JPS6219740U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図…本考案の第一実施例の概略側面図、第
２図…本考案のウエハー載置用板の断面図、第３
図…本考案のウエハー挾持移送部の正面図、第４
図…本考案のウエハー挾持移送部の平縦断面、第
５図は…本考案の熱処理容器の縦断面図、第６図
…本考案の熱処理容器の平断面図。 １……ウエハー、２……処理室、３……ウエハ
ー載置移送部、４……カセツト、５……ウエハー
出納部、６……ウエハー挾持移送部、７……オリ
エンテーシヨンフラツト、８……ウエハー回動部
、９……ウエハーの載置用斜面、１０……着脱爪
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハーを載置して処理室に出入りし、傾斜し
   て立設されたウエハー載置移送部と、未処理のウ
   エハーをカセツトから突き出し、熱処理後のウエ
   ハーをカセツトに戻すウエハー出納部と、ウエハ
   ーの側縁を挾持してカセツトとウエハー載置移動
   部との間を往復し、未処略のウエハーをウエハー
   載置移送部へ供給し、熱処理後のウエハーをカセ
   ツトに戻すウエハー挾持移送部と、ウエハー挾持
   移送部の移動路に出入りし、ウエハー挾持移送部
   にてウエハー載置移送部へ供給される途中のウエ
   ハーを回動してウエハーのオリエンテーシヨンフ
   ラツトを検出し、ウエハーのオリエンテーシヨン
   フラツトを一定方向に揃えるウエハー回動部と、
   ウエハー挾持移送部にて垂直に挾持して移送され
   てきた未処理ウエハーの上縁に係合してウエハー
   載置移送部側に移動し、ウエハーをウエハー載置
   移送部の載置用斜面に載置し、載置用斜面に載置
   された処理後のウエハーの上縁に係合したウエハ
   ー挾持移送部側に移動し、ウエハーを垂直に起立
   させる着脱爪とで構成してなる事を特徴とする半
   導体製造装置のウエハーハンドリング機構。