JPS62157149U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62157149U JPS62157149U JP4425986U JP4425986U JPS62157149U JP S62157149 U JPS62157149 U JP S62157149U JP 4425986 U JP4425986 U JP 4425986U JP 4425986 U JP4425986 U JP 4425986U JP S62157149 U JPS62157149 U JP S62157149U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- centering
- cup
- wafers
- centered
- dimensions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例の平面図、第２図
は同実施例の縦断側面図、第３図、第４図は同実
施例の動作説明図、第５図はこの考案の他の実施
例の平面図である。 １……センタリングカツプ、２……チヤツク、
３……センタリングピース、４……搬送ベルト、
５……第１のシリンダ、６……第２のシリンダ、
７……第３のシリンダ、８……ウエハ、１１……
内側斜面。
は同実施例の縦断側面図、第３図、第４図は同実
施例の動作説明図、第５図はこの考案の他の実施
例の平面図である。 １……センタリングカツプ、２……チヤツク、
３……センタリングピース、４……搬送ベルト、
５……第１のシリンダ、６……第２のシリンダ、
７……第３のシリンダ、８……ウエハ、１１……
内側斜面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上部より見た形状が被センタリング物の形
状と相似的で上部の寸法が被センタリング物の外
形寸法より大きく下部の寸法が狭くなつた上部方
向に向つて開いたテーパー状の内側斜面を有する
底なしカツプ状のセンタリングカツプと、このセ
ンタリングカツプの中心位置に設けられ被センタ
リング物を載せるための水平な保持面を有する平
面チヤツクと、前記センタリングカツプに被セン
タリング物を搬入しかつ搬出するための搬送機構
と、この搬送機構上を送られてきた被センタリン
グ物を所定の位置に停止させるセンタリングピー
スと、前記センタリングカツプを上下動させる上
下方向駆動機構とを備えたことを特徴とするウエ
フア等のセンタリング装置。 (2) 上記センタリングカツプは上部より見た内
側面の形状が円形であることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項に記載されたウエハ等の
センタリング装置。 (3) 上記センタリングカツプは上部より見た内
側面の形状が方形であることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項に記載されたウエハ等の
センタリング装置。 (4) 上記チヤツクはセンタリング動作中に水平
方向に正逆回動されるものであることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１乃至第３項のいず
れかに記載のウエハ等のセンタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4425986U JPH0129787Y2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4425986U JPH0129787Y2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62157149U true JPS62157149U (ja) | 1987-10-06 |
| JPH0129787Y2 JPH0129787Y2 (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=30861897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4425986U Expired JPH0129787Y2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0129787Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009206315A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Chugai Ro Co Ltd | テーブルへの基板搭載装置 |
| JP5279819B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2013-09-04 | 株式会社トクヤマ | レンズの心出し装置を備えたコーティング装置及びコーティング方法 |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP4425986U patent/JPH0129787Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009206315A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Chugai Ro Co Ltd | テーブルへの基板搭載装置 |
| JP5279819B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2013-09-04 | 株式会社トクヤマ | レンズの心出し装置を備えたコーティング装置及びコーティング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0129787Y2 (ja) | 1989-09-11 |