JPS62106867U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62106867U JPS62106867U JP20053185U JP20053185U JPS62106867U JP S62106867 U JPS62106867 U JP S62106867U JP 20053185 U JP20053185 U JP 20053185U JP 20053185 U JP20053185 U JP 20053185U JP S62106867 U JPS62106867 U JP S62106867U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- view
- semiconductor wafers
- carrier
- holding means
- article
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 4
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案に係る搬送車の一実
施例を示す正面図及び側面図、第３図は第１図の
搬送車で搬送される物品の部分拡大側断面図、第
４図は第３図の物品の部分拡大平面図である。第
５図及び第６図は本考案に係る搬送車の他の実施
例を示す一部断面を含む側面図及び正面図である
。第７図及び第８図は従来の搬送車の正面図及び
側面図、第９図は半導体ウエーハを整列収納する
キヤリアの一部断面を含む側面図、第１０図は第
９図のＡ―Ａ線に沿う断面図、第１１図は第９図
のキヤリアの部分拡大平面図である。 ６……キヤリア、７……半導体ウエーハ、９…
…搬送車、１２……物品保持手段（コンテナ保持
板）、１４……搬送車、２２……物品保持手段（
キヤリア保持板）。
施例を示す正面図及び側面図、第３図は第１図の
搬送車で搬送される物品の部分拡大側断面図、第
４図は第３図の物品の部分拡大平面図である。第
５図及び第６図は本考案に係る搬送車の他の実施
例を示す一部断面を含む側面図及び正面図である
。第７図及び第８図は従来の搬送車の正面図及び
側面図、第９図は半導体ウエーハを整列収納する
キヤリアの一部断面を含む側面図、第１０図は第
９図のＡ―Ａ線に沿う断面図、第１１図は第９図
のキヤリアの部分拡大平面図である。 ６……キヤリア、７……半導体ウエーハ、９…
…搬送車、１２……物品保持手段（コンテナ保持
板）、１４……搬送車、２２……物品保持手段（
キヤリア保持板）。
Claims (1)
- 複数の半導体ウエーハを縦方向に平行に所定間
隔で整列収納したキヤリアを、半導体ウエーハ配
列方向に傾斜させて保持する物品保持手段を具え
たことを特徴とする搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20053185U JPS62106867U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20053185U JPS62106867U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62106867U true JPS62106867U (ja) | 1987-07-08 |
Family
ID=31163123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20053185U Pending JPS62106867U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62106867U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0285056A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-26 | Shinko Electric Co Ltd | 自己クリーン機能付搬送車 |
| JP2003086655A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車 |
| JP2006213216A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Daifuku Co Ltd | 搬送車 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5587652A (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-02 | Tokyo Shibaura Electric Co | Dusttproof conveyor |
| JPS61125959A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | 株式会社ダイフク | 荷搬送装置 |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP20053185U patent/JPS62106867U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5587652A (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-02 | Tokyo Shibaura Electric Co | Dusttproof conveyor |
| JPS61125959A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | 株式会社ダイフク | 荷搬送装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0285056A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-26 | Shinko Electric Co Ltd | 自己クリーン機能付搬送車 |
| JP2003086655A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車 |
| JP4506058B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2010-07-21 | 村田機械株式会社 | 無人搬送車 |
| JP2006213216A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Daifuku Co Ltd | 搬送車 |
| JP4538729B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2010-09-08 | 株式会社ダイフク | 搬送車 |