JPS6448034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6448034U JPS6448034U JP14310087U JP14310087U JPS6448034U JP S6448034 U JPS6448034 U JP S6448034U JP 14310087 U JP14310087 U JP 14310087U JP 14310087 U JP14310087 U JP 14310087U JP S6448034 U JPS6448034 U JP S6448034U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- wafer
- semiconductor
- groove
- parallel
- Prior art date
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- Granted
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Pile Receivers (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第
２図ａ，ｂは第１図の実施例の動作を示す模式図
、第３図は従来の溝が面に垂直なボートに対する
半導体ウエハ移載装置を示す斜視図、第４図は従
来の移載装置による溝が傾斜したボートへのウエ
ハの一斉移載の難しさを示す模式図である。 １……ウエハ、３……ボート、４……挾持部片
、５ａ，５ｂ……板、６……軸、７……ウエハケ
ース、８……ウエハ押し上げ板、３１……溝、４
１……溝、なお各図中同一符号は同一または相当
するものを示す。
２図ａ，ｂは第１図の実施例の動作を示す模式図
、第３図は従来の溝が面に垂直なボートに対する
半導体ウエハ移載装置を示す斜視図、第４図は従
来の移載装置による溝が傾斜したボートへのウエ
ハの一斉移載の難しさを示す模式図である。 １……ウエハ、３……ボート、４……挾持部片
、５ａ，５ｂ……板、６……軸、７……ウエハケ
ース、８……ウエハ押し上げ板、３１……溝、４
１……溝、なお各図中同一符号は同一または相当
するものを示す。
Claims (1)
- ウエハケースに収納した複数枚の半導体ウエハ
を、半導体ウエハの縁部を差し込む溝が傾斜した
石英あるいはシリコン製ボートに一斉に移載する
ための装置で、ウエハケースから垂直に押し上げ
られた各半導体ウエハを両サイドから該半導体ウ
エハの縁部を溝で支えて挾持する各挾持部片が各
サイドごとに平行に二枚の板にそれぞれ軸によつ
て回転自在な構造に取り付けられ、両サイドの対
向する一方の板を平行にずらすことによつて上記
各挾持部片が挾持する各半導体ウエハを同じ傾き
に傾斜さすことができる半導体ウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14310087U JPH06822Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | 半導体ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14310087U JPH06822Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | 半導体ウエハ移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448034U true JPS6448034U (ja) | 1989-03-24 |
| JPH06822Y2 JPH06822Y2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=31409618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14310087U Expired - Lifetime JPH06822Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | 半導体ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06822Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-21 JP JP14310087U patent/JPH06822Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06822Y2 (ja) | 1994-01-05 |
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