン４５の周りに前後揺動自在として荷支持面４
３ａを傾斜させているが、これは前後方向の横ピ
ンの周りに左右揺動自在としてもよい。また搬送
体は自走台車１の他に種々な形式が採用される。

自走台車１の走行は、モータ１１の回転力を減
速装置１２、駆動軸９を介して推進用回転輪１０
に伝達し、この推進用回転軸１０を第２走行案内
面２９上で圧接転動させることにより可能とな
り、さらに第２走行案内面２９に対する第２車輪
７の転動と、第１走行案内面２８に対する第１車
輪の４の転動、ならびに横移動規制用車輪８の第
３走行案内面３０に対する転動とにより、水平、
傾斜などの一定経路５上を振れやガタ付きなどな
い状態で安定して行なわれる。このような走行中
において、車輪４，７，８や推進用回転輪１０の
転動などにより粉塵が発生するが、この粉塵は吸
引ダクト３９内に吸引されることになり、またス
リツト３８部にもダクト３３内への吸引力が作用
することから、該ダクト３３内から粉塵が外部に
出る恐れはない。搬送中の搬送物支持部１８は、
第１図に示すように引張りばね４７の弾性力によ
つて一方の荷支持体４３が横ピン４５の周りに傾
斜揺動し、またリンク４６を介して他方の荷支持
体４３も傾斜揺動している。そして傾斜姿勢はス
トツパ４８への接当により維持されている。した
がつて荷支持体４３の上面である荷支持面４３ａ
は傾斜し、この荷支持面４３ａに載置されたケー
ス２０も傾斜していることから、収納されている
板状物１９群は、ケース２０の底面と傾斜下位側
の側面とに同時に受止められることになつて、振
動によつて隣接するものどうしがガタ付いたり衝
突することはない。

なおステーシヨンにおいて、このステーシヨン
側や自走台車１側に設けた適宜の手段（作動装
置）によつて引張りばね４７に抗してリンク４６
を移動させることにより、荷支持体４３を横ピン
４５の周りに揺動させて荷支持面４３ａと共にケ
ース２０を水平姿勢にし得、したがつてステーシ
ヨンにおいて自動移載機によるケース２０の積み
卸しを円滑に行なえることになる。そして積み卸
しを行なつたのち再び走行させるに際して、荷支
持体４３の前後揺動による荷支地面４３ａの傾斜
は、ステーシヨン側や自走台車１側に設けた適宜
の手段（作動装置）によつて行なわれる。

発明の効果 上記構成の本発明によると、移動中に荷は傾斜
することになり、したがつて荷が板状物を並列状
態で収納したケースであつたときには、これら板
状物はケースの底面と傾斜下位側の側面とに同時
に受止められることになつて、走行時の振動によ
り隣接するものどうしがガタ付いたり衝突するこ
とがなくなり、騒音の発生を防止できると共に、
板状物の損傷のない搬送を行なうことができる。
またステーシヨンに停止中は、荷を水平状姿勢に
して保持でき、したがつて自動移載機などによる
荷の積み卸し作業は、荷を水平状姿勢に保持して
円滑にかつ確実に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は走行
時の一部切欠き側面図、第２図は正面図、第３図
は平面図、第４図は緩衝装置部の一部切欠き側面
図、第５図は同平面図、第６図は荷移載時の側面
図である。 １……自走台車、５……一定経路、１６……緩
衝装置、１８……搬送物支持部、１９……板状
物、２０……ケース、２７……レール装置、４２
……縦板体、４３……荷支持体、４３ａ……荷支
持面、４４……取付板、４５……横ピン、４６…
…リンク、４７……引張りばね、４９……傾斜付
与装置、５０……荷搬送用自走車。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ レール装置に案内されて一定経路上を移動自
   在な搬送体を設け、この搬送体に揺動自在な荷支
   持体を設け、この荷支持体は、搬送体の移動中は
   荷を傾斜させ、ステーシヨンでの停止中は荷を水
   平状姿勢に保持すべく構成したことを特徴とする
   荷搬送装置。