JPS63164077U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63164077U JPS63164077U JP17934987U JP17934987U JPS63164077U JP S63164077 U JPS63164077 U JP S63164077U JP 17934987 U JP17934987 U JP 17934987U JP 17934987 U JP17934987 U JP 17934987U JP S63164077 U JPS63164077 U JP S63164077U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- wafer cassette
- trolley
- self
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成を示す正面図
、第２図は本考案の他の実施例の構成を示す正面
図、第３図は他の実施例に搭載されるウエハカセ
ツト５０を示す斜視図、第４図はこの考案の両実
施例が用いられるウエハ搬送システムの説明図、
第５図は同システムにおける各装置のウエハ移載
状態を示す図、第６図は従来の荷搬送用自走台車
の構成を示す正面図、第７図は同荷搬送用自走台
車の側面図、第８図はウエハカセツト８の斜視図
である。 ４……搬送台車、９……収納容器、８，５０…
…ウエハカセツト、１１，１１……ウエハ、３０
……カセツト載置台。
、第２図は本考案の他の実施例の構成を示す正面
図、第３図は他の実施例に搭載されるウエハカセ
ツト５０を示す斜視図、第４図はこの考案の両実
施例が用いられるウエハ搬送システムの説明図、
第５図は同システムにおける各装置のウエハ移載
状態を示す図、第６図は従来の荷搬送用自走台車
の構成を示す正面図、第７図は同荷搬送用自走台
車の側面図、第８図はウエハカセツト８の斜視図
である。 ４……搬送台車、９……収納容器、８，５０…
…ウエハカセツト、１１，１１……ウエハ、３０
……カセツト載置台。
Claims (1)
- 両側内面に複数の溝が垂直に切られたウエハカ
セツトにウエハが起てて収納され、このウエハカ
セツトを搬送する場合にウエハが進行方向に対し
て平行になるように配置されて搬送される荷搬送
用自走台車において、台車に取り付けられた収納
容器と、前記収納容器の底面に台車の進行方向の
水平面に対して所定の角度を以つて取り付けられ
、前記ウエハカセツトが載置されるカセツト載置
台とを具備してなる荷搬送用自走台車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17934987U JPS63164077U (ja) | 1986-11-26 | 1987-11-25 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18153186 | 1986-11-26 | ||
| JP17934987U JPS63164077U (ja) | 1986-11-26 | 1987-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63164077U true JPS63164077U (ja) | 1988-10-26 |
Family
ID=33455216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17934987U Pending JPS63164077U (ja) | 1986-11-26 | 1987-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63164077U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02274452A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-08 | Amada Co Ltd | 板材収納装置 |
| EP3656707A1 (en) * | 2018-11-23 | 2020-05-27 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Handling of containers in a system for production of packaged food products |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61125959A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | 株式会社ダイフク | 荷搬送装置 |
-
1987
- 1987-11-25 JP JP17934987U patent/JPS63164077U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61125959A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | 株式会社ダイフク | 荷搬送装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02274452A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-08 | Amada Co Ltd | 板材収納装置 |
| EP3656707A1 (en) * | 2018-11-23 | 2020-05-27 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Handling of containers in a system for production of packaged food products |