JPH0258335U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0258335U JPH0258335U JP13647488U JP13647488U JPH0258335U JP H0258335 U JPH0258335 U JP H0258335U JP 13647488 U JP13647488 U JP 13647488U JP 13647488 U JP13647488 U JP 13647488U JP H0258335 U JPH0258335 U JP H0258335U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulley
- ring
- lower ends
- transfer mechanism
- contact
- Prior art date
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- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案が使用される状態の説明図、第
２図は本考案の構成を示す断面図、第３図はプー
リとテーブルとの連結機構を示す断面図、第４図
はプーリの平面図、第５図はプーリ上面の説明図
、第６図はリング、プーリの関係を示す説明図。 １……ウエハテーブル、２……ウエハ搬入出機
構、３……ウエハ、４……支持ピン、５……円筒
、７……モータ、８……プーリ、１０……ロツド
、１１……溝、１３……スプリング、１４……ス
トツパ、１５，１６，１７……傾斜部、１８……
リング、１９……コロ。
２図は本考案の構成を示す断面図、第３図はプー
リとテーブルとの連結機構を示す断面図、第４図
はプーリの平面図、第５図はプーリ上面の説明図
、第６図はリング、プーリの関係を示す説明図。 １……ウエハテーブル、２……ウエハ搬入出機
構、３……ウエハ、４……支持ピン、５……円筒
、７……モータ、８……プーリ、１０……ロツド
、１１……溝、１３……スプリング、１４……ス
トツパ、１５，１６，１７……傾斜部、１８……
リング、１９……コロ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハを所定の精密送り可能な載物用テー
ブルに搬入出する装置において、テーブルの回転
駆動用モータによつて回転するプーリ上面に設け
られた複数の部分的傾斜突出部と、この突出部に
関連して垂直に上下動するリングと、このリング
に下端を接触し、かつテーブルを垂直に貫通する
複数本のピンとから構成されるウエハ受渡し機構
。 (2) 請求項第１項において、プーリ上面の傾斜
突出部の上にその下端を接し、かつテーブルを垂
直に貫通する複数本のピンから構成されるウエハ
受渡し機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13647488U JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13647488U JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258335U true JPH0258335U (ja) | 1990-04-26 |
| JPH0639449Y2 JPH0639449Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31397020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13647488U Expired - Fee Related JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639449Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-19 JP JP13647488U patent/JPH0639449Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0639449Y2 (ja) | 1994-10-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |